涂布设备的制作方法

1.本公开大体涉及一种涂布设备。


背景技术：

2.涂布设备是一种低成本的可以在基材的表面形成涂膜的设备，常用于芯片制造领域、显示屏制造领域、太阳能电池制造领域或锂电池制造领域。涂布设备通常采用狭缝涂膜、旋涂、刮涂的方式在基材表面涂覆一层湿膜，湿膜干燥后可以形成涂膜或涂层。其中，基于狭缝涂膜原理的涂布设备可以制备大面积(大于10平方米)、精准膜厚(低至10nm)、膜厚一致性高(可达
±
1.5％)的涂膜或涂层。
3.虽然在研发过程中对设备的结构或工艺参数进行改善可以有效提高涂膜或涂层的质量，但是在实际批量生产的过程中，为了有效地降低生产成本、提高产能，涂布设备不可避免地需要生产大面积的涂膜或涂层。
4.但是在制备大面积的涂层或涂膜的过程中，特别是溶剂容易挥发的材料，比如钙钛矿材料，由于涂覆湿膜的时间相对较长，基板上先涂覆的湿膜可能会因为溶剂挥发和后涂覆的湿膜浓度不同而产生浓度差，进一步有可能导致湿膜中分子迁移，最终造成涂布或涂布的厚度不均匀。另外，成分不均匀的湿膜在干燥的过程中可能会由于结晶不均匀导致涂膜成分不均匀。因此需要一种在制备大面积的涂膜时，能够提高涂膜成分均匀性、提高膜厚一致性的涂布设备。


技术实现要素：

5.本公开是有鉴于上述现有技术的状况而提出的，其目的在于提供一种在制备大面积的涂膜时，能够提高涂膜成分均匀性、提高膜厚一致性的涂布设备。
6.为此，本公开提供一种涂布设备，包括洁净箱、气流引导机构、支承机构、以及供料机构，所述洁净箱包括具有容纳空间的箱体、以及设置在所述箱体上且与所述容纳空间连通的第一风洞和第二风洞，所述气流引导机构包括风机、进气管道、排气管道、循环管道、以及试剂含量控制器，在所述进气管道、所述排气管道和所述循环管道内分别设有可开闭的阀门，所述风机用于引导气流，所述进气管道经由所述风机和所述第一风洞而与所述容纳空间连通，所述排气管道经由所述第二风洞而与所述容纳空间连通，所述循环管道连通所述进气管道和所述排气管道，所述试剂含量控制器设置在所述循环管道与所述风机的连通路径上并配置为控制流经所述试剂含量控制器的气流中的气化试剂的含量，所述支承机构和所述供料机构设置在所述容纳空间内，所述支承机构用于支承涂布对象，所述供料机构包括分配液体试剂的分配部，所述分配部包括具有容纳液体试剂的腔室的壳体、以及连通于所述腔室并用于输出液体试剂的出料口，所述出料口朝向所述支承机构。
7.在本公开中，在洁净箱的容纳空间内部填充有含有预设浓度的气化试剂，在气化试剂的氛围下，供料机构将液体试剂涂覆到位于支承机构的涂布对象，气化试剂的氛围可以有效抑制涂覆于液体试剂的挥发，从而降低在不同时间涂覆的湿膜的成分不均匀、膜厚
不一致的可能性，进一步起到提高涂膜成分均匀性、膜厚一致性的作用。另外，气化试剂在洁净箱内部循环流动，能够提高气化试剂的利用率。另外，试剂含量控制器能够使容纳空间中气体中的气化试剂的含量或浓度处于动态平衡。
8.另外，在本公开所涉及的涂布设备中，可选地，在进行涂布之前，所述进气管道的阀门和所述排气管道的阀门被关闭且所述循环管道的阀门被打开，所述风机引导所述容纳空间内的气体循环流经所述试剂含量控制器，以使所述容纳空间内的气体所包含的气化试剂达到预定浓度。在这种情况下，容纳空间暂时封闭，能够有利于通过试剂含量控制器对气化试剂的浓度进行调节。
9.另外，在本公开所涉及的涂布设备中，可选地，所述第一风洞的数量为多个，所述风机的数量为多个并且分别连通于各个第一风洞。由此，第一风机能够引导洁净箱外部的空气通过第一风洞进入到容纳空间。
10.另外，在本公开所涉及的涂布设备中，可选地，还包括并排布置的第一连通管道和第二连通管道，所述第一连通管道的两端分别与所述第二连通管道的两端连通，在所述第一连通管道的两端之间设有与所述进气管道连通的连通口，在所述第二连通管道的两端之间设有分别与各个风机连通的多个连通口。在这种情况下，由进气管道进入洁净箱的气流能够经过第一连通管道后进入第二连通管道，并经多个风机、多个第一风洞进入容纳空间，减少产生气流循环死角的可能性。
