一种抗静电的半导体切割用保护液及其制备方法与流程

1.本发明涉及半导体切割保护液技术领域，具体地说，涉及一种抗静电的半导体切割用保护液及其制备方法。


背景技术：

2.切削保护液是一种用在金属切削、磨加工过程中，用来冷却和润滑刀具和加工件的工业用液体，切削液由多种超强功能助剂经科学复合配合而成，同时具备良好的冷却性能、润滑性能、防锈性能、出油清洗功能、防腐功能易稀释特点。现有技术中对于半导体的切割工作，保护液的抗静电性能需要进一步的提高，以确保在切割过程中出现静电对半导体造成不必要的损伤，同时，在半导体切割过程中，需要使用大量的保护液，而现有技术一般使用机械油，导致生物降解性能下降，使得污染严重，鉴于此，需要一种抗静电性能高、生物降解性能高的半导体切割保护液对现有技术进一步改善。


技术实现要素：

3.本发明的目的在于提供一种抗静电的半导体切割用保护液及其制备方法，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，一方面，本发明提供一种抗静电的半导体切割用保护液，包括以下重量份的原料：植物提取油50-60份、复合抗静电剂20-30份、氯化石蜡1-4份、抗氧化剂1-4份和乙二醇20-30份，余量为清洁水。
5.作为本技术方案的进一步改进，所述植物提取油优选采用橘子油，该橘子油使用橘子皮制备而成，具体制备步骤如下：
6.步骤一、将橘子皮破碎，形成体积较小的丝状，然后在常温下晒干处理，一般的干燥即可，无需晒的太干，保留一定的水分，避免橘子皮内部精油流失；
7.步骤二、将晒干处理的橘子皮加入之压榨机中，压榨处橘皮油，之后将橘皮油过滤处理，滤渣回收，橘皮油保存；
8.步骤三、将滤渣加入搅拌机中，并加入清水，快速搅拌，并在闭合条件下升温60-80℃，处理完毕后，将搅拌物出料并进行3-5次的过滤后，滤液保留；
9.步骤四、将滤液与橘皮油加入搅拌机中，升温60-80℃混合处理，之后过滤制得植物提取油。
10.作为本技术方案的进一步改进，所述复合抗静电剂包括菜籽油、复合填充剂和去离子水所述复合抗静电剂的具体制备步骤为：
11.步骤一、将硅油加入至混合机中，在速率为100-120r/min的条件下进行搅拌，温度控制在30-40℃，搅拌20-30min后，加入去离子水继续搅拌10-20min，制得溶液；
12.步骤二、将石墨化碳加入溶液中，升温至50-60℃，在速率为220-250r/min的条件下搅拌，持续1-2h后，加入表面活性剂，继续混合30-40min；最后补入去离子水进行混合稀释，在混合阶段后期逐渐至30-40℃，制得复合填充剂；
13.步骤三、将菜籽油中加入复合填充剂，常温下混合10-20min，速率150-180r/min，然后加入去离子水搅拌10-20min，最后升温至70-80℃，在速率为220-250r/min的条件下搅拌10-20min后，制得复合抗静电剂。
14.作为本技术方案的进一步改进，所述复合填充剂各原料配比为：硅油30-40份、表面活性剂10-20份和石墨化碳5-10份，余量为去离子水。
15.作为本技术方案的进一步改进，所述抗氧化剂优选采用油溶性抗氧化剂。
16.另一方面，本发明提供了一种用于制备如上述中任意一项所述抗静电的半导体切割用保护液的制备方法，包括如下步骤：
17.步骤一、将植物提取油加入清洁水搅拌混合，然后依次加入复合抗静电剂、氯化石蜡和乙二醇，提高搅拌速率，持续搅拌；
18.步骤二、加入抗氧化剂，降低搅拌速率，搅拌后制得保护液。
19.优选的，所述步骤一中，植物提取油与清洁水的混合速率为100-120r/min。
20.优选的，所述步骤一种，搅拌速率提高至220-250r/min，持续搅拌1-2h。
