玻璃基板化学强化炉装置的制作方法

1.本公开涉及一种玻璃基板化学强化炉装置。


背景技术：

2.玻璃产品用于液晶显示装置(lcd：liquid crystal display)、oled(organic light-emitting diode)、电泳显示装置(epd；electrophoretic display)等平板显示装置的基板或保护其的覆盖窗等。
3.智能电话、平板pc等之类便携式电子设备显示装置以可弯曲(bendable)、可折叠(foldable)、可卷曲(rollable)的形式发展的同时适用于其的玻璃产品也被要求具有与其相应的特性，超薄型强化玻璃(ultra-thin glass)备受瞩目。
4.为了保持玻璃产品的硬度，向强化炉加入强化盐并以对流方式进行强化，但是，根据强化炉的位置，可能产生流速差，由此导致强化盐的循环不顺畅，从而根据位置发生强化不均匀。
5.尤其，在形成有微小图案的超薄型强化玻璃的情况下，产生形成有多个微小图案的玻璃板的表面台阶，强化盐难以通过对流方式传递至微小图案的台阶部下方。如此，当强化盐无法充分传递至微小图案台阶部下方时，在形成在玻璃板之上的微小图案部和未形成微小图案的部分中可能发生强化不均匀。


技术实现要素：

6.实施例用于提供一种能够提高强化炉中的强化液的循环来保持均匀的强化的玻璃基板化学强化炉装置。
7.但是，实施例所要解决的问题不限于以上提及的问题，在包括在实施例中的技术构思的范围内可以进行各种扩展。
8.可以是，根据实施例的玻璃基板化学强化炉装置包括：强化炉，包括底面和连接到所述底面的侧面；以及多个方向转换部，位于所述强化炉的所述侧面，所述多个方向转换部与第一方向构成第一角度，其中，所述第一方向与所述底面和所述侧面相交而构成的棱平行。
9.可以是，所述多个方向转换部彼此平行延伸。
10.可以是，所述第一角度是5度以上且89度以下。
11.可以是，所述多个方向转换部以直线形状延伸。
12.可以是，所述多个方向转换部包括弯曲的部分。
13.可以是，所述多个方向转换部的所述弯曲的部分向下方侧弯曲或向上方侧弯曲。
14.可以是，所述多个方向转换部包括向下方侧弯曲的部分和向上方侧弯曲的部分。
15.可以是，所述多个方向转换部配置为与所述侧面的表面构成第二角度。
16.可以是，所述第二角度是10度至170度。
17.可以是，所述第二角度是90度。
18.可以是，所述第二角度大于或小于90度。
19.可以是，所述多个方向转换部从所述侧面以直线形状延伸。
20.可以是，所述多个方向转换部包括弯曲为从所述侧面朝向上方侧或下方侧的部分。
21.可以是，所述玻璃基板化学强化炉装置还包括：至少一个旋转部，位于所述底面。
22.可以是，所述旋转部包括沿旋转方向旋转的多个旋转翼。
23.可以是，在所述旋转部的中心部的靠近部分中，所述多个旋转翼中的相邻的两个旋转翼之间具有第一间隔，在所述旋转部的靠近边缘的部分中，所述两个旋转翼之间具有第二间隔，与所述第一间隔相比，所述第二间隔更大。
24.可以是，所述多个方向转换部附着到所述侧面。
25.可以是，所述多个方向转换部附着到设置在所述强化炉中的支承架。
26.可以是，所述支承架支承在所述强化炉中进行工艺的工艺基板。
27.可以是，所述侧面具有圆柱形状，所述多个方向转换部是从所述底面旋转的螺旋形形状。
28.根据实施例，可以提供能够提高强化炉中的强化液的循环来保持均匀的强化的玻璃基板化学强化炉装置。
29.但是，实施例的效果不限于以上提及的效果，显然，在不脱离本发明的构思和领域的范围内可以进行各种扩展。
附图说明
30.图1是根据一实施例的玻璃基板化学强化炉的立体图。
31.图2是图1的截面图。
32.图3是示出图1的一部分的平面图。
33.图4是示出图3的一部分的平面图。
34.图5是沿图3的a-a1线截取示出的截面图。
35.图6是示出根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉的一部分的截面图。
36.图7是示出根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉的一部分的截面图。
37.图8是示出根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉的一部分的截面图。
38.图9是示出根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉的一部分的截面图。
