一种衔接装置的制作方法

1.本技术涉及真空泵技术领域，特别涉及一种衔接装置，用于连接真空泵和管路。


背景技术：

2.真空泵广泛应用于半导体、医药、太阳能等行业，真空泵的主要作用是为工艺设备提供反应所需的真空度，保证工艺腔体内压力达到要求，从而生产出符合要求的产品。随着制程发展，工艺制程气体种类增多，通气量增大，真空泵卡死风险增大。具体地，真空泵在运行过程，由于工艺腔体内的物理化学反应，导致真空泵在将工艺制程气体抽走的同时，也会夹杂部分固体副产物，这些固体副产物在真空管路中会凝结成体积较大的固体副产物并发生剥落，并被吸进真空泵中，而真空泵内部高速运转，体积较大的固体副产物会导致真空泵定转子摩擦，功率升高，有较大的卡死风险。当真空泵卡死时，会对生产制造有非常严重的影响，具体会导致真空泵所抽走的工艺制程气体回灌到工艺腔体，而造成设备污染甚至产品报废等情况发生，例如，在先进制程的半导体制程中，真空泵卡死极有可能造成工艺腔体污染整个工艺腔体内硅片的报废，及腔体污染。
3.因此，如何在真空泵运行过程中避免管路中累积的固体副产物掉落入真空本中而导致真空泵卡死以及防止在真空泵出现异常卡死时防止真空泵抽走的工艺制程气体回灌到工艺腔体是目前亟需解决的问题。


技术实现要素：

4.本技术实施例提供一种衔接装置，用于衔接真空泵和管路，包括腔体，其中，所述腔体上设置有第一接口和第二接口，所述第一接口用于连接所述真空泵，所述第二接口用于连接所述管路；所述腔体内设置有至少一个逆止结构，所述至少一个逆止结构将所述腔体分隔为沿第一方向分布的至少两个子腔体，所述至少两个子腔体中的第一个子腔体和最后一个子腔体分别与所述第一接口和所述第二接口连通；所述逆止结构包括固定板和逆止板，所述固定板朝所述第一方向倾斜设置，所述固定板上开设有逆止孔，相邻的两个子腔体通过所述逆止孔连通，所述逆止板悬挂在所述腔体内且能够相对于所述固定板转动，当所述逆止板转动至与所述固定板贴合时，所述逆止板覆盖所述逆止孔，使所述至少两个子腔体中相邻的两个子腔体不连通。
5.在一些实施例中，所述至少一个逆止结构包括第一逆止结构和第二逆止结构，所述第一逆止结构和所述第二逆止结构在所述腔体内沿所述第一方向依次排列，并将所述腔体分隔为沿第一方向分布的第一子腔体、第二子腔体和第三子腔体，所述第一子腔体和所述第三子腔体分别与所述第一接口和所述第二接口连通。
6.在一些实施例中，所述腔体内与所述第一接口相对的腔壁上设置有承接件。
7.在一些实施例中，所述承接件上设置有栅格结构。
8.在一些实施例中，所述腔体内靠近所述第一接口的腔壁上设置有第一挡筒，和/或所述腔体内靠近所述第二接口的腔壁上设置有第二挡筒；其中，所述第一挡筒围绕所述第
一接口在所述腔体内的一端的周向边缘向远离所述第一接口的方向延伸，所述第二挡筒围绕所述第二接口在所述腔体内的一端的周向边缘向远离所述第二接口的方向延伸。
9.在一些实施例中，所述逆止孔朝向所述逆止板的一侧安装有第一密封圈。
10.在一些实施例中，所述固定板与所述腔体内的腔壁之间安装有第二密封圈。
11.在一些实施例中，所述腔体包括盖板和壳体，所述盖板和所述壳体连接形成所述腔体。
12.在一些实施例中，所述盖板和所述壳体之间安装有第三密封圈，所述第三密封圈与所述第二密封圈为一体式结构。
13.在一些实施例中，所述腔体在第一方向上的最大尺寸大于所述腔体在第二方向上的最大尺寸，其中，所述第二方向垂直于所述第一方向。
14.通过本技术实施例提供的衔接装置来衔接管路和真空泵，使得管路中的粉尘颗粒会停留在腔体中，从而降低了粉尘颗粒进入真空泵内造成真空泵卡死的风险，并且腔体内设置有逆止结构，可以在真空泵意外卡死时，防止气流倒灌回工艺腔体而造成工艺腔体污染、产品报废等。
附图说明
