一种多角度可调防晃升降台保护装置的制作方法

1.本发明属于光刻胶涂布领域，特别涉及一种多角度可调防晃升降台保护装置。


背景技术：

2.现有技术中， 光阻涂布机台是用来对集成电路、半导体涂布光刻胶的设备，光刻胶存储在购买到的光刻胶瓶内，光阻涂布机台通过带有负压的吸管将光刻胶瓶内的胶体吸到集成电路、半导体上进行涂布。
3.当光刻胶在瓶内剩余量比较低时，吸管无法将光刻胶吸出，只能使用物品垫瓶底让瓶子倾斜，垫的高低不同，无法确保一定的倾斜角度，不能进行最大化使用，导致成本浪费；存在缺陷或问题：人员操作很容易碰到瓶子，导致瓶子位置不正且光阻瓶为玻璃材质容易损坏；每瓶光刻胶的价格在六千元以上，光刻胶价格昂贵，瓶子内光阻无法最大化使用，导致浪费成本。存在这些问题和缺陷的原因为：1.瓶子无法正确固定，人员容易碰到，导致产品涂布发生涂胶不均异常；2.瓶子内光阻无法最大化使用，吸管为pfa材质较硬，无法弯曲，导致无法将瓶底光阻吸出，进行最大化利用。


技术实现要素：

4.本发明的目的是提供一种多角度可调防晃升降台保护装置，能够改善且固定光刻胶瓶位置，调节光刻胶瓶的倾斜角度时瓶子不会晃动，可以确保光阻瓶安全，确保光刻胶不受影响；并且最大化充分使用光阻，减少成本损失。
5.本发明的目的是这样实现的：一种多角度可调防晃升降台保护装置，包括安装底架，所述安装底架上可转动地连接有摆动支撑板，安装底架上对应摆动支撑板设置有角度调节机构，所述摆动支撑板上设置有至少两个支座，每个支座上均固定安装有盛放筒，所述盛放筒内底部设置有软垫，光刻胶瓶立式放置在盛放筒内，盛放筒内壁对应光刻胶瓶下端的外周设有若干沿周向间隔分布的定位筋板，所述光刻胶瓶下端支撑在软垫上，定位筋板匹配贴靠光刻胶瓶的瓶侧面下部和瓶底的侧弧形面，所述盛放筒内壁对应光刻胶瓶外周设置有若干组沿周向均布的侧定位机构，与盛放筒相匹配设有筒盖，所述筒盖与盛放筒之间设有密封组件和压紧固定机构，筒盖下端对应光刻胶瓶设有若干组上定位机构，所述筒盖上设有用于检测盛放筒内气压的压力表，所述盛放筒侧面设置有与盛放筒内部相连的侧接头，与侧接头相连通有气管路组件，所述筒盖上对应盛放筒内部设有泄压阀，筒盖中部设有中心接头，中心接头的上下两端分别连接有上胶管和下胶管，下胶管伸入光刻胶瓶内，上胶管位于筒盖上方。
6.本发明的光刻胶瓶放置在盛放筒内，通过定位筋板、侧定位机构和上定位机构将其固定，调整光刻胶瓶的倾斜角度时不会晃动，可以将瓶内剩余的光刻胶倾斜集聚起来，便于将瓶内胶体充分使用；通过向筒内充入氮气，将光刻胶依次压入到下胶管、中心接头和上胶管，机台通过上胶管可以实现涂布光阻。本装置的具体操作步骤为：1、将光刻胶瓶放入盛放筒内；2、将摆动支撑板调整到固定倾斜角度，以调整光刻胶瓶角度；3、盖上筒盖锁紧；4、
向筒内充入氮气，压出光刻胶；5、当瓶内胶体余量不多时，上胶管会排出气泡，人员调节摆动支撑板以增大光刻胶瓶的倾斜角度，进一步倾斜瓶内胶体将剩余胶体充分集聚起来进行压出使用；6、当光刻胶瓶调至最大倾斜角度后，仍然有气泡从上胶管排出，提示需要人员更换新的光刻胶瓶或者向瓶内添加胶体。