21.优选的，所述步骤二中，搅拌速率降低至100-120r/min，搅拌30-40min。
22.与现有技术相比，本发明的有益效果：
23.该抗静电的半导体切割用保护液及其制备方法中，本发明将植物提取油代替了传统的机械油，具有较好的润滑性、抗静电性，清洗能力强，而且在实际使用过程中还具备对加工件的冷却效果，由于使橘子皮提取而成，因此具有较好的生物可降解性，环保度高；复合抗静电剂代替了传统的抗静电剂，传统抗静电剂只具备抗静电性，而该复合抗静电剂不仅具有优秀的抗静电性，同时还具有较好的润滑性能，而采用菜籽油为原料，生物降解性能大幅度提高，并且本发明中植物提取油与复合抗静电剂中的油相之间结合时，可用作乳化剂使用，通过乳化效果将保护液原料中不相容的油相、水相之间乳化成稳定的乳液状态，提高了原材料之间的结合程度，解决了传统半导体切割保护液不便于降解，抗静电性能不足的问题。
附图说明
24.图1为本发明的整体流程框图。
具体实施方式
25.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
26.本发明提供了一种抗静电的半导体切割用保护液，其包括以下重量份的原料：植物提取油50-60份、复合抗静电剂20-30份、氯化石蜡1-4份、抗氧化剂1-4份和乙二醇20-30份，余量为清洁水；
27.其中抗氧化剂优选采用油溶性抗氧化剂。
28.具体的：
29.植物提取油优选采用橘子油，该橘子油使用橘子皮制备而成，所用的橘子油在工
业方面具有较好的清洗效果，其具有可代替“氟利昂”的作用，应用在半导体的切割上不仅对半导体具有清洗效果，还能对其进行冷却，避免切割时半导体轻易产生高温，从而出现半导体损坏的情况，橘子油同时具有良好的可生物降解性和抗静电性，环保性能较好，该橘子油的具体制备步骤如下：
30.步骤一、将橘子皮破碎，形成体积较小的丝状，然后在常温下晒干处理，一般的干燥即可，无需晒的太干，保留一定的水分，避免橘子皮内部精油流失；
31.步骤二、将晒干处理的橘子皮加入之压榨机中，压榨处橘皮油，之后将橘皮油过滤处理，滤渣回收，橘皮油保存；
32.步骤三、将滤渣加入搅拌机中，并加入清水，快速搅拌，并在闭合条件下升温60-80℃，处理完毕后，将搅拌物出料并进行3-5次的过滤后，滤液保留；
33.步骤四、将滤液与橘皮油加入搅拌机中，升温60-80℃混合处理，之后过滤制得植物提取油。
34.复合抗静电剂包括菜籽油、复合填充剂和去离子水，菜籽油一般情况下属于绝缘体，其几乎不含自由移动的电荷，因此不具备导电性，复合填充剂采用硅油为基体搭配非极性基团的表面活性剂，该非极性基团的表面活性剂即为亲油基或疏水基，优选为烷基类的阳离子表面活性剂，该复合填充剂包括以下重量份的原料：硅油30-40份、表面活性剂10-20份和石墨化碳5-10份，余量为去离子水；此类材料都是优秀的防静电材料，石墨化碳采用天然石墨经过煅烧后制备的微细粉末的产品，具有良好的介电性和耐温性，而硅油本身就是具有抗静电、润滑等功能的材料，硅油通过表面活性剂进行表面改性，增加了硅油的抗静电性能，同时还具有较好的润滑性能，通过石墨化碳以填料的形式对硅油的抗静电性的进一步补充，制成的复合填充剂抗静电性能、润滑性能均具有较好的效果。
35.其中，复合抗静电剂是将菜籽油与复合填充剂进行混合后制备而成，该复合抗静电剂的具体制备步骤为：
36.步骤一、将硅油加入至混合机中，在速率为100-120r/min的条件下进行搅拌，温度控制在30-40℃，搅拌20-30min后，加入去离子水继续搅拌10-20min，制得溶液；
