一种真空平台的制作方法

1.本实用新型涉及显示面板生产领域，尤其涉及一种真空平台。


背景技术：

2.目前的半导体和面板各种工序中，需要进行涂胶、贴片、检测等，这些工序都需要将屏体或面板吸真空固定在平台上。
3.而在吸真空前，需要将屏体或面板进行定位，只有定位完成后才可进行下一步的涂胶、贴片等工序，如果平台上存在异物，特别是在平台上细小且表面锋利的玻璃屑或其他硬物屑(切割后没有研磨的小屏体或面板极易产生碎屑)，由于漏真空较少，还不容易出发真空报警。但屏体或面板定位时，会在平台上来回移动，异物会将屏体或面板造成明显的划伤，导致产品不良。在完成这些工序后需要破真空，由吸附装置吸取屏体或面板移至下一工位，但若破真空时间过短和破真空气压过小，屏体或面板在破真空后仍可能紧密贴合在平台上，吸附装置在接触时，屏体或面板的容易受力导致破碎。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种真空平台，用于解决屏体或面板在定位过程中划伤造成的不良、以及吸附装置吸取时导致的碎裂问题。
5.本实用新型的目的采用以下技术方案实现：
6.一种真空平台，包括：
7.平台本体，所述平台本体设置有多个真空孔，所述真空孔连接真空系统；
8.至少三个弹性组件，至少三个所述弹性组件非共线的设于至少三个所述真空孔内，所述弹性组件包括可沿z轴方向伸缩移动的滚球，自然状态下，所述滚球部分自对应的所述真空孔中凸出。
9.在一可选的方案中，所述滚球的最高点到所述平台本体的间距为0.3-0.5mm。
10.在一可选的方案中，所述滚球的表面设置有光滑层。
11.在一可选的方案中，所述弹性组件还包括自下而上依次设置的弹簧和球座，所述弹簧连接所述球座并可带动所述球座沿z轴方向伸缩移动，所述滚球与所述球座滚动连接。
12.在一可选的方案中，所述球座与对应真空孔孔壁之间的间隙为0.8-1.2mm。
13.在一可选的方案中，所述弹簧与所述球座之间设置有插销，所述弹簧与所述插销固定连接，所述球座与所述插销可拆卸连接。
14.在一可选的方案中，所述球座具有与滚球适配的球腔，所述球腔的腔底设置有贯穿所述球座的通孔。
15.在一可选的方案中，所述弹簧远离所述球座的一端固定连接有配重块，所述配重块设置有连通对应真空孔的透气孔。
16.在一可选的方案中，所述滚球和/或所述球座由耐磨材质制成。
17.在一可选的方案中，至少设置有弹性组件的所述真空孔为上大下小的阶梯孔结
构。
18.与现有技术相比，本实用新型的有益效果至少包括：
19.1、吸真空前，屏体或面板可在滚球上定位移动，避免与异物接触产生划伤，提高了产品良率。
20.2、破真空后，可将屏体或面板轻微顶起与平台本体分离，使得吸附装置接触屏体或面板时，减少对屏体或面板造成的冲击，避免造成碎裂问题。
附图说明
21.图1是本实用新型实施例的真空平台的结构示意图。
22.图2是本实用新型实施例的真空平台的剖视图。
23.图3是弹性组件的分解结构示意图。
24.图中：1、平台本体，11、真空孔，2、弹性组件，21、滚球，22、弹簧，23、球座，231、通孔，24、插销，25、配重块，251、透气孔。
具体实施方式
25.现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本实用新型更全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。在图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略对它们的重复描述。
26.本实用新型中所描述的表达位置与方向的词，均是以附图为例进行的说明，但根据需要也可以做出改变，所做改变均包含在本实用新型保护范围内。
27.参见图1是图2所示，本实用新型提供了一种真空平台，包括平台本体1和至少三个弹性组件2。
28.平台本体1大致呈矩形结构，平台本体1设置有多个真空孔11，多个真空孔11可沿x轴、y轴方向呈阵列排布在平台本体1的承载面上，以保证承载面各处真空作用的均匀性。真空孔11连接真空系统，通过真空系统控制可实现真空和破真空功能，此为现有技术，不做详细说明。
