一种沉积炉的制作方法

1.本实用新型属于碳/碳复合材料坩埚制造技术领域，具体地说，涉及一种沉积炉。


背景技术：

2.现有技术中，制备坩埚的基本工序是制出坩埚形状的预制体，然后通过气相沉积或者液相沉积的方法，将碳原子渗透到碳纤维制成的预制体上，同时进行高温处理，将碳原子石墨化。利用气相沉积方法使预制体在沉积炉内沉积碳的过程是，在沉积炉内通入甲烷，同时提供高温将甲烷分解为气态的碳和氢气，然后使气态碳接触预制体，最终沉积到预制体内，进而提高坩埚的强度、密度等性能。但是，现有气相沉积炉普遍采用侧向加热方式，即在炉壁安装加热器对炉内气体进行加热。这一加热方式随着炉体的增大会出现炉体内温度分布不均匀，靠近炉壁温度较高，靠近炉体中心温度较低的缺陷，从而影响沉积效果。
3.申请号为：201910620583.0的中国实用新型专利公开了一种化学气相均匀沉积炉，包括炉体、加热装置、进气装置。炉体内安装有专用的内筒腔体连接着进气系统。本实用新型通过改进沉积腔室，增加气体喷淋装置、底部加热装置以及衬底的旋转系统提升了薄膜沉积的均匀性节省了材料；所述炉体底部有废气出口，用于后续的废气处理。
4.这种沉积炉虽然解决了炉体内气体温度不均匀的问题，但是该沉积炉的缓冲腔设在沉积腔室的上方并且加热装置设在沉积腔室的底部，由于气体是从上方向下运动并从沉积腔下方排出，气体进入沉积腔后仍未完全分解为气态碳和氢气，需要经过加热装置的加热后才能完全分解并在预制体上沉积碳原子，导致靠近沉积腔底部的预制体才能得到有效的处理并且处理过程时间较长，从而无法处理较高的预制体，或者无法通过叠高堆放的方式处理多个预制体。
5.有鉴于此特提出本实用新型。


技术实现要素：

6.本实用新型的目的在于提供一种沉积炉，以实现利用预热腔提升气体温度加快气体的分解过程，并确保气体进入沉积腔后整个沉积腔中的温度均匀一致，从而能够处理尺寸更大的预制体的目的。
7.为解决上述技术问题，本实用新型采用技术方案的基本构思是：
8.一种沉积炉，包括设有进气管的炉体和设置在炉体空腔内的支撑板，支撑板将空腔分隔为在上方的沉积腔和在下方的供气腔，供气腔内还设置有底座，底座设置在炉体底壁上与支撑板围成预热腔，支撑板上开设有连通沉积腔和预热腔的透气孔，底座上开设有连通预热腔内外的固定孔，进气管插接在固定孔内与预热腔连通。
9.进一步地，还包括内部形成空腔且空腔的一端敞口设置的导气罩，导气罩上开设有连通其空腔内外的通孔，导气罩设置在所述预热腔内并以其敞口罩设在所述固定孔上，所述预热腔经由通孔连通固定孔。
10.进一步地，所述导气罩包括端盖和侧壁，侧壁呈筒状且筒的一端与端盖连接、另一
端形成所述敞口，若干通孔沿着侧壁的周向均匀分布，所述通孔至少部分露出所述固定孔。
11.进一步地，所述端盖的内侧形成有锥形的引导面，引导面的顶点向着所述敞口凸出，所述通孔设在所述侧壁上连接有端盖的一端，并且引导面延伸至所述通孔处。
12.进一步地，所述引导面的顶点到所述端盖的距离至少大于所述通孔的半径。
13.进一步地，所述底座上端面的中部设有一个向下凹陷的沉槽，所述底座上端面形成一个环形的支撑面，所述支撑板与支撑面贴合并覆盖沉槽形成所述预热腔。
14.进一步地，所述固定孔开设在所述沉槽的中心位置，所述固定孔包括与所述沉槽底面相连且未贯通所述底座的导气部和从导气部起延伸贯通所述底座的套接部，导气部的直径至少大于套接部的直径两倍。
15.进一步地，还包括放置在所述沉积腔内的马弗罩，马弗罩呈筒状并且扣合在所述支撑板上，马弗罩横截面的直径大于所述预热腔横截面的直径并且小于所述沉积腔横截面的直径。
16.进一步地，所述马弗罩包括若干个筒体、密封圈和顶板，筒体由圆柱形的薄壁构成；密封圈为圆环形的片状结构，并且密封圈的直径与筒体的直径相同；
17.筒体和密封圈交替叠放，并且顶板覆盖在最上方。
18.进一步地，所述马弗罩还包括排气管，所述顶板上开设有排气口，排气管连接在所述顶板上并且覆盖排气口，排气管穿透炉体通向沉积炉的外部。
19.采用上述技术方案后，本实用新型与现有技术相比具有以下有益效果。
20.1、该沉积炉通过在沉积腔的下方分隔设置一个对气体进行升温的预热腔，能够使气体在预热腔内完成分解的过程，从而使进入沉积腔的气体为能够直接对预制体进行沉积处理的气态碳，大大缩减了对预制体沉积碳的时长，气体从预热腔向沉积腔流动是自下向上的方向，与气体和热量的逸散传递方向相一致，保证了气体在沉积腔内具有均匀的温度场，使得沉积炉能够处理规格尺寸更大的预制体。
