臭氧发生装置及臭氧发生方法与流程

1.本技术涉及臭氧发生装置及臭氧发生方法。


背景技术：

2.已知使用在高压电极与接地电极之间的放电空间中发生的放电来发生臭氧的臭氧发生装置(例如专利文献1)。该臭氧发生装置对于氧气(o2)在放电空间中产生电子碰撞、生成臭氧(o3)。
3.在上述的臭氧发生装置中，由发生电子碰撞的氧气(o2)，通过解离生成氧自由基(o)(o2+e
→
o+o+e，e表示电子)。生成的氧自由基与在周边存在的氧气结合，生成臭氧(o3)(o+o2+m
→
o3+m，m表示第三体)。
4.现有技术文献
5.专利文献
6.专利文献1：日本特开昭62-132706号公报


技术实现要素：

7.发明要解决的课题
8.但是，在对生成的臭氧，在同一放电空间中进一步发生电子碰撞的情况下，臭氧的分解反应(o3+e
→
o+o2+e)也可进行。在对于生成的臭氧，臭氧分解反应进行的情况下，臭氧发生装置生成的臭氧生成效率可能降低。
9.本技术鉴于上述的实际情况而完成，目的在于提供可抑制臭氧生成效率降低的臭氧发生装置及方法。
10.用于解决课题的手段
11.本技术的一方面涉及的臭氧发生装置是使用在气流方向上导入的含氧的气体来发生臭氧的臭氧发生装置，其特征在于，具备：放电空间部位，其对于气体通过放电而产生电子碰撞；导出部位，其将臭氧导出，所述臭氧为放电空间部位进行电子碰撞而由气体中所含的氧转换、发生；分解反应抑制机构，其抑制发生的臭氧由于电子碰撞而被分解的分解反应。
12.本技术的一方面涉及的臭氧发生方法是使用在气流方向上导入的含氧的气体来发生臭氧的臭氧发生方法，其特征在于，具备：放电工序，其对于气体在放电空间部位通过放电而产生电子碰撞；导出工序，其将臭氧从导出部位导出，所述臭氧为放电空间部位进行电子碰撞而由气体中所含的氧转换、发生；分解反应抑制工序，其使用分解反应抑制机构来抑制发生的臭氧由于电子碰撞而被分解的分解反应。
13.发明的效果
14.在本技术的一方面，可提供可抑制臭氧生成效率降低的臭氧发生装置及方法。
附图说明
15.图1为表示实施方式1涉及的臭氧发生装置的构成的示意图。
16.图2为表示气体压力p的变化与从氧自由基向臭氧的转换时间τ的关系的坐标图的图。
17.图3为表示实施方式2涉及的臭氧发生装置的构成的示意图。
18.图4为表示实施方式2中的电源输出的波形与放电电力的关系的说明图。
具体实施方式
19.以下，参照附图，对本技术公开的臭氧发生装置和方法的实施方式详细地说明。予以说明，以下所示的实施方式为一例，这些实施方式并不限定本技术。
20.实施方式1.
