一种铜制程用剥离液的高效制备装置的制作方法

1.本实用新型涉及剥离液的制备技术领域，具体为一种铜制程用剥离液的高效制备装置。


背景技术：

2.当集成电路芯片持续往轻、薄、短、小及高密度方向发展时，对缺陷的容忍度也相对降低，随着集成电路器件密集度的提高，单位芯片的面积也越来越小，原本不会影响良率的缺陷却变成了良率的致命杀手。在液晶面板等制造过程中，需要通过多次图形掩膜照射曝光及蚀刻等工序在硅晶圆或玻璃基片形成多层精密的微电路，形成微电路之后，进一步使用专用的剥离液将涂覆在微电路保护区域上作为掩膜的光刻胶除去。剥离过程是将剥离液喷淋到刻蚀后的产品表面，剥离液会将未被紫外线照射的感光光阻溶解掉，留下被保护的部分，从而形成线路。凡是晶圆上存在的有形污染与不完美，统称为缺陷，一般包括晶圆上的物理性异物、化学性玷污和晶圆本身的缺陷。物理性异物一般指机械掉落的微尘，工艺残留下来的光刻胶，不正常的反应生成物等；化学性玷污，一般指残留化学药品，有机溶剂和光阻残留等。因此，为了避免晶圆产生物理或化学缺陷，需要制备更高品质更高纯度的剥离液。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种铜制程用剥离液的高效制备装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种铜制程用剥离液的高效制备装置，包括混合罐以及与混合罐连接的存储罐，所述混合罐的内部设置有第一弧形隔板、第二弧形隔板，所述混合罐的外侧上端安装有电机，所述电机的输出轴连接有转轴，所述转轴的下端与混合罐内部的固定架转动连接，所述转轴的外侧设置有套筒，所述套筒的外侧与第一弧形隔板、第二弧形隔板内侧的搅拌架连接，所述套筒的中部以及下端分别开设有第一圆槽、第二圆槽，所述混合罐的上端设置有与套筒连接的调节机构，所述混合罐的下端设置带有阀门的出料管，所述存储罐的下端设置有与混合罐连通的进料管。
5.优选的，所述存储罐设置有五个，分别为醇醚储罐、有机溶剂储罐、缓蚀剂储罐、表面活性剂储罐、去离子水储罐。
6.优选的，所述进料管由三个第一管道、两个第二管道构成，三个所述第一管道的下端口处于第一弧形隔板的上方，两个所述第二管道的下端贯穿第一弧形隔板，并处于第二弧形隔板的上方。
7.优选的，所述调节机构包括电动伸缩杆以及设置在套筒上端的固定板，所述电动伸缩杆的下端设置有夹板，所述固定板的边缘处于所述夹板侧面的凹槽中。
8.优选的，所述套筒的内壁开设有滑槽，所述滑槽与所述转轴外壁设置的滑轨滑动连接。
9.优选的，所述第一圆槽与第二圆槽结构相同，所述第一圆槽的长度为第一弧形隔板厚度的两倍，且初始第一圆槽的上端与第一弧形隔板的内壁平齐，第二圆槽的上端与第二弧形隔板的外壁平齐。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过在混合罐的内部设置第一弧形隔板、第二弧形隔板，在转轴的外侧设置套筒，并在套筒的外壁开设第一圆槽、第二圆槽，同时将存储罐下端的第一管道、第二管道分别置于第一弧形隔板、第二弧形隔板的上方，在使用时，通过第一管道、第二管道使原料分别进入第一弧形隔板、第二弧形隔板的内侧，在搅拌架的作用下进行预混合，后续通过调节机构控制套筒向上运动，使得预混合的原料均处于第二弧形隔板中，并进行集中混合，从而大大的提高了混合效果。
附图说明
11.图1为本实用新型的整体的结构示意图；
12.图2为本实用新型的套筒的结构示意图。
13.图中：1、混合罐；2、存储罐；3、第一弧形隔板；4、第二弧形隔板；5、电机；6、转轴；7、固定架；8、套筒；9、搅拌架；10、第一圆槽；11、第二圆槽；12、出料管；13、第一管道；14、第二管道；15、电动伸缩杆；16、固定板；17、夹板。
具体实施方式
14.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
15.请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种铜制程用剥离液的高效制备装置，包括混合罐1以及与混合罐1连接的存储罐2，所述混合罐1的内部设置有第一弧形隔板3、第二弧形隔板4，所述混合罐1的外侧上端安装有电机5，所述电机5的输出轴连接有转轴6，所述转轴6的下端与混合罐1内部的固定架7转动连接，所述转轴6的外侧设置有套筒8，所述套筒8的外侧与第一弧形隔板3、第二弧形隔板4内侧的搅拌架9连接，所述套筒8的中部以及下端分别开设有第一圆槽10、第二圆槽11，所述混合罐1的上端设置有与套筒8连接的调节机构，所述混合罐1的下端设置带有阀门的出料管12，所述存储罐2的下端设置有与混合罐1连通的进料管。
16.所述存储罐2设置有五个，分别为醇醚储罐、有机溶剂储罐、缓蚀剂储罐、表面活性剂储罐、去离子水储罐。
17.所述进料管由三个第一管道13、两个第二管道14构成，三个所述第一管道13的下端口处于第一弧形隔板3的上方，两个所述第二管道14的下端贯穿第一弧形隔板3，并处于第二弧形隔板4的上方。