21.2、通过在预热腔内设置导气罩，使得通向沉积炉内的气体的喷射方向全部在同一个水平面上，利用导气罩对喷出气体进行导向，减少了气体的能量损耗，保证了气体中碳原子密度的均匀性，提升了对预制体处理的效果。
22.3、通过在沉积腔内设置马弗罩，使含有碳原子的气体只能在马弗罩的空腔内扩散，避免了气态碳与炉体内的加热层接触，从而防止了在加热层上沉积碳层的危害，同时将马弗罩改良为分体式的结构，提高了马弗罩对多种预制体规格尺寸的适应性，减少了马弗罩的数量并节省了成本。
23.下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的描述。
附图说明
24.附图作为本实用新型的一部分，用来提供对本实用新型的进一步的理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，但不构成对本实用新型的不当限定。显然，下面描述中的附图仅仅是一些实施例，对于本领域普通技术人员来说，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。在附图中：
25.图1是本实用新型的一种沉积炉的主要构件的剖面示意图；
26.图2是本实用新型的一种沉积炉的内部构件组装的示意图；
27.图3是图7局部范围e中的一种气体组件的放大示意图；
28.图4是本实用新型中一种沉积炉的预热腔的结构示意图；
29.图5是本实用新型的一种导气罩的示意图；
30.图6是本实用新型的一种导气罩的剖面示意图；
31.图7是本实用新型的一种沉积炉的马弗罩的立体示意图；
32.图8是本实用新型的一种沉积炉的底座的示意图；
33.图9是本实用新型的一种沉积炉的支撑板的示意图；
34.图10是本实用新型的一种沉积炉的进气组件的示意图；
35.图11是本实用新型的一种增能块的示意图；
36.图12是本实用新型的另一种增能块的示意图；
37.图13是本实用新型的另一种增能块的示意图。
38.其中：101、预热腔；110、底座；111、沉槽；112、支撑面；113、固定孔；115、导气部；116、套接部；120、支撑板；121、透气孔；130、马弗罩；131、筒体；132、密封圈；133、排气管；134、顶板；135、排气口；200、进气组件；210、进气管；211、上限位环；212、下限位环；220、增能块；221、导气槽；222、尖部；223、聚气段；224、扩压段；225、喷射段；226、进气口；227、出气口；228、顶端；229、底端；230、导气罩；231、引导面；232、通孔；233、端盖；234、侧壁；235、敞口；300、上炉体；310、沉积腔；400、下炉体。
39.需要说明的是，这些附图和文字描述并不旨在以任何方式限制本实用新型的构思范围，而是通过参考特定实施例为本领域技术人员说明本实用新型的概念。
具体实施方式
40.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
41.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
42.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“接触”、“连通”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
43.实施例一
44.如图1所示，本实用新型的实施例中，介绍一种沉积炉。沉积炉包括设有进气管210的炉体和设置在炉体空腔内的支撑板120，支撑板120将空腔分隔为在上方的沉积腔310和在下方的供气腔，供气腔内还设置有底座110，底座110设置在炉体底壁上与支撑板120围成预热腔101，支撑板120上开设有连通沉积腔310和预热腔101的透气孔121，底座110上开设有连通预热腔101内外的固定孔113，进气管210插接在固定孔113内与预热腔101连通。
45.具体的，将沉积炉设置为上炉体300和下炉体400，使上炉体300扣合在下炉体400上方。上炉体300具有开口朝下的空腔，上炉体300与下炉体400扣合后形成一个封闭的空间。
