一种晶圆裂片检验机的制作方法

1.本实用新型涉及检验机技术领域，具体涉及一种晶圆裂片检验机。


背景技术：

2.晶圆是由硅晶棒经过研磨、抛光和切片之后形成的硅晶原片，硅晶棒是将硅晶体晶种掺入溶解的高纯度多晶硅后拉出形成的圆柱形单晶硅，晶圆往往用来制作硅半导体集成电路，晶圆在应用于集成电路前需要以下几个步骤：贴膜、裂片、分离和取膜，贴膜是在一个框架上贴上一层用于粘附晶圆的膜，晶圆粘附在膜上后方便进行裂片，裂片完成之后，为保证每个裂片都符合标准，需要对每一个裂片进行检验，因此会使用到晶圆裂片检验机。
3.但是目前的晶圆裂片检验机在对裂片检验完成之后，检验人员将合格与不合格的裂片分别挑出来放置在检验机的平台上，待全部的裂片检验完成之后，将合格的裂片进行封装，将不合格的裂片进行回收处理，由于检验机的平台空间有限，检验人员将合格的裂片和不合格的裂片都放置在平台上若有人碰到或检验人员自己不小心碰到，很容易使两者出现部分混合，当出现部分混合后还需要检验人员细心的挑选，浪费大量的时间，降低检验效率。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本实用新型提供一种晶圆裂片检验机，不仅能避免合格的裂片和不合格的裂片出现部分混合，而且能够直接对不合格的裂片进行回收处理，节约了检验人员再次将不合格的裂片进行回收处理的时间。
5.为解决上述技术问题，本实用新型提供一种晶圆裂片检验机，包括机架，所述机架的一侧设置有用于对合格的晶圆裂片进行存放的存放机构，所述机架的另一侧设置有用于对不合格的晶圆裂片进行回收的回收机构。
6.优选地，所述存放机构包括铰接在机架上的存放板，所述存放板的侧面上间隔均布开设有若干个用于短暂存放合格晶圆裂片的存放槽，所述存放槽上设置有槽盖，所述机架的侧面上位于存放板的下方铰接有支撑杆，所述支撑杆的一端设置有挂钩，所述存放板的侧面上设置有用于与挂钩配合使用的挂环，当所述挂钩挂扣在挂环上以对存放板进行支撑。
7.优选地，所述存放槽的数量为十个，十个存放槽间隔均布在存放板的侧面上。
8.优选地，所述槽盖上设置有便于将槽盖打开的提手。
9.优选地，所述机架上位于支撑杆的侧面上开设有用于收纳支撑杆的收纳槽，所述支撑杆设置在收纳槽内。
10.优选地，所述回收机构包括铰接在机架上的安装板，所述安装板的侧面上间隔均布开设有若干个贯穿板厚的安装孔，所述安装孔内安装有用于储纳不合格的晶圆裂片的回收桶，所述安装板的侧面上开设有放置槽，所述放置槽内铰接有用于支撑安装板的伸缩杆。
11.优选地，所述回收桶包括桶体，所述桶体的底部上设置有圆形连接台，所述圆形连
接台的外周面上开设有贯穿圆形连接台的穿孔，所述桶体的顶部上设置有用于将桶体安装在安装孔内的圆形挡边，所述圆形挡边的内周面上开设有用于与穿孔适配的螺纹孔，所述圆形挡边的外周面上开设有圆孔，所述圆孔内插接有圆杆，所述圆杆的一端设置有用于与螺纹孔适配的螺纹。
12.本实用新型的上述技术方案的有益效果如下：当检验人员使用检验机对晶圆裂片进行检验时，检验人员可以通过支撑杆对存放板进行固定，用来放置合格的晶圆裂片，通过伸缩杆将安装板撑起，并将回收桶放置在安装孔内，用来回收不合格的晶圆裂片，这样就将合格的裂片和不合格的裂片完全的分开了，不会出现部分混合的情况，并且检验人员将不合格的裂片放置在回收桶内后可以直接进行回收处理，节约了检验人员再次将不合格的裂片进行回收处理的时间。
附图说明
13.图1为本实用新型晶圆裂片检验机的具体实施例的主视图；
14.图2为本实用新型中存放板的具体实施例的俯视图；
15.图3为本实用新型中两个回收桶的组装结构示意图；
16.图4为本实用新型图3中a处放大结构示意图。
17.图中：1、机架；2、存放板；3、槽盖；4、支撑杆；5、提手；6、安装板；7、回收桶；701、桶体；702、圆形连接台；703、圆形挡边；704、穿孔；705、圆杆；8、伸缩杆。
具体实施方式