37.步骤二、将石墨化碳加入溶液中，升温至50-60℃，在速率为220-250r/min的条件下搅拌，持续1-2h后，加入表面活性剂，继续混合30-40min；最后补入去离子水进行混合稀释，在混合阶段后期逐渐至30-40℃，制得复合填充剂；
38.步骤三、将菜籽油中加入复合填充剂，常温下混合10-20min，速率150-180r/min，然后加入去离子水搅拌10-20min，最后升温至70-80℃，在速率为220-250r/min的条件下搅拌10-20min后，制得复合抗静电剂。
39.本发明还提供了一种抗静电的半导体切割用保护液的制备方法，其包括以下步骤：
40.步骤一、将植物提取油加入清洁水，在搅拌速率为100-120r/min的条件下混合，然后依次加入复合抗静电剂、氯化石蜡和乙二醇，提高搅拌速率至220-250r/min，持续搅拌1-2h；
41.步骤二、加入抗氧化剂，搅拌速率降低至100-120r/min，搅拌30-40min后制得保护液。
42.本发明将植物提取油代替了传统的机械油，具有较好的润滑性，抗静电性，清洗能
力强，而且在实际使用过程中还具备对加工件的冷却效果，由于使橘子皮提取而成，因此具有较好的生物可降解性，环保度高；复合抗静电剂代替了传统的抗静电剂，传统抗静电剂只具备抗静电性，而该复合抗静电剂不仅具有优秀的抗静电性，同时还具有较好的润滑性能，而采用菜籽油为原料，生物降解性能大幅度提高，并且本发明中植物提取油与复合抗静电剂中的油相之间结合时，可用作乳化剂使用，通过乳化效果将保护液原料中不相容的油相、水相之间乳化成稳定的乳液状态，提高了原材料之间的结合程度；其次，乙二醇作为传统的工业清洗剂，在本发明中用作稀释剂，将植物提取油和复合填充剂的油性降低，氯化石蜡用作阻燃剂使用，并且可以补充保护液的电绝缘性能。
43.本发明根据不同的工艺条件，通过以下具体的实施例来对本发明提供的抗静电的半导体切割用保护液具体说明。
44.实施例1
45.一、植物提取油制备
46.(1)、将橘子皮破碎，形成体积较小的丝状，然后在常温下晒干处理，一般的干燥即可，无需晒的太干，保留一定的水分，避免橘子皮内部精油流失；
47.(2)、将晒干处理的橘子皮加入之压榨机中，压榨处橘皮油，之后将橘皮油过滤处理，滤渣回收，橘皮油保存；
48.(3)、将滤渣加入搅拌机中，并加入清水，快速搅拌，并在闭合条件下升温60-80℃，处理完毕后，将搅拌物出料并进行3-5次的过滤后，滤液保留；
49.(4)、将滤液与橘皮油加入搅拌机中，升温60-80℃混合处理，之后过滤制得植物提取油。
50.二、复合抗静电剂制备
51.(1)、将硅油30份加入至混合机中，在速率为100r/min的条件下进行搅拌，温度控制在40℃，搅拌20min后，加入去离子水继续搅拌20min，制得溶液；
52.(2)、将石墨化碳5份加入溶液中，升温至50℃，在速率为250r/min的条件下搅拌，持续1h后，加入表面活性剂10份，继续混合30min；最后补入去离子水进行混合稀释，在混合阶段后期逐渐至30℃，制得复合填充剂；
53.(3)、将菜籽油中加入复合填充剂，常温下混合20min，速率150r/min，然后加入去离子水搅拌20min，最后升温至80℃，在速率为220r/min的条件下搅拌20min后，制得复合抗静电剂。
54.三、保护液制备
55.(1)、将植物提取油60份加入清洁水，在搅拌速率为100r/min的条件下混合，然后依次加入复合抗静电剂20份、氯化石蜡1份和乙二醇20份，提高搅拌速率至220r/min，持续搅拌2h；
56.(2)、加入抗氧化剂1份，搅拌速率降低至100r/min，搅拌40min后制得保护液。
57.实施例2
58.一、植物提取油制备
59.(1)、将橘子皮破碎，形成体积较小的丝状，然后在常温下晒干处理，一般的干燥即可，无需晒的太干，保留一定的水分，避免橘子皮内部精油流失；