7.与现有技术相比，本发明的有益效果在于：光阻瓶通过多角度可调防晃升降台进行倾斜角度调节；光阻瓶放置在固定且密封筒内，防止光阻晃动产生气泡；盛放筒为密封状况，可充气将光阻通过气压压出，达到最大利用率；减少产品涂布光阻作业中出现的异常；操作降低光阻瓶侧翻撞击及位置跑偏风险；确保机台稳定及产品品质。
8.作为本发明的进一步改进，所述安装底架包括四根围成矩形的竖直支柱，支柱下端设有下支脚，任意左右、前后相邻的两支柱之间均设有加强杆，后侧的两根支柱上均设有铰接座，摆动支撑板后部的左右两侧分别与两铰接座相铰接。提高安装底架的结构强度。
9.为了方便调整摆动支撑板的倾斜角度，所述角度调节机构包括两块分别固定安装在左右两侧的加强杆上的固定板，固定板的前部与前侧立柱相固定，固定板上开设有弧形贯穿槽，摆动支撑板的左右两侧均设有横向杆，横向杆穿过贯穿槽并伸到固定板的另一侧，横向杆上固定有v形安装板，v形安装板与固定板相间隔，v形安装板的两端均贯穿开设有固定孔一，固定板上位于贯穿槽的前后两侧均开设有两组沿弧形排列分布的固定孔二，两组固定孔二对应v形安装板的两固定孔一设置，紧固件依次穿过对应固定孔一、固定孔二设置，所述紧固件为螺栓螺母或销。将紧固件拔出后，可以调节摆动支撑板的角度，再将紧固件插入固定孔一、固定孔二，可将摆动支撑板固定。
10.为了保护光刻胶瓶，所述盛放筒为圆柱体，盛放筒轴线与摆动支撑板相垂直，摆动支撑板上对应各盛放筒围绕设置有外保护围栏。
11.为了将光刻胶瓶定位平稳牢固，所述光刻胶瓶的底部呈弧形，光刻胶瓶的上端设置有向上凸起的瓶嘴，瓶嘴上设有开口，光刻胶瓶上部位于瓶嘴的外围设置为弧形，所述定位筋板沿周向均布设置有三块，定位筋板外侧与盛放筒内壁相固定，定位筋板底部支撑在软垫上，定位筋板与光刻胶瓶相接触的内侧设置有减磨垫，减磨垫和软垫的材质均为橡胶发泡或pvc发泡，光刻胶瓶与盛放筒的轴线相重合。
12.为了定位光刻胶瓶侧面，所述侧定位机构设置有三组，侧定位机构与相邻的定位筋板沿周向间隔60
°
设置，所述侧定位机构对应光刻胶瓶外周的中部设置，侧定位机构包括两个基座，基座上固定有导杆，两个导杆上滑动连接有可沿盛放筒径向移动的压紧支架，压紧支架包括活动板，活动板的左右两侧均垂直设有联接板，两个联接板前部之间设有压板，压板前侧与光刻胶瓶外周相匹配设置为弧形，压板与光刻胶瓶之间设有减磨垫；所述活动板上开设有两个可容导杆穿过的滑动通孔，导杆穿过滑动通孔的一端设有限位挡板，每个基座与活动板之间均设有套设在相应导杆外围的弹簧，基座和活动板上分别对应弹簧的前后两端开设有安装槽，弹簧两端分别嵌入对应安装槽内。
13.为了定位光刻胶瓶上部弧形面，所述上定位机构设置有三组，三组上定位机构围绕光刻胶瓶的周向均布设置，上定位机构与侧定位机构的结构相同，上定位机构的基座安装在筒盖下端，上定位机构的压紧支架的外侧压板长度大于内侧压板长度，上定位机构的压紧支架的压板下侧与光刻胶瓶上部弧形面相匹配设置， 各上定位机构的周向位置与各定位筋板或者各侧定位机构相同。上定位机构的导杆设置为一根或两根。
