真空电容器与射频匹配器的制作方法

1.本发明涉及半导体器械技术领域，特别涉及一种真空电容器与射频匹配器。


背景技术：

2.在一些射频匹配器中，需要能够传输大功率且能够调节容值的真空电容器，以匹配阻抗。现有的真空电容器通过调节电极的间距来实现容值的调节。为了实现电极位置的调节，常通过设置波纹管来兼顾真空密封性和电极的可移动性。然而，波纹管的机械寿命有限，并且波纹管的速度响应较慢，会影响真空电容器的容值调节响应速度。此外真空电容器内部的真空与外部常压形成压力差，使得其动电极远离固定电极方向动作时，克服大气压阻力比较大，也会影响真空电容器的容值调节响应速度。


技术实现要素：

3.本发明的目的在于提供一种真空电容器与射频匹配器，以解决现有的真空电容器寿命短、响应速度慢的问题。
4.为解决上述技术问题，本发明提供一种真空电容器，其包括：壳体组件、磁浮驱动线圈组、磁浮动子、连接件、屏蔽件、可动电极以及固定电极；
5.所述壳体组件沿一轴线的方向设置，其内部形成密闭的真空腔室；所述磁浮动子、所述连接件、所述屏蔽件、所述可动电极以及所述固定电极均容置于所述真空腔室中；
6.沿所述轴线的方向，所述屏蔽件将所述真空腔室划分为第一区域和第二区域；所述可动电极沿所述轴线的方向可移动地设置于所述第一区域，所述固定电极固定设置于所述第一区域，所述磁浮动子沿所述轴线的方向可移动地设置于所述第二区域，所述连接件沿所述轴线的方向可移动地贯穿所述屏蔽件，并分别与所述磁浮动子和所述可动电极连接；
7.所述磁浮驱动线圈组绕设于所述壳体组件对应于所述第二区域的外部，所述磁浮驱动线圈组用于驱动所述磁浮动子沿所述轴线的方向移动，并通过所述连接件带动所述可动电极沿所述轴线的方向移动；
8.其中，所述真空电容器具有可动电极引出极、固定电极引出极和屏蔽引出极，所述可动电极引出极、固定电极引出极和屏蔽引出极分别与所述可动电极、所述固定电极和所述屏蔽件连接。
9.可选的，所述真空电容器还包括设置于所述第一区域的柔性电极引出件；所述柔性电极引出件的一端与所述可动电极连接，另一端与所述壳体组件连接，所述柔性电极引出件与所述壳体组件连接的一端被配置为所述可动电极引出极；
10.其中，所述柔性电极引出件具有沿所述轴线的方向的变形自由度。
11.可选的，所述柔性电极引出件为具有镂空的片状件，所述片状件还具有内孔，所述连接件穿过所述内孔；所述片状件的内周与所述可动电极连接，所述片状件的外周与所述壳体组件连接。
12.可选的，所述壳体组件包括两个端盖，一个所述端盖与所述屏蔽件电连接，另一个所述端盖与所述固定电极电连接；与所述屏蔽件电连接的所述端盖被配置为所述屏蔽引出极，与所述固定电极电连接的所述端盖被配置为所述固定电极引出极。
13.可选的，所述真空电容器还包括第一导向组件；所述第一导向组件包括沿所述轴线的方向设置的导向杆和导向套，所述导向杆和导向套中的一者设置于所述可动电极上，另一者设置于所述壳体组件上；所述导向杆沿所述轴线的方向可移动地穿设于所述导向套中，并被所述导向套限制沿垂直于所述轴线的方向的位置。
14.可选的，所述真空电容器还包括第二导向组件；所述第二导向组件包括设置于所述屏蔽件上的轴套，所述轴套用于限制所述连接件沿垂直于所述轴线的方向的位置。
15.可选的，所述磁浮驱动线圈组包括至少两个线圈，其中至少一个所述线圈用于驱动所述磁浮动子沿所述轴线的方向移动，至少另一个所述线圈用于限定所述磁浮动子沿垂直于所述轴线的方向的位置。
16.可选的，所述屏蔽件沿所述轴线的方向包括电场屏蔽层和磁场屏蔽层，所述电场屏蔽层由高导电率材料制成，所述磁场屏蔽层由高导磁率材料制成。
17.可选的，所述真空电容器还包括位置检测模块，所述位置检测模块用于检测所述可动电极沿所述轴线的位置。
18.为解决上述技术问题，本发明还提供一种射频匹配器，其包括如上所述的真空电容器。