39.图10是示出根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉的一部分的截面图。
40.图11是示出根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉的一部分的截面图。
41.图12是示出根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉的一部分的截面图。
42.图13是示出根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉的一部分的截面图。
43.图14是根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉的截面图。
44.图15是示出图14的一部分的立体图。
45.图16是示出图15的一部分的立体图。
46.图17是根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉的立体图。
47.图18是根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉的立体图。
48.图19是图18的截面图。
49.(附图标记说明)
50.1000、2000、3000、4000：玻璃基板化学强化炉装置
51.100：底面
52.200：侧面
53.20、20a、20b、20c、20d：方向转换部
54.300：旋转部
55.400：支承架
56.f1：第一流动方向
57.f2：第二流动方向
58.rd：旋转方向
59.ec：棱
60.w：旋转翼
具体实施方式
61.以下，参照所附附图详细说明本发明的多种实施例，以使在本发明所属技术领域中具有通常知识的人能够容易实施。本发明能够以多种不同方式来实现，但并不限于在此说明的实施例。
62.为了清楚地说明本发明，省略了与说明无关的部分，在说明书全文中对相同或相似的构成要件标注相同的附图标记。
63.另外，所附附图仅是为了能够容易理解本说明书中公开的实施例，应理解，本说明书中公开的技术构思不限于所附附图，而是包括在本发明的构思和技术范围内包括的所有变更、均等物以及替代物。
64.另外，附图中示出的各结构的大小和厚度是为了方便说明而任意示出的，因此本发明并不是必须限定于图示那样的。在附图中，为了清楚表达多个层及区域，放大示出厚度。另外，在附图中，为了方便说明，将一部分层及区域的厚度夸张地示出。
65.另外，当表述为层、膜、区域、板等部分“在”另一部分“之上”或“上”时，其不仅包括“直接在”另一部分“之上”的情况，还包括其中间有又另一部分的情况。相反，当表述为某一部分“直接在”另一部分“之上”时，意指中间没有又另一部分的情况。另外，表述为“在”成为基准的部分“之上”或“上”的情况是位于成为基准的部分之上或之下的情况，并不意指必须位于向重力相反方向侧的“之上”或“上”。
66.另外，在整个说明书中，当表述为某一部分“包括”某一构成要件时，只要没有特别相反的记载，意指不是将其它构成要件除外而是还可以包括其它构成要件。
67.另外，在整个说明书中，当表述为“平面上”时，其意指从上方观看对象部分时的情况，当表述为“截面上”时，其意指在侧方观看将对象部分垂直截取的截面的情况。
68.另外，在整个说明书中，当表述为“连接”时，其不仅意指两个以上的构成要件直接连接的情况，而且还意指两个以上的构成要件通过其它构成要件间接连接的情况、物理连接和电连接的情况或者虽然根据位置或功能用不同的名称来指代但为一体的情况。
69.以下，参照附图详细说明各种实施例和变形例。
70.参照图1至图5，说明根据一实施例的玻璃基板化学强化炉装置1000。图1是根据一
实施例的玻璃基板化学强化炉的立体图，图2是图1的截面图，图3是示出图1的一部分的平面图，图4是示出图3的一部分的平面图，图5是沿图3的a-a1线截取示出的截面图。
71.参照图1以及图2，玻璃基板化学强化炉装置1000包括装入强化液10的底面100和侧面200。
72.玻璃基板化学强化炉装置1000的侧面200可以包括彼此面对的第一侧面200a和第二侧面200b、在与第一侧面200a和第二侧面200b不同的方向上彼此面对的第三侧面200c和第四侧面200d，第一侧面200a、第二侧面200b、第三侧面200c和第四侧面200d可以与底面100一起构成长方体的主体，在该主体中可以装入强化液10。
73.在玻璃基板化学强化炉装置1000的侧面200的表面中可以配置多个方向转换部20。