18.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例的附图1-4，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
19.如图1-4所示：所述晶圆裂片检验机，包括机架1，机架1的一侧设置有用于对合格的晶圆裂片进行存放的存放机构，机架1的另一侧设置有用于对不合格的晶圆裂片进行回收的回收机构。
20.本实施例中，存放机构包括铰接在机架1上的存放板2，存放板2的侧面上间隔均布开设有若干个用于短暂存放合格晶圆裂片的存放槽，存放槽上设置有槽盖3，机架1的侧面上位于存放板2的下方铰接有支撑杆4，支撑杆4的一端设置有挂钩，存放板2的侧面上设置有用于与挂钩配合使用的挂环，当挂钩挂扣在挂环上以对存放板2进行支撑，当需要使用存放板2存放合格的晶圆裂片时，检验人员将存放板2抬起，然后把支撑杆4从收纳槽内取出，并使支撑杆一端的挂钩挂扣在存放板2侧面上的挂环上，这样就可以对存放板进行固定，然后检验人员可以把合格的晶圆裂片放置在存放槽内，槽盖3可以避免外物接触到合格晶圆裂片，对其起到一定的防护作用，当支撑杆4位于收纳槽内时，支撑杆4的侧面与机架1的侧面处于统一水平线上，这样不影响存放板2靠在机架1的侧面上。
21.本实施例中，存放槽的数量为十个，十个存放槽间隔均布在存放板2的侧面上，将合格的晶圆裂片分别放置在存放槽内便于后续的封装。
22.本实施例中，槽盖3上设置有便于将槽盖3打开的提手5，提手方便检验人员将槽盖
3打开。
23.本实施例中，机架1上位于支撑杆4的侧面上开设有用于收纳支撑杆4的收纳槽，支撑杆4设置在收纳槽内。
24.本实施例中，回收机构包括铰接在机架1上的安装板6，安装板6的侧面上间隔均布开设有若干个贯穿板厚的安装孔，安装孔内安装有用于储纳不合格的晶圆裂片的回收桶7，安装板6的侧面上开设有放置槽，放置槽内铰接有用于支撑安装板6的伸缩杆8，伸缩杆8包括用于与放置槽铰接的第一连接杆，第一连接杆的一端套接有第二连接杆，第二连接杆的一端套接有第三连接杆，第三连接杆的一端上设置有支脚，支脚通过螺钉固定在地面上，另外，第一连接杆和第二连接杆的端部上分别设置有限位孔，第二连接杆和第三连接杆的端部上分别设置有可从限位孔内弹出的限位凸点，以此限定第一连接杆、第二连接杆和第三连接杆的位置。
25.本实施例中，回收桶7包括桶体701，桶体701穿过安装孔，使圆形连接台702位于安装板6的下方，圆形挡边703搭设在安装孔上避免回收桶7从安装孔内掉落，桶体701的底部上设置有圆形连接台702，圆形连接台702的外周面上开设有贯穿圆形连接台702的穿孔704，桶体701的顶部上设置有用于将桶体701安装在安装孔内的圆形挡边703，圆形挡边703的内周面上开设有用于与穿孔704适配的螺纹孔，圆形挡边703的外周面上开设有圆孔，圆孔内插接有圆杆705，圆杆705的一端设置有用于与螺纹孔适配的螺纹，当其中一个回收桶7中的圆形连接台702插接在另外一个回收桶7的桶体701内时，使穿孔704、圆孔和螺纹孔对齐，然后将圆杆705插入至圆孔内，并穿过穿孔与螺纹孔螺纹连接，以此对两个回收桶7进行连接，这样不仅便于输送，而且也不用过多的桶盖对回收桶7进行封闭。
26.本实用新型的工作原理：当检验人员使用检验机对晶圆裂片进行检验时，检验人员可以通过支撑杆4对存放板2进行固定，用来放置合格的晶圆裂片，通过伸缩杆8将安装板6撑起，并将回收桶7放置在安装孔内，用来回收不合格的晶圆裂片，这样就将合格的裂片和不合格的裂片完全的分开了，不会出现部分混合的情况，并且检验人员将不合格的裂片放置在回收桶7内后可以直接进行回收处理，节约了检验人员再次将不合格的裂片进行回收处理的时间。
27.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
28.以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