15.以下附图详细描述了本技术中披露的示例性实施例。其中相同的附图标记在附图的若干视图中表示类似的结构。本领域的一般技术人员将理解这些实施例是非限制性的、示例性的实施例，附图仅用于说明和描述的目的，并不旨在限制本技术的范围，其他方式的实施例也可能同样的完成本技术中的发明意图。应当理解，附图未按比例绘制。
16.其中：
17.图1是根据本技术一些实施例所示的衔接装置的整体结构示意图；
18.图2是根据本技术一些实施例所示的衔接装置去掉盖板后的结构示意图。
具体实施方式
19.以下描述提供了本技术的特定应用场景和要求，目的是使本领域技术人员能够制造和使用本技术中的内容。对于本领域技术人员来说，对所公开的实施例的各种局部修改是显而易见的，并且在不脱离本技术的精神和范围的情况下，可以将这里定义的一般原理应用于其他实施例和应用。因此，本技术不限于所示的实施例，而是与权利要求一致的最宽范围。
20.在生产制造中，真空泵一般通过管路与工艺设备的工艺腔体连接，为工艺设备提供反应所需的真空度，将工艺腔体内的工艺制程气体(例如，在si3n4、sio2、多晶硅、非晶硅等半导体制程中所使用的硅源气体)抽走，保证工艺腔体内压力达到要求，从而生产出符合要求的产品。
21.然而，由于工艺腔体内物理化学反应大多数会生成固体副产物，这些固体副产物会在管路内壁堆积成体积较大的固体副产物(例如，在淀积过程中生长的薄膜)，当真空泵将工艺腔体内的工艺制程气体抽走的同时，这些体积较大的固体副产物可能会从管路内壁上脱落而被吸到真空泵中，而导致真空泵定转子摩擦，功率升高，从而使得真空泵具有较大的卡死风险。在真空泵高速运作过程中，工艺制程气体会稳定地由设备的工艺腔体通过管
路向真空泵流动，此过程保证了制造过程中的工艺稳定，当真空泵发生卡死时，真空泵的转子速度会骤降，而导致气流瞬间受阻，使得真空泵的进气口压力急剧上升，而导致管路内的工艺制程气体向工艺腔体方向逆流，而对生产制造有非常严重的影响，例如，在生产晶圆的半导体制程中，工艺制程气体而重新回到工艺腔体内会造成工艺腔体污染甚至是晶圆报废的情况发生。
22.在一些实施例中，可以通过对连接反应腔体和真空泵的管路进行加热、控温，以降低固体副产物在管路内壁上的累积速度，从而减少固体副产物在管路内壁上的堆积，而使得管路内壁上不易形成体积较大的固体副产物，未在管路内壁上堆积的固体副产物直接进入真空泵中，并不足以导致真空泵卡死。然而，虽然管路内壁上的固体副产物速度变慢了，但是依然会有少量固体副产物在管路内壁上慢慢堆积，长久以往，管路内壁上也会形成体积较大的固体副产物，这些体积较大的固体副产物一旦脱落被吸入到真空泵中，则会有导致真空泵卡死的风险。
23.在一些实施例中，可以在连接反应腔体和真空泵的管路内壁上设置特殊涂层，特殊涂层可以使得固体副产物无法在管路内壁上堆积而形成体积较大的固体副产物，未在管路内壁上堆积的固体副产物直接进入真空泵中，并不足以导致真空泵卡死。但由于一些工艺制程气体温度较高且具有腐蚀时，特殊涂层长时间受到工艺制程气体的侵蚀会被逐渐破坏掉，与此同时，固体副产物也会随时间缓慢堆积在管路内壁上而形成体积较大的固体副产物，这些体积较大的固体副产物一旦脱落被吸入到真空泵中，则会有导致真空泵卡死的风险。
24.在一些实施例中，可以在连接反应腔体和真空泵的管路中设置隔离阀门，当有体积较大的固体副产物落入真空泵中而导致真空泵卡死时，真空泵会报警并驱动隔离阀门关闭，而避免工艺制程气体从管路内的工艺制程气体向工艺腔体方向逆流，以解决工艺制程气体倒灌入工艺腔体内而造成工艺腔体污染、产品报废的问题。然而隔离阀门价格昂贵，且需要联动真空泵报警，设计较为复杂，并且还可能出现误报警或者隔离阀门关闭不及时的情况，而不能及时防止工艺制程气体倒灌入工艺腔体内。