60.(2)、将晒干处理的橘子皮加入之压榨机中，压榨处橘皮油，之后将橘皮油过滤处
理，滤渣回收，橘皮油保存；
61.(3)、将滤渣加入搅拌机中，并加入清水，快速搅拌，并在闭合条件下升温60-80℃，处理完毕后，将搅拌物出料并进行3-5次的过滤后，滤液保留；
62.(4)、将滤液与橘皮油加入搅拌机中，升温60-80℃混合处理，之后过滤制得植物提取油。
63.二、复合抗静电剂制备
64.(1)、将硅油35份加入至混合机中，在速率为110r/min的条件下进行搅拌，温度控制在40℃，搅拌25min后，加入去离子水继续搅拌15min，制得溶液；
65.(2)、将石墨化碳8份加入溶液中，升温至55℃，在速率为240r/min的条件下搅拌，持续1.5h后，加入表面活性剂15份，继续混合35min；最后补入去离子水进行混合稀释，在混合阶段后期逐渐至35℃，制得复合填充剂；
66.(3)、将菜籽油中加入复合填充剂，常温下混合15min，速率160r/min，然后加入去离子水搅拌15min，最后升温至75℃，在速率为230r/min的条件下搅拌15min后，制得复合抗静电剂。
67.三、保护液制备
68.(1)、将植物提取油57份加入清洁水，在搅拌速率为110r/min的条件下混合，然后依次加入复合抗静电剂24份、氯化石蜡2份和乙二醇24份，提高搅拌速率至230r/min，持续搅拌1.5h；
69.(2)、加入抗氧化剂2份，搅拌速率降低至110r/min，搅拌35min后制得保护液。
70.实施例3
71.一、植物提取油制备
72.(1)、将橘子皮破碎，形成体积较小的丝状，然后在常温下晒干处理，一般的干燥即可，无需晒的太干，保留一定的水分，避免橘子皮内部精油流失；
73.(2)、将晒干处理的橘子皮加入之压榨机中，压榨处橘皮油，之后将橘皮油过滤处理，滤渣回收，橘皮油保存；
74.(3)、将滤渣加入搅拌机中，并加入清水，快速搅拌，并在闭合条件下升温60-80℃，处理完毕后，将搅拌物出料并进行3-5次的过滤后，滤液保留；
75.(4)、将滤液与橘皮油加入搅拌机中，升温60-80℃混合处理，之后过滤制得植物提取油。
76.二、复合抗静电剂制备
77.(1)、将硅油40份加入至混合机中，在速率为120r/min的条件下进行搅拌，温度控制在30℃，搅拌20min后，加入去离子水继续搅拌10min，制得溶液；
78.(2)、将石墨化碳10份加入溶液中，升温至60℃，在速率为220r/min的条件下搅拌，持续1h后，加入表面活性剂20份，继续混合40min；最后补入去离子水进行混合稀释，在混合阶段后期逐渐至40℃，制得复合填充剂；
79.(3)、将菜籽油中加入复合填充剂，常温下混合10min，速率180r/min，然后加入去离子水搅拌10min，最后升温至70℃，在速率为250r/min的条件下搅拌10min后，制得复合抗静电剂。
80.三、保护液制备
81.(1)、将植物提取油53份加入清洁水，在搅拌速率为120r/min的条件下混合，然后依次加入复合抗静电剂28份、氯化石蜡3份和乙二醇26份，提高搅拌速率至250r/min，持续搅拌1h；
82.(2)、加入抗氧化剂3份，搅拌速率降低至120r/min，搅拌30min后制得保护液。
83.实施例4
84.一、植物提取油制备
85.(1)、将橘子皮破碎，形成体积较小的丝状，然后在常温下晒干处理，一般的干燥即可，无需晒的太干，保留一定的水分，避免橘子皮内部精油流失；
86.(2)、将晒干处理的橘子皮加入之压榨机中，压榨处橘皮油，之后将橘皮油过滤处理，滤渣回收，橘皮油保存；
