水浸式超声扫描显微镜样品传送装置及控制方法与流程

1.本技术属于集成电路测试设备和仪器技术领域，尤其涉及水浸式超声扫描显微镜样品传送装置及控制方法。


背景技术：

2.目前集成电路生产测试用的超声波扫描显微镜的品牌很多，在每次测试结束后，更换下一个被测晶圆时，大都是采用手动操作，将水槽中的水排空后进行更换，或者直接在水中手动装卸被测晶圆，效率很低使得检测晶圆的时间大大拉长。有的超声波扫描电镜虽然具有自动取放样品功能，但机械结构复杂，价格昂贵，在具体生产生活中泛用性不高。除此之外，该自动取放样品功能并不完善，更换过程不够平稳，使得被测晶圆位置发生偏移，影响后续的检测。


技术实现要素：

3.本技术实施例提供了水浸式超声扫描显微镜样品传送装置及控制方法，提高了晶圆检测完成后更换晶圆过程的效率，使更换过程更加快速平稳。
4.本技术是通过如下技术方案实现的：
5.第一方面，本技术实施例提供了一种水浸式超声扫描显微镜样品传送装置，包括：承片台、滑车、导轨、导轨支架、推拉驱动机构、液体槽和底板；底板设置在液体槽的底壁上，导轨支架设置于底板上，导轨设置于导轨支架上，滑车设置于导轨上，承片台设置于滑车上；导轨的两端的高度不同，且导轨较低的一端低于预设高度，预设高度为盛放在液体槽中液体的液面高度；推拉驱动机构设置于底板上，且与滑车连接，推拉驱动机构能够控制滑车在导轨的两端之间移动。
6.结合第一方面，在一些可能的实现方式中，导轨包括受力侧导轨和从动侧导轨，受力侧导轨和从动侧导轨并行设置在液体槽的两侧，两个导轨轨道形状一致位于同一水平面上，承片台两端可滑动设置在两个导轨的轨道中，推拉驱动机构与滑车设置在受力侧导轨中的一端连接。
7.结合第一方面，在一些可能的实现方式中，导轨的轨道包括第一轨道、第二轨道和第三轨道，第一轨道为位于下部的水平轨道，第三轨道为位于上部的水平轨道，第二轨道位于第一轨道和第三轨道之间；第二轨道呈s形曲线状，将第一轨道和第二轨道圆滑连接，第二轨道靠近第一轨道的部分呈凹形曲线状，第二轨道靠近第三轨道的部分呈凸形曲线状。
8.结合第一方面，在一些可能的实现方式中，推拉驱动机构包括：丝杆、滑杆、滑块、第一支座、第二支座和推拉杆；第一支座和第二支座设置在底板上，且位于导轨的外侧；丝杆和滑杆并行设置在第一支座和第二支座之间，丝杆的一端穿过第二支座与电机连接，滑块套设在丝杆和滑杆上，且滑块与丝杆螺纹连接；推拉杆一端与滑块靠近第一支座的一侧连接，另一端与滑车连接；电机带动丝杆旋转，使得滑块在滑杆上移动。
9.结合第一方面，在一些可能的实现方式中，第一支座和第二支座上设置有限位螺
丝，限位螺丝位于丝杆和滑杆下部在滑块移动至靠近第一支座或第二支座时，滑块抵触限位螺丝。
10.结合第一方面，在一些可能的实现方式中，承片台上设置有真空吸盘和真空气路系统；真空吸盘用于吸取晶圆；真空气路系统用于与真空吸盘连接为真空吸盘提供真空环境；真空气路系统包括手动阀、电磁阀、真空发生器、气体净化器和真空管路，真空发生器通过真空管路分别与电磁阀、手动阀和气体净化器连接，手动阀通过真空管路与真空吸盘连接；电磁阀用于开启真空发生器与压缩空气之间的真空管路，使压缩空气进入真空发生器中形成真空，手动阀开启或者关闭真空发生器与真空吸盘之间的真空管路；气体净化器用于对真空发生器的气体进行清洁，并输出洁净气体。
11.结合第一方面，在一些可能的实现方式中，真空气路系统还包括真空释放阀；真空释放阀与真空发生器连接，用于通断真空发生器和手动阀之间的管路。
12.结合第一方面，在一些可能的实现方式中，真空吸盘中部设置有第一真空吸孔、十字形凹槽、环形凹槽和第二真空吸孔，十字行凹槽与环形凹槽连通，第一真空吸孔位于十字形凹槽和/或环形凹槽中，第二真空吸孔均匀分布于环形凹槽外部；第一真空吸孔、十字形凹槽和环形凹槽共同用于吸附第一预设尺寸的晶圆，第一真空吸孔与手动阀连接；第一真空吸孔、十字形凹槽、环形凹槽和第二真空吸孔共同用于吸附第二预设尺寸的晶圆，第二真空吸孔与手动阀连接；第二预设尺寸大于第一预设尺寸。