25.本技术实施例提供一种衔接装置，用于衔接真空泵和管路，该衔接装置包括腔体，其中，腔体上设置有第一接口和第二接口，第一接口用于连接真空泵，第二接口用于连接管路；腔体内设置有至少一个逆止结构，至少一个逆止结构将腔体分隔为沿第一方向分布的至少两个子腔体，至少两个子腔体中的第一个子腔体和最后一个子腔体分别与第一接口和第二接口连通；逆止结构包括固定板和逆止板，固定板朝第一方向倾斜设置，固定板上开设有逆止孔，相邻的两个子腔体通过逆止孔连通，逆止板悬挂在腔体内且能够相对于固定板转动，当逆止板转动至与固定板贴合时，逆止板覆盖逆止孔，使至少两个子腔体中相邻的两个子腔体不连通。通过将本技术实施例提供的衔接装置衔接在真空泵和管路(即连接真空泵和设备反应腔体的管路，也可称为真空管路或抽气管路)，在真空泵运行时，当反应腔体内所生成的固体副产物在管路内壁上堆积形成体积较大的固体副产物脱落时，会进入到衔接装置的腔体内，而不会掉落入真空泵中而造成真空泵卡死，即便是真空泵出现异常卡死的情况，衔接装置中的至少一个逆止结构中的逆止板也会在逆向气流(真空泵向工艺腔体方向逆流的工艺制程气体)的作用下转动至固定板贴合，将逆止孔封闭，以避免工艺制程气体倒灌回工艺腔体而造成工艺腔体污染、产品报废等情况发生。因此，本技术实施例提供的
衔接装置可以有效预防固体副产物落入真空泵中而造成真空孔卡死的情况发生并且能够在真空泵出现异常卡死时防止工艺制程气体倒灌回工艺腔体内。
26.下面结合附图对本技术实施例提供的衔接装置进行具体说明。
27.图1是根据本技术一些实施例所示的衔接装置的整体结构示意图。图2是根据本技术一些实施例所示的衔接装置去掉盖板后的结构示意图。
28.结合图1和图2所示，衔接装置100可以包括腔体110，腔体110上可以设置有第一接口111和第二接口112，第一接口111和第二接口112可以分别用于连接真空泵(图中未示出)和管路(图中未示出)，以将管路和真空泵衔接在一起。作为示例性说明，真空泵的进气口可以与第一接口111连接，管路的一端可以与设备的工艺腔体连接，另一端则可以与第二接口112连接。
29.通过本技术实施例提供的衔接装置100将管路和真空泵衔接在一起，在真空泵运行过程中，与管路连接的设备的工艺腔体内的工艺制程气体会通过管路以及衔接装置100的腔体被真空泵抽走，同时工艺腔体内生成的固体副产物也会进入到管路中，并且在管路内壁上堆积形成体积较大的固体副产物(以下简称为粉尘颗粒)，粉尘颗粒从管路中掉落进入到衔接装置100的腔体110中并且停留在腔体110中，而不会进入到真空泵中，造成真空泵卡死。
30.在一些实施例中，如图2所示，为了使得从管路中掉落的粉尘颗粒能够停留在腔体110内，腔体110内与第一接口111相对的腔壁上设置有承接件113。当管路中的粉尘颗粒掉落时，会直接掉落在承接件113上，承接件113可以对粉尘颗粒进行承接，降低粉尘颗粒在腔体110内运动而进入到真空泵中造成真空泵卡死的风险。在一些实施例中，承接件113可以是盘状结构。
31.在一些实施例中，承接件113上可以设置有栅格结构114，栅格结构114可以包括设置在承接件113上沿第一方向间隔分布的多个竖片。通过设置栅格结构114，当粉尘颗粒掉落在承接件113上时，栅格结构114可以为粉尘颗粒提供更多的附着面积，可以有效减小粉尘颗粒在腔体110内的堆积厚度，降低粉尘颗粒在腔体110内堆积形成体积更大的固体颗粒而意外进入到真空泵中造成真空泵卡死的风险。除此之外，栅格结构114还能避免粉尘颗粒掉落在承接件113上后再次扬起而在腔体110内运动最后进入到真空泵中造成真空泵卡死。
32.在一些实施例中，为了便于对承接件113进行维护，例如，对承接件113上所承接的粉尘颗粒进行清理，承接件113可以通过卡接、螺钉连接等方式可拆卸地连接于腔体110内的腔壁上。这样一来，可以便于工作人员定期拆除承接件113以对其进行维护。
