一种废水回用处理工艺的制作方法

1.本技术属于废水回收技术领域，尤其是涉及一种废水回用处理工艺。


背景技术：

2.现有硅片生产过程中，其使用的冷却液是纯水，生产制造硅片使用后变成冷却液脏水，再经污水处理系统处理后，可进行绿化使用。但这种处理方式水液的利用率低，而且水资源是有限的，导致生产成本较高


技术实现要素：

3.本技术提供一种废水回用处理工艺，尤其是适用于硅片加工后的废液处理回收，解决了现有技术中冷却液脏水回收利用率低的技术问题。
4.为解决至少一个上述技术问题，本技术采用的技术方案是：
5.一种废水回用处理工艺，步骤包括：
6.收集生产废水；
7.对废水进行中和及絮凝；
8.使废水中的絮凝物进行处理；
9.再对废水进行过滤，最终获得合格的水液，以用于制作生产所用纯水。
10.进一步的，所述收集生产废水包括：收集生产废水于原水槽中，并使从原水槽输出的废水的流量控制在20-30m3/h之内。
11.进一步的，所述对废水进行中和及絮凝，包括：将废水引入至反应槽中，并向反应槽中注入中和剂和絮凝剂，调整废水中的浊度和色度，并生成基础絮凝物。
12.进一步的，所述中和剂包括氢氧化钠和盐酸；所述絮凝剂为聚氯化铝。
13.进一步的，废水调整后的ph值为7-8.5；且所述絮凝剂的注入量为20-40ppm。
14.进一步的，所述使废水中的絮凝物进行处理，包括控制反应槽中的水液注入凝集槽中，并向凝集槽中注入悬浮助剂，以使絮凝物上浮；废水在所述凝集槽中停留的时间小于在所述反应槽中停留的时间。
15.进一步的，还包括在所述凝集槽之后设置用于将絮凝物上浮的浮上槽，具体为：
16.在所述浮上槽中注入加压水，与所述凝集槽中的水液混合；
17.控制加压水的压力降低，以产生微小气泡附着在絮凝物上，形成水-气-颗粒的三相混合体系，絮凝物带着浮渣上浮；
18.控制浮渣溢出所述浮上槽，并被外置的浮渣槽所收集。
19.进一步的，所述再对废水进行过滤，包括依次在两个中继槽中对废水进行过滤净化，通过多层不同滤料的致密过滤层，在设定压力下将水液中的剩余浊度滤浄；其中，所述滤料包括石英砂、细砂、无烟煤。
20.进一步的，还包括：在所述中继槽中加入次氯酸钠进行杀菌；并对杀菌后的水液进行过滤去除，以获取5μ以下颗粒的水液。
21.进一步的，检测水液中的悬浮物的含量，对于测得悬浮物的含量值小于1mg/l的水液，则可直接被用于制作生产所用纯水；对于测得的悬浮物的含量值大于或等于1mg/l的水液，则直接排入至污水槽中。
22.采用本技术设计的一种废水回用处理工艺，可快速且稳定地对废水进行回收处理，并可保证废液处理后的各项技术参数均符合生产所用的纯水标准，提高废水的利用率，节约水资源，降低生产成本。
附图说明
23.图1是本技术一实施例的一种废水回用处理工艺的流程图。
24.图中：
25.10、原水槽
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20、反应槽
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30、凝集槽
26.40、浮上槽
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50、中继槽一
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60、中继槽二
27.70、过滤器80、厂务区90、污水槽
具体实施方式
28.下面结合附图和具体实施例对本技术进行详细说明。
29.本实施例提出一种废水回用处理工艺，如图1所示，步骤包括：
30.在原水槽10中收集从厂务区生产机组中所使用后的生产废水，其作为原水进行收集；
31.依次在反应槽20和凝集槽30中对作为原水的废水进行中和及絮凝，以获得具有中和性的且具有絮凝物的水液；
32.在浮上槽40中s对废水中的絮凝物进行处理，以获得无浮渣的水液；
33.依次在中继槽一和中继槽二中对废水进行过滤，再在过滤器中对处理后的水液进行检测，最终获得合格的水液，以用于制作生产所用纯水。
34.具体地，在原水槽10中，可收集生产所排出的废水，并使从原水槽10输出至反应槽20中的废水的流量控制在20-30m3/h之内，优选地，从原水槽10中输出的废水液的流量可为20m3/h、21m3/h、22m3/h、23m3/h、24m3/h、25m3/h、26m3/h、27m3/h、28m3/h、29m3/h、以及30m3/h中的其中一组。
