一种压缩级螺旋槽的制造方法及真空获得设备与流程

1.本发明涉及螺旋槽加工制造技术领域，具体涉及一种压缩级螺旋槽的制造方法及真空获得设备。


背景技术：

2.随着科技的飞速发展，对分子泵等高真空获得设备的需求量日益增加，而且要求分子泵具有更为优异的性能。具有优异性能的分子泵应具有更大的抽速和更高的压缩比；只有如此，才能应用于高端仪器和高端设备上，使其性能更强大和更可靠。
3.压缩级螺旋槽是分子泵最为重要的组成部分之一，压缩级螺旋槽的制造工艺比较复杂，不仅增加了分子泵的制造成本，而且严重影响分子泵优异性能的获得。


技术实现要素：

4.因此，本发明要解决的技术问题在于克服压缩级螺旋槽的制造工艺比较复杂，不仅增加分子泵的制造成本，而且严重影响分子泵优异性能获得的缺陷。
5.为了解决上述问题，本发明提供一种压缩级螺旋槽的制造方法，包括：
6.制造定子；
7.制造多个筋体，所述筋体为弧形；
8.在定子上布置连接多个筋体，形成压缩级螺旋槽。
9.可选地，通过粘接连接所述定子和多个筋体。
10.可选地，利用金属粘结剂粘接所述定子和多个筋体。
11.可选地，通过焊接连接所述定子和多个筋体。
12.可选地，通过控制多个筋体的高度控制压缩级螺旋槽的抽气面积，进而影响压缩级螺旋槽的抽速。
13.可选地，多个筋体间隔环绕所述定子的中心设置。
14.可选地，通过控制筋体的数量控制抽气槽的数量。
15.可选地，通过控制相邻筋体之间的间距控制抽气槽的宽度。
16.本发明还提供一种真空获得设备，应用所述的压缩级螺旋槽的制造方法获得。
17.可选地，所述真空获得设备为分子泵。
18.本发明的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
19.1.本发明提供的压缩级螺旋槽的制造方法，包括：制造定子；制造多个筋体，所述筋体为弧形；在定子上布置连接多个筋体，形成压缩级螺旋槽；本技术采用上述技术方案，通过首先分体制造定子和筋体，然后再连接；不仅使得压缩级螺旋槽的制造工艺简单，制造成本降低，而且很容易通过结构尺寸的改变，更加容易地获得优异性能。
20.2.本发明通过粘接连接所述定子和多个筋体；本技术采用上述技术方案，简单可靠地连接所述定子和多个筋体，制造成本大大降低。
21.3.本发明利用金属粘结剂粘接所述定子和多个筋体；本技术采用上述技术方案，
简单可靠地粘接所述定子和多个筋体，制造成本大大降低。
22.4.本发明通过焊接连接所述定子和多个筋体；本技术采用上述技术方案，简单可靠地连接所述定子和多个筋体，制造成本大大降低。
23.5.本发明通过控制多个筋体的高度控制压缩级螺旋槽的抽气面积，进而影响压缩级螺旋槽的抽速；本技术采用上述技术方案，筋体高度的增加可导致抽气面积的增加，进而使得抽速变大，即适当增加高度可获得比较大的抽速，根据不同工况要求，很容易通过控制筋体采取合适的高度，获得综合的最优抽速。
24.6.本发明多个筋体间隔环绕所述定子的中心设置；本技术采用上述技术方案，通过多个筋体的环绕布置，很容易获得压缩级螺旋槽，大大降低制造成本。
25.7.本发明通过控制筋体的数量控制抽气槽的数量；本技术采用上述技术方案，筋体的数量决定盘槽的数量，进而决定抽气槽的数量；随着盘槽数量的增加，可使得抽速先增加然后减小；盘槽过少，当通过气体时，会出现反流泄漏，进而导致抽速下降；盘槽过多，也会导致抽气通道面积过小，而使得抽速下降。所以，很容易通过控制筋体的数量，控制盘槽的数量，进而获得抽气槽的数量，获得综合的最优抽速。
26.8.本发明通过控制相邻筋体之间的间距控制抽气槽的宽度；本技术采用上述技术方案，随着抽气槽宽度的逐渐减少，当通过气体时，气体密度逐渐增加，压缩比也随之上升；气体随入口进入盘槽，随着喇叭口形式的沟槽进入到下一级，压缩比又逐渐增加。所以，很容易通过控制相邻筋体之间的间距，控制抽气槽宽度，进而获得综合的最优压缩比。
27.9.本发明提供的真空获得设备，应用所述的压缩级螺旋槽的制造方法获得；本技术采用上述技术方案，通过首先分体制造定子和筋体，然后再连接；不仅使得压缩级螺旋槽的制造工艺简单，制造成本降低，而且很容易通过结构尺寸的改变，更加容易地获得优异性能，最终获得综合性能优异的真空获得设备。
28.10.本发明所述真空获得设备为分子泵；本技术采用上述技术方案，通过首先分体制造定子和筋体，然后再连接；不仅使得压缩级螺旋槽的制造工艺简单，制造成本降低，而且很容易通过结构尺寸的改变，更加容易地获得优异性能，最终获得综合性能优异的分子泵。
附图说明
29.为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
30.图1为本发明实施方式中提供的压缩级螺旋槽的制造方法的流程步骤示意图；
31.图2为本发明实施方式中提供的定子与多个筋体连接的结构示意图；
32.图3为本发明实施方式中提供的定子的结构示意图；
33.图4为本发明实施方式中提供的多个筋体的布置结构示意图。
34.附图标记说明：
35.1、定子；2、螺旋槽；3、筋体。
具体实施方式
36.下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
37.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
38.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
39.此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
40.如图1至图4所示的压缩级螺旋槽的制造方法的一种具体实施方式，具体包括以下步骤：
41.s1、制造定子1，具体的，所述定子1为圆形，在中心设有孔；
42.s2、制造八个筋体3，所述筋体3为弧形；
43.s3、在定子1上布置连接八个筋体3，形成压缩级螺旋槽2；具体的，八个筋体3间隔环绕所述定子1的中心设置；通过粘接或焊接连接所述定子1和八个筋体3；当采用粘接方式时，可以利用金属粘结剂粘接所述定子1和八个筋体3。在布置连接定子1和筋体3时，可以配合使用工装布置连接。
44.进一步的，通过控制八个筋体3的高度控制压缩级螺旋槽2的抽气面积，进而影响压缩级螺旋槽2的抽速；通过控制筋体3的数量控制抽气槽的数量；通过控制相邻筋体3之间的间距控制抽气槽的宽度。
45.本发明还提供一种真空获得设备，应用所述的压缩级螺旋槽的制造方法获得。具体的，所述真空获得设备可以是高真空获得设备，所述高真空获得设备为分子泵。随着筋体3的高度、数量和间距等不同参数的优化，抽气面积、抽气槽数量和抽气槽宽度对分子泵的抽速和压缩比形成不同的优化方案。可根据不同客户需求或者不同精密仪器的使用要求进行筋体3的高度、数量和间距等不同参数的调整，以达到最优的抽速和压缩比。
46.综上所述，本技术的技术方案具有以下优点：
47.一、加工优化，易于加工；
48.二、零件结构简洁，便于安装；
49.三、零件可用金属粘结剂或设备焊接进行加固连接；
50.四、结构简单、加工方便、成本较低；
51.五、零件可配合工装组装，一次粘接或焊接成型；
52.六、优化的压缩级螺旋槽2的设计，优化且提高了抽速和压缩比。
53.显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其他不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