21.图1为表示实施方式1涉及的臭氧发生装置的构成的示意图。就臭氧发生装置10而言，如图1中所示，具备高频电源1、高压电极2、接地电极3、高压侧电介质4、接地侧电介质5。另外，臭氧发生装置10将成为臭氧发生的原材料的含氧气的气体在朝着图1的纸面从左向右、即由箭头表示的气体导入方向54导入，在由箭头表示的气体导出方向55导出。
22.就高频电源1而言，连接于高压电极2及接地电极3，在高压电极2及接地电极3之间施加高频的电压。高压电极2及接地电极3例如由金属构成。另外，高压侧电介质4及接地侧电介质5例如由氧化铝陶瓷板构成。
23.就高压电极2而言，如图1中所示，是沿着含有氧气的气体的气体导入方向54的宽度为ld、与气体导入方向54成直角的朝着图1的纸面的里部以长度lw延伸的电极构件。另外，就高压电极2而言，如图1中所示，在图1的下方与后述的高压侧电介质4连接。
24.就接地电极3而言，如图1中所示，是沿着含有氧气的气体的气体导入方向54的宽度为ld、与气体导入方向54成直角的朝着图1的纸面的里部以长度lw延伸的电极构件。另外，接地电极3的一端接地，相对于图1的纸面，在上下方向上间隔，以与高压电极2相对的方式配置。进而，就接地电极3而言，如图1中所示，在图1的上方与后述的接地侧电介质5连接，以宽度ld和长度lw的方向与高压电极2为同方向的方式相对配置。
25.就高压侧电介质4和接地侧电介质5而言，相对于图1的纸面，以在上下以间隔距离d间隔的方式配置。高压侧电介质4和接地侧电介质5之间的空间作为后述的放电空间部位来发挥功能。即，将在高压侧电介质4的一面的一部分设置有高压电极2的放电电极和在接地侧电介质5的一面的一部分设置有接地电极3的放电电极使高压侧电介质4及接地侧电介质5的另一面之间相对地配置，构成臭氧发生单元11。
26.高压侧电介质4和接地侧电介质5具备：相对于图1的纸面，由上下方向的间隔距离比d大的值，朝着气体导入方向54向d缩小，使导入到放电空间部位52的气体的流动缩小的缩小部位51；相对于图1的纸面，在上下方向上间隔距离d沿着气体导入方向54连续ld的长度的放电空间部位52；和相对于图1的纸面，上下方向的间隔距离从d朝着气体导出方向55扩大为比d大的值、使从放电空间部位52流出的气体的流动扩大而导出的扩大部位53。缩小部位51例如具有缩小角度45度。扩大部位53例如具有扩大角度10度。缩小部位51作为导入气体的导入部位的一例来发挥功能，扩大部位53作为导出臭氧的导出部位的一例来发挥功能。
27.换言之，本实施方式的臭氧发生装置10具有：将在电介质的一面的一部分设置有金属电极的一对放电电极使电介质的另一面之间相对而配置的臭氧发生单元11、和对金属电极施加电压的高频电源1。而且，就臭氧发生单元11而言，一对放电电极之间成为含氧的气体流动的气体流路，就电介质的另一面之间的间隔而言，设置有金属电极的部位最窄，朝着气体流路的上游侧及下游侧变宽。
28.放电空间部位52是在高频电源1对高压电极2及接地电极3施加有高电压的情况下产生放电等离子体的空间。另外，放电空间部位52是纵、横及高度由后述的ld、lw及d构成的空间。高压电极2以高压电极2的宽ld部分与高压侧电介质4的构成放电空间部位52的宽ld部分相对地配置。接地电极3以接地电极3的宽ld部分与接地侧电介质5的构成放电空间部位52的宽ld部分相对地配置。因此，本实施方式涉及的臭氧发生装置10如下构成：在作为由高压侧电介质4与接地侧电介质5构成的空间的缩小部位51、放电空间部位52、及扩大部位53中的放电空间部位52发生由放电引起的电子碰撞。
29.本实施方式涉及的臭氧发生装置10以如下方式构成：对于高压侧电介质4及接地侧电介质5，气体导入方向54的长度ld比与气体导入方向54成直角的延伸方向的长度lw小。优选地，以如下方式构成：气体导入方向54的长度ld成为与气体导入方向54成直角的延伸方向的长度lw的1/10以下。另外，本实施方式涉及的臭氧发生装置10使得高压侧电介质4与接地侧电介质5的间隔距离d成为0.2mm以下。通过采用这样的构成，就本实施方式涉及的臭氧发生装置10而言，如后所述，能够缩短生成的臭氧停留在放电空间部位52中的时间，成为可用比较简单的构成来抑制臭氧生成效率降低的装置。因此，具备高压侧电介质4和接地侧电介质5的这样的构成作为抑制发生的臭氧由于电子碰撞而被分解的分解反应的分解反应抑制机构的一例来发挥功能。