74.可以是，在玻璃基板化学强化炉装置1000的第一侧面200a中配置多个第一方向转换部20a，在第二侧面200b中配置多个第二方向转换部20b，在第三侧面200c中配置多个第三方向转换部20c，在第四侧面200d中配置多个第四方向转换部20d。
75.参照图3以及图4，多个方向转换部20可以分别配置为与侧面200和底面100相交而构成的棱ec延伸的方向构成第一角度θ1。第一角度θ1可以是约5度以上且约89度以下。
76.多个方向转换部20可以是在恒定的方向上延伸的直线形状，但不限于此，可以具有以曲面形状弯曲的表面形状，也可以具有在不同的方向上弯曲多次以使弯曲的方向变化的表面形状。
77.与第一侧面200a和底面100相交而构成的棱平行的方向和多个第一方向转换部20a延伸的方向所构成的角度可以不同于与第二侧面200b和底面100相交而构成的棱平行的方向和多个第二方向转换部20b延伸的方向所构成的角度。与此类似地，与第二侧面200b和底面100相交而构成的棱平行的方向和多个第二方向转换部20b延伸的方向所构成的角度可以不同于与第三侧面200c和底面100相交而构成的棱平行的方向和多个第三方向转换部20c延伸的方向所构成的角度，与第三侧面200c和底面100相交而构成的棱平行的方向和多个第三方向转换部20c延伸的方向所构成的角度可以不同于与第四侧面200d和底面100相交而构成的棱平行的方向和多个第四方向转换部20d延伸的方向所构成的角度。
78.位于玻璃基板化学强化炉装置1000的第一侧面200a的多个第一方向转换部20a可以从底面100依次配置，并包括在大致相同的方向上延伸的多个方向转换部20a1～20a15。但不限于此，多个方向转换部20a1～20a15中的至少一部分也可以在不同的方向上延伸。
79.多个方向转换部20a1～20a15的数量和长度可以根据玻璃基板化学强化炉装置1000的侧面200的表面积而变化。
80.在底面100和侧面200中可以连接加热强化液10的加热部。
81.在由底面100和侧面200包围的玻璃基板化学强化炉装置1000的内部填充强化液10并加热强化液10来使得强化液10以对流方式移动的同时将处理基板加入到强化液10中并进行化学强化工艺。此时，位于玻璃基板化学强化炉装置1000的侧面的多个方向转换部20a、20b、20c、20d可以对强化液10施加附加的物理流动，由此使得强化液10在玻璃基板化学强化炉装置1000中均匀地循环，从而可以保持均匀的强化。
82.参照图5，方向转换部20a1可以附着成与侧面200的表面构成第二角度θ2。第二角度θ2可以是约10度至170度，根据图4所示的一实施例，第二角度θ2可以是约90度。
83.在玻璃基板化学强化炉装置1000中，若强化液10中产生对流方式的流动，则如图3以及图4的第一流动方向f1所示，到达侧面200的强化液10可以在与多个方向转换部20a、20b、20c、20d延伸的方向平行的方向上流动，与此同时，如图5的第二流动方向f2所示，可以沿多个方向转换部20a、20b、20c、20d的表面流动成与侧面200的表面构成恒定的角度，由此，除了对流方式的大流动之外，强化液10中可能还产生由多个方向转换部20引起的第一流动方向f1和第二流动方向f2之类附加的物理流动。
84.如上所述，可以通过在强化液10的对流方式的流动中产生附加的物理流动而使得强化液10在玻璃基板化学强化炉装置1000中均匀地流动，因此，包括在强化液10中的强化盐的浓度可以变得均匀。由此，可以均匀地进行玻璃基板的强化工艺。
85.根据实施例的玻璃基板化学强化炉装置，可以包括多个方向转换部20来无动力地向强化液10施加附加的物理流动，从而可以节约费用。
86.然后，与图1至图5一起参照图6，说明根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉的侧面的方向转换部。图6是示出根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉的一部分的截面图。
87.参照图6，根据本实施例的玻璃基板化学强化炉的侧面200的方向转换部20可以配置为与强化炉的侧面200和底面100相交而构成的棱ec延伸的方向构成第一角度θ1，第一角度θ1可以是约5度以上且约89度以下。
88.与方向转换部20以直线形状在一方向上延伸的图4所示的实施例不同，根据本实施例的玻璃基板化学强化炉的方向转换部20可以具有向上方弯曲的形状。由此，与多个方向转换部20延伸的方向平行的第一流动方向f1可以是沿方向转换部20的表面从下方朝向上方后向大顺时针方向旋转的同时朝向上方侧的方向。