13.结合第一方面，在一些可能的实现方式中，滑车通过四个滚动轴承与导轨连接，滑车两侧分别为受力侧和从动侧，滑车受力侧的两个轴承均为三角型飞碟轴承，与滑车受力侧对应的一侧的导轨为v型槽结构。
14.第二方面，本技术实施例提供了一种水浸式超声扫描显微镜样品传送装置控制方法，包括：通过推拉驱动机构将滑车从导轨的低位位置移动到高位位置；控制承片台将承片台上的晶圆替换为待检测的晶圆；再通过推拉驱动机构将滑车从导轨的高位位置移动到低位位置，使晶圆没入水槽中，等待对晶圆进行检测。
15.可以理解的是，上述第二方面的有益效果可以参见上述第一方面中的相关描述，在此不再赘述。
16.本技术实施例与现有技术相比存在的有益效果是：
17.本技术通过滑车、导轨、导轨支架和推拉驱动机构将传统的手动更换晶圆的方法自动化，提高了更换晶圆的效率，相比于手动更换晶圆更不容易污染液体槽中的液体，保证了后续晶圆检测的精度，同时也使得水浸式超声扫描显微镜样品传送装置的维护更加简单。
18.应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本说明书。
附图说明
19.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
20.图1是本技术一实施例提供的水浸式超声扫描显微镜样品传送装置的结构示意图；
21.图2是本技术一实施例提供的推拉驱动机构的结构示意图；
22.图3是本技术一实施例提供的真空气路系统的结构示意图；
23.图4是本技术一实施例提供的真空吸盘的结构示意图；
24.图5是本技术一实施例提供的水浸式超声扫描显微镜样品传送装置架设示意图；
25.图6是本技术一实施例提供的水浸式超声扫描显微镜样品传送装置控制方法的流程示意图。
具体实施方式
26.以下描述中，为了说明而不是为了限定，提出了诸如特定系统结构、技术之类的具体细节，以便透彻理解本技术实施例。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其它实施例中也可以实现本技术。在其它情况中，省略对众所周知的系统、装置、电路以及方法的详细说明，以免不必要的细节妨碍本技术的描述。
27.应当理解，当在本技术说明书和所附权利要求书中使用时，术语“包括”指示所描述特征、整体、步骤、操作、元素和/或组件的存在，但并不排除一个或多个其它特征、整体、步骤、操作、元素、组件和/或其集合的存在或添加。
28.还应当理解，在本技术说明书和所附权利要求书中使用的术语“和/或”是指相关联列出的项中的一个或多个的任何组合以及所有可能组合，并且包括这些组合。
29.如在本技术说明书和所附权利要求书中所使用的那样，术语“如果”可以依据上下文被解释为“当...时”或“一旦”或“响应于确定”或“响应于检测到”。类似地，短语“如果确定”或“如果检测到[所描述条件或事件]”可以依据上下文被解释为意指“一旦确定”或“响应于确定”或“一旦检测到[所描述条件或事件]”或“响应于检测到[所描述条件或事件]”。
[0030]
另外，在本技术说明书和所附权利要求书的描述中，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0031]
在本技术说明书中描述的参考“一个实施例”或“一些实施例”等意味着在本技术的一个或多个实施例中包括结合该实施例描述的特定特征、结构或特点。由此，在本说明书中的不同之处出现的语句“在一个实施例中”、“在一些实施例中”、“在其他一些实施例中”、“在另外一些实施例中”等不是必然都参考相同的实施例，而是意味着“一个或多个但不是所有的实施例”，除非是以其他方式另外特别强调。术语“包括”、“包含”、“具有”及它们的变形都意味着“包括但不限于”，除非是以其他方式另外特别强调。
[0032]