30.就本实施方式涉及的臭氧发生装置10而言，在高频电源1对高压电极2及接地电极3施加有高电压的情况下，经由高压侧电介质4，在由长度ld、lw及d构成的放电空间部位52发生放电等离子体。此时，就在由图1的箭头表示的气体导入方向54的方向导入到放电空间部位52的含氧的气体而言，与发生的放电等离子体反应，从放电空间部位52向成为外部的扩大部位53、扩大部位53的下游，在由箭头表示的气体导出方向55的方向导出。
31.导入到放电空间部位52的氧气和在放电空间部位52发生的放电等离子体进行反应的情况下，由于电子碰撞，氧气解离，生成氧自由基(o)(o2+e
→
o+o+e：e表示电子)。在生成的氧自由基(o)与氧气反应的情况下，臭氧发生装置10在放电空间部位52内发生臭氧(o+o2+m
→
o3+m、m表示第三体)。但是，在对于生成的臭氧发生电子碰撞的情况下，生成的臭氧可分解为氧自由基和氧气(o3+e
→
o+o2+e)。在发生对于生成的臭氧的分解的情况下，可发生从臭氧发生装置排出的臭氧的生成效率降低。
32.在此，对从氧自由基到臭氧的转换速度进行研究。就由于氧自由基被转换为臭氧而减少的过程而言，由以下的(1)式表示。[o]、[o2]表示氧自由基(o)和氧气(o2)的粒子密度(粒子/cm3)。k表示反应速度常数(cm6/s)。不过，假定供给气体为氧气的情形，使作为第三体的m为氧气(o2)。予以说明，报道了在将气体温度(k)设为t的情况下k为6.45
×
10-35
exp(663/t)。
[0033]
d[o]/dt＝-k
×
[o]
×
[o2]2···
(1)
[0034]
对于上述的(1)式，从氧自由基(o)向臭氧(o3)的转换的转换时间τ如(2)式所示求
出。
[0035]
τ＝1/(k
×
[o2]2)
···
(2)
[0036]
图2为表示气体压力p的变化与从氧自由基到臭氧的转换时间τ的关系的坐标图。考虑上述的(2)式，表示气体压力p(kpa)变化时的从氧自由基(o)到臭氧(o3)的转换时间τ(sec)。另外，在坐标图中，示出气体温度为300k、500k、1000k的情形。由(2)式及图2可知，向臭氧的转换时间τ与气体压力的平方成反比例。在气体温度为300k的情况下，在10kpa下成为0.29msec，在100kpa下成为2.9μsec。另外，由图2可知，可解释为在气体温度升高的情况下向臭氧的转换时间τ也延长。在考虑了该解释的情况下，通过实现高温、低气体压力的放电空间部位52，可延长从氧自由基(o)向臭氧(o3)的转换时间τ(sec)。
[0037]
在与将氧自由基(o)转换为臭氧(o3)的转换时间τ相比、在气体的放电空间部位52滞留的时间τg(sec)短的情况下，就在放电空间部位52内与氧自由基反应的氧气而言，在从放电空间部位52向成为外部的扩大部位53、扩大部位53的下游，被转换为臭氧。就本实施方式涉及的臭氧发生装置10而言，在转换为臭氧的扩大部位53不具有有意地产生放电等离子体的机构，在扩大部位53的下游也不具有有意地产生放电等离子体的机构。另外，对于用于构成引起电子碰撞的放电空间部位52的高压侧电介质4和接地侧电介质5，以气体导入方向54的长度ld比与气体导入方向54成直角的延伸方向的长度lw小的方式构成。通过这样的构成，与气体导入方向54的长度ld比与气体导入方向54成直角的延伸方向的长度lw大的构成相比，确保相同的放电面积，同时气体在放电空间部位52滞留的时间缩短。因此，能够抑制生成的臭氧由于电子碰撞而被分解的影响。在将供给的气体量用q(m3/s)表示、将放电空间部位52的体积用v(m3)表示的情况下，气体在放电空间部位52滞留的时间τg(sec)成为v/q。另外，在使用气流方向的放电长度ld、与气流成直角方向的放电空间部位52的放电空间长度lw、成为放电间隙长度的间隔距离d，将放电空间的气体流速设为vg的情况下，气体在放电空间部位52滞留的时间τg(sec)表示为以下的(3)式。