11.另外，在本公开所涉及的涂布设备中，可选地，所述第一连通管道或所述第二连通管道还连通于所述排气管道，并且在所述第一连通管道或所述第二连通管道与所述排气管道的连通路径上设有可开闭的阀门。由此，风机能够引导气流经过第二风洞、排气管道的一部分、第一联通管道和/或第二联通管道在洁净箱内部循环流动。
12.另外，在本公开所涉及的涂布设备中，可选地，当进行涂布时，所述排气管道的阀门被关闭，并且设置在所述第一连通管道或所述第二连通管道与所述排气管道的连通路径上的阀门被打开。由此，能够减少气化试剂溢出到空气中造成浪费的可能。
13.另外，在本公开所涉及的涂布设备中，可选地，还包括设置在所述容纳空间内的搬运机构，所述搬运机构将位于所述容纳空间外部的涂布对象从箱洁净箱的外部搬运至所述支承机构。搬运机构临近的箱体墙壁开有自动化控制的侧门，当搬运涂布对象时，侧门自动打开，搬运完毕自动关闭，由此，能够提高涂布设备的自动化程度。
14.另外，在本公开所涉及的涂布设备中，可选地，所述试剂含量控制器设置在所述循环管道与所述进气管道的连接处。由此，试剂含量控制器能够同时对通过循环管道和/或进气管道对容纳空间内部的气化试剂的含量进行调节。
15.另外，在本公开所涉及的涂布设备中，可选地，所述涂布设备还包括输出冷却介质的冷却机构，所述供料机构还包括连通于所述分配部且储存液体试剂的储料罐，所述支承机构、所述分配部、所述储料罐中的至少一个具有与所述冷却机构连通的流体腔。由此，能够通过冷却机构降低涂覆到涂布对象的液体试剂的温度，抑制液体试剂的挥发。
16.另外，在本公开所涉及的涂布设备中，可选地，所述支承机构呈平板状且具有预定宽度和预定长度，所述出料口呈狭缝状且所述出料口的长度方向沿着所述支承机构的宽度方向，所述出料口的长度不小于所述预定宽度并且所述驱动机构驱动所述分配部沿着所述支承机构的长度方向水平移动。由此，在输出液体试剂时，能够通过分配部与支承机构的相
对移动以形成特定图案的涂膜。
17.根据本公开，能够提供一种在制备大面积的涂膜时，能够提高涂膜成分均匀性、提高膜厚一致性的涂布设备。
附图说明
18.现在将仅通过参考附图的例子进一步详细地解释本公开，其中：
19.图1是示出了本公开实施方式所涉及的涂布设备的示意图。
20.图2是示出了本公开实施方式所涉及的洁净箱的示意图。
21.图3是示出了本公开实施方式所涉及的涂布前通过试剂含量控制器为容纳空间补充气体试剂的示意图。
22.图4是示出了本公开实施方式所涉及的通过第一连通管道和第二连通管道为循环管道分流的示意图。
23.图5是示出了本公开实施方式所涉及的通过进气管道向容纳空间内部补充气体的示意图。
24.图6是示出了本公开实施方式所涉及的第一视角下分配部相对涂布对象移动的原理图。
25.图7是示出了本公开实施方式所涉及的第二视角下分配部相对涂布对象移动的原理图。
26.图8是示出了本公开实施方式所涉及的冷却机构对液体试剂进行降温的示意图。
具体实施方式
27.以下，参考附图，详细地说明本公开的优选实施方式。在下面的说明中，对于相同的部件赋予相同的符号，省略重复的说明。另外，附图只是示意性的图，部件相互之间的尺寸的比例或者部件的形状等可以与实际的不同。
28.需要说明的是，本公开中的术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形，例如所包括或所具有的一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可以包括或具有没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
29.另外，在本公开的下面描述中涉及的小标题等并不是为了限制本公开的内容或范围，其仅仅是作为阅读的提示作用。这样的小标题既不能理解为用于分割文章的内容，也不应将小标题下的内容仅仅限制在小标题的范围内。