33.在一些实施例中，如图2所示，腔体110内靠近第一接口111的腔壁上设置有第一挡筒115，第一挡筒115围绕第一接口111在腔体110内的一端周向边缘向远离第一接口的方向延伸。通过设置第一挡筒115，可以限制管路中的粉尘颗粒通过第一接口111掉落进腔体110内时的运动方向，使得粉尘颗粒能够直接掉落在承接件111上被承接件111所承接住，而降低粉尘颗粒进入到真空泵中造成真空泵卡死的风险。
34.在一些实施例中，如图2所示，腔体110内靠近第二接口112的腔壁上设置有第二挡筒116，第二挡筒116围绕第二接口112在腔体110内的一端周向边缘向远离第二接口112的方向延伸。通过设置第二挡筒116，可以阻挡腔体110内的粉尘颗粒通过第二接口112进入到真空泵中，而降低粉尘颗粒进入到真空泵中造成真空泵卡死的风险。
35.本技术实施例提供的衔接装置100除了预防真空泵卡死以外，还能在真空泵出现异常卡死时防止气流倒灌，避免真空泵抽走的工艺制程气体通过管路进入到设备的工艺腔体而造成工艺腔体污染、产品报废等。
36.进一步地，为了在真空泵出现异常卡死时防止气流倒灌防止，腔体110内可以设置有至少一个逆止结构，至少一个逆止结构可以将腔体110分隔为沿第一方向分布的至少两个子腔体，至少两个子腔体中的第一个子腔体和最后一个子腔体分别与第一接口111和第二接口112连通。其中，逆止结构包括固定板和逆止板，固定板朝第一方向倾斜设置，固定板上开始有逆止孔，相邻的两个子腔体通过逆止孔连通，逆止板悬挂在腔体110内且能够相对于固定板转动。作为示例性说明，逆止板的一端可以与固定板连接，另一端则为自由端悬在腔体110内。通过上述设置，当真空泵出现异常卡死时，真空泵内的气压会升高，使得相邻的两个子腔体之间存在压差，即相邻的两个子腔体中在第一方向上靠近第二接口112的子腔体内的压强会大于靠近第一接口111子腔体内的压强，可以使得位于相邻的两个子腔体之间的逆止结构中的逆止板在压差作用下则会朝向固定板转动，而与固定板贴合，此时逆止板会覆盖固定板上的逆止孔，而使得相邻的两个子腔体之间不连通，使得真空泵抽走的工艺制程气体无法通过逆止结构而倒流回管路中，从而工艺制程气体倒灌入到设备的工艺腔体内而污染工艺腔体、导致产品报废等。其中，固定板朝向第一方向倾斜设置，可以保证在真空泵正常运行时，逆止板与固定板之间存在一定角度而不会覆盖住逆止孔，即使得逆止孔处于打开状态，而在真空泵出现异常卡死时，逆止板能够朝向固定板转动与固定板贴合而覆盖住逆止孔，使得逆止孔关闭。在一些实施例中，固定板朝向第一方向倾斜的角度(例如，图2中示出的第一固定板121和第二固定板131朝向第一方向倾斜的角度a)可以为45
°
至70
°
，如此设置，可以在真空泵出现异常卡死时，减小逆止板的转动角度，使得逆止板能够快速转动至与固定板贴合，而缩短关闭逆止孔的时间，从而能够提高逆止结构防止气流通过的效率，使得衔接装置100防止气流倒灌的效果更好。
37.在一些实施例中，逆止结构的数量可以仅为一个，该逆止结构可以将腔体分隔为沿第一方向分布的两个子腔体，沿第一方向分布的两个子腔体分别与第一接口111和第二接口112连通。当真空泵出现异常卡死时，与第二接口112连通的子腔体内的压强大于与第一接口111连通的子腔体内的压强，在压差作用下，该逆止结构中的逆止板会朝向固定板转动，并与固定板贴合而覆盖住逆止孔，使得逆止孔关闭，使得从真空泵向工艺腔体方向逆流的工艺制程气体无法通过逆止结构，从而阻止了气流倒灌回工艺腔体。
38.在一些实施例中，如图2所示，至少一个逆止结构可以包括第一逆止结构120和第二逆止结构130，第一逆止结构120和第二逆止结构130在腔体110内沿第一方向依次排列，并将腔体110分隔为沿第一方向分布的第一子腔体141、第二子腔体142和第三子腔体143，第一子腔体141和第三子腔体143分别与第一接口111和第二接口112连通。其中，第一逆止结构120包括第一固定板121和第一逆止板122，第一固定板121上开设有第一逆止孔123；第二逆止结构130包括第二固定板131和第二逆止板132，第二固定板131上开设有第二逆止孔133。关于第一逆止结构120和第二逆止结构130的更多描述可以参考上文关于逆止结构的相关描述，在此不再赘述。
