一种通用型探针摆针治具的制作方法

1.本实用新型涉及半导体器件测试技术领域，特别涉及一种通用型探针摆针治具。


背景技术：

2.晶圆在进行探针测试时，需要通过探针卡与测试仪器相连通，利用探针卡上的探针与晶圆上的压焊点接触，从而进行电信号的传输。探针卡是一种带有很多细针的印刷电路板，测试生产需要的探针卡，需根据晶圆芯片上的压焊点布局和间距来设计。探针卡上可多达上千根探针，任何一根探针针头扎针不准，都可能导致对应的待测晶圆检测失效。
3.因此，探针卡上的探针要事先在摆针治具上摆放好，再涂上树脂固定。由于不同晶圆对应的探针卡不同，其对应的摆针治具也是根据单个产品特别设计的。摆针过程中，需要将探针前端的弯折部插入插针槽内，且不同探针前端的弯折角度，需要搭配倾角不同的治具。每个产品生产完后，其对应的摆针治具也搁置了，十分浪费。


技术实现要素：

4.为了解决上述问题，本实用新型提供了一种通用型探针摆针治具，可与多种晶圆的探针卡适配，使用时限长。
5.为此，本实用新型的技术方案是：一种通用型探针摆针治具，包括底座和两个活动块，所述底座中间设有若干平行分布的插针槽，活动块位于插针槽两侧，且活动块上设有长槽孔，通过螺钉安装在底座上，且活动块朝向插针槽一侧设有倾斜面。
6.使用前，需要根据探针的形状，调节活动块的位置，使得活动块上倾斜面与探针相匹配；使用时，探针前端插入插针槽内，探针上方通过压框固定，再将树脂浇入压框内，树脂凝固后，探针固定成型，方便后期装配到探针卡上。
7.优选地，所述活动块为片状结构，一侧设有若干长槽孔，另一侧设有倾斜面，活动块底面与插针槽的槽口齐平，倾斜面的最低点位于插针槽上。活动块上设置长槽孔，活动块可以在长槽孔范围内调节位置，从而适配不同规格的探针。
8.优选地，所述活动块上倾斜面与底面的夹角为8～10度。
9.优选地，所述底座为矩形板状结构，底座上设有两排螺纹孔，螺纹孔位于插针槽两侧；所述活动块上的长槽孔与螺纹孔位置相对，通过螺钉固定连接。
10.优选地，所述底座上的插针槽为矩形槽，且各个插针槽的槽宽各不相同。插针槽的槽宽不一致，可以插入不同规格的探针，通用性更好。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：在底座上设有不同宽度的插针槽，利用长槽孔来改变活动块的位置，从而与不同规格的探针相适配，通用性好，使用寿命长；底座上的插针槽比较长，可以同时在底座上摆放多组探针，同时涂抹树脂，进行批量生产，提高探针卡的加工效率。
附图说明
12.以下结合附图和本实用新型的实施方式来作进一步详细说明
13.图1为本实用新型的结构示意图；
14.图2为本实用新型的结构俯视图；
15.图3为本实用新型的结构侧视图；
16.图4为图3的局部放大图；
17.图5为本实用新型底座的结构示意图；
18.图6为本实用新型活动块的结构示意图；
19.图7为本实用新型的工作示意图；
20.图8为图7的结构侧视图。
21.图中标记为：底座1、插针槽11、螺纹孔12、活动块2、长槽孔21、倾斜面22、螺钉3、探针4、压框5。
具体实施方式
22.在本实用新型的描述中，需要说明的是，对于方位词，如有术语“中心”，“横向(x)”、“纵向(y)”、“竖向(z)”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示方位和位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于叙述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定方位构造和操作，不能理解为限制本实用新型的具体保护范围。
23.此外，如有术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或隐含指明技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”特征可以明示或者隐含包括一个或者多个该特征，在本实用新型描述中，“数个”、“若干”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
24.参见附图。本实施例所述通用型探针摆针治具，包括底座1和两个活动块2，底座1为矩形板状结构，所述底座1中间设有若干互相平行的插针槽11，插针槽11呈水平设置，插针槽11为矩形槽，即插针槽11的截面为矩形结构，且各个插针槽11的槽宽各不相同；槽宽小的插针槽位于中间，然后两边插针槽的槽宽逐渐增大。插针槽11的槽宽不一致，可以插入不同规格的探针，通用性更好。底座1上设有两排螺纹孔12，螺纹孔12位于插针槽11两侧。
25.两个活动块2相向设置，所述活动块2为片状结构，活动块一侧设有若干长槽孔21，活动块2安装在底座1上，活动块2上的长槽孔21与底座1上的螺纹孔12数量一致，位置相对，通过螺钉3将活动块2固定在底座1上，活动块2可以在长槽孔21范围内调节位置，从而适配不同规格的探针。
26.所述活动块2底面与插针槽11的槽口齐平，位于插针槽两侧，且活动块2朝向插针槽一侧设有倾斜面22，活动块上倾斜面与底面的夹角a为8度，倾斜面22的最低点位于任一插针槽11上。
27.使用前，需要根据探针的形状，调节活动块2的位置，使得活动块2上倾斜面22与探针4的形状相匹配；使用时，探针4前端插入插针槽11内，探针4上方通过压框5固定，再将树脂浇入压框内，树脂凝固后，探针4固定成型，方便后期装配到探针卡上。
28.由于底座上的插针槽足够长，摆针治具上可以摆放多组探针，同时浇筑树脂，提高加工效率。
29.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。


技术特征：
1.一种通用型探针摆针治具，其特征在于：包括底座和两个活动块，所述底座中间设有若干平行分布的插针槽，活动块位于插针槽两侧，且活动块上设有长槽孔，通过螺钉安装在底座上，且活动块朝向插针槽一侧设有倾斜面。2.如权利要求1所述的一种通用型探针摆针治具，其特征在于：所述活动块为片状结构，一侧设有若干长槽孔，另一侧设有倾斜面，活动块底面与插针槽的槽口齐平，倾斜面的最低点位于插针槽上。3.如权利要求2所述的一种通用型探针摆针治具，其特征在于：所述活动块上倾斜面与底面的夹角为8～10度。4.如权利要求1所述的一种通用型探针摆针治具，其特征在于：所述底座为矩形板状结构，底座上设有两排螺纹孔，螺纹孔位于插针槽两侧；所述活动块上的长槽孔与螺纹孔位置相对，通过螺钉固定连接。5.如权利要求1所述的一种通用型探针摆针治具，其特征在于：所述底座上的插针槽为矩形槽，且各个插针槽的槽宽各不相同。

技术总结
本实用新型公开了一种通用型探针摆针治具，包括底座和两个活动块，所述底座中间设有若干平行分布的插针槽，活动块位于插针槽两侧，且活动块上设有长槽孔，通过螺钉安装在底座上，且活动块朝向插针槽一侧设有倾斜面。本实用新型在底座上设有不同宽度的插针槽，利用长槽孔来改变活动块的位置，从而与不同规格的探针相适配，通用性好，使用寿命长。使用寿命长。使用寿命长。


技术研发人员：刘红军
受保护的技术使用者：浙江微针半导体有限公司
技术研发日：2022.11.21
技术公布日：2023/7/20