[0038]
τg＝ld
×
lw
×
d/q＝ld/vg · · · (3)
[0039]
本实施方式涉及的臭氧发生装置10以成为气体在放电空间部位52滞留的时间(τg)＜从氧自由基(o)向臭氧(o3)转换的转换时间(τ)的方式构成。通过以成为τg＜τ的方式构成，臭氧发生装置10在放电空间部位52生成o自由基，在放电空间部位52内开始与o自由基的反应，促进开始反应的氧气在放电空间部位52外被转换为臭氧(o3)的反应。因此，就本实施方式涉及的臭氧发生装置10而言，可成为对于生成的臭氧抑制在放电空间部位52内的电子碰撞引起的臭氧分解、以比较简单的构成获得高臭氧的生成效率的装置。
[0040]
在本实施方式的臭氧发生装置10中，将高压侧电介质4及接地侧电介质5构成的放电空间部位52的电极面的气流方向的长度ld比相对于气流方向为直角方向的长度lw短地构成，优选地，以1/10以下的长度构成(ld/lw＜0.1)。另外，在本实施方式的臭氧发生装置10中，通过从由ld
×
lw构成的放电面中的较长的lw的边侧沿着较短的ld的边的方向使气体流动，(3)式的ld变小，(3)式的ld/vg变小，能够将放电空间部位52滞留时间设定得小。另外，在本实施方式的臭氧发生装置10中，通过使成为放电间隙长度的间隔距离d为0.2mm以下，使气体流速高速化，进而通过具备缩小部位51和扩大部位53，使气体流速高速化，由此(3)式的vg变大，(3)式的ld/vg变小，可将放电空间部位52滞留时间设定得小。因此，就本实施方式涉及的臭氧发生装置10而言，可成为对于生成的臭氧抑制在放电空间部位52内的电
子碰撞引起的臭氧分解、以比较简单的构成获得高臭氧的生成效率的装置。即，就具备缩小部位51、放电空间部位52、及扩大部位53的上述的构成而言，作为抑制发生的臭氧由于电子碰撞而被分解的分解反应的本技术的分解反应抑制机构的一例来发挥功能。
[0041]
在本实施方式的臭氧发生装置10中，作为导入氧气的放电空间部位52，确保成为ld
×
lw
×
d的尺寸的开放空间。在该开放空间，没有有意地配置抑制导入的氧气的流动的流动抑制物质。因此，就该臭氧发生装置而言，可使从放电面中的较长的lw的边侧所导入的氧气尽可能快地移动放电面中的较短的ld部分，可以以比较简单的构成提供臭氧的生成效率高的臭氧发生装置及方法。换言之，就该臭氧发生装置而言，通过使从放电面中的较长的lw的边侧所导入的氧气尽可能快地移动放电面中的较短的ld部分，在将氧自由基转换为臭氧之前从放电空间部位52排出，在放电空间部位52的外部生成臭氧，能够抑制对于生成的臭氧的在放电空间部位52内的电子碰撞，能够以比较简单的构成提供臭氧的生成效率高的臭氧发生装置及方法。
[0042]
对于本实施方式涉及的臭氧发生装置10的动作进行说明。就该臭氧发生装置而言，将成为臭氧发生的原材料的含氧的气体在朝着图1的纸面从左向右导入，即，图1的箭头所示的气体导入方向54导入。就该臭氧发生装置而言，通过间隔距离朝着流动方向变窄的缩小部位51，将导入的气体加速。就该臭氧发生装置而言，利用加速引起的气体的速度增加，使放电空间部位52中的气体压力降低。在放电空间部位52中的气体压力降低的情况下，如图2中所示，从氧自由基(o)向臭氧(o3)的转换时间τ(sec)延长。就该臭氧发生装置而言，通过间隔距离朝着流动方向扩大的扩大部位53，使通过放电空间部位52的气体减速。就该臭氧发生装置而言，利用减速引起的气体的速度减小，将回复静压的气体向下游方向导出。通过这样的构成，本实施方式涉及的臭氧发生装置10能够使放电空间部位52中的向臭氧的转换时间τ延长，同时放电空间部位52的气体流速加速，使气体在放电空间部位52滞留的时间τg缩短。即，使用放电空间部位52进行放电的工序作为对于气体通过放电产生电子碰撞的放电工序的一例来发挥功能，从扩大部位53导出气体的工序作为将臭氧从导出部导出的导出工序的一例来发挥功能，使用缩小部位51、放电空间部位52及扩大部位53执行的上述的工序作为抑制发生的臭氧由于电子碰撞而被分解的分解反应的本技术的分解反应抑制工序的一例来发挥功能。
[0043]
实施方式2.