30.本公开的实施方式涉及一种涂布设备。在一些示例中，涂布设备也可以被称为涂布机。本公开所涉及的涂布设备可以应用于芯片制造领域、显示屏制造领域、太阳能电池制造领域或锂电池制造领域，主要用于生产大面积的涂膜或涂层。本公开涉及的涂布设备尤其适合利用溶剂容易挥发的材料制备涂膜或涂层的场景，例如通过钙钛矿材料制备太阳能电池中的钙钛矿薄膜。本公开涉及的涂布设备具有提高涂膜成分均匀性、提高膜厚一致性等优点。
31.图1是示出了本公开实施方式所涉及的涂布设备10的示意图。图2是示出了本公开实施方式所涉及的洁净箱100的示意图。
32.在一些示例中，涂布设备10可以包括洁净箱100、支承机构110、以及供料机构120(参见图8)。在一些示例中，洁净箱100可以包括具有容纳空间101的箱体102。在一些示例中，支承机构110和供料机构120可以设置在容纳空间101内。在一些示例中，支承机构110可以用于支承涂布对象130。在一些示例中，供料机构120可以用于在涂布对象130上涂覆液体试剂并形成涂膜。
33.在一些示例中，液体试剂可以包括溶质和溶剂。在一些示例中，液体试剂可以为钙钛矿溶液。在一些示例中，在制备大面积的涂膜时，或制备的涂膜长宽比较大时，先形成的湿膜可能会由于溶剂的挥发和后形成的湿膜浓度不同产生浓度差。浓度差的存在可能会导致湿膜中分子迁移，从而形成涂膜的厚度不一致。另外，溶剂的挥发可能导致先形成的湿膜可能会部分干燥，从而导致涂膜的成分不均匀。当空气中含有气态的溶剂(气化试剂)时，可以有效抑制液体试剂涂覆形成的湿膜中溶剂挥发的速率。因此，在空气中通入气化试剂可以形成气化试剂氛围可以降低湿膜中溶剂挥发的速率。
34.在一些示例中，空气中的气化试剂的浓度理论上可以为饱和浓度。由此，能够大幅度降低湿膜中溶剂挥发的速率。但是考虑到空气中气化试剂的浓度为饱和浓度时，温度的波动可能会导致液体冷凝，从而可能产生负面影响。因此，空气中溶剂气体的浓度可以低于饱和浓度。因此，在一些示例中，容纳空间101内部可以形成预设浓度的气化试剂氛围。预设浓度可以不大于空气中气化试剂的饱和浓度。
35.在本公开中，在洁净箱100的容纳空间101内部填充有含有预设浓度的气化试剂，在气化试剂的氛围下，供料机构120将液体试剂涂覆到位于支承机构110的涂布对象130，气化试剂的氛围可以有效抑制涂覆于液体试剂的挥发，从而降低在不同时间涂覆的湿膜的成分不均匀、膜厚不一致的可能性，进一步能够起到提高涂膜成分均匀性、膜厚一致性的作用。
36.在一些示例中，涂布设备100还可以包括气流引导机构140。气流引导机构140可以用于为容纳空间101提供稳定的气化试剂氛围。
37.在一些示例中，洁净箱100可以具有与容纳空间101连通的第一风洞103和第二风洞104。在一些示例中，气流引导机构140通过第一风洞103和第二风洞104与容纳空间101连通。在一些示例中，第一风洞103和第二风洞104可以设置在箱体102上。
38.在一些示例中，气流引导机构140可以包括风机141、进气管道142、排气管道143、循环管道144、以及试剂含量控制器145。在一些示例中，风机141可以用于引导气流。在一些示例中，进气管道142可以通过第一风洞103与容纳空间101连通。在一些示例中，排气管道143可以经由第二风洞104而与容纳空间101连通。在一些示例中，循环管道144可以用于连通进气管道142和排气管道143。在一些示例中，试剂含量控制器145可以配置为控制流经试剂含量控制器145的气流中的气化试剂的含量。由此，试剂含量控制器145能够使容纳空间101中气体中的气化试剂的含量或浓度处于动态平衡。另外，气化试剂可以在洁净箱100内部循环流动，能够提高气化试剂的利用率。
39.在一些示例中，试剂含量控制器145用于调节容纳空间101内部的气化试剂的含量。在一些示例中，试剂含量控制器145可以基于蒸发和冷凝的原理调节经过试剂含量控制器145的气流中气化试剂的浓度。在一些示例中，当气流中气化试剂的浓度较低时，试剂含量控制器145能够蒸发补充气化试剂。当气流中气化试剂浓度过高时，气流经过试剂含量控
