用于清洗设备的固定装置以及用于半导体设备的清洗设备的制作方法

1.本公开内容涉及半导体制造领域，并且更具体而言涉及一种用于清洗设备的固定装置以及一种用于半导体设备的清洗设备。


背景技术：

2.当前流行的用于半导体设备的清洗设备通常是通过气缸或电机配合丝杆支撑液体收集机构环同时升降，其结构是通过连接件与液体收集机构环连接，液体收集机构环中所收集的液体通常具有腐蚀性，而且随着被收集的液体的温度的变化，液体收集机构环的形状也会变化。因此，急需一种可以适应液体收集机构环热胀冷缩的用于清洗设备的固定装置。


技术实现要素：

3.本公开内容的目的旨在解决现有技术中存在的上述问题和缺陷中的至少一方面，即当前液体收集机构环会随着被收集的液体的温度的变化。针对该技术问题，本公开内容提出了一种能够适应液体收集机构环热胀冷缩的用于清洗设备的固定装置。
4.具体而言，本公开内容的第一方面提出了一种本公开内容的一个实施例还提出了一种用于清洗设备的固定装置，所述固定装置包括：液体收集机构环，所述液体收集机构环被构造用于收集所述清洗设备在清洗时所形成的液体；至少三个连接件，所述至少三个连接件与所述液体收集机构环固定连接，其中，所述至少三个连接件中的至少一个连接件包括调节槽并且所述调节槽沿着所述液体收集机构环的径向方向设置；以及滑动导向件，所述滑动导向件被设置在所述调节槽之中。
5.在根据本公开内容的一个示例性的实施例之中，所述固定装置还包括：支撑件，所述支撑件与所述滑动导向件固定连接。
6.在根据本公开内容的一个示例性的实施例之中，所述支撑件在其远离所述液体收集机构环的一端设置有滚轮。
7.在根据本公开内容的一个示例性的实施例之中，所述支撑件与所述滑动导向件一体成型。
8.在根据本公开内容的一个示例性的实施例之中，所述液体收集机构环被构造为圆形或者方形。
9.在根据本公开内容的一个示例性的实施例之中，所述固定装置还包括：
10.与所述至少三个连接件相对应的至少三个紧固螺钉，所述至少三个紧固螺钉被设置在所述液体收集机构环上，其中，所述紧固螺钉具有在纵向轴线上的不同直径的第一分段和第二分段，
11.其中，所述连接件中设置有通孔，所述通孔包括与所述第一分段的直径相对应的第一部分和与所述第二分段的直径相对应的第二部分。
12.在根据本公开内容的一个示例性的实施例之中，所述紧固螺钉包括第三分段，所
述第三分段被设置在所述第一分段和所述第二分段之间，并且其中，所述第三分段的直径比所述第一分段的直径和所述第二分段的直径都小。
13.在根据本公开内容的一个示例性的实施例之中，所述固定装置还包括：
14.固定螺钉，所述固定螺钉沿着所述液体收集机构环的径向方向旋入所述至少三个连接件中的一个连接件之中。
15.在根据本公开内容的一个示例性的实施例之中，所述紧固螺钉容纳于所述连接件的所述通孔之中。
16.再者，本公开内容的一个实施例提供了一种用于半导体设备的清洗设备，所述清洗设备包括根据本公开内容的一个实施例所提出的固定装置。
17.综上所述，在依据本公开内容所提出的用于清洗设备的固定装置之中，通过连接件中设置调节槽结构，从而能够有针对性地应对液体收集机构环的热胀冷缩，从而能够提高液体收集机构环的使用寿命，进而提高依据本公开内容所提出的用于清洗设备的固定装置的可用性。
附图说明
18.结合附图并参考以下详细说明，本公开的各实施例的特征、优点及其他方面将变得更加明显，在此以示例性而非限制性的方式示出了本公开的若干实施例，在附图中：
19.图1a示出了依据本公开内容的紧固螺钉120的侧视图；
20.图1b示出了依据本公开内容的液体收集机构环110的仰视图；
21.图1c示出了依据本公开内容的液体收集机构环110与紧固螺钉120组装在一起的侧视图；