14.为了保证筒盖与盛放筒之间的密封性并将两者锁紧，所述筒盖呈圆形，筒盖的面积大于盛放筒的面积，筒盖与盛放筒的轴线相重合设置，所述密封组件包括同轴设置在筒盖下端的定位环，所述盛放筒上端对应定位环开设有定位槽，定位环配合卡入定位槽内，定位环的高度小于定位槽的槽深，筒盖与盛放筒之间设置有至少两道密封圈，至少一道密封圈的外径小于定位环的内径，至少一道密封圈的内径大于定位环的外径，密封圈与盛放筒同轴设置；所述压紧固定机构沿盛放筒外周均布设置有3-5组，所述压紧固定机构包括固定在盛放筒外侧的固定座，固定座上转动连接有摆动块，摆动块上安装有锁紧螺杆，所述筒盖边缘对应每个锁紧螺杆均开设有一缺口，筒盖锁紧在盛放筒上时，锁紧螺杆竖直向上穿过缺口，锁紧螺杆的伸出端套设有压紧筒盖的螺母，螺母上安装有把手。通过摆动块向上旋转锁紧螺杆使得锁紧螺杆进入对应缺口，拧紧螺母压紧筒盖进行锁紧。
15.作为本发明的进一步改进， 所述气管路组件包括安装在筒盖上端的控制阀，控制阀的进口和出口分别连接有进气管和出气管，进气管与氮气源相连，出气管端部与侧接头相连，控制阀上设有控制开关；向盛放筒内部充入氮气时，压力表检测到的盛放筒内氮气压为0.05-0.07mpa。当盛放筒内部未充入氮气时，压力表的读数为零，当盛放筒内氮气压超过0.07mpa时，泄压阀打开开始排气；通过旋转控制开关，来调整控制阀的通断。
16.为了便于将下胶管插入光刻胶瓶内的胶体集聚区与胶体充分接触，所述上胶管和下胶管均为软管。
附图说明
17.图1为本发明的侧视图。
18.图2为图1的局部放大图。
19.图3为摆动支撑板和两固定板的主视图。
20.图4为本发明的主视图。
21.图5为盛放筒的剖视图。
22.图6为图5中a处的放大图。
23.图7为盛放筒的结构示意图。
24.图8为盛放筒的俯视图。
25.图9为图8中b处的放大图。
26.图10为筒盖的俯视图。
27.图11为筒盖缺口处的放大图。
28.其中，1安装底架，1a支柱，1b支脚，1c加强杆，2摆动支撑板，3支座，4盛放筒，5软垫，6光刻胶瓶，601瓶嘴，7定位筋板，8筒盖，9压力表，10侧接头，11泄压阀，12中心接头，12a上胶管，12b下胶管， 13铰接座，14固定板，14a贯穿槽，14b固定孔二，15横向杆，16安装板，16a固定孔一，17外保护围栏，18减磨垫，19基座，20导杆，21压紧支架，21a活动板，21b联接板，21c压板，22滑动通孔，23限位挡板，24弹簧，25安装槽，26定位环，27密封圈，28固定座，29摆动块，30锁紧螺杆，31缺口，32螺母，32a把手，33控制阀，33a控制开关，34进气管，35出气管，36紧固件。
实施方式
29.如图1-11所示，为一种多角度可调防晃升降台保护装置，包括安装底架1，安装底架1上可转动地连接有摆动支撑板2，安装底架1上对应摆动支撑板2设置有角度调节机构，摆动支撑板2上设置有至少两个支座3，每个支座3上均固定安装有盛放筒4，盛放筒4内底部设置有软垫5，光刻胶瓶6立式放置在盛放筒4内，盛放筒4内壁对应光刻胶瓶6下端的外周设有若干沿周向间隔分布的定位筋板7，光刻胶瓶6下端支撑在软垫5上，定位筋板7匹配贴靠光刻胶瓶6的瓶侧面下部和瓶底的侧弧形面，盛放筒4内壁对应光刻胶瓶6外周设置有若干组沿周向均布的侧定位机构，与盛放筒4相匹配设有筒盖8，筒盖8与盛放筒4之间设有密封组件和压紧固定机构，筒盖8下端对应光刻胶瓶6设有若干组上定位机构，筒盖8上设有用于检测盛放筒4内气压的压力表9，盛放筒4侧面设置有与盛放筒4内部相连的侧接头10，与侧接头10相连通有气管路组件，筒盖8上对应盛放筒4内部设有泄压阀11，筒盖8中部设有中心接头12，中心接头12的上下两端分别连接有上胶管12a和下胶管12b，下胶管12b伸入光刻胶瓶6内，上胶管12a位于筒盖8上方。