87.(3)、将滤渣加入搅拌机中，并加入清水，快速搅拌，并在闭合条件下升温60-80℃，处理完毕后，将搅拌物出料并进行3-5次的过滤后，滤液保留；
88.(4)、将滤液与橘皮油加入搅拌机中，升温60-80℃混合处理，之后过滤制得植物提取油。
89.二、复合抗静电剂制备
90.(1)、将硅油40份加入至混合机中，在速率为120r/min的条件下进行搅拌，温度控制在350℃，搅拌25min后，加入去离子水继续搅拌15min，制得溶液；
91.(2)、将石墨化碳6份加入溶液中，升温至55℃，在速率为230r/min的条件下搅拌，持续1.5h后，加入表面活性剂15份，继续混合35min；最后补入去离子水进行混合稀释，在混合阶段后期逐渐至40℃，制得复合填充剂；
92.(3)、将菜籽油中加入复合填充剂，常温下混合15min，速率170r/min，然后加入去离子水搅拌15min，最后升温至75℃，在速率为240r/min的条件下搅拌10min后，制得复合抗静电剂。
93.三、保护液制备
94.(1)、将植物提取油50份加入清洁水，在搅拌速率为120r/min的条件下混合，然后依次加入复合抗静电剂30份、氯化石蜡4份和乙二醇30份，提高搅拌速率至220r/min，持续搅拌2h；
95.(2)、加入抗氧化剂4份，搅拌速率降低至120r/min，搅拌40min后制得保护液。
96.上述实施例1-4中保护液各原料配比，见表1-表2；
97.表1实施例1-4中复合抗静电剂配比(份)
[0098] 实施例1实施例2实施例3实施例4硅油30354040石墨化碳58106表面活性剂10152015
[0099]
表2实施例1-4中保护液配比(份)
[0100] 实施例1实施例2实施例3实施例4植物提取油60575350复合抗静电剂20242830氯化石蜡1234
乙二醇20242630抗氧化剂1234
[0101]
本发明采用下列对比例对本发明提供的实施例1-4进一步说明。
[0102]
对比例1
[0103]
本对比例采用实施例1的制备方法，去除了植物提取油的制备和添加，采用传统的机械油，其余配方和工艺不变，具体步骤如下：
[0104]
一、复合抗静电剂制备
[0105]
(1)、将硅油30份加入至混合机中，在速率为100r/min的条件下进行搅拌，温度控制在40℃，搅拌20min后，加入去离子水继续搅拌20min，制得溶液；
[0106]
(2)、将石墨化碳5份加入溶液中，升温至50℃，在速率为250r/min的条件下搅拌，持续1h后，加入表面活性剂10份，继续混合30min；最后补入去离子水进行混合稀释，在混合阶段后期逐渐至30℃，制得复合填充剂；
[0107]
(3)、将菜籽油中加入复合填充剂，常温下混合20min，速率150r/min，然后加入去离子水搅拌20min，最后升温至80℃，在速率为220r/min的条件下搅拌20min后，制得复合抗静电剂。
[0108]
二、保护液制备
[0109]
(1)、将机械油60份加入清洁水，在搅拌速率为100r/min的条件下混合，然后依次加入复合抗静电剂20份、氯化石蜡1份和乙二醇20份，提高搅拌速率至220r/min，持续搅拌2h；
[0110]
(2)、加入抗氧化剂1份，搅拌速率降低至100r/min，搅拌40min后制得保护液。
[0111]
对比例2
[0112]
本对比例采用实施例2的制备方法，去除了植物提取油的制备和添加，采用传统的机械油，其余配方和工艺不变，具体步骤与对比例1相似，本对比例不在赘述。
[0113]
对比例3
[0114]
本对比例采用实施例3的制备方法，去除了植物提取油的制备和添加，采用传统的机械油，其余配方和工艺不变，具体步骤与对比例1相似，本对比例不在赘述。