[0044]
图3为表示实施方式2涉及的臭氧发生装置的构成的示意图。就本实施方式的臭氧发生装置而言，对于1个高频电源，并列地连接有多个臭氧发生单元。
[0045]
如图3中所示，本实施方式的臭氧发生装置10的高频电源1由单相逆变电路12和频率控制电路13构成。频率控制电路13包含单相逆变电路12的驱动电路，控制从单相逆变电路12输出的电源频率。在单相逆变电路12的输出端子，并联地连接有多个臭氧发生单元11。在各个臭氧发生单元11的高压电极2与单相逆变电路12的输出端子之间，分别连接有电抗器14。各个臭氧发生单元11的接地电极3的电位全部设定为接地电位。在本实施方式中，以下，对将5个臭氧发生单元并联地连接的臭氧发生装置进行说明。
[0046]
在各个臭氧发生单元11中，经由高压侧电介质4及接地侧电介质5，在高压电极2与接地电极3之间产生交流放电(阻挡放电)。应予说明，接地侧电介质5未必需要，可只是接地电极3。在各臭氧发生单元11中，通过高压电极2与接地电极3之间的容量成分(c)与电抗器
14的电感成分(l)的共振，将脉冲状的能量注入到放电空间部位。予以说明，就高压电极2与接地电极3之间的容量成分而言，主要由高压侧电介质4的容量成分和接地侧电介质5的容量成分决定。
[0047]
即，在高频电源1的电源频率f满足以下的(4)式时，将脉冲状的能量注入到放电空间部位。
[0048]
f＝1/2π√(l
×
c) ··· (4)
[0049]
在本实施方式的臭氧发生装置10中，将与5个臭氧发生单元11分别连接的电抗器14的电感分别设为l1、l2、l3、l4、l5时，以成为l1＞l2＞l3＞l4＞l5的方式设定。将5个臭氧发生单元11中的高压电极2与接地电极3之间的容量成分(c)设定为大致相同。
[0050]
在这样构成的臭氧发生装置10中，将电感与l1、l2、l3、l4、l5的电抗器14分别连接的臭氧发生单元11的共振频率分别设为f1、f2、f3、f4、f5时，成为f1＜f2＜f3＜f4＜f5。
[0051]
图4为表示本实施方式中的高频电源1的电源输出的波形与分别注入到5个臭氧发生单元11的放电电力的关系的说明图。在图4的上部所示的波形15为高频电源的电源输出的波形。在图4的下部所示的图为向5个臭氧发生单元分别注入的放电电力的波形。其中，就由波形15表示的电源输出的1个周期的时间而言，在将并联地被连接的臭氧发生单元11的数设为n时，设定为n乘以在各臭氧发生单元11中以脉冲状产生的放电的时间τd所得的时间n
×
τd。该时间τd比气体在放电空间部位滞留的时间τg短，设定为与由(2)式表示的从氧自由基(o)向臭氧(o3)的转换的转换时间τ相同的程度。另外，将电源输出的1个周期的时间n
×
τd设定为与τg相同的程度。以满足τd≒τ及n
×
τd≒τg的方式设定电源输出的1个周期的时间及1个周期期间的电源频率的变化量。
[0052]