制器145可以饱和冷凝，从而降低气流中气化试剂的浓度。
40.在一些示例中，试剂含量控制器145可以设置在循环管道144与风机141的连通路径上。在一些示例中，试剂含量控制器145可以设置在进气管道142与风机141的连通路径上。在一些示例中，试剂含量控制器145可以设置在循环管道144与进气管道142的连接处。由此，试剂含量控制器145能够同时对通过循环管道144和/或进气管道142对容纳空间101内部的气化试剂的含量进行调节。
41.在一些示例中，风机141可以设置于第一风洞103附近。在一些示例中，进气管道142可以经由风机141和第一风洞103而与容纳空间101连通。在一些示例中，风机141还可以包括过滤组件，例如ffu。由此，能够对空气或气流中的杂质进行过滤。
42.在一些示例中，第一风洞103的数量为可以多个。对应地，风机141的数量可以为多个并且分别连通于各个第一风洞103。由此，第一风机141能够引导洁净箱100外部的空气通过第一风洞103进入到容纳空间101。由此，能够改善容纳空间101的内部的气流流动状态，减少产生流动死角的可能。
43.在一些示例中，气流引导机构140还可以包括并排布置的第一连通管道146和第二连通管道147。在一些示例中，第一连通通道146和第二连通通道146起到优化气流流向的作用。
44.在一种示例中，第一连通管道146的两端分别与第二连通管道147的两端连通。在一些示例中，在第一连通管道146的两端之间设有与进气管道142连通的连通口。在第二连通管道147的两端之间设有分别与各个风机141连通的多个连通口。在这种情况下，由进气管道142进入洁净箱100的气流能够经过第一连通管道146后进入第二连通管道147，并经多个风机141、多个第一风洞103进入容纳空间101，减少产生气流循环死角的可能性。
45.在一些示例中，第一连通管道146或第二连通管道147还连通于排气管道143。由此，风机141能够引导气流经过第二风洞104、排气管道143的一部分、第一联通管道146和/或第二联通管道147在洁净箱100内部循环流动。在一些示例中，第一连通管道146或第二连通管道147连通于排气管道143可以起到为循环管道144分流的作用，能够在循环气流的流量大于循环管道144的工作上限时为部分循环气流提供另一条循环通路。在一些示例中，第一连通管道146或第二连通管道147还可以不连通于排气管道143。
46.在一些示例中，在进气管道142、排气管道143和循环管道144内可以分别设有可开闭的阀门20。在一些示例中，阀门20可以是进气管道142、排气管道143和循环管道144的一部分。在一些示例中，设置于进气管道142的阀门20可以记为阀门21。在一些示例中，设置于排气管道143的阀门20可以记为阀门22。在一些示例中，设置于循环管道144的阀门20可以记为阀门23。
47.在一些示例中，阀门20还可以包括阀门24。在一些示例中，在第一连通管道146或第二连通管道147与排气管道143的连通路径上设有可开闭的阀门24。由此，能够根据实际情况决定第一连通管道146或第二连通管道147与排气管道143是否需要连通。
48.图3是示出了本公开实施方式所涉及的涂布前通过试剂含量控制器145为容纳空间101补充气体试剂的示意图。图4是示出了本公开实施方式所涉及的通过第一连通管道146和第二连通管道147为循环管道144分流的示意图。图5是示出了本公开实施方式所涉及的通过进气管道142向容纳空间101内部补充气体的示意图。
49.在一些示例中，在进行涂布之前，进气管道142的阀门21和排气管道143的阀门22可以被关闭且循环管道144的阀门23可以被打开。风机141引导容纳空间101内的气体循环流经试剂含量控制器145，以使容纳空间101内的气体所包含的气化试剂达到预定浓度。在这种情况下，容纳空间101暂时封闭，能够有利于通过试剂含量控制器145对气化试剂的浓度进行调节。