目前集成电路生产测试用的超声波扫描显微镜的品牌很多，在每次测试结束后，更换下一个被测晶圆时，大都是采用手动操作，将水槽中的水排空后进行更换，或者直接在水中手动装卸被测晶圆，效率很低使得检测晶圆的时间大大拉长。有的超声波扫描电镜虽然具有自动取放样品功能，但机械结构复杂，价格昂贵，在具体生产生活中泛用性不高。除此之外，该自动取放样品功能并不完善，更换过程不够平稳，使得被测晶圆位置发生偏移，影响后续的检测。
[0033]
基于上述问题，图1出示了本技术实施例提供的一种水浸式超声扫描显微镜样品传送装置的结构示意图，该装置包括：承片台101、滑车102、导轨103、导轨支架104、推拉驱
动机构105、液体槽106和底板107。液体槽106由侧壁和底壁组成，底板107设置在液体槽106的底壁上，导轨支架104设置于底板107上，导轨103设置于导轨支架104上，滑车102设置于导轨103上，承片台101设置于滑车102上。导轨103的两端的高度不同，且导轨103较低的一端低于预设高度，预设高度为盛放在液体槽106中液体的液面高度。推拉驱动机构105设置于底板107上，且与滑车102连接，推拉驱动机构105能够控制滑车102在导轨103的两端之间移动。
[0034]
具体的，承片台101主体材料可以为铝合金。滑车102的两侧各安装两个滚动轴承，四个滚动轴承安装到导轨103内，滑车102沿导轨103做高低位往复运动。
[0035]
示例性的，导轨103包括受力侧导轨和从动侧导轨，受力侧导轨和从动侧导轨并行设置在液体槽106的两侧，两个导轨轨道形状一致位于同一水平面上，承片台101两端可滑动设置在两个导轨的轨道中，推拉驱动机构105与滑车102设置在受力侧导轨中的一端连接。
[0036]
示例性的，导轨103的轨道包括第一轨道、第二轨道和第三轨道，第一轨道为位于下部的水平轨道，第三轨道为位于上部的水平轨道，第二轨道位于第一轨道和第三轨道之间。第二轨道呈s形曲线状，将第一轨道和第二轨道圆滑连接，第二轨道靠近第一轨道的部分呈凹形曲线状，第二轨道靠近第三轨道的部分呈凸形曲线状。
[0037]
示例性的，图2出示了本技术实施例提供的推拉驱动机构的结构示意图，推拉驱动机构105包括：丝杆201、滑杆202、滑块203、第一支座204、第二支座205和推拉杆206。第一支座204和第二支座205设置在底板107上，且位于导轨103的外侧。丝杆201和滑杆202并行设置在第一支座204和第二支座205之间，丝杆201的一端穿过第二支座205与电机连接，滑块203套设在丝杆201和滑杆202上，且滑块203与丝杆201螺纹连接。推拉杆206一端与滑块203靠近第一支座204的一侧连接，另一端与滑车102连接。电机带动丝杆201旋转，使得滑块203在滑杆202上移动。
[0038]
具体的，丝杆201可以采用七线螺纹，且所述丝杆201采用外螺纹，所述滑块203采用内螺纹。丝杆201是采用大行程多线梯形螺纹的滚珠丝杆，行程可以为28mm，螺距可以为4mm。多线螺纹为两条以上的轴等距分布的螺旋线所形成的螺纹，每旋转一周时，能移动几倍的螺距，工作时螺牙的两侧均匀受力。
[0039]
具体的，在某些具体实施例中推拉杆206与滑块203之间可以通过万向直杆球头关节轴承207连接，便于调整推拉杆206的方向。为了满足推拉驱动机构105的尺寸问题，推拉杆206上还可以设置有长度调节螺丝208，使推拉杆206的长度可调，满足实际工作的需求。
[0040]
具体的，在某些具体实施例中推拉杆206与滑车102之间可以通过弯杆球关节轴承209连接，方便推拉杆206将应力作用于滑车102上，使滑车102正常运动。上述可知推拉杆206两端均可以为铰链结构，即可以同时存在万向直杆球头关节轴承207和弯杆球关节轴承209。
[0041]
具体的，丝杆201与电机连接的一端还设置有联轴器210，联轴器210使得电机更方便的带动丝杆201转动。