技术特征：
1.一种晶圆裂片检验机，包括机架，其特征在于：所述机架的一侧设置有用于对合格的晶圆裂片进行存放的存放机构，所述机架的另一侧设置有用于对不合格的晶圆裂片进行回收的回收机构。2.如权利要求1所述的晶圆裂片检验机，其特征在于：所述存放机构包括铰接在机架上的存放板，所述存放板的侧面上间隔均布开设有若干个用于短暂存放合格晶圆裂片的存放槽，所述存放槽上设置有槽盖，所述机架的侧面上位于存放板的下方铰接有支撑杆，所述支撑杆的一端设置有挂钩，所述存放板的侧面上设置有用于与挂钩配合使用的挂环，当所述挂钩挂扣在挂环上以对存放板进行支撑。3.如权利要求2所述的晶圆裂片检验机，其特征在于：所述存放槽的数量为十个，十个存放槽间隔均布在存放板的侧面上。4.如权利要求3所述的晶圆裂片检验机，其特征在于：所述槽盖上设置有便于将槽盖打开的提手。5.如权利要求2-4任一项所述的晶圆裂片检验机，其特征在于：所述机架上位于支撑杆的侧面上开设有用于收纳支撑杆的收纳槽，所述支撑杆设置在收纳槽内。6.如权利要求5所述的晶圆裂片检验机，其特征在于：所述回收机构包括铰接在机架上的安装板，所述安装板的侧面上间隔均布开设有若干个贯穿板厚的安装孔，所述安装孔内安装有用于储纳不合格的晶圆裂片的回收桶，所述安装板的侧面上开设有放置槽，所述放置槽内铰接有用于支撑安装板的伸缩杆。7.如权利要求6所述的晶圆裂片检验机，其特征在于：所述回收桶包括桶体，所述桶体的底部上设置有圆形连接台，所述圆形连接台的外周面上开设有贯穿圆形连接台的穿孔，所述桶体的顶部上设置有用于将桶体安装在安装孔内的圆形挡边，所述圆形挡边的内周面上开设有用于与穿孔适配的螺纹孔，所述圆形挡边的外周面上开设有圆孔，所述圆孔内插接有圆杆，所述圆杆的一端设置有用于与螺纹孔适配的螺纹。

技术总结
本实用新型提供一种晶圆裂片检验机，属于检验机技术领域，一种晶圆裂片检验机，包括机架，所述机架的一侧设置有用于对合格的晶圆裂片进行存放的存放机构，所述机架的另一侧设置有用于对不合格的晶圆裂片进行回收的回收机构，当检验人员使用检验机对晶圆裂片进行检验时，检验人员可以通过支撑杆对存放板进行固定，用来放置合格的晶圆裂片，通过伸缩杆将安装板撑起，并将回收桶放置在安装孔内，用来回收不合格的晶圆裂片，这样就将合格的裂片和不合格的裂片完全的分开了，不会出现部分混合的情况，并且检验人员将不合格的裂片放置在回收桶内后可以直接进行回收处理，节约了检验人员再次将不合格的裂片进行回收处理的时间。再次将不合格的裂片进行回收处理的时间。再次将不合格的裂片进行回收处理的时间。


技术研发人员：闫兴 陶为银 巩铁建 蔡正道 乔赛赛 张伟 鲍占林 王鹏 杜磊
受保护的技术使用者：河南通用智能装备有限公司
技术研发日：2022.06.24
技术公布日：2023/9/16