为了便于将下胶管12b插入光刻胶瓶6内的胶体集聚区与胶体充分接触，上胶管12a和下胶管12b均为软管。
30.安装底架1包括四根围成矩形的竖直支柱1a，支柱1a下端设有下支脚1b，任意左右、前后相邻的两支柱1a之间均设有加强杆1c，后侧的两根支柱1a上均设有铰接座13，摆动支撑板2后部的左右两侧分别与两铰接座13相铰接。提高安装底架1的结构强度。为了方便调整摆动支撑板2的倾斜角度，所述角度调节机构包括两块分别固定安装在左右两侧的加强杆1c上的固定板14，固定板14的前部与前侧立柱相固定，固定板14上开设有弧形贯穿槽14a，摆动支撑板2的左右两侧均设有横向杆15，横向杆15穿过贯穿槽14a并伸到固定板14的另一侧，横向杆15上固定有v形安装板16，v形安装板16与固定板14相间隔，v形安装板16的两端均贯穿开设有固定孔一16a，固定板14上位于贯穿槽14a的前后两侧均开设有两组沿弧形排列分布的固定孔二14b，两组固定孔二14b对应v形安装板16的两固定孔一16a设置，紧固件36依次穿过对应固定孔一16a、固定孔二14b设置，紧固件36为螺栓螺母32或销。将紧固件36拔出后，可以调节摆动支撑板2的角度，再将紧固件36插入固定孔一16a、固定孔二14b，可将摆动支撑板2固定。
31.为了保护光刻胶瓶6，盛放筒4为圆柱体，盛放筒4轴线与摆动支撑板2相垂直，摆动支撑板2上对应各盛放筒4围绕设置有外保护围栏17。为了将光刻胶瓶6定位平稳牢固，光刻胶瓶6的底部呈弧形，光刻胶瓶6的上端设置有向上凸起的瓶嘴601，瓶嘴601上设有开口，光刻胶瓶6上部位于瓶嘴601的外围设置为弧形，定位筋板7沿周向均布设置有三块，定位筋板7外侧与盛放筒4内壁相固定，定位筋板7底部支撑在软垫5上，定位筋板7与光刻胶瓶6相接触的内侧设置有减磨垫18，减磨垫18和软垫5的材质均为橡胶发泡或pvc发泡，光刻胶瓶6与盛放筒4的轴线相重合。
32.为了定位光刻胶瓶6侧面，所述侧定位机构设置有三组，侧定位机构与相邻的定位筋板7沿周向间隔60
°
设置，所述侧定位机构对应光刻胶瓶6外周的中部设置，侧定位机构包括两个基座19，基座19上固定有导杆20，两个导杆20上滑动连接有可沿盛放筒4径向移动的压紧支架21，压紧支架21包括活动板21a，活动板21a的左右两侧均垂直设有联接板21b，两个联接板21b前部之间设有压板21c，压板21c前侧与光刻胶瓶6外周相匹配设置为弧形，压板21c与光刻胶瓶6之间设有减磨垫18；活动板21a上开设有两个可容导杆20穿过的滑动通