技术特征：
1.一种压缩级螺旋槽的制造方法，其特征在于，包括：制造定子(1)；制造多个筋体(3)，所述筋体(3)为弧形；在定子(1)上布置连接多个筋体(3)，形成压缩级螺旋槽(2)。2.根据权利要求1所述的压缩级螺旋槽的制造方法，其特征在于，通过粘接连接所述定子(1)和多个筋体(3)。3.根据权利要求2所述的压缩级螺旋槽的制造方法，其特征在于，利用金属粘结剂粘接所述定子(1)和多个筋体(3)。4.根据权利要求1所述的压缩级螺旋槽的制造方法，其特征在于，通过焊接连接所述定子(1)和多个筋体(3)。5.根据权利要求1－4任一项所述的压缩级螺旋槽的制造方法，其特征在于，通过控制多个筋体(3)的高度控制压缩级螺旋槽(2)的抽气面积，进而影响压缩级螺旋槽(2)的抽速。6.根据权利要求1－4任一项所述的压缩级螺旋槽的制造方法，其特征在于，多个筋体(3)间隔环绕所述定子(1)的中心设置。7.根据权利要求6所述的压缩级螺旋槽的制造方法，其特征在于，通过控制筋体(3)的数量控制抽气槽的数量。8.根据权利要求6所述的压缩级螺旋槽的制造方法，其特征在于，通过控制相邻筋体(3)之间的间距控制抽气槽的宽度。9.一种真空获得设备，其特征在于，应用权利要求1－8任一项所述的压缩级螺旋槽的制造方法获得。10.根据权利要求9所述的真空获得设备，其特征在于，所述真空获得设备为分子泵。

技术总结
本发明涉及螺旋槽加工制造技术领域，具体涉及一种压缩级螺旋槽的制造方法及真空获得设备，压缩级螺旋槽的制造方法包括：制造定子；制造多个筋体，所述筋体为弧形；在定子上布置连接多个筋体，形成压缩级螺旋槽；本申请采用上述技术方案，通过首先分体制造定子和筋体，然后再连接；不仅使得压缩级螺旋槽的制造工艺简单，制造成本降低，而且很容易通过结构尺寸的改变，更加容易地获得优异性能。更加容易地获得优异性能。更加容易地获得优异性能。


技术研发人员：陈林 王浩为 陈刚 杨红 白文龙
受保护的技术使用者：北京中科九微科技有限公司
技术研发日：2023.08.25
技术公布日：2023/10/15