46.支撑板120横置在下炉体400中并将沉积炉内的空间完全隔开，从而在支撑板120的上侧形成沉积腔310。在支撑板120的下侧还设有底座110，支撑板120覆盖底座110并支撑板120和底座之间形成一个预热腔101。
47.其中，进气管210设置在下炉体400上，并且插接进底座110的固定孔113中，底座110可以对气体进行加热。
48.进一步地，下炉体400具有一个开口朝上的空腔，底座110安装在空腔内部并且贴着下炉体400的底壁固定连接，支撑板120覆盖在底座110上方并且填满下炉体400的空腔开口。进气管210设置在下炉体400的底壁上，固定孔113开设在底座110中贴着底壁的一侧，并且固定孔113套接在进气管210上。
49.优选地，支撑板120为圆形平板并且预热腔101的呈扁平圆柱状，预热腔101的直径略小于所述支撑板120的直径。
50.本实施例中，沉积炉通过在沉积腔310的下方分隔设置一个对气体进行升温的预热腔101，能够使气体在预热腔101内完成分解的过程，从而使进入沉积腔310的气体为能够直接对预制体进行沉积处理的气态碳，大大缩减了对预制体沉积碳的时长，气体从预热腔101向沉积腔310流动是自下向上的方向，与气体和热量的逸散传递方向相一致，保证了气体在沉积腔310内具有均匀的温度场，使得沉积炉能够处理规格尺寸更大的预制体。
51.如图1至图4所示，本实用新型的另一个实施例中，为了使通向预热腔101内的气体全部沿直径方向喷射，在预热腔101内设置了导气罩230，利用导气罩230对气体进行导向。
52.导气罩230的内部形成空腔且空腔的一端敞口235设置。导气罩230上还开设有连通其空腔内外的通孔232。导气罩230设置在所述预热腔101内并以其敞口235罩设在所述固定孔113上，使得所述预热腔101经由通孔232连通固定孔113。
53.具体的，使底座110的固定孔113套接在进气管210上，并在进气管210的出气口227上方设置覆盖出气口227的导气罩230。使导气罩230设置有一个敞口235，并且使导气罩230以敞口235对着所述进气管210的方式嵌入所述固定孔113。
54.本实施例中，通过在预热腔101内设置导气罩230，使得通向沉积炉内的气体的喷射方向全部在同一个水平面上，利用导气罩230对喷出气体进行导向，减少了气体的能量损耗，保证了气体中碳原子密度的均匀性，提升了对预制体处理的效果。
55.如图1至图4所示，本实用新型的另一个实施例中，为了使喷向预热腔101的气体的流动方向沿着预热腔101的直径方向，在预热腔101内设置了一个连接在固定孔113内的导气罩230，导气罩230的一端具有敞口235，导气罩230的敞口235嵌入固定孔113。
56.具体的，如图5和图6所示，导气罩230包括端盖233、侧壁234和通孔232。设置侧壁234形成筒状，然后使筒的一端与端盖233连接、筒的另一端形成敞口235。若干个通孔232设置在侧壁234上，并且沿着侧壁234的周向均匀分布。所述导气罩230的通孔232至少部分露出所述固定孔113。
57.进一步地，为了减少导气罩230对喷出气体的动能造成损耗，在所述端盖233的内表面上形成有锥形的引导面231，并且使引导面231的顶点向着所述敞口235凸出。为了使气
体顺利的冲出导气罩230，使全部通孔232设在所述侧壁234上连接有端盖233的一端，并且使引导面231的圆周边缘延伸至所述通孔232处。
58.为了降低气体冲击在引导面231上造成的损耗，确保引导面231的导向效果，设置所述引导面231的顶点到所述端盖233的距离至少大于所述通孔232的半径。
59.本实施例中，通过在预热腔101的固定孔113处设置导气罩230，使得通向沉积炉内的气体的喷射方向全部在同一个水平面上，利用导气罩230对喷出气体进行导向，减少了气体的能量损耗，保证了气体中碳原子密度的均匀性，提升了对预制体处理的效果。
60.如图8所示，本实用新型的另一个实施例中，为了降低制作预热腔101的难度，减少制作沉积炉的费用，在所述底座110上端面的中部开设有一个向下凹陷的沉槽111，从而通过支撑板120封盖沉槽111形成预热腔101。