89.如此，可以通过改变沿方向转换部20的表面产生的第一流动方向f1来在强化液10中诱导更多种物理流动。
90.在前面参照图1至图5说明的根据实施例的玻璃基板化学强化炉的许多特征均可适用于本实施例。
91.然后，与图1至图5一起参照图7，说明根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉的侧面的方向转换部。图7是示出根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉的一部分的截面图。
92.参照图7，根据本实施例的玻璃基板化学强化炉的侧面200的方向转换部20可以配置为与强化炉的侧面200和底面100相交而构成的棱ec延伸的方向构成第一角度θ1，第一角度θ1可以是约5度以上且约89度以下。
93.与方向转换部20以直线形状在一方向上延伸的图4所示的实施例不同，根据本实施例的玻璃基板化学强化炉的方向转换部20可以具有向下方弯曲的形状。由此，与多个方向转换部20延伸的方向平行的第一流动方向f1可以是沿方向转换部20的表面从下方朝向上方后向大逆时针方向旋转的同时朝向上方侧的方向。
94.如此，可以通过改变沿方向转换部20的表面产生的第一流动方向f1来在强化液10中诱导更多种物理流动。
95.在前面参照图1至图5说明的根据实施例的玻璃基板化学强化炉的许多特征均可适用于本实施例。
96.然后，与图1至图5一起参照图8，说明根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉的侧面的方向转换部。图8是示出根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉的一部分的截面图。
97.参照图8，根据本实施例的玻璃基板化学强化炉的侧面200的方向转换部20可以配置为与强化炉的侧面200何底面100相交而构成的棱ec延伸的方向构成第一角度θ1，第一角度θ1可以是约5度以上且约89度以下。
98.与方向转换部20以直线形状在一方向上延伸的图4所示的实施例不同，根据本实施例的玻璃基板化学强化炉的方向转换部20可以具有弯曲为向下方弯曲的部分和向上方弯曲的部分重复的形状。由此，与多个方向转换部20延伸的方向平行的第一流动方向f1可以是沿方向转换部20的表面从下方朝向上方后向大逆时针方向旋转然后向大顺时针方向旋转的同时朝向上方侧的方向。
99.如此，可以通过改变沿方向转换部20的表面产生的第一流动方向f1来在强化液10中诱导更多种物理流动。
100.在前面参照图1至图5说明的根据实施例的玻璃基板化学强化炉的许多特征均可适用于本实施例。
101.与图1至图8一起参照图9，说明根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉的侧面的方向转换部。图9是示出根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉的一部分的截面图。
102.参照图9，根据本实施例的玻璃基板化学强化炉的侧面200的方向转换部20可以附着成与侧面200的表面构成第二角度θ2，第二角度θ2可以小于约90度。
103.若将玻璃基板化学强化炉的侧面200的方向转换部20配置为与侧面200的表面构成小于约90度的角度的第二角度θ2，则与图4所示的情况相比，沿方向转换部20的表面流动的第二流动方向f2可以更快速地从底面100朝向上方侧。
104.在前面参照图1至图8说明的根据实施例的玻璃基板化学强化炉的许多特征均可适用于本实施例。
105.与图1至图8一起参照图10，说明根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉的侧面的方向转换部。图10是示出根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉的一部分的截面图。
106.参照图10，根据本实施例的玻璃基板化学强化炉的侧面200的方向转换部20可以附着成与侧面200的表面构成第二角度θ2，第二角度θ2可以大于约90度。
107.若将玻璃基板化学强化炉的侧面200的方向转换部20配置为与侧面200的表面构成大于约90度的角度的第二角度θ2，则沿方向转换部20的表面流动的第二流动方向f2可以是从底面100朝向上方侧后再次朝向下方侧然后再次朝向上方侧的方向。如此，若沿方向转换部20的表面产生的第二流动方向f2发生变化，则可以在强化液10中诱导更多种物理流动，但是，也可以在方向转换部20和侧面200相交的部分中滞留。
