一种用于储存待清洁半导体硅片的储存盒的制作方法

1.本实用新型涉及半导体清洗技术领域，尤其涉及一种用于储存待清洁半导体硅片的储存盒。


背景技术：

2.在现有半导体技术中，在硅片的制作工艺后(如抛光)，还未清洗前需要短暂临时存放。如果简单地暴露在空气中，抛光液、水渍等残留在硅片表面，加大了清洗的难度。
3.现有的存放方式是浸泡在清水中，但是只是普通的存放箱，里面加水，并放置硅片。有时候硅片数量较少，且规格不同(如厚度)，那么都放在一个存放箱中，要区分不同厚度或者规格是十分不方便的。
4.因此，发明一种用于储存待清洁半导体硅片的储存盒，可以存放相同规格的硅片，也可以区分不同规格的硅片，十分方便。


技术实现要素：

5.本实用新型提供一种用于储存待清洁半导体硅片的储存盒，结构简单，成本低廉，可以根据需求存放相同规格的硅片，也可以区分不同规格的硅片，十分方便。
6.为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：一种用于储存待清洁半导体硅片的储存盒，包括：盒体，包括相互连接的侧壁；所述盒体内部固定有可拆卸的凸起板；所述凸起板上设置有限位凸起，所述侧壁上有和所述限位凸起相匹配的插孔；所述盒体第一内侧壁固定有若干可拆卸的第一凸起板，与所述第一内侧壁相对应的第二内侧壁固定有若干可拆卸的所述第一凸起板和第二凸起板；所述第一凸起板的高度高于所述第二凸起板的高度。
7.进一步地，所述盒体为透明亚克力材质。
8.进一步地，所述第二内侧壁上，所述第二凸起板的数量大于所述第一凸起板的数量。
9.本实用新型的有益效果如下：设置了可拆卸的凸起板，适用于当少量加工半导体硅片的情况。通过大小不同的所述凸起板起到区分不同规格硅片的作用。
附图说明
10.此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
11.图1是储存盒的俯视图。
12.图2是所述凸起板103的侧视图。
具体实施方式
13.为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面将结合本实用新型实
施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
14.请参照图1，一种用于储存待清洁半导体硅片的储存盒，包括：盒体101，包括相互连接的侧壁102；所述盒体101内部固定有可拆卸的凸起板103。
15.请参考图1和图2，所述凸起板103上设置有限位凸起104，所述侧壁102上有和所述限位凸起104相匹配的插孔(图中未示出)。所述盒体101第一内侧壁1021固定有若干可拆卸的第一凸起板1031，与所述第一内侧壁1021相对应的第二内侧壁1022固定有若干可拆卸的所述第一凸起板1031和第二凸起板1032；所述第一凸起板1031的高度h1高于所述第二凸起板1032的高度h2。
16.在本实用新型实施例中，所述盒体101为透明亚克力材质。所述第二内侧壁1022上，所述第二凸起板1032的数量大于所述第一凸起板1031的数量。
17.所述盒体101不设置上盖，用于放入待清洁半导体硅片。所述盒体101内部固定有可拆卸的所述凸起板103，需要说明的是，图1中只是示意性地标出了若干所述凸起板103，实际可以排列更多数量的所述凸起板103。在使用过程中，所述凸起板103是可以拆卸的，通过匹配的插孔和限位台阶实现灵活固定，从而实现可拆卸的功能。
18.请继续参考图1，在所述第二内侧壁1022上，所述第一凸起板1031和第二凸起板1032根据需要间隔设置。在本实用新型实施例中，先设置了一个所述第一凸起板1031，然后连续设置五个所述第二凸起板1032，再设置一个所述第一凸起板1031，之后再设置一个所述第二凸起板1032。如此形成了区域a和区域b，中间通过所述第一凸起板1031隔开。所述区域a放置第一规格的待清洁半导体硅片，所述区域b放置第二规格的待清洁半导体硅片，每个区域一般对应只放1块待清洁的半导体硅片。该设计，适用于当少量加工半导体硅片的情况。通过大小不同的所述凸起103起到区分不同规格硅片的作用。当然实际使用过程中，因为所述凸起板103是可拆卸的，可以根据实际情况调整间隔设置，例如当有8片第一规格的待清洁半导体硅片和6片第二规格的待清洁半导体硅片时，可以先放置一个所述第一凸起板1031，再连续放置7个所述第二凸起板1032，再放置一个所述第一凸起板10311，再连续放置5个所述第二凸起板1032，以示区分。
19.在实际使用时，为了便于操作，减少频繁更换所述凸起板103，一般在所述第二内侧壁1022先全部固定所述第二凸起板1032，当需要区分时，再在相应的位置取下所述第二凸起板1032更换成所述第一凸起板1031即可。因此，在所述第二内侧壁1022上，所述第二凸起板1032的数量大于所述第一凸起板1031的数量.使用者用力将所述凸起板103的所述限位凸起104卡入相匹配的所述插孔即可，需要更换是将所述限位凸起104拔出所述插孔即可。
20.需要说明的是，图1中只是示意性地画出了7个所述凸起板103，实际可以根据所述盒体101的大小设置更多的所述凸起板103。
21.显然，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例
对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。


技术特征：
1.一种用于储存待清洁半导体硅片的储存盒，其特征在于，包括：盒体，包括相互连接的侧壁；所述盒体内部固定有可拆卸的凸起板；所述凸起板上设置有限位凸起，所述侧壁上有和所述限位凸起相匹配的插孔；所述盒体第一内侧壁固定有若干可拆卸的第一凸起板，与所述第一内侧壁相对应的第二内侧壁固定有若干可拆卸的所述第一凸起板和第二凸起板；所述第一凸起板的高度高于所述第二凸起板的高度。2.根据权利要求1所述的储存盒，其特征在于，所述盒体为透明亚克力材质。3.根据权利要求1所述的储存盒，其特征在于，所述第二内侧壁上，所述第二凸起板的数量大于所述第一凸起板的数量。

技术总结
本实用新型提供了一种用于储存待清洁半导体硅片的储存盒，包括：盒体，包括相互连接的侧壁；所述盒体内部固定有可拆卸的凸起板；所述凸起板上设置有限位凸起，所述侧壁上有和所述限位凸起相匹配的插孔；所述盒体第一内侧壁固定有若干可拆卸的第一凸起板，与所述第一内侧壁相对应的第二内侧壁固定有若干可拆卸的所述第一凸起板和第二凸起板；所述第一凸起板的高度高于所述第二凸起板的高度。该储存盒可以存放相同规格的硅片，也可以区分不同规格的硅片，十分方便。十分方便。十分方便。


技术研发人员：陈自力
受保护的技术使用者：厦门矽晶科技有限公司
技术研发日：2023.04.11
技术公布日：2023/9/16