39.当真空泵出现异常卡死时，第三子腔体143内的压强会大于第二子腔体142内的压强，在压差作用下，第二逆止结构130中的第二逆止板132会朝向第二固定板131转动，与第
二固定板131贴合而覆盖住第二逆止孔133，使得第二逆止孔133关闭，使得从真空泵向工艺腔体方向逆流的工艺制程气体无法通过第二逆止结构130，从而阻止了气流倒灌回工艺腔体。在本实施例中，第一逆止结构120可以在第二逆止结构130中的第二逆止板132出现意外卡死而无法转动(例如，粉尘颗粒长期在第二逆止板132与第二固定板131的转动连接处累积而导致第二逆止板132无法相对于第二固定板131转动)至与第二固定板131贴合以关闭第二逆止孔133时，起到防止气流倒灌的作用。进一步地，当第二逆止结构130中的第二逆止板132出现意外卡死而无法转动至与第二固定板131贴合以关闭第二逆止孔133时，第二腔体142会和第三腔体143连通，使得第二腔体142内的压强大于第一腔体141内的压强，在压差作用下，第一逆止结构120中的第一逆止板122会朝向第一固定板121转动，与第一固定板121贴合而覆盖住第一逆止孔123，使得第一逆止孔123关闭，使得从真空泵向工艺腔体方向逆流的工艺制程气体无法通过第一逆止结构120，从而阻止了气流倒灌回工艺腔体。
40.通过设置两个逆止结构(例如，图2中示出的第一逆止结构120和第二逆止结构130)，可以预防其中一个逆止结构的逆止板意外卡死而无法关闭逆止孔时，由另外一个逆止结构来阻止气流倒灌回工艺腔体，从而保证衔接装置100始终具有较好的防止气流倒灌的效果。需要说明的是，逆止结构的数量可以不仅限于两个，还可以是两个以上，例如，三个、四个、五个等。逆止结构的数量越多，因逆止结构中的逆止板意外卡死而无法阻止气流倒灌回工艺腔体的风险就越小，衔接装置100防止气流倒灌的效果就会更好。
41.在一些实施例中，为了在逆止板转动至与固定板贴合覆盖住逆止孔时，提高相邻的两个子腔体之间的密封性，逆止孔朝向逆止板的一侧可以安装有第一密封圈(例如，图2中示出第一逆止孔121和第二逆止孔132上安装的第一密封圈151)，当逆止板转动至与固定板贴合时，逆止板能够与第一密封圈贴合，使得相邻的两个子腔体具有较好的密封性。
42.在一些实施例中，为了进一步提高相邻的两个子腔体之间的密封性，固定板与腔体110内的腔壁之间安装有第二密封圈(例如，图2中示出的安装在第一固定板121与腔体110内的腔壁之间和安装在第二固定板131与腔体110内的腔壁之间的第二密封圈152)。
43.在一些实施例中，如图1所示，腔体110可以包括盖板117和壳体118，盖板117和壳体118连接形成腔体110。其中，盖板117与壳体118之间为可拆卸连接，这样便于工作人员定期拆下盖板117对腔体110内进行维护，例如，对承接件113、逆止结构进行清理等。
44.在一些实施例中，为了提高整个腔体110内的密封性，如图2所示，盖板117和壳体118之间安装有第三密封圈153。在一些实施例中，为了进一步提高腔体110内各个子腔体之间的密封性，第三密封圈153和第二密封圈(例如，第二密封圈152)可以是一体式结构。
45.在一些实施例中，如图2所示，腔体110在第一方向上的最大尺寸l可以大于腔体110在第二方向上的最大尺寸h，第二方向垂直第一方向，这样可以使得腔体110内呈扁平结构。通过使腔体110内呈扁平结构，可以使得粉尘颗粒从管路掉落到腔体110内时从第一接口111到第二接口112的运动路径会更长，从而使得粉尘颗粒不易到达第二接口112而进入到真空泵内造成真空泵卡死。同时腔体110内呈扁平结构，可以便于在腔体110内设置较多的逆止结构，依次来增加衔接装置100防止气流倒灌的效果。除此之外，腔体110在第一方向上的最大尺寸l可以大于腔体110在第二方向上的最大尺寸h可以使整个衔接装置100的安装空间较小，便于安装。在一些实施例中，腔体110在第一方向上的最大尺寸l与腔体110在第二方向上的最大尺寸h之间的比值可以为2.8至6.7，这样可以有效地缩小衔接装置100的