35.进一步的，在反应槽20中，主要用于对废水进行中和及絮凝，包括：废水通过提升泵被引入至反应槽20中后，向反应槽20中注入中和剂和絮凝剂，以调整废水中的浊度和色度，并生成基础絮凝物。其中，中和剂包括氢氧化钠(naoh)和盐酸(hci)；絮凝剂(pac)为聚氯化铝。经中和剂调和后的废水，其ph值为7-8.5；且注入的絮凝剂的流量为20-40ppm。絮凝剂的流量可选择为20ppm、21ppm、22ppm、23ppm、24ppm、25ppm、26ppm、27ppm、28ppm、29ppm、30ppm、31ppm、32ppm、33ppm、34ppm、35ppm、36ppm、37ppm、38ppm、39ppm、以及40ppm中的其中一组。
36.在反应槽20中，中和剂注入泵与反应槽20内的ph值测试计联动，可实时检测中和后的水液的ph值，直至水液调整到最适合的范围7-8.5，便于凝集反应。絮凝剂由注入泵定量注入，使废水原液中的浊度、色度在中和、吸着的同时，生成小的基础絮凝物。
37.在反应槽20的下一相邻工序中，设置凝集槽30，对废水中的絮凝物进行处理，主要
是先将反应槽20中的水液注入凝集槽30中，并向凝集槽30中注入悬浮助剂，以使絮凝物上浮。悬浮助剂为常用的试剂，如la381。其中，废水在凝集槽30中停留的时间小于在反应槽20中停留的时间；优选地，在凝集槽30中停留的时间为7-9min，可选择为7.1min、7.2min、7.3min、7.4min、7.5min、7.6min、7.7min、7.8min、7.9min、8.0min、8.1min、8.2min、8.3min、8.4min、8.5min、8.6min、8.7min、8.8min、8.9min、以及9.0min中的其中一组。
38.在凝集槽30之后设置用于将絮凝物上浮的浮上槽40，具体为：在浮上槽40中注入加压水，与凝集槽30中的水液混合。控制加压水的压力降低，以产生微小气泡附着在絮凝物上，形成水-气-颗粒的三相混合体系，絮凝物带着浮渣上浮。由于絮凝物受气泡附着，其重量变轻并进入浮上槽40后便开始上升，直至到达浮上槽40的水面。水液中的浮渣由不断浮上来的絮凝物被逐步提升到水面，而后逐步浓缩，从而可逐步控制浮渣溢出浮上槽40的水面。浓缩后的浮渣通过浮渣收集器排出浮上槽40外，并被外置的浮渣槽所收集。
39.在浮上槽40之后，设有用于对废水进行过滤的两个中继槽，分别是中继槽一50和中继槽二60，其中，水液流量均相同，为20-30m3/h。优选地，从原水槽10中输出的废水液的流量可为20m3/h、21m3/h、22m3/h、23m3/h、24m3/h、25m3/h、26m3/h、27m3/h、28m3/h、29m3/h、以及30m3/h中的其中一组。
40.在中继槽一50之后，对其排出的水液中采用微孔滤膜(mmf)处理方法对废水进行过滤净化，通过多层不同滤料的致密过滤层，采用提升泵对水液进行操作。在设定的一定压力下将水液中的剩余浊度滤浄，并有效去除溶液中的悬浮杂质，使水液澄清。其中，滤料包括石英砂、细砂、无烟煤。过滤处理器中的顶层由最轻和最粗的滤料组成；而最重和最细的滤料放置在过滤处理器中的底部。过滤原理是基于深度过滤，水中较大的颗粒在顶层处被去除，较小的颗粒在过滤器介质的较深处被去除。从而使水质达到粗过滤后的标准，保证水液中的浊度可被有效去除。
41.同时，由于加压浮上处理水中的bgp较高，故需要在微孔滤膜(mmf)处理方法之前，还要在中继槽一50中加入次氯酸钠(nacio)进行杀菌。杀菌处理后的水液在中继槽二60中进行收集；而后在过滤器70中对杀菌后的水液进行处理，以获取5μ以下颗粒的水液。
42.在过滤器70中，经过过滤去除后，可去除掉5μ以上粒径的颗粒，水液进入清水槽80中。再通过仪器对水液中的水质进行检测，以检测水液中的悬浮物的含量(ss)。对于测得悬浮物的含量(ss)小于1mg/l的水液，则可直接被用于制作生产所用纯水，制成的纯水直接进入厂务区90中使用。对于测得的悬浮物的含量(ss)大于或等于1mg/l的水液，则直接排入至污水槽100中。
43.采用本技术的回收处理工艺对废水进行处理，处理后的水质与自来水中的水质进行对比，获得的结果如表1所示。
44.表1采用本处理方法对废水处理后的水质指标与自来水的水质对比
[0045][0046][0047]
如表1所示，采用本技术所述的处理方法处理后获得的水质优于自来水的水质，满足回用水质要求，可以用于纯水制纯用水。该部分反洗废水回用后可每年减少市政自来水使用量42444吨，每年减少自来水费用32.5万元。
[0048]
采用本技术设计的一种废水回用处理工艺，可快速且稳定地对废水进行回收处理，并可保证废液处理后的各项技术参数均符合生产所用的纯水标准，提高废水的利用率，节约水资源，降低生产成本。
[0049]
以上对本技术的实施例进行了详细说明，所述内容仅为本技术的较佳实施例，不能被认为用于限定本技术的实施范围。凡依本技术范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本技术的专利涵盖范围之内。