[0042]
示例性的，第一支座204和第二支座205上可以设置有限位螺丝211，限位螺丝211位于丝杆201和滑杆202下部。在滑块203移动至靠近第一支座204或第二支座205时，滑块203抵触限位螺丝211。第一支座204和第二支座205的高度高于液体面，减少了推拉杆206与
液体的接触，降低了对液体的污染，可以提高检测精度。
[0043]
具体的，限位螺丝211其长度可调，用来调整滑块203运动的两个极限位置，起机械限位和保护作用。在步进电机驱动出现异常时，限定滑块203运动的极限位置，从而起到保护滑车102碰撞的作用。
[0044]
一些实施例中，推拉驱动机构105可以设置在受力侧导轨与液体槽106的侧壁之间的底板107上。
[0045]
示例性的，承片台101上设置有真空吸盘1011和真空气路系统1012。真空吸盘1011用于吸取晶圆，真空气路系统1012用于与真空吸盘1011连接为真空吸盘1011提供真空环境。
[0046]
图3出示了本技术实施例提供的真空气路系统的结构示意图，真空气路系统1012包括手动阀301、电磁阀302、真空发生器303、气体净化器304和真空管路。真空发生器303通过真空管路分别与电磁阀302、手动阀301和气体净化器304连接，手动阀301通过真空管路与真空吸盘1011连接。电磁阀302用于开启真空发生器303与压缩空气之间的真空管路，使压缩空气进入真空发生器303中形成真空，手动阀301开启或者关闭真空发生器303与真空吸盘1011之间的真空管路。气体净化器304用于对真空发生器303的气体进行清洁，并输出洁净气体。真空管路的内径可以为4mm。真空发生器303为单体结构，采用文丘里管的工作原理。手动阀301选用摆动手柄阀kho-3-pk-3，压缩空气出口处的消音净化器选用smc amc320-f03bd，安装在液体槽液面上方。
[0047]
具体的，气体净化器304输出洁净气体之后使得在液体的上方和操作箱内形成正压洁净空间。
[0048]
具体的，图1中的水浸式超声扫描显微镜样品传送装置还包括真空气路系统拖链108，真空气路系统1012通过真空气路系统拖链108连接到液体槽106外部，除此之外真空气路系统拖链108随着滑车102移动，起到保护真空管路的作用。
[0049]
示例性的，真空气路系统1012还包括真空释放阀305。真空释放阀305与真空发生器303连接，用于通断真空发生器303和手动阀301之间的管路，通过控制管路的通断进而控制管路内部的真空环境。当真空气路系统1012存在真空释放阀305时，真空吸盘1011对晶圆的吸取和释放动作通过真空释放阀305实现，这样可以防止液体被到吸入真空管路。真空释放阀305型号选用s3hl-08。
[0050]
具体的，真空气路系统1012还可以包括手动调节阀306，手动调节阀306用于辅助电磁阀302进行工作将压缩空气送入真空发生器303。
[0051]
示例性的，图4出示了本技术实施例提供的真空吸盘的结构示意图，真空吸盘1011中部设置有第一真空吸孔401、十字形凹槽402、环形凹槽403和第二真空吸孔404。十字行凹槽402与环形凹槽403连通，第一真空吸孔401位于十字形凹槽402和/或环形凹槽403中，第二真空吸孔404均匀分布于环形凹槽403外部。
[0052]
第一真空吸孔401、十字形凹槽402和环形凹槽403共同用于吸附第一预设尺寸的晶圆，第一真空吸孔401与手动阀301连接。当真空发生器303形成真空时，由于十字行凹槽402与环形凹槽403连通，第一真空吸孔401位于十字形凹槽402和/或环形凹槽403中，使得十字形凹槽402和环形凹槽403区域形成负压，此时在大气压的影响下晶圆会紧紧吸附在真空吸盘1011上。
[0053]