[0115]
对比例4
[0116]
本对比例采用实施例4的制备方法，去除了植物提取油的制备和添加，采用传统的机械油，其余配方和工艺不变，具体步骤与对比例1相似，本对比例不在赘述。
[0117]
表3对比例1-4中保护液各原料配比(份)
[0118] 实施例1实施例2实施例3实施例4机械油60575350复合抗静电剂20242830氯化石蜡1234乙二醇20242630抗氧化剂1234
[0119]
对比例5
[0120]
本对比例采用实施例1的制备方法，去除了复合抗静电剂的制备和添加，采用传统的含有亲油基的抗静电剂，用量为1份，其余配方和工艺不变，具体步骤如下：
[0121]
一、植物提取油制备
[0122]
(1)、将橘子皮破碎，形成体积较小的丝状，然后在常温下晒干处理，一般的干燥即可，无需晒的太干，保留一定的水分，避免橘子皮内部精油流失；
[0123]
(2)、将晒干处理的橘子皮加入之压榨机中，压榨处橘皮油，之后将橘皮油过滤处理，滤渣回收，橘皮油保存；
[0124]
(3)、将滤渣加入搅拌机中，并加入清水，快速搅拌，并在闭合条件下升温60-80℃，处理完毕后，将搅拌物出料并进行3-5次的过滤后，滤液保留；
[0125]
(4)、将滤液与橘皮油加入搅拌机中，升温60-80℃混合处理，之后过滤制得植物提取油。
[0126]
二、保护液制备
[0127]
(1)、将植物提取油60份加入清洁水，在搅拌速率为100r/min的条件下混合，然后依次加入亲油基抗静电剂1份、氯化石蜡1份和乙二醇20份，提高搅拌速率至220r/min，持续搅拌2h；
[0128]
(2)、加入抗氧化剂1份，搅拌速率降低至100r/min，搅拌40min后制得保护液。
[0129]
对比例6
[0130]
本对比例采用实施例2的制备方法，去除了复合抗静电剂的制备和添加，采用传统的含有亲油基的抗静电剂，用量为2份，其余配方和工艺不变，具体步骤与对比例5相似，本对比例不在赘述。
[0131]
对比例7
[0132]
本对比例采用实施例3的制备方法，去除了复合抗静电剂的制备和添加，采用传统的含有亲油基的抗静电剂，用量为3份，其余配方和工艺不变，具体步骤与对比例5相似，本对比例不在赘述。
[0133]
对比例8
[0134]
本对比例采用实施例4的制备方法，去除了复合抗静电剂的制备和添加，采用传统的含有亲油基的抗静电剂，用量为4份，其余配方和工艺不变，具体步骤与对比例5相似，本对比例不在赘述。
[0135]
表4对比例5-8中保护液各原料配比(份)
[0136][0137][0138]
对比例9
[0139]
本对比例采用实施例1的制备方法，去除了植物提取油的制备和添加，采用传统的
机械油，去除了复合抗静电剂的制备和添加，采用传统的含有亲油基的抗静电剂，用量为1份，其余配方和工艺不变，具体步骤如下：
[0140]
(1)、将机械油60份加入清洁水，在搅拌速率为100r/min的条件下混合，然后依次加入亲油基抗静电剂1份、氯化石蜡1份和乙二醇20份，提高搅拌速率至220r/min，持续搅拌2h；
[0141]
(2)、加入抗氧化剂1份，搅拌速率降低至100r/min，搅拌40min后制得保护液。
[0142]
对比例10
[0143]
本对比例采用实施例2的制备方法，去除了植物提取油的制备和添加，采用传统的机械油，去除了复合抗静电剂的制备和添加，采用传统的含有亲油基的抗静电剂，用量为1份，其余配方和工艺不变，具体步骤与对比例9相似，本对比例不在赘述。
[0144]
对比例11
[0145]
本对比例采用实施例3的制备方法，去除了植物提取油的制备和添加，采用传统的机械油，去除了复合抗静电剂的制备和添加，采用传统的含有亲油基的抗静电剂，用量为1份，其余配方和工艺不变，具体步骤与对比例9相似，本对比例不在赘述。