22.图2a示出了依据本公开内容的连接件130的俯视图；
23.图2b示出了依据本公开内容的支撑件和连接件连接在一起的侧视图；
24.图2c示出了依据本公开内容的连接件130的局部侧视图；
25.图2d示出了依据本公开内容的连接件130的局部俯视图；
26.图2e示出了依据本公开内容的连接件130的局部仰视图；以及
27.图3示出了依据本公开内容的用于清洗设备的固定装置100的组装视图。
具体实施方式
28.下面通过实施例，并结合附图，对本公开内容的技术方案作出进一步具体的说明。在说明书中，相同或相似的附图标号指示相同或相似的部件。下述参照附图对本公开内容实施方式的说明旨在对本公开内容的总体发明构思进行解释，而不应当理解为对本公开内容的一种限制。
29.本文所使用的术语“包括”、“包含”及类似术语应该被理解为是开放性的术语，即“包括/包含但不限于”，表示还可以包括其他内容。术语“基于”是“至少部分地基于”。术语“一个实施例”表示“至少一个实施例”；术语“另一实施例”表示“至少一个另外的实施例”，等等。
30.如前所述，本公开内容的目的旨在解决现有技术中存在的上述问题和缺陷中的至少一方面。概括而言，本公开内容的目的旨在解决现有技术中存在的上述问题和缺陷中的
至少一方面，即当前要将液体收集腔室顶部全部拆完才能更换液体收集机构环。针对该技术问题，本公开内容提出了一种能够便利地在用于半导体设备的清洗设备的外部便能实现的液体收集机构环的安装结构，其能够实现液体收集机构环的便利的安装以及可能需要的拆卸。
31.具体而言，本公开内容的一个实施例提出了一种用于清洗设备的固定装置，所述固定装置包括：液体收集机构环，所述液体收集机构环被构造用于收集所述清洗设备在清洗时所形成的液体；至少三个紧固螺钉，所述至少三个紧固螺钉被设置在所述液体收集机构环上，其中，所述紧固螺钉具有在纵向轴线上的不同直径的第一分段和第二分段；以及与所述紧固螺钉相对应的多个连接件，所述连接件中设置有通孔，所述通孔包括与所述第一分段的直径相对应的第一部分和与所述第二分段的直径相对应的第二部分。在依据本公开内容所提出的用于清洗设备的固定装置之中，通过连接件与预先固定在液体收集机构环上的紧固螺钉之间的间隙配合便能够实现安装，其拆装均比较方便快捷，这将大大提高液体收集机构环的拆装效率而且降低其拆装难度，进而提高依据本公开内容所提出的用于清洗设备的固定装置的可用性。
32.以下将参照附图来描述依据本公开内容所提出的用于清洗设备的固定装置。为了描述依据本公开内容所提出的固定装置，首先介绍依据本公开内容的液体收集机构环110和紧固螺钉120的连接方式。在此，图1a示出了依据本公开内容的紧固螺钉120的侧视图，图1b示出了依据本公开内容的液体收集机构环110的仰视图，而图1c示出了依据本公开内容的液体收集机构环110与紧固螺钉120组装在一起的侧视图。
33.从图1a至图1c之中可以看出为了平稳之目的，在液体收集机构环110上均匀分布例如三组螺纹孔111、112和113，每组螺纹孔111、112或者113包括例如两个螺纹孔，每个螺纹孔之中能够旋入一个紧固螺钉120，紧固螺钉120的第一部分即头部121例如能够旋入液体收集机构环110之中，露出中部122和尾部123，其中，尾部123的直径大于中部122的直径。在具体组装过程中，例如能够分别将六个紧固螺钉120分别旋入到三组螺纹孔111、112和113之中，并分别露出紧固螺钉120的中部122和尾部123。在此，本领域的技术人员应当了解，紧固螺钉120分别旋入三组螺纹孔111、112和113，这三组螺纹孔111、112和113分别位于液体收集机构环110的底面的边缘处。在旋入紧固螺钉120之后，液体收集机构环110和紧固螺钉120的组装示意图如图1c所示。