61.具体的，设置沉槽111的深度至少大于所述导气罩230的通孔232的直径。沉槽111的直径小于所述底座110端面的直径，从而在底座110的上端面形成一个环形的支撑面112，用来与支撑板120连接配合。设置支撑板120与底座110的支撑面112贴合，以覆盖底座110的沉槽111形成所述预热腔101。
62.优选地，为了确保通入沉积炉的气体均匀地在预热腔101中扩散，将所述固定孔113开设在沉槽111的中心位置，同时将进气管210也对应地设置在下炉体400底壁的中心处。
63.进一步优选地，为了确保导气罩230与进气管210的相对位置准确和稳定，保证进气的效果，设置固定孔113包括套接部116和导气部115。套接部116用于固定所述进气管210，导气部115用于固定所述导气罩230。导气部115与所述沉槽111的底面相连并且不贯通所述底座110。套接部116从导气部115起向底座110的下端面延伸，并且贯通所述底座110。
64.优选地，导气部115的直径大于套接部116的直径，导气部115与套接部116相连通并且两者的中心轴线重合。所述导气罩230与固定孔113连接时，导气罩230的敞口235嵌入导气部115中。所述进气管210与固定孔113连接时，进气管210插接在套接部116中。
65.为了降低气体对导气罩230的冲击，降低气体通过导气罩230的通孔232产生的噪音，设置固定孔113的导气部115直径至少大于套接部116直径两倍，从而使得导气罩230嵌在导气部115中时，导气罩230与进气管210之间形成有缓冲气体的空间。
66.本实施例中，在底座110上设置固定孔113，利用固定孔113对导气罩230和进气管210进行固定连接。确保了导气罩230和进气管210位置关系的稳固性，保证了进气组件200整体的稳定性，节省了用于固定导气罩230和进气管210的构件。
67.如图1至图4所示，本实用新型的另一个实施例中，为了避免进入沉积腔310的气态碳与上炉体300内侧的加热层直接接触，从而在加热层表面形成沉积的碳层，改变加热层的导热、导电等性能，造成沉积炉故障。使用沉积炉对预制体进行渗碳处理时，在沉积腔310内设有防止气态碳向加热层扩散的马弗罩130，马弗罩130的空腔开口朝下并与支撑板120连接。马弗罩130覆盖全部待处理的预制体以及支撑板120上的透气孔121。
68.具体的，如图2和图7所示，马弗罩130呈筒状并且扣合在所述支撑板120上。马弗罩130横截面的直径大于所述预热腔101横截面的直径。同时马弗罩130横截面的直径小于所述沉积腔310横截面的直径，以确保气态碳在马弗罩130的空腔内充分向预制体沉积。
69.本实用新型的另一个实施例中，为了提高马弗罩130对多种预制体规格尺寸的适
应性，减少马弗罩130的数量并节省成本，将马弗罩130设置为分体式结构。
70.具体的，设置所述马弗罩130包括若干个筒体131、密封圈132和顶板134。其中，筒体131由圆柱形的薄壁构成。密封圈132为圆环形的片状结构，并且密封圈132的直径与筒体131的直径相同。在沉积炉中使用马弗罩130时，使筒体131和密封圈132交替叠放，然后将顶板134覆盖在最上方。
71.进一步地，在所述马弗罩130的最上方还设置有排气管133，用来排出使用完毕的废气。此时在所述顶板134上相应开设排气口135，使排气管133连接在所述顶板134上并且覆盖住排气口135。
72.优选地，还可在上炉体300中设置一个与排气管133相连通的管路，或者在上炉体300直接开设贯通孔232，使排气管133穿透上炉体300通向沉积炉的外部。
73.本实施例中，通过在沉积腔310内设置马弗罩130，使含有碳原子的气体只能在马弗罩130的空腔内扩散，避免了气态碳与上炉体300的加热层接触，从而防止了在加热层上沉积碳层的危害，同时将马弗罩130改良为分体式的结构，提高了马弗罩130对多种预制体规格尺寸的适应性，减少了马弗罩130的数量并节省了成本。
74.实施例二
75.如图10所示，本实用新型的实施例中，介绍一种进气组件200。进气组件200包括具有进气口226和出气口227的进气管210，还包括柱状的增能块220，增能块220可活动地设在进气管210管道内并且增能块220的横截面沿着进气口226到出气口227的方向逐渐变大。
76.具体的，如图1所示，进气管210可设置为通直的中空管，在进气管210上方的端口处设置上限位环211，在进气管210下方的端口处设置下限位环212，增能块220活动地放置在进气管210的中空管路中。