19.综上所述，在本发明提供的真空电容器与射频匹配器中，所述真空电容器包括壳体组件、磁浮驱动线圈组、磁浮动子、连接件、屏蔽件、可动电极以及固定电极；所述壳体组件沿一轴线的方向设置，其内部形成密闭的真空腔室；所述磁浮动子、所述连接件、所述屏蔽件、所述可动电极以及所述固定电极均容置于所述真空腔室中；沿所述轴线的方向，所述屏蔽件将所述真空腔室划分为第一区域和第二区域；所述可动电极沿所述轴线的方向可移动地设置于所述第一区域，所述固定电极固定设置于所述第一区域，所述磁浮动子沿所述轴线的方向可移动地设置于所述第二区域，所述连接件沿所述轴线的方向可移动地贯穿所述屏蔽件，并分别与所述磁浮动子和所述可动电极连接；所述磁浮驱动线圈组绕设于所述壳体组件对应于所述第二区域的外部，所述磁浮驱动线圈组用于驱动所述磁浮动子沿所述轴线的方向移动，并通过所述连接件带动所述可动电极沿所述轴线的方向移动。
20.如此配置，一方面将除了磁浮驱动线圈组外的所有运动部件均设置在壳体组件形成的真空腔室中，真空腔室的内外不再需要设置类似波纹管这样的机械可变密封构件，提高了真空电容器的可靠性和使用寿命，且运动部件不受真空压力差影响，驱动力大为减小，依靠磁力变化驱动，大大提高了运动部件的运动速度。另一方面，基于屏蔽件的设置，将真空腔室划分为第一区域和第二区域，进而将电极部分与磁浮驱动部分分隔开，有效克服了两者的相互干扰。
附图说明
21.本领域的普通技术人员将会理解，提供的附图用于更好地理解本发明，而不对本发明的范围构成任何限定。其中：
22.图1是本发明实施例的真空电容器的示意图；
23.图2是本发明实施例的真空电容器的轴向剖面示意图；
24.图3是本发明实施例的片状件的示意图；
25.图4是本发明实施例的固定电极的示意图；
26.图5是本发明实施例的可动电极的示意图。
27.附图中：
28.100-壳体组件；110-真空腔室；111-第一区域；112-第二区域；120-绝缘筒；130-端盖；140-连接端子；210-磁浮驱动线圈组；220-磁浮动子；300-连接件；400-屏蔽件；510-可动电极；511-第一基板；512-第一电极片；513-连接体；520-固定电极；521-第二基板；522-第二电极片；600-柔性电极引出件；610-片状件；620-内孔；700-第一导向组件；710-导向杆；720-导向套；800-第二导向组件；810-轴套。
具体实施方式
29.为使本发明的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图和具体实施例对本发明作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且未按比例绘制，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。
30.如在本发明中所使用的，单数形式“一”、“一个”以及“该”包括复数对象，术语“或”通常是以包括“和/或”的含义而进行使用的，术语“若干”通常是以包括“至少一个”的含义而进行使用的，术语“至少两个”通常是以包括“两个或两个以上”的含义而进行使用的，此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者至少两个该特征，“一端”与“另一端”以及“近端”与“远端”通常是指相对应的两部分，其不仅包括端点。此外，如在本发明中所使用的，“安装”、“相连”、“连接”，一元件“设置”于另一元件，应做广义理解，通常仅表示两元件之间存在连接、耦合、配合或传动关系，且两元件之间可以是直接的或通过中间元件间接的连接、耦合、配合或传动，而不能理解为指示或暗示两元件之间的空间位置关系，即一元件可以在另一元件的内部、外部、上方、下方或一侧等任意方位，除非内容另外明确指出外。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。此外，诸如上方、下方、上、下、向上、向下、左、右等的方向术语相对于示例性实施方案如它们在图中所示进行使用，向上或上方向朝向对应附图的顶部，向下或下方向朝向对应附图的底部。
31.本发明的目的在于提供一种真空电容器与射频匹配器，以解决现有的真空电容器寿命短、响应速度慢的问题。以下参考附图进行描述。