18.所述调节机构包括电动伸缩杆15以及设置在套筒8上端的固定板16，所述电动伸缩杆15的下端设置有夹板17，所述固定板16的边缘处于所述夹板17侧面的凹槽中。
19.所述套筒8的内壁开设有滑槽，所述滑槽与所述转轴6外壁设置的滑轨滑动连接。
20.所述第一圆槽10与第二圆槽11结构相同，所述第一圆槽10的长度为第一弧形隔板
3厚度的两倍，且初始第一圆槽10的上端与第一弧形隔板3的内壁平齐，第二圆槽11的上端与第二弧形隔板4的外壁平齐。
21.具体的，使用本实用新型时，存储罐2中的原料通过第一管道13、第二管道14分别进入第一弧形隔板3、第二弧形隔板4的弧形槽中，启动电机5，在转轴6以及外侧的滑轨作用下，带动套筒8以及套筒8外壁的搅拌架9同步转动，从而实现对第一弧形隔板3、第二弧形隔板4内侧原料的混合搅拌，后续启动电动伸缩杆15，通过夹板17带动固定板16以及套筒8同步向上运动，直至第二圆槽11的上端与第二弧形隔板4的内壁平齐，即向上运动与第一弧形隔板3厚度相等的距离，此时第一弧形隔板3内侧的原料通过第一圆槽10，并进入第二弧形隔板4内侧，进行再次混合，在搅拌完成后，通过控制电动伸缩杆15再次工作，使得套筒8再次向上运动相同的距离，此时第二弧形隔板4内侧的成品通过第二圆槽11流入混合罐1的下端，最后通过出料管12排出。
22.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
23.此外，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”、“第四”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。
24.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
25.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：
1.一种铜制程用剥离液的高效制备装置，其特征在于，包括混合罐（1）以及与混合罐（1）连接的存储罐（2），所述混合罐（1）的内部设置有第一弧形隔板（3）、第二弧形隔板（4），所述混合罐（1）的外侧上端安装有电机（5），所述电机（5）的输出轴连接有转轴（6），所述转轴（6）的下端与混合罐（1）内部的固定架（7）转动连接，所述转轴（6）的外侧设置有套筒（8），所述套筒（8）的外侧与第一弧形隔板（3）、第二弧形隔板（4）内侧的搅拌架（9）连接，所述套筒（8）的中部以及下端分别开设有第一圆槽（10）、第二圆槽（11），所述混合罐（1）的上端设置有与套筒（8）连接的调节机构，所述混合罐（1）的下端设置带有阀门的出料管（12），所述存储罐（2）的下端设置有与混合罐（1）连通的进料管。2.根据权利要求1所述的一种铜制程用剥离液的高效制备装置，其特征在于：所述存储罐（2）设置有五个，分别为醇醚储罐、有机溶剂储罐、缓蚀剂储罐、表面活性剂储罐、去离子水储罐。3.根据权利要求2所述的一种铜制程用剥离液的高效制备装置，其特征在于：所述进料管由三个第一管道（13）、两个第二管道（14）构成，三个所述第一管道（13）的下端口处于第一弧形隔板（3）的上方，两个所述第二管道（14）的下端贯穿第一弧形隔板（3），并处于第二弧形隔板（4）的上方。4.根据权利要求1所述的一种铜制程用剥离液的高效制备装置，其特征在于：所述调节机构包括电动伸缩杆（15）以及设置在套筒（8）上端的固定板（16），所述电动伸缩杆（15）的下端设置有夹板（17），所述固定板（16）的边缘处于所述夹板（17）侧面的凹槽中。5.根据权利要求1所述的一种铜制程用剥离液的高效制备装置，其特征在于：所述套筒（8）的内壁开设有滑槽，所述滑槽与所述转轴（6）外壁设置的滑轨滑动连接。6.根据权利要求1所述的一种铜制程用剥离液的高效制备装置，其特征在于：所述第一圆槽（10）与第二圆槽（11）结构相同，所述第一圆槽（10）的长度为第一弧形隔板（3）厚度的两倍，且初始第一圆槽（10）的上端与第一弧形隔板（3）的内壁平齐，第二圆槽（11）的上端与第二弧形隔板（4）的外壁平齐。

技术总结
本实用新型公开了一种铜制程用剥离液的高效制备装置，包括混合罐以及与混合罐连接的存储罐，所述混合罐的内部设置有第一弧形隔板、第二弧形隔板，所述混合罐的外侧上端安装有电机，所述电机的输出轴连接有转轴，所述转轴的下端与混合罐内部的固定架转动连接，所述转轴的外侧设置有套筒，所述套筒的外侧与第一弧形隔板、第二弧形隔板内侧的搅拌架连接，本实用新型的有益效果是：通过第一管道、第二管道使原料分别进入第一弧形隔板、第二弧形隔板的内侧，在搅拌架的作用下进行预混合，后续通过调节机构控制套筒向上运动，使得预混合的原料均处于第二弧形隔板中，并进行集中混合，从而大大的提高了混合效果。而大大的提高了混合效果。而大大的提高了混合效果。


技术研发人员：王彦智 杜彪
受保护的技术使用者：盛青永致半导体设备（苏州）有限公司
技术研发日：2022.12.28
技术公布日：2023/7/12