77.如图10所示，增能块220为横截面大小不断变化的柱形构件，增能块220的横截面大小沿着进气管210的中心轴线方向变化。例如，自进气口226至出气口227增能块220的横截面逐渐变大，或者，自进气口226至出气口227增能块220的横截面逐渐变小。
78.本实施例中，进气组件200通过在管道内设置增能块220能够改变和控制气体在管道内的流动状态，使增能块220的横截面沿着进气口226到出气口227的方向不断变大，能够控制进气管210中供气体通过的有效截面积从进气口226到出气口227不断变小，从而促使气体在向出气口227流动的过程中不断受到挤压，大大提高气体从出气口227喷出的压力和速度，从而使进气组件200喷出气体具有较大的动能，避免气体中的碳原子出现沉积现象。
79.本实用新型的另一个实施例中，在使用进气组件200向沉积炉内通气过程中，为了避免增能块220被气体冲出进气管210进入沉积炉内难以取出，影响沉积炉的使用，对进气组件200的结构进行了改善。
80.设置所述增能块220包括朝向所述进气口226的顶端228和朝向所述出气口227的底端229。在所述进气管210的进气口226处和出气口227处分别设置一个通孔232直径小于增能块220的底端229直径的上限位环211和下限位环212。
81.具体的，设置增能块220横截面最小的一端为顶端228和横截面最大的一端为底端229。将增能块220放置在进气管210中时，使增能块220的顶端228朝着进气管210的进气口226，增能块220的底端229朝着进气管210的出气口227。这样从进气管210的进气口226向沉积炉通气就会在进气管210中对气体形成有效截流面积逐渐变小的流道，从而使气体到达
进气管210的出气口227处时气压和速度都大大提高。
82.如图11所示，本实用新型的另一个实施例中，为了能够消除或减小气体冲击增能块220顶端228的平面反弹气流引起湍流现象，进而避免产生的振动和噪音，设置减小顶端228的横截面。
83.具体的，使增能块220的顶端228的横截面逐渐缩小并收缩至一点形成尖部222，从而使所述增能块220整体上呈现为圆锥状。如图1所示，相对于进气管210的进气口226在下和出气口227在上的位置，增能块220呈倒立的圆锥体状。
84.本实施例中，通过设置改变增能块220的外部形状，并使增能块220呈顶点朝向进气口226的圆锥状，极大地减小了增能块220对气体的阻力，并且通过增能块220的尖部222消除了气体对增能块220顶端228的冲击作用，避免了气体在进气管210中产生湍流现象引起噪音。
85.如图11至图13所示，本实用新型的另一个实施例中，为了使出气口227喷出的气体能够均匀地混入沉积炉的沉积腔310中，在增能块220上设置导气槽221，使得气体通过导气槽221时能够带动着增能块220在进气管210中旋转，从而使气体能够从进气管210的出气口227以不断旋转的方式，全角度、全方位地喷到沉积腔310内。
86.具体地，在所述增能块220的外圆周侧面上设置用于引导气体的导气槽221，并且导气槽221从增能块220的顶端228开始向增能块220的底端229延伸。导气槽221的路径可以是与圆锥体外圆周侧面的母线平行的直线放射样式，也可以是与圆锥体外圆周侧面的母线有夹角的旋转放射样式。
87.如图11和图12所示，本实用新型的另一个实施例中，为了进一步提升气体通过导气槽221时对增能块220产生的转动力矩，使导气槽221在增能块220的外圆周侧面螺旋盘绕设置，并且将导气槽221设置成两段，一段为聚气段223、一段为喷射段225。
88.具体地，从增能块220高度的中间划分，设置连通到增能块220顶端228的导气槽221为聚气段223，连通到增能块220底端229的导气槽221为喷射段225。聚气段223和喷射段225可以直接连通，并且以相同的方向螺旋盘绕在所述增能块220的外圆周侧面上。例如，同时以顺时针方向螺旋盘绕，或者同时以逆时针方向螺旋盘绕。
89.进一步地，设置导气槽221包括连通所述顶端228的聚气段223和连通所述底端229的喷射段225，并且使聚气段223和喷射段225在圆锥外圆周表面的中部以相反的方向连通。例如，使聚气段223以顺时针方向、而喷射段225以逆时针方向螺旋盘绕在外圆周表面上。或者，使聚气段223以逆时针方向、而喷射段225以顺时针方向螺旋盘绕在外圆周表面上。