孔22，导杆20穿过滑动通孔22的一端设有限位挡板23，每个基座19与活动板21a之间均设有套设在相应导杆20外围的弹簧24，基座19和活动板21a上分别对应弹簧24的前后两端开设有安装槽25，弹簧24两端分别嵌入对应安装槽25内。为了定位光刻胶瓶6上部弧形面，所述上定位机构设置有三组，三组上定位机构围绕光刻胶瓶6的周向均布设置，上定位机构与侧定位机构的结构相同，上定位机构的基座19安装在筒盖8下端，上定位机构的压紧支架21的外侧压板21c长度大于内侧压板21c长度，上定位机构的压紧支架21的压板21c下侧与光刻胶瓶6上部弧形面相匹配设置， 各上定位机构的周向位置与各定位筋板7或者各侧定位机构相同。上定位机构的导杆20设置为一根或两根。
33.为了保证筒盖8与盛放筒4之间的密封性并将两者锁紧，筒盖8呈圆形，筒盖8的面积大于盛放筒4的面积，筒盖8与盛放筒4的轴线相重合设置，所述密封组件包括同轴设置在筒盖8下端的定位环26，盛放筒4上端对应定位环26开设有定位槽，定位环26配合卡入定位槽内，定位环26的高度小于定位槽的槽深，筒盖8与盛放筒4之间设置有至少两道密封圈27，至少一道密封圈27的外径小于定位环26的内径，至少一道密封圈27的内径大于定位环26的外径，密封圈27与盛放筒4同轴设置；所述压紧固定机构沿盛放筒4外周均布设置有3-5组，所述压紧固定机构包括固定在盛放筒4外侧的固定座28，固定座28上转动连接有摆动块29，摆动块29上安装有锁紧螺杆30，筒盖8边缘对应每个锁紧螺杆30均开设有一缺口31，筒盖8锁紧在盛放筒4上时，锁紧螺杆30竖直向上穿过缺口31，锁紧螺杆30的伸出端套设有压紧筒盖8的螺母32，螺母32上安装有把手32a。通过摆动块29向上旋转锁紧螺杆30使得锁紧螺杆30进入对应缺口31，拧紧螺母32压紧筒盖8进行锁紧。所述气管路组件包括安装在筒盖8上端的控制阀33，控制阀33的进口和出口分别连接有进气管34和出气管35，进气管34与氮气源相连，出气管35端部与侧接头10相连，控制阀33上设有控制开关33a；向盛放筒4内部充入氮气时，压力表9检测到的盛放筒4内氮气压为0.05-0.07mpa。当盛放筒4内部未充入氮气时，压力表9的读数为零，当盛放筒4内氮气压超过0.07mpa时，泄压阀11打开开始排气；通过旋转控制开关33a，来调整控制阀33的通断。
34.本发明的光刻胶瓶6放置在盛放筒4内，通过定位筋板7、侧定位机构和上定位机构将其固定，调整光刻胶瓶6的倾斜角度时不会晃动，可以将瓶内剩余的光刻胶倾斜集聚起来，便于将瓶内胶体充分使用；通过向筒内充入氮气，将光刻胶依次压入到下胶管12b、中心接头12和上胶管12a，机台通过上胶管12a可以实现涂布光阻。本装置的具体操作步骤为：1、将光刻胶瓶6放入盛放筒4内；2、将摆动支撑板2调整到固定倾斜角度，以调整光刻胶瓶6角度；3、盖上筒盖8锁紧；4、向筒内充入氮气，压出光刻胶；5、当瓶内胶体余量不多时，上胶管12a会排出气泡，人员调节摆动支撑板2以增大光刻胶瓶6的倾斜角度，进一步倾斜瓶内胶体将剩余胶体充分集聚起来进行压出使用；6、当光刻胶瓶6调至最大倾斜角度后，仍然有气泡从上胶管12a排出，提示需要人员更换新的光刻胶瓶6或者向瓶内添加胶体。本发明的光阻瓶通过多角度可调防晃升降台进行倾斜角度调节；光阻瓶放置在固定且密封筒内，防止光阻晃动产生气泡；盛放筒4为密封状况，可充气将光阻通过气压压出，达到最大利用率；减少产品涂布光阻作业中出现的异常；操作降低光阻瓶侧翻撞击及位置跑偏风险；确保机台稳定及产品品质。