108.如前面所说明，可以是，根据实施例的玻璃基板化学强化炉的侧面200的方向转换部20与侧面200的表面构成第二角度θ2，第二角度θ2是约10度至170度。如此，可以通过调节根据实施例的玻璃基板化学强化炉的侧面200的方向转换部20和侧面200的表面所构成的第二角度θ2而不同地调节沿方向转换部20的表面流动的第二流动方向f2。
109.在前面参照图1至图8说明的根据实施例的玻璃基板化学强化炉的许多特征均可适用于本实施例。
110.然后，与图1至图8一起参照图11，说明根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉的侧面的方向转换部。图11是示出根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉的一部分的截面图。
111.参照图11，根据本实施例的玻璃基板化学强化炉的侧面200的方向转换部20可以以与侧面200的表面构成第二角度θ2的方式延伸后以弯曲的形状凸出。第二角度θ2可以小于约90度。
112.若将玻璃基板化学强化炉的侧面200的方向转换部20配置为具有以与侧面200的表面构成第二角度θ2的方式延伸后弯曲的形状，则沿方向转换部20的表面流动的第二流动方向f2可以是从底面100朝向上方侧后在具有沿方向转换部20的表面向逆时针方向旋转的涡流形状的流动的状态下再次朝向上方侧的方向。如此，若沿方向转换部20的表面产生的第二流动方向f2发生各种变化，则可以在强化液10中诱导更多种物理流动。
113.在前面参照图1至图8说明的根据实施例的玻璃基板化学强化炉的许多特征均可适用于本实施例。
114.然后，与图1至图8一起参照图12，说明根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉的侧面的方向转换部。图12是示出根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉的一部分的截面图。
115.参照图12，根据本实施例的玻璃基板化学强化炉的侧面200的方向转换部20可以以与侧面200的表面构成第二角度θ2的方式延伸后以弯曲的形状凸出。第二角度θ2可以大于约90度。
116.若将玻璃基板化学强化炉的侧面200的方向转换部20配置为具有以与侧面200的表面构成第二角度θ2的方式延伸后弯曲的形状，则沿方向转换部20的表面流动的第二流动方向f2可以是从底面100朝向上方侧后沿方向转换部20的表面向顺时针方向旋转的同时朝向上方侧的方向。如此，若沿方向转换部20的表面产生的第二流动方向f2发生各种变化，则可以在强化液10中诱导更多种物理流动。
117.在前面参照图1至图8说明的根据实施例的玻璃基板化学强化炉的许多特征均可适用于本实施例。
118.然后，与图1至图8一起参照图13，说明根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉的侧面的方向转换部。图13是示出根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉的一部分的截面图。
119.参照图13，根据本实施例的玻璃基板化学强化炉的侧面200的方向转换部20可以以与侧面200的表面构成第二角度θ2的方式延伸后朝向下方侧弯曲然后以再次朝向上方侧弯曲的形状凸出。第二角度θ2可以小于约90度。
120.若将玻璃基板化学强化炉的侧面200的方向转换部20配置为具有以与侧面200的表面构成第二角度θ2的方式延伸后在不同方向上弯曲多次的形状，则沿方向转换部20的表面流动的第二流动方向f2可以是从底面100朝向上方侧后沿方向转换部20的表面向弯曲的方向流动的同时朝向上方侧的方向。如此，若沿方向转换部20的表面产生的第二流动方向f2发生各种变化，则可以在强化液10中诱导更多种物理流动。
121.在前面参照图1至图8说明的根据实施例的玻璃基板化学强化炉的许多特征均可适用于本实施例。
122.与图1至图13一起参照图14至图16，说明根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉装置2000。图14是根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉的截面图，图15是示出图14的一部分的立体图，图16是示出图15的一部分的立体图。