安装空间，并且能够较好地降低粉尘颗粒到达第二接口112而进入到真空泵内造成真空泵卡死的风险，同时便于设置更多的逆止结构来提高衔接装置100防止气流倒灌的效果。
46.本技术实施例可能带来的有益效果包括但不限于：(1)通过本技术实施例提供的衔接装置来衔接管路和真空泵，使得管路中的粉尘颗粒会停留在腔体中，从而降低了粉尘颗粒进入真空泵内造成真空泵卡死的风险；(2)腔体内设置有逆止结构，可以在真空泵意外卡死时，防止气流倒灌回工艺腔体而造成工艺腔体污染、产品报废等；(3)逆止结构的数量不止一个，可以预防其中一个逆止结构的逆止板意外卡死而无法关闭逆止孔时，由另外一个逆止结构来阻止气流倒灌回工艺腔体，从而保证衔接装置始终具有较好的防止气流倒灌的效果；(4)第一密封圈和第二密封圈可以提高各个子腔体之间的密封性；(5)第三密封圈和第二密封圈采用一体式结构，可以进一步提高各个子腔体之间的密封性；(6)腔体在第一方向上的最大尺寸可以大于腔体在第二方向上的最大尺寸，可以缩小衔接装置的安装空间，并且能够降低粉尘颗粒到达第二接口而进入到真空泵内造成真空泵卡死的风险，同时便于设置更多的逆止结构来提高衔接装置防止气流倒灌的效果。
47.需要说明的是，不同实施例可能产生的有益效果不同，在不同的实施例里，可能产生的有益效果可以是以上任意一种或几种的组合，也可以是其他任何可能获得的有益效果。
48.上文已对基本概念做了描述，显然，对于本领域技术人员来说，上述详细披露仅仅作为示例，而并不构成对本说明书的限定。虽然此处并没有明确说明，本领域技术人员可能会对本技术进行各种修改、改进和修正。该类修改、改进和修正在本说明书中被建议，所以该类修改、改进、修正仍属于本技术示范实施例的精神和范围。
49.需要说明的是，在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是转动连接，也可以是滑动连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以结合具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
50.另外，当本技术说明书中使用了“第一”、“第二”、“第三”等术语描述各种特征时，这些术语仅用于对这些特征进行区分，而不能理解为指示或暗示特征之间的关联性、相对重要性或者隐含指明所指示的特征数量。
51.除此之外，本技术说明书通过参考理想化的示例性截面图和/或平面图和/或立体图来描述示例性实施例。因此，由于例如制造技术和/或容差导致的与图示的形状的不同是可预见的。因此，不应当将示例性实施例解释为限于在此所示出的区域的形状，而是应当包括由例如制造所导致的形状中的偏差。因此，在图中示出的区域实质上是示意性的，其形状不是为了示出器件的区域的实际形状也不是为了限制示例性实施例的范围。
52.同时，本技术使用了特定词语来描述本说明书的实施例。如“一个实施例”、“一实施例”、和/或“一些实施例”意指与本技术至少一个实施例相关的某一特征、结构或特点。因此，应强调并注意的是，本技术中在不同位置两次或多次提及的“一实施例”或“一个实施例”或“一个替代性实施例”并不一定是指同一实施例。此外，本技术的一个或多个实施例中的某些特征、结构或特点可以进行适当的组合。