29.至少三个弹性组件2非共线的设于至少三个真空孔11内，以形成平面支撑，使得屏体或面板能够平稳的移动进行定位，并且弹性组件2的数量大大小于真空孔11的数量，以保证吸真空和破真空效果不会损失，弹性组件2的数量可以是三个、四个、五个或是更多个，作为优选，弹性组件2的数量为五个，其中一个弹性组件2可以设置在平台本体1中央的真空孔11内，其余四个弹性组件2可以设置在平台本体1四角的真空孔11内。
30.该弹性组件2包括可沿z轴方向伸缩移动的滚球21，需说明的是，该滚球21自身是可灵活滚动的，以减少与屏体或面板的摩擦，提高定位移动时的顺畅性。并且，在自然状态下(指屏体或面板置于滚球21上时的状态)，滚球21部分自对应的真空孔11中凸出，以使滚球21高于平台本体1的承载面。此结构设计使得在吸真空前，屏体或面板能够腾空在平台本体1的上方进行移动，避开与平台本体1上异物的接触，从而在定位过程中不会有任何划伤，保证产品良率。在真空吸附时，弹性组件2携带屏体或面板下层被吸附固定在平台本体1的承载面上，等待涂胶、贴片等工序即可，在此过程中，若平台本体1上存在细小异物，因异物
体积、质量较小，加之弹性组件2作用于屏体或面板的弹性阻力，异物会先一步被吸入真空孔11内进行清除，随后才会对屏体或面板吸附固定，从而避免屏体或面板与异物接触造成的损伤。在破真空后，弹性组件2复位并可将屏体或面板轻微顶起，使屏体或面板与平台本体1的承载面分离，在吸附装置(转移屏体或面板用的吸盘，未示出)接触屏体或面板时，可减少对屏体或面板造成的冲击，避免屏体或面板碎裂。
31.在一具体实施方式中，滚球21的最高点到平台本体1的间距为0.3-0.5mm，因一般异物高度不会超过0.5mm，超过0.5mm后则会引发真空报警，进行人工清洁处理，故0.3-0.5mm的间距在不影响真空效果的前提下，已经能够较好的保护屏体或面板免受异物划伤，作为优选，滚球21的最高点到平台本体1的间距为0.5mm。
32.滚球21的表面设置有光滑层，以进一步减少与屏体或面板的摩擦，同时避免对屏体或面板造成划伤。光滑层可以是在滚球21表面镀光滑的镀层形成，或者，对滚球21表面进行精抛获得。
33.参见图2至图3所示，在一具体实施方式中，弹性组件2还包括自下而上依次设置的弹簧22和球座23，弹簧22的一端抵靠或固定在真空孔11内，弹簧22的另一端连接球座23并可带动球座23沿z轴方向伸缩移动，因滚球21凸出平台本体1的高度很小，故此处选用弹力较小的弹簧22。球座23具有与滚球21适配的球腔，滚球21大部分嵌入球腔并与球座23滚动连接。
34.球座23与对应真空孔11孔壁之间的间隙为0.8-1.2mm，以保证装有弹性组件2的真空孔11的吸真空和破真空效果。优选地，球座23与对应真空孔11孔壁之间的间隙为1mm。
35.为方便弹簧22与球座23的连接，弹簧22与球座23之间设置有插销24，弹簧22与插销24固定连接，例如，弹簧22与插销24之间焊接固定，球座23与插销24可拆卸连接，作为示例，球座23上设置有插孔，并通过插孔与插销24形成紧密且不松动的过盈配合，需更换滚球21或球座23时，将球座23从插销24上拔出即可，操作简便。
36.球腔的腔底设置有贯穿球座23的通孔231，该通孔231一方面可作为排屑孔，滚球21和/或球座23磨损产生的细小碎屑可通过该通孔231排出，避免滚球21和球座23之间出现卡涩的情况。另一方面，当磨损的滚球21需要更换时，可采用细棒工具通过该通孔231将滚球21从球座23内顶出，方便更换操作。
37.弹簧22远离球座23的一端固定连接有配重块25，例如，弹簧22与配重块25之间焊接固定，配置块的目的是保证破真空室的气流不会将弹性组件2吹出真空孔11，影响后续作业进程。此外，配重块25设置有连通对应真空孔11的透气孔251，以防止配重块25堵塞真空孔11，影响真空孔11的吸真空和破真空效果。
38.滚球21和/或球座23由耐磨材质制成，以减少磨损，提高弹性组件2的使用寿命，耐磨材质可以是耐腐金属材质或非金属材质，作为示例，滚球21可以采用镍铬合金、高锰合金等材质制成，球座23可以采用聚四氟乙烯、尼龙、聚碳酸酯等材质制成。
39.参见图2所示，至少设置有弹性组件2的真空孔11为上大下小的阶梯孔结构，以方便安装弹性组件2。
40.尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下，在实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变
型，所有的这些改变都应该属于本实用新型权利要求的保护范围之内。