32.请参考图1至图5，本发明实施例提供一种真空电容器，其包括：壳体组件100、磁浮驱动线圈组210、磁浮动子220、连接件300、屏蔽件400、可动电极510以及固定电极520；所述壳体组件100沿一轴线a的方向设置，其内部形成密闭的真空腔室110；所述磁浮动子220、所述连接件300、所述屏蔽件400、所述可动电极510以及所述固定电极520均容置于所述真空腔室110中；沿所述轴线a的方向，所述屏蔽件400将所述真空腔室110划分为第一区域111和第二区域112；所述可动电极510沿所述轴线a的方向可移动地设置于所述第一区域111，所述固定电极520固定设置于所述第一区域111，所述磁浮动子220沿所述轴线a的方向可移动
地设置于所述第二区域112，所述连接件300沿所述轴线a的方向可移动地贯穿所述屏蔽件400，并分别与所述磁浮动子220和所述可动电极510连接；所述磁浮驱动线圈组210绕设于所述壳体组件100对应于所述第二区域112的外部，所述磁浮驱动线圈组210用于驱动所述磁浮动子220沿所述轴线a的方向移动，并通过所述连接件300带动所述可动电极510沿所述轴线a的方向移动；其中，所述真空电容器具有可动电极引出极、固定电极引出极和屏蔽引出极，所述可动电极引出极、固定电极引出极和屏蔽引出极分别与所述可动电极510、所述固定电极520和所述屏蔽件400连接。
33.如此配置，将除了磁浮驱动线圈组210外的所有运动部件均设置在壳体组件100形成的真空腔室110中，真空腔室110的内外不再需要设置类似波纹管这样的机械可变密封构件，提高了真空电容器的可靠性和使用寿命，且运动部件不受真空压力差影响，驱动力大为减小，依靠磁力变化驱动，大大提高了运动部件的运动速度。
34.请参考图2，并结合参考图4和图5，在一个示范例中，可动电极510包括第一基板511和多个围绕轴线a的环状的第一电极片512，多个第一电极片512同轴内外间隔排布并固定设置在第一基板511上。固定电极520包括第二基板521和多个围绕轴线a的环状的第二电极片522，多个第二电极片522同轴内外间隔排布并固定设置在第二基板521上。并且，第一电极片512与第二电极片522在垂直于轴线a的方向上间隔布置，使得每个第一电极片512均不会与第二电极片522直接接触。优选的，每个第一电极片512与其相邻的第二电极片522的间距均相等。进一步的，第一电极片512与第二电极片522在轴线a的方向上具有重叠。可以理解的，基于可动电极510沿轴线a的移动，即可使可动电极510与固定电极520之间的容值产生变化。
35.发明人研究发现，现有技术中，常利用机械式的丝杆螺母组件来驱动可动电极510移动。然而，这样就必须设置诸如波纹管这样的机械可变密封构件，这一方面导致整个真空电容器的机械寿命有限，另一方面在一些应用场景下，例如需要真空电容器的容值快速响应调整时，机械式的丝杆螺母驱动调节则难以实现。发明人进一步研究发现，倘若采用磁场驱动可动电极510运动，虽然可以解决机械寿命和响应速度的问题，但是其同时会带来电磁干扰的问题，导致可靠性不足。具体的，真空电容器一般应用在用于传输大功率射频电流的场景下，基于其工作原理不难理解，可动电极510与固定电极520周围会存在很强的电磁场。而这样的电磁场会对磁场驱动带来干扰，对静磁场材料如磁铁产生涡流感应发热现象，导致可靠性低。
36.基于上述研究，本发明通过屏蔽件400的设置，将真空腔室110在轴向上划分为第一区域111和第二区域112，进而将电极部分(包括可动电极510与固定电极520)与磁浮驱动部分(包括磁浮驱动线圈组210和磁浮动子220)分隔开，有效克服了两者的相互干扰。
37.优选的，所述屏蔽件400沿所述轴线a的方向包括电场屏蔽层和磁场屏蔽层，所述电场屏蔽层由高导电率材料制成，这里的高导电率材料，指电导率不小于10.0
