一种辅助拆卸控压环活塞装置的制作方法

1.本技术涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种辅助拆卸控压环活塞装置。


背景技术：

2.在半导体器件的制造过程中，需要经过曝光、显影以及蚀刻等工艺。其中，蚀刻工艺通常需要泛林氧化45机型。而泛林氧化45机型在三级保养时需要拆装控压环活塞。
3.但是，由于控压环活塞与控压孔长时间紧密接触，在拆除时容易刮蹭到控压孔造成损坏，目前业内暂无这种机型的专用拆卸工具。传统方法是用异丙醇滴落在两者接触面，等待一定时间后用力向上拔将控压环活塞拨出，十分不方便。使用传统的方式拆卸控压环活塞可能会剐蹭到控压孔，从而有可能会导致腔体漏率泄漏或引起腔体颗粒污染。
4.因此，亟需提供一种辅助拆卸控压环活塞装置，能够方便快捷地拆卸控压环活塞是现有半导体器件厂家需要努力攻克的难关。


技术实现要素：

5.本技术实施例的目的在于提供一种辅助拆卸控压环活塞装置，能够方便快捷地拆卸控压环活塞。
6.本技术实施例提供一种辅助拆卸控压环活塞装置，包括固定卡套、l形连接杆以及固定卡槽；其中，
7.所述固定卡套设于l形连接杆的一端，所述固定卡套包括内环卡套、外环卡套、支撑柱以及施力把手，所述内环卡套和所述外环卡套同心设置，所述内环卡套与所述施力把手固定连接，所述外环卡套与所述支撑柱固定连接，所述施力把手与所述支撑柱螺纹连接；所述固定卡槽设于所述l形连接杆的另一端。
8.在本技术所述的辅助拆卸控压环活塞装置中，所述l形连接杆包括依次连接的第一连接杆以及第二连接杆，所述第一连接杆沿第一方向设置，所述第二连接杆沿第二方向设置，所述第一方向和所述第二方向垂直。
9.在本技术实施例所述的辅助拆卸控压环活塞装置中，所述第一连接杆包括相互连接的第一支撑杆以及第一延长杆。
10.在本技术实施例所述的辅助拆卸控压环活塞装置中，所述第二连接杆包括相互连接的第二支撑杆以及第二延长杆。
11.在本技术实施例所述的辅助拆卸控压环活塞装置中，所述固定卡槽包括依次连接的第一夹板、第三延长杆以及第二夹板；其中，所述第一夹板和所述第二夹板分别位于第三延长杆的两端，且所述第一夹板和所述第二夹板对称设置形成卡接口。
12.在本技术实施例所述的辅助拆卸控压环活塞装置中，所述第三延长杆远离所述卡接口的一面设有固定旋钮，所述固定旋钮与所述第三延长杆螺纹连接。
13.在本技术实施例所述的辅助拆卸控压环活塞装置中，所述第一夹板靠近所述第二夹板的一面设有第一保护垫，所述第二夹板靠近所述第一夹板的一面设有第二保护垫，所
述第一保护垫和所述第二保护垫对称设置。
14.在本技术实施例所述的辅助拆卸控压环活塞装置中，所述第一保护垫和所述第二保护垫的材料均为硬质塑胶。
15.在本技术所述的辅助拆卸控压环活塞装置中，所述固定卡套、所述l形连接杆以及所述固定卡槽的材料均为铁。
16.在本技术实施例所述的辅助拆卸控压环活塞装置中，所述内环卡套的直径为1.7～2.5厘米，所述外环卡套的直径为3.5～4厘米。
17.本技术实施例提供一种辅助拆卸控压环活塞装置，该辅助拆卸控压环活塞装置包括固定卡套、l形连接杆以及固定卡槽。其中，固定卡套包括内环卡套、外环卡套、支撑柱以及施力把手。在本技术实施例中，先将内环卡套对准控压环活塞，外环卡套对准上腔体，固定卡槽卡住上腔体，然后顺时针匀速旋转施力把手就可以使控压环活塞脱离控压孔。其中，在拆卸控压环活塞时，需要施加均衡的力，使内环卡套对控压环活塞施加均匀的推力，从而达到稳定地将控压环活塞与控压空分离的目的，因此，采用本技术实施例提供的辅助拆卸控压环活塞装置拆卸控压环活塞，不仅可以提高拆卸速度，还能够减少零部件的损坏概率，并且减少异丙醇的使用。