53.同理，应当注意的是，为了简化本技术披露的表述，从而帮助对一个或多个发明实施例的理解，前文对本技术实施例的描述中，有时会将多种特征归并至一个实施例、附图或对其的描述中。但是，这种披露方法并不意味着本技术对象所需要的特征比权利要求中提及的特征多。实际上，实施例的特征要少于上述披露的单个实施例的全部特征。
54.最后，应当理解的是，本技术中所述实施例仅用以说明本技术实施例的原则。其他的变形也可能属于本技术的范围。因此，作为示例而非限制，本技术实施例的替代配置可视为与本技术的教导一致。相应地，本技术的实施例不仅限于本技术明确介绍和描述的实施例。

技术特征：
1.一种衔接装置，用于衔接真空泵和管路，其特征在于，包括腔体，其中，所述腔体上设置有第一接口和第二接口，所述第一接口用于连接所述真空泵，所述第二接口用于连接所述管路；所述腔体内设置有至少一个逆止结构，所述至少一个逆止结构将所述腔体分隔为沿第一方向分布的至少两个子腔体，所述至少两个子腔体中的第一个子腔体和最后一个子腔体分别与所述第一接口和所述第二接口连通；所述逆止结构包括固定板和逆止板，所述固定板朝所述第一方向倾斜设置，所述固定板上开设有逆止孔，相邻的两个子腔体通过所述逆止孔连通，所述逆止板悬挂在所述腔体内且能够相对于所述固定板转动，当所述逆止板转动至与所述固定板贴合时，所述逆止板覆盖所述逆止孔，使所述至少两个子腔体中相邻的两个子腔体不连通。2.根据权利要求1所述的衔接装置，其特征在于，所述至少一个逆止结构包括第一逆止结构和第二逆止结构，所述第一逆止结构和所述第二逆止结构在所述腔体内沿所述第一方向依次排列，并将所述腔体分隔为沿第一方向分布的第一子腔体、第二子腔体和第三子腔体，所述第一子腔体和所述第三子腔体分别与所述第一接口和所述第二接口连通。3.根据权利要求1所述的衔接装置，其特征在于，所述腔体内与所述第一接口相对的腔壁上设置有承接件。4.根据权利要求3所述的衔接装置，其特征在于，所述承接件上设置有栅格结构。5.根据权利要求1所述的衔接装置，其特征在于，所述腔体内靠近所述第一接口的腔壁上设置有第一挡筒，和/或所述腔体内靠近所述第二接口的腔壁上设置有第二挡筒；其中，所述第一挡筒围绕所述第一接口在所述腔体内的一端的周向边缘向远离所述第一接口的方向延伸，所述第二挡筒围绕所述第二接口在所述腔体内的一端的周向边缘向远离所述第二接口的方向延伸。6.根据权利要求1所述的衔接装置，其特征在于，所述逆止孔朝向所述逆止板的一侧安装有第一密封圈。7.根据权利要求1所述的衔接装置，其特征在于，所述固定板与所述腔体内的腔壁之间安装有第二密封圈。8.根据权利要求7所述的衔接装置，其特征在于，所述腔体包括盖板和壳体，所述盖板和所述壳体连接形成所述腔体。9.根据权利要求8所述的衔接装置，其特征在于，所述盖板和所述壳体之间安装有第三密封圈，所述第三密封圈与所述第二密封圈为一体式结构。10.根据权利要求1所述的衔接装置，其特征在于，所述腔体在第一方向上的最大尺寸大于所述腔体在第二方向上的最大尺寸，其中，所述第二方向垂直于所述第一方向。

技术总结
本申请提供一种衔接装置，用于衔接真空泵和管路，包括腔体，其中，腔体上设置有第一接口和第二接口，第一接口用于连接真空泵，第二接口用于连接管路；腔体内设置有至少一个逆止结构，至少一个逆止结构将腔体分隔为沿第一方向分布的至少两个子腔体，至少两个子腔体中的第一个子腔体和最后一个子腔体分别与第一接口和第二接口连通；逆止结构包括固定板和逆止板，固定板朝第一方向倾斜设置，固定板上开设有逆止孔，相邻的两个子腔体通过逆止孔连通，逆止板悬挂在腔体内且能够相对于固定板转动，当逆止板转动至与固定板贴合时，逆止板覆盖逆止孔，使至少两个子腔体中相邻的两个子腔体不连通。通过该衔接装置能够避免真空泵卡死同时防止气流倒灌。防止气流倒灌。防止气流倒灌。


技术研发人员：徐亚平
受保护的技术使用者：中芯南方集成电路制造有限公司
技术研发日：2023.03.14
技术公布日：2023/9/16