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106s/m的材料，例如铜、铝等金属。高导磁率材料，指磁导率不小于100的材料，例如铁氧体材料等。电场屏蔽层的作用是隔离可动电极510和固定电极520上的高频电磁场，避免其感应到磁浮驱动线圈组210和磁浮动子220上，磁场屏蔽层的作用是隔离磁浮驱动线圈组210和磁浮动子220上的低频电场和静磁场，避免其感应到可动电极510和固定电极520上。可选的，电场屏蔽层和磁场屏蔽层可以在轴线a的方向上贴合，也可以间隔布置。
38.请继续参考图2，可选的，在一个示范例中，所述壳体组件100包括绝缘筒120和两个端盖130，所述绝缘筒120沿所述轴线a的方向设置，两个所述端盖130封闭设置于所述绝缘筒120沿所述轴线a的方向的两端。绝缘筒120的材料例如为陶瓷，其优选呈圆筒状。端盖130能够与绝缘筒120的端部密封连接，从而使绝缘筒120的内侧形成真空腔室110。可选的，一个所述端盖130与所述屏蔽件400电连接，另一个所述端盖130与所述固定电极520电连接；与所述屏蔽件400电连接的所述端盖130被配置为所述屏蔽引出极，与所述固定电极520电连接的所述端盖130被配置为所述固定电极引出极。在一个示范例中，位于第二区域112一侧的端盖130(图2中为上侧的端盖130)与屏蔽件400通过设置在绝缘筒120内的导体(未图示)连接，该端盖130优选由金属材料制成，其被配置为屏蔽引出极，使用中可对其接地，以进一步提高屏蔽效果。位于第一区域111一侧的端盖130(图2中为下侧的端盖130)，与固定电极520电连接，或者一些实施例中，也可以将固定电极520的第二基板521直接配置为一个端盖130，此时该端盖130优选由金属材料制成，其同时兼做真空电容器的固定电极引出极。当然在其它的一些实施例中，壳体组件100并非限制必须是绝缘筒120和两个端盖130的组合，也可以是一个一端封闭的筒体和一个端盖130的组合，此时筒体的封闭端亦可视作是一个端盖130，本发明对此不限。
39.可选的，在一个示范例中，所述磁浮动子220为横截面呈圆形的磁体，例如可成圆环形、圆筒形、圆片形等，所述连接件300为柱状的绝缘体，如陶瓷柱，所述连接件300与所述磁体固定连接。屏蔽件400优选为具有内孔的环状板，连接件300可以穿过屏蔽件400的内孔从而与可动电极510的第一基板511连接。需要说明的，磁浮动子220沿轴线a的方向的厚度，应小于屏蔽件400所划分出来的第二区域112沿轴线a的方向的长度，以允许磁浮动子220能够在第二区域112中沿轴线a的方向移动。优选的，磁浮动子220的环状的外径小于绝缘筒120的内径。可选的，所述磁浮驱动线圈组210包括至少两个线圈，其中至少一个所述线圈用于驱动所述磁浮动子220沿所述轴线a的方向移动，至少另一个所述线圈用于限定所述磁浮动子220沿垂直于所述轴线a的方向的位置，即磁浮驱动线圈组210不仅用于驱动磁浮动子220沿轴线a的方向移动，还用于限定磁浮动子220的径向(指垂直于轴线a的方向)位置，使得磁浮动子220在磁浮驱动线圈组210的磁场作用下构成磁悬浮的形态而在第二区域112中运动，如此配置可降低磁浮动子220的运动阻力，进一步提高容值调节的响应速度。此外，磁浮驱动线圈组210对于磁浮动子220的径向限位，还可减少或避免第一导向组件700(见后文说明)的导向杆710和导向套720之间的摩擦。
40.进一步的，磁浮驱动线圈组210绕设在绝缘筒120的筒壁之外，并且磁浮驱动线圈组210沿轴线a的方向的长度应大于磁浮动子220沿轴线a的方向的厚度，并优选覆盖整个第二区域112，以可靠地驱动磁浮动子220沿轴线a的方向移动。
41.请参考图2，并结合参考图3，可选的，所述真空电容器还包括设置于所述第一区域111的柔性电极引出件600；所述柔性电极引出件600的一端与所述可动电极510连接，另一端与所述壳体组件100连接，所述柔性电极引出件600与所述壳体组件100连接的一端被配置为所述可动电极引出极；其中，所述柔性电极引出件600具有沿所述轴线a的方向的变形自由度。可以理解的，由于可动电极510需要在真空腔室110中沿轴线a的方向移动，一些场景下甚至是快速地往复移动，而可动电极510需要引出而作为真空电容器的一个引出极。本实施例通过在第一区域111中设置柔性电极引出件600来解耦轴向移动的可动电极510与固