附图说明
18.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
19.图1为本技术实施例提供的辅助拆卸控压环活塞装置的第一结构示意图。
20.图2为本技术实施例提供的辅助拆卸控压环活塞装置的第二结构示意图。
21.图3为本技术实施例提供的辅助拆卸控压环活塞装置的主视图。
22.图4为本技术实施例提供的辅助拆卸控压环活塞装置的俯视图。
具体实施方式
23.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
24.请参阅图1，图1为本技术实施例提供的辅助拆卸控压环活塞装置的第一结构示意图。如图1所示，本技术实施例提供的辅助拆卸控压环活塞装置1包括固定卡套10、l形连接杆11以及固定卡槽12。
25.其中，固定卡套10设于l形连接杆11的一端。固定卡套10包括内环卡套101、外环卡套102、支撑柱103以及施力把手104。内环卡套101和外环卡套102同心设置，内环卡套101与施力把手104固定连接，外环卡套102与支撑柱103固定连接，施力把手104与支撑柱103螺纹连接。固定卡槽12设于l形连接杆11的另一端。
26.其中，需要说明的是，在采用本技术实施例提供的辅助拆卸控压环活塞装置1拆卸
控压环活塞时，先将内环卡套101对准控压环活塞，外环卡套102对准上腔体；然后将固定卡槽12对准上腔体侧身，使其卡住上腔体；最后顺时针匀速旋转施力把手104使控压环活塞脱离控压孔，缓慢地将控压环活塞取出。具体地，在采用本技术实施例提供的辅助拆卸控压环活塞装置1拆卸控压环活塞时，需要旋转施力把手104，使施力把手104带动内环卡套101旋转，内环卡套101带动控压环活塞旋转，从而缓慢地将控压环活塞取出。
27.其一，在本技术实施例中，是采用带动控压环活塞旋转的方式将控压环活塞取出，而不是先将异丙醇滴落在控压环活塞和控压孔的接触面，等待一定时间后，当控压环活塞和控压孔的粘结力降低再进行控压环活塞的取出操作。需要说明的是，采用本技术实施例提供的辅助拆卸控压环活塞装置1拆卸控压环活塞，可以直接进行控压环活塞的拆卸，而不需要先等待一段时间，采用本技术实施例提供的辅助拆卸控压环活塞装置1可以提高控压环活塞的拆卸速度。
28.其二，在本技术实施例中，在采用本技术实施例提供的辅助拆卸控压环活塞装置1拆卸控压环活塞，需要给施力把手104施加均衡的力，使内环卡套101对控压环活塞施加均匀的推力，从而达到稳定地将控压环活塞与控压空分离的目的，而不是用力向上拔将控压环活塞拨出的方式将控压环活塞取出。因此，采用本技术实施例提供的辅助拆卸控压环活塞装置1拆卸控压环活塞，不会剐蹭到控压孔，也不会导致腔体漏率泄漏或引起腔体颗粒污染，从而能够减少零部件的损坏概率。
29.其三，在本技术实施例中，在采用本技术实施例提供的辅助拆卸控压环活塞装置1拆卸控压环活塞，不需要采用将异丙醇滴落在控压环活塞和控压孔的接触面的方式来降低控压环活塞和控压孔的粘结力，可以直接进行控压环活塞的拆卸。因此，采用本技术实施例提供的辅助拆卸控压环活塞装置1拆卸控压环活塞，可以减少异丙醇的使用。
30.其中，l形连接杆11包括依次连接的第一连接杆111以及第二连接杆112，第一连接杆111沿第一方向x设置，第二连接杆112沿第二方向y设置，第一方向x和第二方向y垂直。