90.进一步地，为了优化聚气段223和喷射段225以相反的方向连通的效果，延长气体通过导气槽221的时间，导气槽221还包括扩压段224。使扩压段224位于聚气段223与喷射段225之间并在圆锥外圆周表面的中部增大扩压段224的槽深。
91.本实施例中，通过设置导气槽221在增能块220的外圆周表面上以螺旋盘绕的方式延伸，进一步增加了气体通过导气槽221时对增能块220产生的旋转作用，能够提升从进气组件200喷出的气体方向的改变速度，对导气槽221划分并设置成多个盘绕方向不同的功能段，能够进一步增大气体对增能块220的作用力，提升增能块220对气体的增能和混合效果。
92.如图13所示，本实用新型的另一个实施例中，为了使气体对增能块220的作用力更加均匀地分布在增能块220的外表面上，在所述增能块220的外圆周表面上设置若干个导气
槽221。使每个导气槽221都是一个独立的供气体流通的通道，并且至少有两个导气槽221均匀分布在增能块220的外圆周表面上。
93.如图3和图4所示，本实用新型的另一个实施例中，为了将进气管210喷出气体的流动方向限制在一个平面内，在进气管210的出气口227上方罩设了一个导气罩230，导气罩230的一端具有敞口235，导气罩230的敞口235罩住所述出气口227。
94.具体的，如图5和图6所示，导气罩230包括端盖233、侧壁234和通孔232。设置侧壁234形成筒状，然后使筒的一端与端盖233连接、筒的另一端形成敞口235。若干个通孔232设置在侧壁234上，并且沿着侧壁234的周向均匀分布。
95.进一步地，为了减少导气罩230对喷出气体的动能造成损耗，在所述端盖233的内表面上形成有锥形的引导面231，并且使引导面231的顶点向着所述敞口235凸出。为了使气体顺利的冲出导气罩230，使全部通孔232设在所述侧壁234上连接有端盖233的一端，并且使引导面231的圆周边缘延伸至所述通孔232处。
96.本实施例中，通过在进气管210的出气口227上方罩设导气罩230，使得通向沉积炉内的气体的喷射方向全部在同一个水平面上，利用导气罩230对喷出气体进行导向，减少了气体的能量损耗，保证了气体中碳原子密度的均匀性，提升了对预制体处理的效果。
97.如图4所示，本实用新型的另一实施例中，为了使导气罩230与进气管210连接固定，保证进气组件200整体的稳定性，在安装进气管210和导气罩230的构件上还设置有固定孔113。
98.具体地，使固定孔113的形成面为圆柱形，并且设置固定孔113包括导气部115和套接部116。套接部116用于固定所述进气管210，导气部115用于固定所述导气罩230。
99.导气部115的直径大于套接部116的直径，导气部115与套接部116相连通并且两者的中心轴线重合。所述导气罩230与固定孔113连接时，导气罩230的敞口235嵌入导气部115中。所述进气管210与固定孔113连接时，进气管210插接在套接部116中。
100.本实施例中，可以通过直接在沉积炉的部件上设置固定孔113，对导气罩230和进气管210进行固定连接。确保了导气罩230和进气管210位置关系的稳固性，保证了进气组件200整体的稳定性，节省了用于固定导气罩230和进气管210的构件。
101.如图1至图2所示，本实用新型还提供一种安装有上述进气组件200的沉积炉。沉积炉包括设有进气管210的下炉体400、安装在下炉体400中的底座110和支撑板120，还包括扣合在下炉体400上方的上炉体300，支撑板120横置在下炉体400中，支撑板120的一侧形成沉积腔310、另一侧覆盖底座110形成一个预热腔101，支撑板120上设有连通沉积腔310与预热腔101的透气孔121，底座110上设有连通预热腔101与进气管210的固定孔113。
102.以上所述仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专利的技术人员在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述提示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型方案的范围。