就高频电源的电源输出而言，如图4的波形15所示，通过频率控制电路13进行控制以使得在1个周期期间频率变化。随着电源频率变化，在5个臭氧发生单元11内，电源输出的电力集中注入到电源频率与共振频率一致的臭氧发生单元11。就电源输出而言，如图4的波形15所示，进行控制以使得在1个周期期间频率增加。于是，从共振频率低的臭氧发生单元依次地，电源频率与共振频率一致。其中，在5个臭氧发生单元11中，从共振频率低的臭氧发生单元依次地称为单元1、单元2、单元3、单元4及单元5。如图4中所示，在电源输出的波形15的1个周期期间，最初将电力注入到共振频率低的单元1，只在时间τd期间，在该单元1发生放电。随着电源频率增加，按照单元2、单元3、单元4、单元5的顺序，产生放电。电源输出的1个周期结束时，在下一周期中，再次按照单元1、单元2、单元3、单元4、单元5的顺序产生放电。这样，5个臭氧发生单元11的依次放电周期性地发生。
[0053]
在1个臭氧发生单元11中，在电源频率与共振频率一致时，放电在时间τd期间发生，在该期间发生氧分子的解离所引起的氧自由基的生成。然后，在放电停止的期间，由氧自由基生成臭氧，同时通过气流将气体排出到放电空间部位外。如图4中所示，在1个臭氧发生单元11中，经过5
×
τd的时间后，发生下一次的放电。
[0054]
在这样构成的臭氧发生装置中，对于1个高频电源并联地连接多个臭氧发生单元，向各个臭氧发生单元以脉冲状供给电力。因此，由于不存在电源自身进行休止的期间，因此能够总是用完电源容量，能够用低价的电源系统构成臭氧发生装置。
[0055]
予以说明，在本实施方式的臭氧发生装置中，将电感不同的5个电抗器分别连接于5个臭氧发生单元11。作为另一构成，可将最小的电感l5的电抗器串联地连接至单相逆变电
路12的输出端子，将具有与l5之差彼此不同的电感的电抗器与各个臭氧发生单元11连接。通过这样地构成，能够减小各个电抗器的电感，因此能够使臭氧发生装置成为小型。
[0056]
在本实施方式的臭氧发生装置中，将臭氧发生单元5个并联地连接。并联地连接的臭氧发生单元的数可为2以上。在将并联地连接的臭氧发生单元的数设为n的情况下，将高频电源的电源输出的1个周期的时间设定为n
×
τd。
[0057]
在本实施方式的臭氧发生装置中，控制电源输出以使得在1个周期的期间频率增加。也可控制电源输出以使得在1个周期的期间频率减小。在控制电源输出以使得1个周期的期间频率减小的情况下，只是电源频率与共振频率一致的臭氧发生单元的顺序颠倒。
[0058]
本技术记载了各种例示的实施方式及实施例，1个或多个实施方式中记载的各个特征、方式和功能并不限于特定的实施方式的应用，可单独地或以各种组合应用于实施方式。
[0059]
因此，未例示的大量变形例可在本技术说明书中公开的技术范围内设想。例如，包含使至少1个构成要素变形的情形、追加的情形或省略的情形、进而将至少1个构成要素抽出、与其他实施方式的构成要素组合的情形。
[0060]
附图标记的说明
[0061]
1高频电源、2高压电极、3接地电极、4高压侧电介质、5接地侧电介质、10臭氧发生装置、11臭氧发生单元、12单相逆变电路、13频率控制电路、14电抗器、15波形、51缩小部位、52放电空间部位、53扩大部位、54气体导入方向、55气体导出方向。

技术特征：