50.在一些示例中，当进行涂布时，排气管道143的阀门22可以被关闭，并且设置在第一连通管道146或第二连通管道147与排气管道143的连通路径上的阀门24可以被打开。由此，能够减少气化试剂溢出到空气中造成浪费的可能。
51.在一些示例中，涂布设备10可以包括搬运机构150。在一些示例中，搬运机构150可以设置在容纳空间101内。在一些示例中，搬运机构150可以将位于容纳空间101外部的涂布对象130搬运至支承机构110。由此，能够提高涂布设备10的自动化程度。在一些示例中，搬运机构150可以将位于支承机构110的涂布对象130搬运至容纳空间101外部。
52.在一些示例中，考虑到搬运过程中容纳空间101内部可能会和洁净箱100外部发生气体交换。在一些示例中，可以控制风机141控制经试剂含量控制器145进入容纳空间101内部的气体的体积大于容纳空间101内部可能会和洁净箱100外部发生气体交换的体积。由此，能够时刻补充外泄的风量，使容纳空间101内部的气化试剂的浓度处于动态平衡。
53.在一些示例中，考虑到搬运机构150需要在洁净箱100的外部和容纳空间101之间反复移动。搬运机构150临近的箱体墙壁可以开有自动化控制的侧门，当搬运涂布对象时，侧门自动打开，搬运完毕自动关闭。由此，能够一定程度上减少容纳空间101内部可能会和洁净箱100外部发生气体交换所交换的气体量。
54.图6是示出了本公开实施方式所涉及的第一视角下分配部121相对涂布对象130移动的原理图。图7是示出了本公开实施方式所涉及的第二视角下分配部121相对涂布对象130移动的原理图。
55.在一些示例中，供料机构120可以包括分配液体试剂的分配部121。在一些示例中，分配部121可以包括壳体1211和出料口1212。壳体1211用于容纳液体试剂。出料口1212用于输出液体试剂。在一些示例中，壳体1211可以具有容纳液体试剂的腔室。出料口1212可以连通于腔室。在一些示例中，出料口1212可以配置为朝向支承机构110。
56.在一些示例中，供料机构120还可以包括储料罐122和动力系统。分配部121与储料罐122向连通。在一些示例中，储液罐122可以用于储存液体试剂。动力系统可以将储液罐122中的液体试剂引导至分配部121。
57.在一些示例中，支承机构110可以呈平板状。在一些示例中，支承机构110可以具有预定宽度和预定长度。在一些示例中，出料口1212可以呈狭缝状。在一些示例中，分配部121可以配置为出料口1212的长度方向沿着支承机构110的宽度方向。在一些示例中，出料口1212的长度不小于预定宽度。在一些示例中，驱动机构驱动分配部121沿着支承机构110的长度方向水平移动。由此，在输出液体试剂时，能够通过分配部121与支承机构110的相对移动以形成特定图案的涂膜。在一些示例中，支承机构110也可以配置为相对于分配部121移动。
58.图8是示出了本公开实施方式所涉及的冷却机构对液体试剂进行降温的示意图。
59.在一些示例中，涂布设备10还可以包括输出冷却介质的冷却机构。在一些示例中，
支承机构110、分配部121、储料罐122中的至少一个具有与冷却机构连通的流体腔160。由此，能够通过冷却机构降低涂覆到涂布对象130的液体试剂的温度，抑制液体试剂的挥发。
60.根据本公开，能够提供一种在制备大面积的涂膜时，能够提高涂膜成分均匀性、提高膜厚一致性的涂布设备10。
61.虽然以上结合附图和示例对本公开进行了具体说明，但是可以理解，上述说明不以任何形式限制本公开。本领域技术人员在不偏离本公开的实质精神和范围的情况下可以根据需要对本公开进行变形和变化，这些变形和变化均落入本公开的范围内。

技术特征：