31.其中，需要说明的是，控压环活塞位于上腔体底面的控压孔内，因此，想要采用固定卡槽12卡住上腔体侧面，就需要设置相互垂直设置的第一连接杆111以及第二连接杆112。
32.其中，请参阅图2，图2为本技术实施例提供的辅助拆卸控压环活塞装置的第二结构示意图。如图2所示，第一连接杆111包括相互连接的第一支撑杆1111以及第一延长杆1112。第二连接杆112包括相互连接的第二支撑杆1121以及第二延长杆1122。固定卡槽12包括依次连接的第一夹板121、第三延长杆122以及第二夹板123。其中，第一夹板121和第二夹板123分别位于第三延长杆122的两端，且第一夹板121和第二夹板123对称设置形成卡接口124。
33.其中，需要说明的是，其一，在不同的泛林氧化45机型中，上腔体底面的控压孔距离上腔体侧面的距离不一样。其二，在采用固定卡槽12卡住上腔体侧面时，需要先移动固定卡槽12，使其与上腔体位于同一平面，再移动固定卡槽12卡住上腔体侧面。因此，在采用固定卡槽12卡住上腔体侧面时，需要调整固定卡槽12与固定卡套10的水平距离。而在本技术实施例中，设置了第一延长杆1112。通过调整第一延长杆1112的长度，从而可以调整固定卡槽12与固定卡套10的水平距离，从而能够满足上述要求，使固定卡槽12可以稳定地卡住上腔体侧面。
34.其中，需要说明的是，其一，在不同的泛林氧化45机型中，上腔体的厚度是不一样。其二，在采用固定卡槽12卡住上腔体侧面时，需要先移动固定卡槽12，使其与上腔体位于同一高度，再移动固定卡槽12卡住上腔体侧面。因此，在采用固定卡槽12卡住上腔体侧面时，需要调整固定卡槽12与固定卡套10的垂直距离。而在本技术实施例中，设置了第二延长杆1122。通过调整第二延长杆1122的长度，从而可以调整固定卡槽12与固定卡套10的垂直距离，从而能够满足上述要求，使固定卡槽12可以稳定地卡住上腔体侧面。
35.其中，需要说明的是，在不同的泛林氧化45机型中，上腔体的厚度是不一样，在采用固定卡槽12卡住上腔体侧面时，固定卡槽12的卡接口124的高度与上腔体的厚度吻合。因此，在采用固定卡槽12卡住上腔体侧面时，需要调整固定卡槽12的卡接口124的高度。而在本技术实施例中，设置了第三延长杆122。通过调整第三延长杆122的长度，从而可以调整固定卡槽12的卡接口124的高度，从而能够满足上述要求，使固定卡槽12可以稳定地卡住上腔体侧面。
36.其中，第三延长杆122远离卡接口124的一面设有固定旋钮125。固定旋钮125与第三延长杆122螺纹连接。
37.其中，需要说明的是，在采用固定卡槽12卡住上腔体侧面时，不仅需要固定卡槽12的第一夹板121以及第二夹板122卡住上腔体的上下两面，还需要固定住上腔体侧面，从而固定卡槽12可以稳定地卡住上腔体侧面。而在本技术实施例中，设置了固定旋钮125，在采用第一夹板121以及第二夹板122卡住上腔体的上下两面后，可以旋转固定旋钮125，使其稳定地卡住上腔体侧面，从而实现上腔体的固定。
38.其中，第一夹板121靠近第二夹板122的一面设有第一保护垫126，第二夹板122靠近第一夹板121的一面设有第二保护垫127。第一保护垫126和第二保护垫127对称设置。
39.其中，需要说明的是，由于上腔体为精密仪器，在采用固定卡槽12卡住上腔体时，可能会损坏上腔体。而通过在第一夹板121与上腔体接触的部分设置第一保护垫126，以及在第二夹板122与上腔体接触的部分设置第二保护垫127，可以避免固定卡槽12卡住上腔体时损坏上腔体。