34.在准备好了液体收集机构环110和紧固螺钉120的组装结构之后，需要将其与清洗设备的其他部分进行组装。此时，清洗设备的具有与紧固螺钉120相对应的通孔位置，其通孔位置如图2a所示。图2a示出了依据本公开内容的连接件130的俯视图，图2b示出了依据本公开内容的支撑件和连接件连接在一起的侧视图，图2c示出了依据本公开内容的连接件130的局部侧视图，图2d示出了依据本公开内容的连接件130的局部俯视图，而图2e示出了依据本公开内容的连接件130的局部仰视图。
35.从图2a之中可以看出，在连接件130朝上的部分具有通孔，该通孔包括与所述第一分段的直径(例如中部122的直径)相对应的第一部分(例如图2d的左侧小圆部分的直径)和与所述第二分段的直径(例如尾部123的直径)相对应的第二部分(例如图2d的右侧大圆部分的直径)。由此，在组装时，尾部123能够穿过大圆部分，然后在穿过之后中部122能够从顶部看顺时针旋转旋入小圆部分，由此实现紧固。为了进一步优化紧固效果，也能够在中部
122和尾部123之间设置一个比中部122和尾部123的直径都要小的部分124，其直径例如能够对应于左侧小圆部分的直径，进而使得紧固后，液体收集机构环110也不会上下移动。以这样的方式能够将液体收集机构环与连接件进行牢固地固定，不会发生偏移。
36.在液体收集机构环110经由紧固螺钉120固定至连接件130之后，为了防止液体收集机构环发生回转或者由此带来的松动，从而能够使得液体收集机构环与连接件牢固地固定，不会发生偏移，所述固定装置还包括：固定螺钉(图中未示出)，所述固定螺钉沿着所述液体收集机构环110的径向方向旋入所述多个连接件中的一个连接件之中，例如通过图2c所示出的侧向螺孔133旋入该固定螺钉。在需要拆卸时，先旋下该固定螺钉，然后便能够将液体收集机构环110与连接件进行分离。
37.由于液体收集机构环110通常所收集的液体都是高温液体，所以液体收集机构环110可能会发生热胀冷缩，所以需要适应这种热胀冷缩给液体收集机构环110所带来的形状大小的变化。为此，所述连接件还包括调节槽134，所述调节槽134沿着所述液体收集机构环110的径向方向设置。以这样的方式使得与连接件相连接的部分能够沿着所述调节槽134进行径向方向的位置调节，从而能够适应液体收集机构环110的热胀冷缩的影响。
38.此外，为了使得与连接件相连接的部分能够借助于该滑动导向件与所述连接件滑动连接，进而使得与连接件相连接的部分能够相对于所述液体收集机构环沿着所述调节槽进行径向上的位置调节，所述固定装置还包括滑动导向件，所述滑动导向件被设置在所述调节槽之中。
39.再者，为了将液体收集机构环110支撑住，所述固定装置还包括：支撑件140，所述支撑件140与所述滑动导向件固定连接。以这样的方式，使得上述的与连接件相连接的部分能够包括此处的支撑件140，进而使得所述支撑件140能够相对于所述液体收集机构环110沿着所述调节槽进行径向上的位置调节。
40.优选地，在根据本公开内容的一个示例性的实施例之中，所述支撑件在其远离所述液体收集机构环的一端设置有滚轮141。进一步优选地，在根据本公开内容的一个示例性的实施例之中，所述紧固螺钉容纳于所述连接件的所述通孔之中。更为优选地，在根据本公开内容的一个示例性的实施例之中，所述液体收集机构环110被构造为圆形或者方形。
41.图3示出了依据本公开内容的用于清洗设备的固定装置100的组装视图。