35.本发明并不局限于上述实施例，在本发明公开的技术方案的基础上，本领域的技术人员根据所公开的技术内容，不需要创造性的劳动就可以对其中的一些技术特征作出一
些替换和变形，这些替换和变形均在本发明的保护范围内。

技术特征：
1.一种多角度可调防晃升降台保护装置，其特征在于，包括安装底架，所述安装底架上可转动地连接有摆动支撑板，安装底架上对应摆动支撑板设置有角度调节机构，所述摆动支撑板上设置有至少两个支座，每个支座上均固定安装有盛放筒，所述盛放筒内底部设置有软垫，光刻胶瓶立式放置在盛放筒内，盛放筒内壁对应光刻胶瓶下端的外周设有若干沿周向间隔分布的定位筋板，所述光刻胶瓶下端支撑在软垫上，定位筋板匹配贴靠光刻胶瓶的瓶侧面下部和瓶底的侧弧形面，所述盛放筒内壁对应光刻胶瓶外周设置有若干组沿周向均布的侧定位机构，与盛放筒相匹配设有筒盖，所述筒盖与盛放筒之间设有密封组件和压紧固定机构，筒盖下端对应光刻胶瓶设有若干组上定位机构，所述筒盖上设有用于检测盛放筒内气压的压力表，所述盛放筒侧面设置有与盛放筒内部相连的侧接头，与侧接头相连通有气管路组件，所述筒盖上对应盛放筒内部设有泄压阀，筒盖中部设有中心接头，中心接头的上下两端分别连接有上胶管和下胶管，下胶管伸入光刻胶瓶内，上胶管位于筒盖上方。2.根据权利要求1所述的一种多角度可调防晃升降台保护装置，其特征在于，所述安装底架包括四根围成矩形的竖直支柱，支柱下端设有下支脚，任意左右、前后相邻的两支柱之间均设有加强杆，后侧的两根支柱上均设有铰接座，摆动支撑板后部的左右两侧分别与两铰接座相铰接。3.根据权利要求2所述的一种多角度可调防晃升降台保护装置，其特征在于，所述角度调节机构包括两块分别固定安装在左右两侧的加强杆上的固定板，固定板的前部与前侧立柱相固定，固定板上开设有弧形贯穿槽，摆动支撑板的左右两侧均设有横向杆，横向杆穿过贯穿槽并伸到固定板的另一侧，横向杆上固定有v形安装板，v形安装板与固定板相间隔，v形安装板的两端均贯穿开设有固定孔一，固定板上位于贯穿槽的前后两侧均开设有两组沿弧形排列分布的固定孔二，两组固定孔二对应v形安装板的两固定孔一设置，紧固件依次穿过对应固定孔一、固定孔二设置，所述紧固件为螺栓螺母或销。4.根据权利要求1-3任一项所述的一种多角度可调防晃升降台保护装置，其特征在于，所述盛放筒为圆柱体，盛放筒轴线与摆动支撑板相垂直，摆动支撑板上对应各盛放筒围绕设置有外保护围栏。5.根据权利要求1-3任一项所述的一种多角度可调防晃升降台保护装置，其特征在于，所述光刻胶瓶的底部呈弧形，光刻胶瓶的上端设置有向上凸起的瓶嘴，瓶嘴上设有开口，光刻胶瓶上部位于瓶嘴的外围设置为弧形，所述定位筋板沿周向均布设置有三块，定位筋板外侧与盛放筒内壁相固定，定位筋板底部支撑在软垫上，定位筋板与光刻胶瓶相接触的内侧设置有减磨垫，减磨垫和软垫的材质均为橡胶发泡或pvc发泡，光刻胶瓶与盛放筒的轴线相重合。6.根据权利要求5所述的一种多角度可调防晃升降台保护装置，其特征在于，所述侧定位机构设置有三组，侧定位机构与相邻的定位筋板沿周向间隔60
°