1.一种涂布设备，其特征在于，包括洁净箱、气流引导机构、支承机构、以及供料机构，所述洁净箱包括具有容纳空间的箱体、以及设置在所述箱体上且与所述容纳空间连通的第一风洞和第二风洞，所述气流引导机构包括风机、进气管道、排气管道、循环管道、以及试剂含量控制器，在所述进气管道、所述排气管道和所述循环管道内分别设有可开闭的阀门，所述风机用于引导气流，所述进气管道经由所述风机和所述第一风洞而与所述容纳空间连通，所述排气管道经由所述第二风洞而与所述容纳空间连通，所述循环管道连通所述进气管道和所述排气管道，所述试剂含量控制器设置在所述循环管道与所述风机的连通路径上并配置为控制流经所述试剂含量控制器的气流中的气化试剂的含量，所述支承机构和所述供料机构设置在所述容纳空间内，所述支承机构用于支承涂布对象，所述供料机构包括分配液体试剂的分配部，所述分配部包括具有容纳液体试剂的腔室的壳体、以及连通于所述腔室并用于输出液体试剂的出料口，所述出料口朝向所述支承机构。2.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，在进行涂布之前，所述进气管道的阀门和所述排气管道的阀门被关闭且所述循环管道的阀门被打开，所述风机引导所述容纳空间内的气体循环流经所述试剂含量控制器，以使所述容纳空间内的气体所包含的气化试剂达到预定浓度。3.根据权利要求1或2所述的涂布设备，其特征在于，所述第一风洞的数量为多个，所述风机的数量为多个并且分别连通于各个第一风洞。4.根据权利要求3所述的涂布设备，其特征在于，还包括并排布置的第一连通管道和第二连通管道，所述第一连通管道的两端分别与所述第二连通管道的两端连通，在所述第一连通管道的两端之间设有与所述进气管道连通的连通口，在所述第二连通管道的两端之间设有分别与各个风机连通的多个连通口。5.根据权利要求4所述的涂布设备，其特征在于，所述第一连通管道或所述第二连通管道还连通于所述排气管道，并且在所述第一连通管道或所述第二连通管道与所述排气管道的连通路径上设有可开闭的阀门。6.根据权利要求5所述的涂布设备，其特征在于，当进行涂布时，所述排气管道的阀门被关闭，并且设置在所述第一连通管道或所述第二连通管道与所述排气管道的连通路径上的阀门被打开。7.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，还包括设置在所述容纳空间内的搬运机构，所述搬运机构将位于所述容纳空间外部的涂布对象搬运至所述支承机构。8.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，所述试剂含量控制器设置在所述循环管道与所述进气管道的连接处。9.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，所述涂布设备还包括输出冷却介质的冷却机构，所述供料机构还包括连通于所述分配部且储存液体试剂的储料罐，所述支承机构、所述分配部、所述储料罐中的至少一个具有与所述冷却机构连通的流体腔。
10.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，所述支承机构呈平板状且具有预定宽度和预定长度，所述出料口呈狭缝状且所述出料口的长度方向沿着所述支承机构的宽度方向，所述出料口的长度不小于所述预定宽度并且所述驱动机构驱动所述分配部沿着所述支承机构的长度方向水平移动。

技术总结
本公开描述一种涂布设备，包括洁净箱、气流引导机构、支承机构、以及供料机构，洁净箱包括具有容纳空间的箱体、以及设置在箱体上且与容纳空间连通的第一风洞和第二风洞，气流引导机构包括风机、进气管道、排气管道、循环管道、以及试剂含量控制器，风机用于引导气流，进气管道经由风机和第一风洞而与容纳空间连通，排气管道经由第二风洞而与容纳空间连通，循环管道连通进气管道和排气管道，试剂含量控制器设置在循环管道与风机的连通路径上并配置为控制流经试剂含量控制器的气流中的气化试剂的含量，支承机构和供料机构设置在容纳空间内，支承机构用于支承涂布对象，供料机构包括分配液体试剂的分配部。液体试剂的分配部。液体试剂的分配部。


技术研发人员：张恒 王锦山
受保护的技术使用者：上海德沪涂膜设备有限公司
技术研发日：2022.01.10
技术公布日：2023/7/22