42.综上所述，在依据本公开内容的上述实施例所提出的用于清洗设备的固定装置之中，通过连接件与预先固定在液体收集机构环上的紧固螺钉之间的间隙配合便能够实现安装，其拆装均比较方便快捷，这将大大提高液体收集机构环的拆装效率而且降低其拆装难度，进而提高依据本公开内容所提出的用于清洗设备的固定装置的可用性。
43.上述的实施例先设计了便于拆卸的固定结构，然后在该固定结构的基础之上附加了适应热胀冷缩的调节槽的结构。但是，本领域的技术人员应当了解，也可以先设计调节槽结构，从而首先解决掉热胀冷缩的影响，然后再在此基础之上增加固定结构，从而解决难于拆卸的技术问题。
44.也就是说，现有技术中的连接件无法应对液体收集机构环110随着热胀冷缩所引起的体积变化，从而引起液体收集机构环110的损坏。为了应对热胀冷缩所带来的应力的影响，本公开内容的发明人想到在连接件中设置调节槽，如本技术的图2e所示，在连接件130中设置沿着液体收集机构环110的径向方向的调节槽140。此时，如果液体收集机构环110体
积膨胀，则支撑件140的位置能够不变，然后支撑件140在调节槽134中的位置相对于液体收集机构环110的边缘向径向的圆心方向移动即可。
45.在此基础之上，为了进一步便利化液体收集机构环110的拆装工作，也能够设置上述的快速拆卸结构，即上述的用于清洗设备的固定装置的结构。该用于清洗设备的固定装置已经在上面结合附图进行了详细的描述，故在此不再赘述。
46.概括而言，本公开内容的一个实施例还提出了一种用于清洗设备的固定装置，所述固定装置包括：液体收集机构环，所述液体收集机构环被构造用于收集所述清洗设备在清洗时所形成的液体；至少三个连接件，所述至少三个连接件与所述液体收集机构环固定连接，其中，所述至少三个连接件中的至少一个连接件包括调节槽并且所述调节槽沿着所述液体收集机构环的径向方向设置；以及滑动导向件，所述滑动导向件被设置在所述调节槽之中。
47.在根据本公开内容的一个示例性的实施例之中，所述固定装置还包括：支撑件，所述支撑件与所述滑动导向件固定连接。
48.在根据本公开内容的一个示例性的实施例之中，所述支撑件在其远离所述液体收集机构环的一端设置有滚轮。
49.在根据本公开内容的一个示例性的实施例之中，所述支撑件与所述滑动导向件一体成型。
50.在根据本公开内容的一个示例性的实施例之中，所述液体收集机构环被构造为圆形或者方形。
51.在根据本公开内容的一个示例性的实施例之中，所述固定装置还包括：
52.与所述至少三个连接件相对应的至少三个紧固螺钉，所述至少三个紧固螺钉被设置在所述液体收集机构环上，其中，所述紧固螺钉具有在纵向轴线上的不同直径的第一分段和第二分段，
53.其中，所述连接件中设置有通孔，所述通孔包括与所述第一分段的直径相对应的第一部分和与所述第二分段的直径相对应的第二部分。
54.在根据本公开内容的一个示例性的实施例之中，所述紧固螺钉包括第三分段，所述第三分段被设置在所述第一分段和所述第二分段之间，并且其中，所述第三分段的直径比所述第一分段的直径和所述第二分段的直径都小。
55.在根据本公开内容的一个示例性的实施例之中，所述固定装置还包括：
56.固定螺钉，所述固定螺钉沿着所述液体收集机构环的径向方向旋入所述至少三个连接件中的一个连接件之中。
57.在根据本公开内容的一个示例性的实施例之中，所述紧固螺钉容纳于所述连接件的所述通孔之中。
58.再者，本公开内容的一个实施例提供了一种用于半导体设备的清洗设备，所述清洗设备包括根据本公开内容的一个实施例所提出的固定装置。
59.综上所述，在依据本公开内容的一个实施例所提出的用于清洗设备的固定装置之中，通过连接件中设置调节槽结构，从而能够有针对性地应对液体收集机构环110的热胀冷缩，从而能够提高液体收集机构环110的使用寿命，进而提高依据本公开内容所提出的用于清洗设备的固定装置的可用性。