123.根据本实施例的玻璃基板化学强化炉装置2000包括装入强化液10的底面100和侧面200。
124.在玻璃基板化学强化炉装置2000的侧面200的表面中可以配置多个方向转换部20。多个方向转换部20可以与在前面说明的根据实施例的方向转换部20相同。
125.根据本实施例的玻璃基板化学强化炉装置2000可以还包括位于玻璃基板化学强化炉装置2000的底面100的旋转部300。
126.如图14以及图15所示，在底面100中可以配置多个旋转部300。但不限于此，在底面100中也可以配置一个旋转部300。位于底面100的旋转部300的数量可以根据底面100的面积和旋转部300的面积而变化。
127.参照图16，位于底面100的旋转部300可以包括能够沿旋转方向rd旋转的多个旋转翼w，在旋转部300的中心部的靠近部分中，相邻的两个旋转翼w之间可以具有第一间隔ra，在旋转部300的边缘部分中，相邻的两个旋转翼w之间可以具有第二间隔rb，与第一间隔ra相比，第二间隔rb可以更大。
128.旋转部300的多个旋转翼w沿旋转方向rd旋转，从而强化液10中在与旋转方向rd平行的方向上产生附加的流动，根据位置，相邻的两个旋转翼w之间的间隔具有彼此不同的第一间隔ra和第二间隔rb，从而在具有相对宽的第二间隔rb的部分中，穿过旋转部300的强化液10的流量多，在具有相对窄的第一间隔ra的部分中，穿过旋转部300的强化液10的流量变少。根据这种流量差，也可以在与旋转方向rd不同的方向上产生附加的流动，例如，在旋转部300的边缘部分中，也可以在朝向中心的方向上产生附加的流动。
129.如此，与在前面参照图1至图13说明的根据实施例的玻璃基板化学强化炉相同地，根据本实施例的玻璃基板化学强化炉装置2000可以通过位于侧面200的多个方向转换部20产生与多个方向转换部20延伸的方向平行的第一流动方向f1和与沿多个方向转换部20的表面与侧面200的表面构成恒定的角度的方向平行的第二流动方向f2之类附加的物理流动。另外，可以沿与位于底面100的旋转部300的旋转方向rd平行的方向产生附加的流动，也可以在根据相邻的两个旋转翼w之间的间隔差的边缘部分中在朝向中心的方向上产生附加的流动。
130.如此，可以通过位于根据本实施例的玻璃基板化学强化炉装置2000的侧面200的多个方向转换部20和位于底面100的旋转部300对强化液10施加附加的物理流动，由此，使得强化液10在玻璃基板化学强化炉装置2000中均匀地循环，从而可以保持均匀的强化。
131.在前面参照图1至图13说明的根据实施例的玻璃基板化学强化炉的许多特征均可适用于本实施例。
132.然后，与图1至图13一起参照图17，说明根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉装置3000。图17是根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉的立体图。
133.根据本实施例的玻璃基板化学强化炉装置3000与在前面参照图1至图13说明的根据实施例的玻璃基板化学强化炉类似。省略针对相同的构成要件的具体说明。
134.但是，在根据本实施例的玻璃基板化学强化炉装置3000中，多个方向转换部20不是直接附着到强化炉的侧面200，而是可以附着到设置在强化炉中的支承架400。
135.支承架400可以起到支承在强化炉中进行强化工艺的基板的夹具作用。
136.设置在支承架400中的多个方向转换部20可以与在前面参照图1至图13说明的根
据实施例的多个方向转换部相同。
137.如此，可以通过利用设置在支承架400中的多个方向转换部20在强化液10的对流方式的流动中产生附加的物理流动而使得强化液10在玻璃基板化学强化炉装置3000中均匀地流动，因此，包括在强化液10中的强化盐的浓度可以变得均匀。由此，可以均匀地进行玻璃基板的强化工艺。
138.另外，支承架400可以根据需要拆卸到强化炉中，可以在必要的工艺期间附着到强化炉后在不必要的工艺时与强化炉分离。
139.在前面参照图1至图16说明的根据实施例的玻璃基板化学强化炉的许多特征均可适用于本实施例。
140.然后，与图1至图13一起参照图18以及图19，说明根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉装置4000。图18是根据另一实施例的玻璃基板化学强化炉的立体图，图19是图18的截面图。