第一真空吸孔401、十字形凹槽402、环形凹槽403和第二真空吸孔404共同用于吸附第二预设尺寸的晶圆，第二真空吸孔404与手动阀301连接；第二预设尺寸大于第一预设尺寸。具体的第一预设尺寸可以为6英寸，第二预设尺寸为可以8英寸。真空吸盘1011通过安装孔407安装于承片台上。当吸附大尺寸的晶圆时，除了十字形凹槽402和环形凹槽403区域形成负压之外，第二真空吸孔404同时产生作用加强吸附力，防止晶圆掉落。
[0054]
具体的，在某些具体实施例中，真空气路系统1012还可以包括多个手动阀301，例如第一手动阀3011和第二手动阀3022。对应的，第一真空吸孔401与第一手动阀3011连接，第二真空吸孔404与第二手动阀3012连接。手动阀301用于选择吸取不同尺寸的晶圆。当吸取尺寸较小的晶圆时可以选择启动第一手动阀3011，当吸取尺寸较大的晶圆时可以选择启动第一手动阀3011和第二手动阀3012。
[0055]
具体的，第一手动阀3011通过真空管路与第一真空吸孔401连接时，为了便于真空气路接入真空吸盘1011之中使用了直角弯头405，使该段真空管路更加耐用，不会轻易断裂，影响吸盘的使用。
[0056]
同理，第二真空吸孔404与第二手动阀3012通过真空管路连接时，由于考虑到三个第二真空吸孔的位置，使用了两个三通接头406和一个直角接头405，在接入第一个第二真空吸孔的位置处使用第一个三通接头，在接入第二个第二真空吸孔的位置处使用第二个三通接头，在第三个真空吸孔的位置处使用一个直角接口，这样的设置使得引出的真空管路所占空间更小，真空管路更短。
[0057]
具体的，在实际使用中，还可以使用第二真空吸孔404单独吸附第二预设尺寸的晶圆。
[0058]
示例性的，滑车102通过四个滚动轴承与导轨103连接，滑车102两侧分别为受力侧和从动侧，滑车102受力侧的两个轴承均为三角型飞碟轴承，与滑车102受力侧对应的一侧的导轨为v型槽结构。推拉杆206连接滑车102的一端为滑车的动力侧。
[0059]
具体的，滑车102在导轨103上运动时运动变化均匀，运动平滑。从动侧导轨为平面结构，受力侧导轨为v型槽结构，和飞碟轴承配合可以实现滑车102运动约束。
[0060]
具体的，在实际检测中如图5所示，水浸式超声扫描显微镜样品传送装置放置于箱体中；箱体分为上下箱体两个部分：箱体上部分用来安放水浸式超声扫描显微镜样品传送装置，通过两侧箱门和前后箱门形成密闭空间；箱体下部分为支架。液体槽宽600mm，长1300mm，采用有机玻璃材质，槽壁上加工有出水口、入水口和相关零部件的安装孔。水槽通过四个支座固定在箱体中部的横梁上。箱体结构和尺寸可以根据实际应用调整，与使用的超声波扫描电子显微镜配合设计安装。
[0061]
上述水浸式超声扫描显微镜样品传送装置，通过滑车、导轨、导轨支架和推拉驱动机构将传统的手动更换晶圆的方法自动化，提高了更换晶圆的效率，相比于手动更换晶圆更不容易污染液体槽中的液体，保证了后续晶圆检测的精度，同时也使得水浸式超声扫描显微镜样品传送装置的维护更加简单。
[0062]
图6是本技术一实施例提供的水浸式超声扫描显微镜样品传送装置控制方法的流程示意性图，参照图6，对该水浸式超声扫描显微镜样品传送装置控制方法的详述如下：
[0063]
步骤501，通过推拉驱动机构将滑车从导轨的低位位置移动到高位位置。
[0064]
步骤502，控制承片台将承片台上的晶圆替换为待检测的晶圆。
[0065]
步骤503，再通过推拉驱动机构将滑车从导轨的高位位置移动到低位位置，使晶圆没入水槽中，等待对晶圆进行检测。
[0066]
上述水浸式超声扫描显微镜样品传送装置控制方法，将传统的手动更换晶圆的方法自动化，提高了更换晶圆的效率，相比于手动更换晶圆更不容易污染液体槽中的液体，保证了后续晶圆检测的精度，同时也使得水浸式超声扫描显微镜样品传送装置的维护更加简单。
[0067]
为了更加清楚的解释上述控制方法，从一种晶圆检测完成后需要进行的工作和具体的操作包括如下步骤：
[0068]