1.一种臭氧发生装置，是使用在气流方向上导入的含氧的气体来发生臭氧的臭氧发生装置，其特征在于，具备：放电空间部位，其对于所述气体通过放电来产生电子碰撞；导出部位，其将臭氧导出，所述臭氧为所述放电空间部位进行所述电子碰撞而由所述气体中所含的所述氧转换、发生；和分解反应抑制机构，其抑制发生的所述臭氧由于所述电子碰撞而被分解的分解反应。2.根据权利要求1所述的臭氧发生装置，其特征在于，所述分解反应抑制机构以如下方式构成：使所述气体在所述放电空间部位滞留的滞留时间比通过所述放电空间部位的所述电子碰撞而从所述氧转换为所述臭氧的转换时间短。3.根据权利要求1或2所述的臭氧发生装置，其特征在于，所述分解反应抑制机构具备：构成所述放电空间部位的间隔配置的高压侧电介质及接地侧电介质；和与在所述放电空间部位之间进行施加的所述高压侧电介质连接的高压电极及与所述接地侧电介质连接的接地电极，将所述气流方向上的所述高压电极及所述接地电极的宽度ld比与所述气流方向成直角的方向上的所述高压电极及所述接地电极的长度lw短地构成。4.根据权利要求3所述的臭氧发生装置，其特征在于，所述放电空间部位作为所述高压侧电介质与所述接地侧电介质的间隙而构成。5.根据权利要求4所述的臭氧发生装置，其特征在于，在所述高压侧电介质与所述接地侧电介质之间，具备：所述高压侧电介质与所述接地侧电介质间隔的距离为间隔距离d、在相对于所述气流方向为直角的方向上以所述长度lw连续的所述放电空间部位；位于所述放电空间部位的所述气流方向上的上游侧、沿着所述气流方向所述距离向所述间隔距离d缩小的缩小部位；和位于所述放电空间部位的所述气流方向上的下游侧、沿着所述气流方向所述距离从所述间隔距离d扩大的扩大部位。6.根据权利要求5所述的臭氧发生装置，其特征在于，所述缩小部位的缩小角度为45度，所述扩大部位的扩大角度为10度。7.根据权利要求2所述的臭氧发生装置，其特征在于，所述分解反应抑制机构以如下方式构成：使所述放电空间部位中的所述放电为具有比所述转换时间长的放电停止时间的脉冲状放电。8.一种臭氧发生装置，是具备：具备一对放电电极的多个臭氧发生单元、和电源频率周期性地变化的电源的臭氧发生装置，其特征在于，多个所述臭氧发生单元对于所述电源并联地连接，在多个所述臭氧发生单元与所述电源之间分别连接有电感不同的电抗器。9.根据权利要求8所述的臭氧发生装置，其特征在于，所述放电电极具有电介质和在该电介质的一面的一部分设置的金属电极，将一对所述放电电极使所述电介质的另一面之间相对地配置，所述一对放电电极之间为含氧的气体流动的气体流路，所述电介质的所述另一面之间的间隔的设置有所述金属电极的部位最窄，朝着所述气体流路的上游侧及下游侧
变宽。10.一种臭氧发生方法，是使用在气流方向上导入的含氧的气体来产生臭氧的臭氧发生方法，其特征在于，具备：放电工序，其对于所述气体在放电空间部位通过放电来产生电子碰撞；导出工序，其将臭氧从导出部位导出，所述臭氧为所述放电空间部位进行所述电子碰撞而由所述气体中所含的所述氧转换、产生；和分解反应抑制工序，其使用分解反应抑制机构来抑制产生的所述臭氧由于所述电子碰撞而被分解的分解反应。

技术总结
本申请涉及臭氧发生装置及臭氧发生方法。是使用在气流方向上导入的含氧的气体来发生臭氧的臭氧发生装置。臭氧发生装置(10)具备：放电空间部位(52)，其对于气体通过放电来产生电子碰撞；导出部位，其臭氧导出，所述臭氧为将放电空间部位进行电子碰撞而由气体中所含的氧所转换、发生；分解反应抑制机构，其抑制发生的臭氧由于电子碰撞而被分解的分解反应。的臭氧由于电子碰撞而被分解的分解反应。的臭氧由于电子碰撞而被分解的分解反应。


技术研发人员：葛本昌树 民田太一郎
受保护的技术使用者：三菱电机株式会社
技术研发日：2021.02.15
技术公布日：2023/9/9