技术特征：
1.一种废水回用处理工艺，其特征在于，步骤包括：收集生产废水；对废水进行中和及絮凝；使废水中的絮凝物进行处理；再对废水进行过滤，最终获得合格的水液，以用于制作生产所用纯水。2.根据权利要求1所述的一种废水回用处理工艺，其特征在于，所述收集生产废水包括：收集生产废水于原水槽中，并使从原水槽输出的废水的流量控制在20-30m3/h之内。3.根据权利要求1或2所述的一种废水回用处理工艺，其特征在于，所述对废水进行中和及絮凝，包括：将废水引入至反应槽中，并向反应槽中注入中和剂和絮凝剂，调整废水中的浊度和色度，并生成基础絮凝物。4.根据权利要求3所述的一种废水回用处理工艺，其特征在于，所述中和剂包括氢氧化钠和盐酸；所述絮凝剂为聚氯化铝。5.根据权利要求4所述的一种废水回用处理工艺，其特征在于，废水调整后的ph值为7-8.5；且所述絮凝剂的注入量为20-40ppm。6.根据权利要求4或5所述的一种废水回用处理工艺，其特征在于，所述使废水中的絮凝物进行处理，包括控制反应槽中的水液注入凝集槽中，并向凝集槽中注入悬浮助剂，以使絮凝物上浮；废水在所述凝集槽中停留的时间小于在所述反应槽中停留的时间。7.根据权利要求6所述的一种废水回用处理工艺，其特征在于，还包括在所述凝集槽之后设置用于将絮凝物上浮的浮上槽，具体为：在所述浮上槽中注入加压水，与所述凝集槽中的水液混合；控制加压水的压力降低，以产生微小气泡附着在絮凝物上，形成水-气-颗粒的三相混合体系，絮凝物带着浮渣上浮；控制浮渣溢出所述浮上槽，并被外置的浮渣槽所收集。8.根据权利要求1-2、4-5、7任一项所述的一种废水回用处理工艺，其特征在于，所述再对废水进行过滤，包括依次在两个中继槽中对废水进行过滤净化，通过多层不同滤料的致密过滤层，在设定压力下将水液中的剩余浊度滤浄；其中，所述滤料包括石英砂、细砂、无烟煤。9.根据权利要求8所述的一种废水回用处理工艺，其特征在于，还包括：在所述中继槽中加入次氯酸钠进行杀菌；并对杀菌后的水液进行过滤去除，以获取5μ以下颗粒的水液。10.根据权利要求9所述的一种废水回用处理工艺，其特征在于，检测水液中的悬浮物的含量，对于测得悬浮物的含量值小于1mg/l的水液，则可直接被用于制作生产所用纯水；对于测得的悬浮物的含量值大于或等于1mg/l的水液，则直接排入至污水槽中。

技术总结
本申请提供一种废水回用处理工艺，步骤包括：收集生产废水；对废水进行中和及絮凝；使废水中的絮凝物进行处理；再对废水进行过滤，最终获得合格的水液，以用于制作生产所用纯水。本申请一种废水回用处理工艺，可快速且稳定地对废水进行回收处理，并可保证废液处理后的各项技术参数均符合生产所用的纯水标准，提高废水的利用率，节约水资源，降低生产成本。降低生产成本。降低生产成本。


技术研发人员：周艺妃 孙维帅 潘力 董雪丽 张晋英 谭永麟 孙晨光 王彦君
受保护的技术使用者：中环领先半导体材料有限公司
技术研发日：2023.07.06
技术公布日：2023/9/9