步骤a1，工作条件准备。开始工作之前，打开压缩空气的手动进气阀，开启电磁阀，压缩空气经过真空发生器产生真空，提供给真空管道。真空发生器流出的压缩空气，为重复利用，经过洁净气体发生器产生洁净气体，为液体槽上方提供正压的洁净环境。
[0069]
步骤a2，滑车从低位位置向高位运动。计算机的控制系统给出承片台向高位运动指令，步进电机驱动丝杆旋转，带动滑块沿着滑杆移动，滑块推动拉杆。拉杆两端通过铰链结构分别连接滑块和滑车的滚动轴承。拉杆推动滑车的滚动轴承沿着s形导轨向上运动，直至到达高位。步进电机编码器提供反馈信号用于控制速度和位置。
[0070]
步骤a3，在高位的取片操作。滑车移动到高位停止后，拨动真空吸附释放阀到“释放”位置，真空释放阀连接大气，承片台晶圆下的真空凹槽内真空得到释放，就可以进行取片操作。
[0071]
步骤a4，在高位的放片操作。首先将下一个待检测的晶圆放置到承片台对应的位置。如果晶圆尺寸发生变化，操作6寸片真空手阀和8寸片真空手阀选择对应尺寸(6寸或8寸)。如果是6寸晶圆，则打开6寸片真空手阀，关闭8寸片真空手阀，真空通过承片台的中心孔和连通的十字形和环形凹槽，将晶圆吸附在工作台上；如果是8寸基片，则同时打开6寸片真空手阀和8寸片真空手阀使承片台上外部三个孔也连接真空，和中心孔一起将晶圆吸附在工作台上。
[0072]
步骤a5，滑车从高位移动到低位。在控制系统给出承片台向低位运动指令，步进电机驱动丝杆反向旋转，带动滑块沿着滑杆移动，滑块拉动拉杆。拉杆拉动滑车的滚动轴承沿着s形导轨向下运动，直至到达低位，步进电机处于刹车状态，使晶圆没入水中静止不动，等待声扫头进行检测。滑车的移动位置也可以在计算机操作软件中设定，由步进电机编码器进行位置反馈。
[0073]
步骤a6，在低位完成超声波扫描检测。检测完毕后，重复步骤1，直至全部测晶圆检测完成，关闭进气电磁阀。
[0074]
步骤a1到步骤a6为完成一次完整的过程，如果检测完成不在需要进行下一个晶圆的检测时，需要手动将压缩空气的进气阀关闭。
[0075]
应理解，上述实施例中各步骤的序号的大小并不意味着执行顺序的先后，各过程的执行顺序应以其功能和内在逻辑确定，而不应对本技术实施例的实施过程构成任何限定。
[0076]
以上所述实施例仅用以说明本技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改
或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例技术方案的精神和范围，均应包含在本技术的保护范围之内。

技术特征：
1.一种水浸式超声扫描显微镜样品传送装置，包括：承片台、滑车、导轨、导轨支架、推拉驱动机构、液体槽和底板；所述底板设置在所述液体槽的底壁上，所述导轨支架设置于所述底板上，所述导轨设置于所述导轨支架上，所述滑车设置于所述导轨上，所述承片台设置于所述滑车上；所述导轨的两端的高度不同，且所述导轨较低的一端低于预设高度，所述预设高度为盛放在所述液体槽中液体的液面高度；所述推拉驱动机构设置于所述液体槽的底板上，且与所述滑车连接，所述推拉驱动机构能够控制所述滑车在所述导轨的两端之间移动。2.如权利要求1所述的水浸式超声扫描显微镜样品传送装置，其特征在于，所述导轨包括受力侧导轨和从动侧导轨，所述受力侧导轨和所述从动侧导轨并行设置在液体槽的两侧，两个导轨轨道形状一致位于同一水平面上，所述承片台两端可滑动设置在两个导轨的轨道中，所述推拉驱动机构与所述滑车设置在受力侧导轨中的一端连接。3.如权利要求2所述的水浸式超声扫描显微镜样品传送装置，其特征在于，所述导轨的轨道包括第一轨道、第二轨道和第三轨道，所述第一轨道为位于下部的水平轨道，所述第三轨道为位于上部的水平轨道，所述第二轨道位于第一轨道和第三轨道之间；所述第二轨道呈s形曲线状，将所述第一轨道和所述第二轨道圆滑连接，所述第二轨道靠近所述第一轨道的部分呈凹形曲线状，所述第二轨道靠近所述第三轨道的部分呈凸形曲线状。