40.其中，第一保护垫126和第二保护垫127的材料均为硬质塑胶。需要说明的是，硬质塑胶具有较好的柔性，因此不会损坏上腔体。
41.其中，固定卡套10、l形连接杆11以及固定卡槽12的材料均为铁。需要说明的是，铁具备较好的硬度，因此能够满足控压环活塞的拆卸需求。
42.其中，请参阅图3，图4，图3为本技术实施例提供的辅助拆卸控压环活塞装置的主视图。图4为本技术实施例提供的辅助拆卸控压环活塞装置的俯视图。
43.其中，内环卡套101的直径d1为1.7～2.5厘米。具体地，内环卡套101的直径d1为1.7厘米、1.8厘米、1.9厘米、2.1厘米、2.3厘米或2.5厘米。其中，内环卡套101的具体直径d1由本技术实施例提供的辅助拆卸控压环活塞装置1的具体需求所确定。
44.其中，外环卡套102的直径d2为3.5～4厘米。具体地，外环卡套102的直径d2为3.5厘米、3.6厘米、3.7厘米、3.8厘米、3.9厘米或4厘米。其中，外环卡套102的具体直径d2由本技术实施例提供的辅助拆卸控压环活塞装置1的具体需求所确定。
45.其中，第一连接杆111的长度l1为14～17厘米。具体地，第一连接杆111的长度l1为14厘米、14.2厘米、14.4厘米、14.8厘米、15.2厘米、16厘米或17厘米。其中，第一连接杆111
的具体长度l1由本技术实施例提供的辅助拆卸控压环活塞装置1的具体需求所确定。
46.其中，施力把手104的长度l2为1.7～2.5厘米。具体地，施力把手104的长度l2为1.7厘米、1.8厘米、1.9厘米、2.1厘米、2.3厘米或2.5厘米。其中，施力把手104的具体长度l2由本技术实施例提供的辅助拆卸控压环活塞装置1的具体需求所确定。
47.其中，第二连接杆112的长度l3为12～15厘米。具体地，第二连接杆112的长度l3为12厘米、12.2厘米、12.8厘米、13.2厘米、13.6厘米、14.2厘米或15厘米。其中，第二连接杆112的具体长度l3由本技术实施例提供的清洁腔体涂层的工具10的具体需求所确定。
48.其中，固定旋钮125的长度l4为4～5厘米。具体地，固定旋钮125的长度l4为4厘米、4.1厘米、4.2厘米、4.3厘米、4.4厘米、4.6厘米或5厘米。其中，固定旋钮125的具体长度l4由本技术实施例提供的清洁腔体涂层的工具10的具体需求所确定。
49.其中，第一保护垫126的长度、宽度以及厚度均为1～1.5厘米。第二保护垫127的长度、宽度以及厚度均为1～1.5厘米。
50.另外，第一连接杆111和第二连接杆112可以收缩。当第一连接杆111收缩后，第一连接杆111的长度为10～11.5厘米。当第二连接杆112收缩后，第二连接杆112的长度为8～9.5厘米。
51.在本技术实施例提供的辅助拆卸控压环活塞装置中，该辅助拆卸控压环活塞装置包括固定卡套、l形连接杆以及固定卡槽。其中，固定卡套包括内环卡套、外环卡套、支撑柱以及施力把手。在本技术实施例中，先将内环卡套对准控压环活塞，外环卡套对准上腔体，固定卡槽卡住上腔体，然后顺时针匀速旋转施力把手就可以使控压环活塞脱离控压孔。其中，在拆卸控压环活塞时，需要施加均衡的力，使内环卡套对控压环活塞施加均匀的推力，从而达到稳定地将控压环活塞与控压空分离的目的，因此，采用本技术实施例提供的辅助拆卸控压环活塞装置拆卸控压环活塞，不仅可以提高拆卸速度，还能够减少零部件的损坏概率，并且减少异丙醇的使用。