[0146]
对比例12
[0147]
本对比例采用实施例4的制备方法，去除了植物提取油的制备和添加，采用传统的机械油，去除了复合抗静电剂的制备和添加，采用传统的含有亲油基的抗静电剂，用量为1份，其余配方和工艺不变，具体步骤与对比例9相似，本对比例不在赘述。
[0148]
表5对比例9-12中保护液各原料配比(份)
[0149] 实施例1实施例2实施例3实施例4机械油60575350亲油基抗静电剂1234氯化石蜡1234乙二醇20242630抗氧化剂1234
[0150]
将上述实施例1-4和对比例1-12中提供的保护液进行抗静电测试和可生物降解性能测试，具体检测指标件表6-表9；
[0151]
表6实施例1-4中保护液性能指标
[0152] 实施例1实施例2实施例3实施例4电阻率(ω/m)2.01
×
1061.53
×
1061.89
×
1061.72
×
106生物降解率(％)82％88％86％84％
[0153]
根据表6所示，本发明实施例1-4提供的保护液生物降解率均在80％以上，同时电阻率保持在106ω/m，具有较好的抗静电性能。
[0154]
表7对比例1-4中保护液性能指标
[0155] 对比例1对比例2对比例3对比例4电阻率(ω/m)1.21
×
1070.93
×
1071.15
×
1072.11
×
107生物降解率(％)43％47％41％49％
[0156]
根据表7所示，本发明对比例1-4提供的保护液相较于实施例1-4，生物降解率大幅
度下降，同时抗静电性能大幅度下降，可以说明本发明在保护液的制备中加入植物提取油是影响抗静电性和生物降解性的重要因素。
[0157]
表8对比例5-8中保护液性能指标
[0158]
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对比例5对比例6对比例7对比例8电阻率(ω/m)9.37
×
1093.69
×
10
10
9.91
×
1092.94
×
10
10
生物降解率(％)62％59％66％63％
[0159]
根据表8所示，本发明对比例5-8提供的保护液相较于实施例1-4，生物降解率大幅度下降，同时抗静电性能大幅度下降，可以说明说明本发明在保护液的制备中加入复合抗静电剂是影响抗静电性和生物降解性的重要因素，其中对抗静电性的影响最大。
[0160]
表9对比例9-12中保护液性能指标
[0161] 对比例9对比例10对比例11对比例12电阻率(ω/m)8.89
×
10
11
2.37
×
10
12
2.95
×
10
12
9.43
×
10
11
生物降解率(％)28％23％26％21％
[0162]
根据表9所示，本发明对比例9-12提供的保护液相较于实施例1-4，生物降解率大幅度下降，同时抗静电性能大幅度下降，值得说明的是，当同时去除植物提取油和复合抗静电剂时，两项指标均低于对比例1-8提供的保护液指标，因此，可以说明本发明提供的植物提取油和复合抗静电剂是影响保护液抗静电性和生物降解性能的重要因素。
[0163]
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本发明的优选例，并不用来限制本发明，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

技术特征：