4.如权利要求1所述的水浸式超声扫描显微镜样品传送装置，其特征在于，所述推拉驱动机构包括：丝杆、滑杆、滑块、第一支座、第二支座和推拉杆；所述第一支座和所述第二支座设置在底板上，且位于所述导轨的外侧；所述丝杆和所述滑杆并行设置在所述第一支座和所述第二支座之间，所述丝杆的一端穿过所述第二支座与电机连接，所述滑块套设在所述丝杆和所述滑杆上，且所述滑块与所述丝杆螺纹连接；所述推拉杆一端与所述滑块靠近第一支座的一侧连接，另一端与滑车连接；电机带动所述丝杆旋转，使得所述滑块在所述滑杆上移动。5.如权利要求4所述的水浸式超声扫描显微镜样品传送装置，其特征在于，所述第一支座和所述第二支座上设置有限位螺丝，所述限位螺丝位于所述丝杆和所述滑杆下部，在滑块移动至靠近第一支座或第二支座时，所述滑块抵触限位螺丝。6.如权利要求1所述的水浸式超声扫描显微镜样品传送装置，其特征在于，所述承片台上设置有真空吸盘和真空气路系统；所述真空吸盘用于吸取晶圆；所述真空气路系统用于与所述真空吸盘连接为真空吸盘提供真空环境；所述真空气路系统包括手动阀、电磁阀、真空发生器、气体净化器和真空管路，所述真空发生器通过所述真空管路分别与所述电磁阀、所述手动阀和所述气体净化器连接，所述手动阀通过所述真空管路与所述真空吸盘连接；所述电磁阀用于开启所述真空发生器与压缩空气之间的真空管路，使压缩空气进入真空发生器中形成真空，所述手动阀开启或者关闭所述真空发生器与所述真空吸盘之间的真空管路；所述气体净化器用于对真空发生器的气体进行清洁，并输出洁净气体。
7.如权利要求6所述的水浸式超声扫描显微镜样品传送装置，其特征在于，所述真空气路系统还包括真空释放阀；所述真空释放阀与所述真空发生器连接，用于通断所述真空发生器和所述手动阀之间的管路。8.如权利要求6所述的水浸式超声扫描显微镜样品传送装置，其特征在于，所述真空吸盘中部设置有第一真空吸孔、十字形凹槽、环形凹槽和第二真空吸孔，十字行凹槽与环形凹槽连通，第一真空吸孔位于十字形凹槽和/或环形凹槽中，第二真空吸孔均匀分布于环形凹槽外部；所述第一真空吸孔、所述十字形凹槽和所述环形凹槽共同用于吸附第一预设尺寸的晶圆，所述第一真空吸孔与所述手动阀连接；所述第一真空吸孔、所述十字形凹槽、所述环形凹槽和第二真空吸孔共同用于吸附第二预设尺寸的晶圆，所述第二真空吸孔与所述手动阀连接；所述第二预设尺寸大于所述第一预设尺寸。9.如权利要求1所述的水浸式超声扫描显微镜样品传送装置，其特征在于，所述滑车通过四个滚动轴承与所述导轨连接，所述滑车两侧分别为受力侧和从动侧，所述滑车受力侧的两个轴承均为三角型飞碟轴承，与所述滑车受力侧对应的一侧的导轨为v型槽结构。10.一种水浸式超声扫描显微镜样品传送装置控制方法，其特征在于，包括：通过推拉驱动机构将滑车从导轨的低位位置移动到高位位置；控制承片台将承片台上的晶圆替换为待检测的晶圆；再通过推拉驱动机构将滑车从导轨的高位位置移动到低位位置，使晶圆没入水槽中，等待对晶圆进行检测。

技术总结
本申请适用于集成电路测试设备和仪器技术领域，提供了水浸式超声扫描显微镜样品传送装置及控制方法，该装置包括：承片台、滑车、导轨、导轨支架、推拉驱动机构、液体槽和底板；底板设置在液体槽的底壁上，导轨支架设置于底板上，导轨设置于导轨支架上，滑车设置于导轨上，承片台设置于滑车上；导轨的两端的高度不同，且导轨较低的一端低于预设高度，预设高度为盛放在液体槽中液体的液面高度；推拉驱动机构设置于液体槽的底板上，且与滑车连接，推拉驱动机构能够控制滑车在导轨的两端之间移动。本申请提高了晶圆检测完成后更换晶圆过程的效率，使更换过程更加快速平稳。使更换过程更加快速平稳。使更换过程更加快速平稳。


技术研发人员：赵英伟 张文朋 曹健 秦天 吴爱华 张辉 任泽生 王峻澎 程壹涛
受保护的技术使用者：中国电子科技集团公司第十三研究所
技术研发日：2023.03.02
技术公布日：2023/7/12