60.以上仅为本公开的实施例可选实施例，并不用于限制本公开的实施例，对于本领域的技术人员来说，本公开的实施例可以有各种更改和变化。凡在本公开的实施例的精神和原则之内，所作的任何修改、等效替换、改进等，均应包含在本公开的实施例的保护范围之内。
61.虽然已经参考若干具体实施例描述了本公开的实施例，但是应该理解，本公开的实施例并不限于所公开的具体实施例。本公开的实施例旨在涵盖在所附权利要求的精神和范围内所包括的各种修改和等同布置。所附权利要求的范围符合最宽泛的解释，从而包含所有这样的修改及等同结构和功能。

技术特征：
1.一种用于清洗设备的固定装置，其特征在于，所述固定装置包括：液体收集机构环，所述液体收集机构环被构造用于收集所述清洗设备在清洗时所形成的液体；至少三个连接件，所述至少三个连接件与所述液体收集机构环固定连接，其中，所述至少三个连接件中的至少一个连接件包括调节槽并且所述调节槽沿着所述液体收集机构环的径向方向设置；以及滑动导向件，所述滑动导向件被设置在所述调节槽之中。2.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述固定装置还包括：支撑件，所述支撑件与所述滑动导向件固定连接。3.根据权利要求2所述的固定装置，其特征在于，所述支撑件在其远离所述液体收集机构环的一端设置有滚轮。4.根据权利要求2所述的固定装置，其特征在于，所述支撑件与所述滑动导向件一体成型。5.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述液体收集机构环被构造为圆形或者方形。6.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述固定装置还包括：与所述至少三个连接件相对应的至少三个紧固螺钉，所述至少三个紧固螺钉被设置在所述液体收集机构环上，其中，所述紧固螺钉具有在纵向轴线上的不同直径的第一分段和第二分段，其中，所述连接件中设置有通孔，所述通孔包括与所述第一分段的直径相对应的第一部分和与所述第二分段的直径相对应的第二部分。7.根据权利要求6所述的固定装置，其特征在于，所述紧固螺钉包括第三分段，所述第三分段被设置在所述第一分段和所述第二分段之间，并且其中，所述第三分段的直径比所述第一分段的直径和所述第二分段的直径都小。8.根据权利要求6或7所述的固定装置，其特征在于，所述固定装置还包括：固定螺钉，所述固定螺钉沿着所述液体收集机构环的径向方向旋入所述至少三个连接件中的一个连接件之中。9.根据权利要求8所述的固定装置，其特征在于，所述紧固螺钉容纳于所述连接件的所述通孔之中。10.一种用于半导体设备的清洗设备，其特征在于，所述清洗设备包括根据权利要求1至9中任一项所述的固定装置。

技术总结
本公开内容涉及一种用于清洗设备的固定装置，其包括：液体收集机构环，所述液体收集机构环被构造用于收集所述清洗设备在清洗时所形成的液体；至少三个连接件，所述至少三个连接件与所述液体收集机构环固定连接，其中，所述至少三个连接件中的至少一个连接件包括调节槽并且所述调节槽沿着所述液体收集机构环的径向方向设置；以及滑动导向件，所述滑动导向件被设置在所述调节槽之中。在该固定装置之中，通过连接件中设置调节槽结构，从而能够有针对性地应对液体收集机构环的热胀冷缩，从而能够提高液体收集机构环的使用寿命，进而提高依据本公开内容所提出的用于清洗设备的固定装置的可用性。装置的可用性。装置的可用性。


技术研发人员：张纲 请求不公布姓名 黄允文
受保护的技术使用者：普达特半导体设备（徐州）有限公司
技术研发日：2023.08.21
技术公布日：2023/10/8