设置，所述侧定位机构对应光刻胶瓶外周的中部设置，侧定位机构包括两个基座，基座上固定有导杆，两个导杆上滑动连接有可沿盛放筒径向移动的压紧支架，压紧支架包括活动板，活动板的左右两侧均垂直设有联接板，两个联接板前部之间设有压板，压板前侧与光刻胶瓶外周相匹配设置为弧形，压板与光刻胶瓶之间设有减磨垫；所述活动板上开设有两个可容导杆穿过的滑动通孔，导杆穿过滑动通孔的一端设有限位挡板，每个基座与活动板之间均设有套设在相应导杆外围的弹簧，基座和活动板上分别对应弹簧的前后两端开设有安装槽，弹簧两端分别嵌入对
应安装槽内。7.根据权利要求6所述的一种多角度可调防晃升降台保护装置，其特征在于，所述上定位机构设置有三组，三组上定位机构围绕光刻胶瓶的周向均布设置，上定位机构与侧定位机构的结构相同，上定位机构的基座安装在筒盖下端，上定位机构的压紧支架的外侧压板长度大于内侧压板长度，上定位机构的压紧支架的压板下侧与光刻胶瓶上部弧形面相匹配设置， 各上定位机构的周向位置与各定位筋板或者各侧定位机构相同。8.根据权利要求1-3任一项所述的一种多角度可调防晃升降台保护装置，其特征在于，所述筒盖呈圆形，筒盖的面积大于盛放筒的面积，筒盖与盛放筒的轴线相重合设置，所述密封组件包括同轴设置在筒盖下端的定位环，所述盛放筒上端对应定位环开设有定位槽，定位环配合卡入定位槽内，定位环的高度小于定位槽的槽深，筒盖与盛放筒之间设置有至少两道密封圈，至少一道密封圈的外径小于定位环的内径，至少一道密封圈的内径大于定位环的外径，密封圈与盛放筒同轴设置；所述压紧固定机构沿盛放筒外周均布设置有3-5组，所述压紧固定机构包括固定在盛放筒外侧的固定座，固定座上转动连接有摆动块，摆动块上安装有锁紧螺杆，所述筒盖边缘对应每个锁紧螺杆均开设有一缺口，筒盖锁紧在盛放筒上时，锁紧螺杆竖直向上穿过缺口，锁紧螺杆的伸出端套设有压紧筒盖的螺母，螺母上安装有把手。9.根据权利要求1-3任一项所述的一种多角度可调防晃升降台保护装置，其特征在于，所述气管路组件包括安装在筒盖上端的控制阀，控制阀的进口和出口分别连接有进气管和出气管，进气管与氮气源相连，出气管端部与侧接头相连，控制阀上设有控制开关；向盛放筒内部充入氮气时，压力表检测到的盛放筒内氮气压为0.05-0.07mpa。10.根据权利要求1-3任一项所述的一种多角度可调防晃升降台保护装置，其特征在于，所述上胶管和下胶管均为软管。

技术总结
本发明公开了光刻胶涂布领域内的一种多角度可调防晃升降台保护装置，包括安装底架，安装底架上可转动地连接有摆动支撑板，每个支座上均固定安装有盛放筒，所述盛放筒内底部设置有软垫，光刻胶瓶立式放置在盛放筒内，定位筋板匹配贴靠光刻胶瓶的瓶侧面下部和瓶底的侧弧形面，与盛放筒相匹配设有筒盖，所述筒盖与盛放筒之间设有密封组件和压紧固定机构，筒盖下端对应光刻胶瓶设有若干组上定位机构，盛放筒侧面设置有与盛放筒内部相连的侧接头，与侧接头相连通有气管路组件，所述筒盖上对应盛放筒内部设有泄压阀，筒盖中部设有中心接头，中心接头的上下两端分别连接有上胶管和下胶管。本发明固定光刻胶瓶位置，充分使用光阻，减少成本。少成本。少成本。


技术研发人员：张鹏
受保护的技术使用者：江苏汇成光电有限公司
技术研发日：2023.06.30
技术公布日：2023/9/14