技术特征：
1.一种沉积炉，包括设有进气管(210)的炉体和设置在炉体空腔内的支撑板(120)，支撑板(120)将空腔分隔为在上方的沉积腔(310)和在下方的供气腔，供气腔内还设置有底座(110)，其特征在于，底座(110)设置在炉体底壁上与支撑板(120)围成预热腔(101)，支撑板(120)上开设有连通沉积腔(310)和预热腔(101)的透气孔(121)，底座(110)上开设有连通预热腔(101)内外的固定孔(113)，进气管(210)插接在固定孔(113)内与预热腔(101)连通。2.根据权利要求1所述的一种沉积炉，其特征在于，还包括内部形成空腔且空腔的一端敞口(235)设置的导气罩(230)，导气罩(230)上开设有连通其空腔内外的通孔(232)，导气罩(230)设置在所述预热腔(101)内并以其敞口(235)罩设在所述固定孔(113)上，所述预热腔(101)经由通孔(232)连通固定孔(113)。3.根据权利要求2所述的一种沉积炉，其特征在于，所述导气罩(230)包括端盖(233)和侧壁(234)，侧壁(234)呈筒状且筒的一端与端盖(233)连接、另一端形成所述敞口(235)，若干所述通孔(232)沿着侧壁(234)的周向均匀分布，所述通孔(232)至少部分露出所述固定孔(113)。4.根据权利要求3所述的一种沉积炉，其特征在于，所述端盖(233)的内侧形成有锥形的引导面(231)，引导面(231)的顶点向着所述敞口(235)凸出，所述通孔(232)设在所述侧壁(234)上连接有端盖(233)的一端，并且引导面(231)延伸至所述通孔(232)处。5.根据权利要求4所述的一种沉积炉，其特征在于，所述引导面(231)的顶点到所述端盖(233)的距离至少大于所述通孔(232)的半径。6.根据权利要求1-5任一所述的一种沉积炉，其特征在于，所述底座(110)上端面的中部设有一个向下凹陷的沉槽(111)，所述底座(110)上端面形成一个环形的支撑面(112)，所述支撑板(120)与支撑面(112)贴合并覆盖沉槽(111)形成所述预热腔(101)。7.根据权利要求6所述的一种沉积炉，其特征在于，所述固定孔(113)开设在所述沉槽(111)的中心位置，所述固定孔(113)包括与所述沉槽(111)底面相连且未贯通所述底座(110)的导气部(115)和从导气部(115)起延伸贯通所述底座(110)的套接部(116)，导气部(115)的直径至少大于套接部(116)的直径两倍。8.根据权利要求7所述的一种沉积炉，其特征在于，还包括放置在所述沉积腔(310)内的马弗罩(130)，马弗罩(130)呈筒状并且扣合在所述支撑板(120)上，马弗罩(130)横截面的直径大于所述预热腔(101)横截面的直径并且小于所述沉积腔(310)横截面的直径。9.根据权利要求8所述的一种沉积炉，其特征在于，所述马弗罩(130)包括若干个筒体(131)、密封圈(132)和顶板(134)，筒体(131)由圆柱形的薄壁构成；密封圈(132)为圆环形的片状结构，并且密封圈(132)的直径与筒体(131)的直径相同；筒体(131)和密封圈(132)交替叠放，并且顶板(134)覆盖在最上方。10.根据权利要求9所述的一种沉积炉，其特征在于，所述马弗罩(130)还包括排气管(133)，所述顶板(134)上开设有排气口(135)，排气管(133)连接在所述顶板(134)上并且覆盖排气口(135)，排气管(133)穿透炉体通向沉积炉的
外部。

技术总结
本实用新型公开了一种沉积炉，沉积炉包括设有进气管的炉体和设置在炉体空腔内的支撑板，支撑板将空腔分隔为在上方的沉积腔和在下方的供气腔，供气腔内还设置有底座，底座设置在炉体底壁上与支撑板围成预热腔，支撑板上开设有连通沉积腔和预热腔的透气孔，底座上开设有连通预热腔内外的固定孔，进气管插接在固定孔内与预热腔连通。该沉积炉通过在沉积腔的下方分隔设置一个对气体进行升温的预热腔，能够使气体在预热腔内完成分解的过程，从而使进入沉积腔的气体能够直接对预制体进行沉积处理，缩减了渗碳的时长，保证了气体在沉积腔内具有均匀的温度场，使得沉积炉能够处理规格尺寸更大的预制体。大的预制体。大的预制体。


技术研发人员：周俭
受保护的技术使用者：内蒙古鼎泰万邦新材料有限公司
技术研发日：2023.04.04
技术公布日：2023/9/19