技术特征：
1.一种真空平台，其特征在于，包括：平台本体(1)，所述平台本体(1)设置有多个真空孔(11)，所述真空孔(11)连接真空系统；至少三个弹性组件(2)，至少三个所述弹性组件(2)非共线的设置在至少三个所述真空孔(11)内，所述弹性组件(2)包括可沿z轴方向伸缩移动的滚球(21)，自然状态下，所述滚球(21)部分自对应的所述真空孔(11)中凸出。2.根据权利要求1所述的真空平台，其特征在于，所述滚球(21)的最高点到所述平台本体(1)的间距为0.3-0.5mm。3.根据权利要求1所述的真空平台，其特征在于，所述滚球(21)的表面设置有光滑层。4.根据权利要求1所述的真空平台，其特征在于，所述弹性组件(2)还包括自下而上依次设置的弹簧(22)和球座(23)，所述弹簧(22)连接所述球座(23)并可带动所述球座(23)沿z轴方向伸缩移动，所述滚球(21)与所述球座(23)滚动连接。5.根据权利要求4所述的真空平台，其特征在于，所述球座(23)与对应真空孔(11)孔壁之间的间隙为0.8-1.2mm。6.根据权利要求4所述的真空平台，其特征在于，所述弹簧(22)与所述球座(23)之间设置有插销(24)，所述弹簧(22)与所述插销(24)固定连接，所述球座(23)与所述插销(24)可拆卸连接。7.根据权利要求4所述的真空平台，其特征在于，所述球座(23)具有与滚球(21)适配的球腔，所述球腔的腔底设置有贯穿所述球座(23)的通孔。8.根据权利要求4所述的真空平台，其特征在于，所述弹簧(22)远离所述球座(23)的一端固定连接有配重块(25)，所述配重块(25)设置有连通对应真空孔(11)的透气孔。9.根据权利要求4所述的真空平台，其特征在于，所述滚球(21)和/或所述球座(23)由耐磨材质制成。10.根据权利要求1所述的真空平台，其特征在于，至少设置有弹性组件(2)的所述真空孔(11)为上大下小的阶梯孔结构。

技术总结
本实用新型公开了一种真空平台，包括平台本体和至少三个弹性组件，平台本体设置有多个真空孔，所述真空孔连接真空系统，至少三个所述弹性组件非共线的设置在至少三个所述真空孔内，所述弹性组件包括可沿Z轴方向伸缩移动的滚球，自然状态下，所述滚球部分自对应的所述真空孔中凸出。该真空平台在吸真空前，屏体或面板可在滚球上定位移动，避免与异物接触产生划伤，提高了产品良率；破真空后，可将屏体或面板轻微顶起与平台本体分离，使得吸附装置接触屏体或面板时，减少对屏体或面板造成的冲击，避免造成碎裂问题。避免造成碎裂问题。避免造成碎裂问题。


技术研发人员：周志锋 李勇 蔡全华 王太访 杨宗苓
受保护的技术使用者：苏州清越光电科技股份有限公司
技术研发日：2023.04.23
技术公布日：2023/7/23