定的壳体组件100，以实现对可动电极510的电气连接。
42.优选的，所述柔性电极引出件600为具有镂空的片状件610，所述片状件610还具有内孔620，所述连接件300穿过所述内孔620；所述片状件610的内周与所述可动电极510连接，优选固定连接，所述片状件610的外周与所述壳体组件100连接，优选固定连接。一些实施例中，连接件300可活动地穿过内孔620，另一些实施例中，连接件300也可穿过内孔620后与片状件610固定连接。在一个可替代的示范例中，壳体组件100上具有连接端子140，连接端子140例如固定设置在绝缘筒120的侧壁上，并穿透绝缘筒120的侧壁。片状件610的外周与连接端子140连接，使得连接端子140与可动电极510电导通。此时连接端子140即作为真空电容器的可动电极引出极。如图3所示，片状件610的镂空形状可以包括周向不连续的若干弧形，当然图3所示仅为片状件610的镂空形状的一个示范例而非限定。
43.优选的，片状件610的外轮廓形状与绝缘筒120的内壁形状相同，例如为圆形，从而片状件610能够贴合连接在绝缘筒120的内壁上，此时片状件610不仅起到电连接的作用，还起到对可动电极510的径向限位作用。具体的，可动电极510的第一基板511具有沿轴线a的方向延伸的连接体513，连接体513例如可呈筒状，其远离第一电极片512的一端与内孔620的边缘固定连接。如此配置，由于片状件610具有沿轴线a的方向的变形自由度，但其在垂直于轴线a的方向上并不具有变形自由度，故而相当于通过连接体513对第一基板511的径向位置进行了支撑和限定，从而有利于可动电极510的径向稳定。
44.进一步的，片状件610的设置，还可减小可动电极510电气连接的引出寄生电感，并可用于将可动电极510因射频电流产生的热量传导至绝缘筒120上进行散热，例如通过连接端子140进行散热。
45.请继续参考图2，可选的，所述柔性电极引出件600包括至少两个所述片状件610，至少两个所述片状件610沿所述轴线a的方向间隔排布。优选的，远离所述可动电极510的所述片状件610的所述内孔620的孔径小于靠近所述可动电极510的所述片状件610的所述内孔620的孔径。当然另一些实施例中，至少两个所述片状件610的内孔620的孔径也可以是相同的，本发明对此不限。至少两个片状件610的设置，进一步提高了引出连接的可靠性，也进一步提高了对可动电极510的径向限位作用。
46.可选的，所述真空电容器还包括第一导向组件700；所述第一导向组件700包括沿所述轴线a的方向设置的导向杆710和导向套720，所述导向杆710和导向套720中的一者设置于所述可动电极510上，另一者设置于所述壳体组件100上；所述导向杆710沿所述轴线a的方向可移动地穿设于所述导向套720中，并被所述导向套720限制沿垂直于所述轴线a的方向的位置。在一个可替代的示范例中，导向套720沿轴线a的方向的一端固定设置在可动电极510的第一基板511上，导向套720的另一端朝远离连接件300的方向为自由端。导向杆710沿轴线a的方向的一端固定设置在壳体组件100的端盖130上，导向杆710的另一端朝向连接件300的方向为自由端，并可活动地穿入导向套720。优选的，导向杆710的外轮廓形状和导向套720的内轮廓形状相适配，使得导向杆710只能沿轴线a的方向在导向套720中移动，而无法沿径向移动。由此，导向杆710和导向套720的设置，起到了对可动电极510的径向限位作用，有利于可动电极510的径向稳定。可选的，导向杆710和导向套720均由绝缘材料制成，例如陶瓷。在另一些实施例中，也可以是导向杆710设置在可动电极510的第一基板511上，而导向套720固定设置壳体组件100的端盖130上，其原理类似，本领域技术人员可根
据现有技术进行理解和替换配置。