52.在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。
53.以上对本技术实施例所提供的一种辅助拆卸控压环活塞装置进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本技术的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本技术的技术方案及其核心思想；本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例的技术方案的范围。

技术特征：
1.一种辅助拆卸控压环活塞装置，其特征在于，包括固定卡套、l形连接杆以及固定卡槽；其中，所述固定卡套设于l形连接杆的一端，所述固定卡套包括内环卡套、外环卡套、支撑柱以及施力把手，所述内环卡套和所述外环卡套同心设置，所述内环卡套与所述施力把手固定连接，所述外环卡套与所述支撑柱固定连接，所述施力把手与所述支撑柱螺纹连接；所述固定卡槽设于所述l形连接杆的另一端。2.根据权利要求1所述的辅助拆卸控压环活塞装置，其特征在于，所述l形连接杆包括依次连接的第一连接杆以及第二连接杆，所述第一连接杆沿第一方向设置，所述第二连接杆沿第二方向设置，所述第一方向和所述第二方向垂直。3.根据权利要求2所述的辅助拆卸控压环活塞装置，其特征在于，所述第一连接杆包括相互连接的第一支撑杆以及第一延长杆。4.根据权利要求2所述的辅助拆卸控压环活塞装置，其特征在于，所述第二连接杆包括相互连接的第二支撑杆以及第二延长杆。5.根据权利要求1所述的辅助拆卸控压环活塞装置，其特征在于，所述固定卡槽包括依次连接的第一夹板、第三延长杆以及第二夹板；其中，所述第一夹板和所述第二夹板分别位于第三延长杆的两端，且所述第一夹板和所述第二夹板对称设置形成卡接口。6.根据权利要求5所述的辅助拆卸控压环活塞装置，其特征在于，所述第三延长杆远离所述卡接口的一面设有固定旋钮，所述固定旋钮与所述第三延长杆螺纹连接。7.根据权利要求5所述的辅助拆卸控压环活塞装置，其特征在于，所述第一夹板靠近所述第二夹板的一面设有第一保护垫，所述第二夹板靠近所述第一夹板的一面设有第二保护垫，所述第一保护垫和所述第二保护垫对称设置。8.根据权利要求7所述的辅助拆卸控压环活塞装置，其特征在于，所述第一保护垫和所述第二保护垫的材料均为硬质塑胶。9.根据权利要求1所述的辅助拆卸控压环活塞装置，其特征在于，所述固定卡套、所述l形连接杆以及所述固定卡槽的材料均为铁。10.根据权利要求1所述的辅助拆卸控压环活塞装置，其特征在于，所述内环卡套的直径为1.7～2.5厘米，所述外环卡套的直径为3.5～4厘米。

技术总结
本申请实施例提供的辅助拆卸控压环活塞装置中，该辅助拆卸控压环活塞装置包括固定卡套、L形连接杆以及固定卡槽。其中，固定卡套包括内环卡套、外环卡套、支撑柱以及施力把手。在本申请实施例中，先将内环卡套对准控压环活塞，外环卡套对准上腔体，固定卡槽卡住上腔体，然后顺时针匀速旋转施力把手就可以使控压环活塞脱离控压孔。因此，采用本申请实施例提供的辅助拆卸控压环活塞装置拆卸控压环活塞，不仅可以提高拆卸速度，还能够减少零部件的损坏概率，并且减少异丙醇的使用。并且减少异丙醇的使用。并且减少异丙醇的使用。


技术研发人员：梁先根 刘志攀
受保护的技术使用者：粤芯半导体技术股份有限公司
技术研发日：2023.02.22
技术公布日：2023/7/28