141.参照图18以及图19，根据本实施例的玻璃基板化学强化炉装置4000的侧面200可以是圆柱体形状，圆柱体形状的侧面200中可以包括具有从底面100朝向上方向在与底面100构成斜线的方向上旋转的螺旋形形状的方向转换部50。
142.可以通过包括形成在圆柱体形状的侧面200中的方向转换部50而在对位于强化炉中的强化液施加从玻璃基板化学强化炉装置4000的底面100朝向上方的流动时，沿方向转换部50的旋转方向产生附加的流动，与此同时，沿方向转换部50的表面产生沿强化炉的中心流动的附加的水平流动。
143.如此，可以通过利用形成在圆柱体形状的侧面200中的方向转换部50在强化液的对流方式的流动中产生附加的物理流动而使得强化液在玻璃基板化学强化炉装置4000中均匀地流动，因此，包括在强化液中的强化盐的浓度可以变得均匀。由此，可以均匀地进行玻璃基板的强化工艺。
144.在前面参照图1至图17说明的根据实施例的玻璃基板化学强化炉的许多特征均可适用于本实施例。
145.通过以上，针对本发明的优选实施例进行了说明，但是，本发明不限于此，可以在权利要求书和发明的详细说明以及所附附图的范围内变形为各种形式来实施，其理应也属于本发明的范围。

技术特征：
1.一种玻璃基板化学强化炉装置，其中，包括：强化炉，包括底面和连接到所述底面的侧面；以及多个方向转换部，位于所述强化炉的所述侧面，所述多个方向转换部与第一方向构成第一角度，所述第一方向与所述底面和所述侧面相交而构成的棱平行。2.根据权利要求1所述的玻璃基板化学强化炉装置，其中，所述多个方向转换部彼此平行延伸。3.根据权利要求2所述的玻璃基板化学强化炉装置，其中，所述第一角度是5度以上且89度以下。4.根据权利要求3所述的玻璃基板化学强化炉装置，其中，所述多个方向转换部以直线形状延伸。5.根据权利要求3所述的玻璃基板化学强化炉装置，其中，所述多个方向转换部包括弯曲的部分。6.根据权利要求5所述的玻璃基板化学强化炉装置，其中，所述多个方向转换部的所述弯曲的部分向下方侧弯曲或向上方侧弯曲。7.根据权利要求6所述的玻璃基板化学强化炉装置，其中，所述多个方向转换部包括向下方侧弯曲的部分和向上方侧弯曲的部分。8.根据权利要求3所述的玻璃基板化学强化炉装置，其中，所述多个方向转换部配置为与所述侧面的表面构成第二角度。9.根据权利要求8所述的玻璃基板化学强化炉装置，其中，所述第二角度是10度至170度。10.根据权利要求9所述的玻璃基板化学强化炉装置，其中，所述第二角度是90度。11.根据权利要求9所述的玻璃基板化学强化炉装置，其中，所述第二角度大于或小于90度。12.根据权利要求9所述的玻璃基板化学强化炉装置，其中，所述多个方向转换部从所述侧面以直线形状延伸。13.根据权利要求9所述的玻璃基板化学强化炉装置，其中，所述多个方向转换部包括弯曲为从所述侧面朝向上方侧或下方侧的部分。14.根据权利要求1所述的玻璃基板化学强化炉装置，其中，所述玻璃基板化学强化炉装置还包括：至少一个旋转部，位于所述底面。15.根据权利要求14所述的玻璃基板化学强化炉装置，其中，所述旋转部包括沿旋转方向旋转的多个旋转翼。16.根据权利要求15所述的玻璃基板化学强化炉装置，其中，在所述旋转部的靠近中心部的部分中，所述多个旋转翼中的相邻的两个旋转翼之间具有第一间隔，在所述旋转部的靠近边缘的部分中，所述两个旋转翼之间具有第二间隔，与所述第一间隔相比，所述第二间隔更大。
17.根据权利要求1所述的玻璃基板化学强化炉装置，其中，所述多个方向转换部附着到所述侧面。18.根据权利要求1所述的玻璃基板化学强化炉装置，其中，所述多个方向转换部附着到设置在所述强化炉中的支承架。19.根据权利要求18所述的玻璃基板化学强化炉装置，其中，所述支承架支承在所述强化炉中进行工艺的工艺基板。20.根据权利要求1所述的玻璃基板化学强化炉装置，其中，所述侧面具有圆柱形状，所述多个方向转换部是从所述底面旋转的螺旋形形状。

技术总结
根据实施例的玻璃基板化学强化炉装置可以包括：强化炉，包括底面和连接到所述底面的侧面；以及多个方向转换部，位于所述强化炉的所述侧面，所述多个方向转换部与第一方向构成第一角度，其中，所述第一方向与所述底面和所述侧面相交而构成的棱平行。述侧面相交而构成的棱平行。述侧面相交而构成的棱平行。


技术研发人员：金炅满 金相训 金胜镐 金柔利 崔珉熏 黄盛珍
受保护的技术使用者：三星显示有限公司
技术研发日：2022.12.26
技术公布日：2023/7/11