1.一种抗静电的半导体切割用保护液，其特征在于，包括以下重量份的原料：植物提取油50-60份、复合抗静电剂20-30份、氯化石蜡1-4份、抗氧化剂1-4份和乙二醇20-30份，余量为清洁水。2.根据权利要求1所述的抗静电的半导体切割用保护液，其特征在于：所述植物提取油优选采用橘子油，该橘子油使用橘子皮制备而成，具体制备步骤如下：步骤一、将橘子皮破碎，形成体积较小的丝状，然后在常温下晒干处理；步骤二、将晒干处理的橘子皮加入之压榨机中，压榨处橘皮油，之后将橘皮油过滤处理，滤渣回收，橘皮油保存；步骤三、将滤渣加入搅拌机中，并加入清水，快速搅拌，并在闭合条件下升温60-80℃，处理完毕后，将搅拌物出料并进行3-5次的过滤后，滤液保留；步骤四、将滤液与橘皮油加入搅拌机中，升温60-80℃混合处理，之后过滤制得植物提取油。3.根据权利要求1所述的抗静电的半导体切割用保护液，其特征在于：所述复合抗静电剂包括菜籽油、复合填充剂和去离子水。4.根据权利要求3所述的抗静电的半导体切割用保护液，其特征在于：所述复合填充剂各原料配比为：硅油30-40份、表面活性剂10-20份和石墨化碳5-10份，余量为去离子水。5.根据权利要求3所述的抗静电的半导体切割用保护液，其特征在于：所述复合抗静电剂的具体制备步骤为：步骤一、将硅油加入至混合机中，在速率为100-120r/min的条件下进行搅拌，温度控制在30-40℃，搅拌20-30min后，加入去离子水继续搅拌10-20min，制得溶液；步骤二、将石墨化碳加入溶液中，升温至50-60℃，在速率为220-250r/min的条件下搅拌，持续1-2h后，加入表面活性剂，继续混合30-40min；最后补入去离子水进行混合稀释，在混合阶段后期逐渐至30-40℃，制得复合填充剂；步骤三、将菜籽油中加入复合填充剂，常温下混合10-20min，速率150-180r/min，然后加入去离子水搅拌10-20min，最后升温至70-80℃，在速率为220-250r/min的条件下搅拌10-20min后，制得复合抗静电剂。6.根据权利要求1所述的抗静电的半导体切割用保护液，其特征在于：所述抗氧化剂采用油溶性抗氧化剂。7.一种用于制备如权利要求1-6中任意一项所述抗静电的半导体切割用保护液的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一、将植物提取油加入清洁水搅拌混合，然后依次加入复合抗静电剂、氯化石蜡和乙二醇，提高搅拌速率，持续搅拌；步骤二、加入抗氧化剂，降低搅拌速率，搅拌后制得保护液。8.根据权利要求7所述的抗静电的半导体切割用保护液的制备方法，其特征在于：所述步骤一中，植物提取油与清洁水的混合速率为100-120r/min。9.根据权利要求7所述的抗静电的半导体切割用保护液的制备方法，其特征在于：所述步骤一种，搅拌速率提高至220-250r/min，持续搅拌1-2h。10.根据权利要求7所述的抗静电的半导体切割用保护液的制备方法，其特征在于：所述步骤二中，搅拌速率降低至100-120r/min，搅拌30-40min。

技术总结
本发明涉及切割保护液技术领域，具体地说，涉及一种抗静电的半导体切割用保护液及其制备方法。其包括以下原料：植物提取油、复合抗静电剂、氯化石蜡、抗氧化剂和乙二醇，余量为清洁水；植物提取油优选采用橘子油，复合抗静电剂包括菜籽油、复合填充剂和去离子水；将植物提取油代替了传统的机械油，具有较好的润滑性、抗静电性，清洗能力强，具有较好的生物可降解性；复合抗静电剂代替了传统的抗静电剂，传统抗静电剂只具备抗静电性，而该复合抗静电剂不仅具有优秀的抗静电性，同时还具有较好的润滑性能，而采用菜籽油为原料，生物降解性能大幅度提高。幅度提高。幅度提高。


技术研发人员：种光耀 陈成勋
受保护的技术使用者：滁州默尔新材料科技有限公司
技术研发日：2023.02.09
技术公布日：2023/9/13