47.可选的，所述真空电容器还包括第二导向组件800；所述第二导向组件800包括设置于所述屏蔽件400上的轴套810，所述轴套810用于限制所述连接件300沿垂直于所述轴线a的方向的位置。在一个示范例中，轴套810的内径与连接件300的外径相匹配，使得连接件300仅可沿轴线a的方向移动，而在垂直于轴线a的方向上被轴套810限位而被限制径向的偏移。此时屏蔽件400不仅起到区隔第一区域111和第二区域112的作用，实现屏蔽的功能，还起到了支撑和对连接件300的径向限位作用。
48.较佳的，磁浮动子220、连接件300、屏蔽件400、轴套810、可动电极510、固定电极520、导向杆710和导向套720均沿轴线a同轴排布，其中磁浮动子220、连接件300、可动电极510构成运动部件，沿着轴线a的方向，整个运动部件与绝缘筒120之间从上至下一共存在4个径向限位，分别是：
49.1.磁浮驱动线圈组210通过磁场对磁浮动子220的磁悬浮径向限位；
50.2.轴套810对连接件300的径向限位；
51.3.片状件610通过连接体513对第一基板511的径向限位；
52.4.导向杆710和导向套720对第一基板511的径向限位。
53.基于这些径向限位，确保了可动电极510仅具有沿轴线a的方向的自由度，而不会沿径向偏摆，有效地保障了真空电容器的可靠性。
54.可选的，所述真空电容器还包括位置检测模块(未图示)，所述位置检测模块用于检测所述可动电极510沿所述轴线a的位置。第一个实施例中，位置检测模块包括设置在绝缘筒120和/或端盖130上的具有气密性的光学透视窗口，通过光学透视窗口即可直接检测可动电极510的轴向位置。第二个实施例中，绝缘筒120整体具有光学透过性，此时绝缘筒120即被配置为位置检测模块。第三个实施例中，位置检测模块包括设置在绝缘筒120之外的霍尔传感器，其可以检测可动电极510的轴向位置。第四个实施例中，位置检测模块包括设置在可动电极510上的内置rf芯片，其可以向外无线传送其自身的位置信息，从而得到可动电极510的轴向位置。
55.基于如上所述的真空电容器，本发明实施例还提供一种射频匹配器，其包括如上所述的真空电容器。关于射频匹配器的其它部件的结构和原理，可参考现有技术，本发明不再展开说明。
56.综上所述，在本发明提供的真空电容器与射频匹配器中，所述真空电容器包括壳体组件、磁浮驱动线圈组、磁浮动子、连接件、屏蔽件、可动电极以及固定电极；所述壳体组件沿一轴线的方向设置，其内部形成密闭的真空腔室；所述磁浮动子、所述连接件、所述屏蔽件、所述可动电极以及所述固定电极均容置于所述真空腔室中；沿所述轴线的方向，所述屏蔽件将所述真空腔室划分为第一区域和第二区域；所述可动电极沿所述轴线的方向可移动地设置于所述第一区域，所述固定电极固定设置于所述第一区域，所述磁浮动子沿所述轴线的方向可移动地设置于所述第二区域，所述连接件沿所述轴线的方向可移动地贯穿所述屏蔽件，并分别与所述磁浮动子和所述可动电极连接；所述磁浮驱动线圈组绕设于所述壳体组件对应于所述第二区域的外部，所述磁浮驱动线圈组用于驱动所述磁浮动子沿所述轴线的方向移动，并通过所述连接件带动所述可动电极沿所述轴线的方向移动。如此配置，一方面将除了磁浮驱动线圈组外的所有运动部件均设置在壳体组件形成的真空腔室中，真
空腔室的内外不再需要设置类似波纹管这样的机械可变密封构件，提高了真空电容器的可靠性和使用寿命，且运动部件不受真空压力差影响，驱动力大为减小，依靠磁力变化驱动，大大提高了运动部件的运动速度。另一方面，基于屏蔽件的设置，将真空腔室划分为第一区域和第二区域，进而将电极部分与磁浮驱动部分分隔开，有效克服了两者的相互干扰。
57.需要说明的，上述若干实施例之间可相互组合。上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于本发明的保护范围。

技术特征：
1.一种真空电容器，其特征在于，包括：壳体组件、磁浮驱动线圈组、磁浮动子、连接件、屏蔽件、可动电极以及固定电极；所述壳体组件沿一轴线的方向设置，其内部形成密闭的真空腔室；所述磁浮动子、所述连接件、所述屏蔽件、所述可动电极以及所述固定电极均容置于所述真空腔室中；沿所述轴线的方向，所述屏蔽件将所述真空腔室划分为第一区域和第二区域；所述可动电极沿所述轴线的方向可移动地设置于所述第一区域，所述固定电极固定设置于所述第一区域，所述磁浮动子沿所述轴线的方向可移动地设置于所述第二区域，所述连接件沿所述轴线的方向可移动地贯穿所述屏蔽件，并分别与所述磁浮动子和所述可动电极连接；所述磁浮驱动线圈组绕设于所述壳体组件对应于所述第二区域的外部，所述磁浮驱动线圈组用于驱动所述磁浮动子沿所述轴线的方向移动，并通过所述连接件带动所述可动电极沿所述轴线的方向移动；其中，所述真空电容器具有可动电极引出极、固定电极引出极和屏蔽引出极，所述可动电极引出极、固定电极引出极和屏蔽引出极分别与所述可动电极、所述固定电极和所述屏蔽件连接。2.根据权利要求1所述的真空电容器，其特征在于，所述真空电容器还包括设置于所述第一区域的柔性电极引出件；所述柔性电极引出件的一端与所述可动电极连接，另一端与所述壳体组件连接，所述柔性电极引出件与所述壳体组件连接的一端被配置为所述可动电极引出极；其中，所述柔性电极引出件具有沿所述轴线的方向的变形自由度。3.根据权利要求2所述的真空电容器，其特征在于，所述柔性电极引出件为具有镂空的片状件，所述片状件还具有内孔，所述连接件穿过所述内孔；所述片状件的内周与所述可动电极连接，所述片状件的外周与所述壳体组件连接。4.根据权利要求1所述的真空电容器，其特征在于，所述壳体组件包括两个端盖，一个所述端盖与所述屏蔽件电连接，另一个所述端盖与所述固定电极电连接；与所述屏蔽件电连接的所述端盖被配置为所述屏蔽引出极，与所述固定电极电连接的所述端盖被配置为所述固定电极引出极。5.根据权利要求1所述的真空电容器，其特征在于，所述真空电容器还包括第一导向组件；所述第一导向组件包括沿所述轴线的方向设置的导向杆和导向套，所述导向杆和导向套中的一者设置于所述可动电极上，另一者设置于所述壳体组件上；所述导向杆沿所述轴线的方向可移动地穿设于所述导向套中，并被所述导向套限制沿垂直于所述轴线的方向的位置。6.根据权利要求1所述的真空电容器，其特征在于，所述真空电容器还包括第二导向组件；所述第二导向组件包括设置于所述屏蔽件上的轴套，所述轴套用于限制所述连接件沿垂直于所述轴线的方向的位置。7.根据权利要求1所述的真空电容器，其特征在于，所述磁浮驱动线圈组包括至少两个线圈，其中至少一个所述线圈用于驱动所述磁浮动子沿所述轴线的方向移动，至少另一个所述线圈用于限定所述磁浮动子沿垂直于所述轴线的方向的位置。8.根据权利要求1所述的真空电容器，其特征在于，所述屏蔽件沿所述轴线的方向包括电场屏蔽层和磁场屏蔽层，所述电场屏蔽层由高导电率材料制成，所述磁场屏蔽层由高导
磁率材料制成。9.根据权利要求1所述的真空电容器，其特征在于，所述真空电容器还包括位置检测模块，所述位置检测模块用于检测所述可动电极沿所述轴线的位置。10.一种射频匹配器，其特征在于，包括根据权利要求1～9中任一项所述的真空电容器。

技术总结
本发明提供一种真空电容器与射频匹配器，真空电容器包括壳体组件、磁浮驱动线圈组、磁浮动子、连接件、屏蔽件、可动电极以及固定电极；壳体组件沿一轴线的方向设置，其内部形成密闭的真空腔室；磁浮动子、连接件、屏蔽件、可动电极以及固定电极均容置于真空腔室中；屏蔽件将真空腔室划分为第一区域和第二区域；可动电极沿轴线的方向可移动地设置于第一区域，固定电极固定设置于第一区域，磁浮动子沿轴线的方向可移动地设置于第二区域，连接件沿轴线的方向可移动地贯穿屏蔽件，并分别与磁浮动子和可动电极连接；磁浮驱动线圈组绕设于壳体组件对应于第二区域的外部，磁浮驱动线圈组用于驱动磁浮动子并通过连接件带动可动电极沿轴线的方向移动。的方向移动。的方向移动。


技术研发人员：张德才
受保护的技术使用者：上海财盈半导体股份有限公司
技术研发日：2023.07.21
技术公布日：2023/9/14