一种保护真空规管内腔的装置的制作方法

1.本发明属于真空规管防尘技术领域，具体属于一种保护真空规管内腔的装置。


背景技术：

2.真空规管是测量真空度的传感器。真空规管测量出来的信号传输到真空计上经过放大处理就可以显示出被测真空环境的真空度。主要应用于真空环境的真空度测量领域，如真空镀膜，太阳能集热管制作，真空冶炼等。
3.目前市面上的真空规管在使用时，一般直接使真空规管的内部空间与被测腔室连通，或在真空规管的内部空间与被测腔室之间使用2mm的滤网对被测腔室内的气流进行过滤，但滤网只能隔离过滤较大的杂质，无法阻挡细小颗粒的进入，因此真空规管在长期使用后，其内部灯丝表面容易附着大量杂质，使温度不能通过灯丝传递，导致灯丝易烧断，不仅缩短了真空规管的使用寿命，且影响真空度的测量精度。


技术实现要素：

4.针对上述真空规管使用滤网只能过滤较大的杂质，对于细小的粉尘颗粒的防尘效果不佳导致真空规管使用寿命缩短以及真空度的测量精度降低的问题,本发明的目的在于提供一种保护真空规管内腔的装置，在规管管壳内设置多孔滤芯对连通规管与腔室的通道进行隔离过滤，多孔滤芯不影响规管与腔室之间的气体流通，只对气体中的粉尘进行拦截；多孔滤芯由于其内部为错综复杂的细小孔隙，粉尘进入孔隙后会附着在孔隙内，相较于使用滤网，可大大提高过滤效果，避免粉尘附着在真空规管中的灯丝表面影响灯丝的散热以及真空度的测量精度，从而增加真空规管的使用寿命，保证真空度的测量精度。
5.本发明采用的技术方案如下：
6.一种保护真空规管内腔的装置，包括规管管壳以及设置在规管管壳通道中的多孔滤芯，所述多孔滤芯的外侧套设有外壳，外壳上下两端设置有开口，多孔滤芯的厚度为3mm。
7.优选的，所述外壳由不锈钢材料制成。
8.优选的，所述外壳为圆筒状。
9.优选的，所述多孔滤芯通过外壳与规管管壳可拆卸连接。
10.优选的，所述外壳与规管管壳螺纹连接。
11.优选的，所述外壳的一端面设置有插孔。
12.优选的，所述插孔设置有至少两个。
13.优选的，所述多孔滤芯为烧结金属粉末滤芯。
14.优选的，所述多孔滤芯由不锈钢粉末合金制成。
15.优选的，所述外壳的内壁设置有用于卡合多孔滤芯的凹槽。
16.综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果是：
17.1、在规管管壳内设置多孔滤芯对连通规管与腔室的通道进行隔离过滤，多孔滤芯不影响规管与腔室之间的气体流通，只对气体中的粉尘进行拦截；多孔滤芯由于其内部为
错综复杂的细小孔隙，粉尘进入孔隙后会附着在孔隙内，相较于使用滤网，可大大提高过滤效果，避免粉尘附着在真空规管中的灯丝表面影响灯丝的散热以及真空度的测量精度，从而增加真空规管的使用寿命，保证真空度的测量精度。
18.2、多孔滤芯通过外壳与规管管壳螺纹连接，方便对多孔滤芯进行拆装；在外壳上设置插孔，方便使用工具辅助转动外壳，增加安装的便捷性。
19.3、烧结金属粉末制造的多孔滤芯具有高强度及整体高性能，在高温高压状态下，孔径不会发生变形，保证多孔滤芯的过滤性能；不锈钢粉末制成的多孔滤芯具有较好的耐腐蚀性能，进一步增加多孔滤芯的适用范围。
附图说明
20.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
21.图1为本发明实施例提供的正视剖面结构示意图；
22.图2为本发明实施例提供的俯视结构示意图；
23.图3为本发明实施例提供的使用状态示意图。
24.附图说明：1-外壳；2-多孔滤芯；3-插孔；4-突出部；5-凹槽；6-规管管壳。
具体实施方式
25.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
26.因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
27.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
28.在本发明的描述中，需要说明的是，若出现术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
29.在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，若出现术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况
理解上述术语在本发明中的具体含义。
30.下面结合图1-图3对本发明作详细说明。
31.实施例
32.一种保护真空规管内腔的装置，包括规管管壳6以及设置在规管管壳6通道中的多孔滤芯2，多孔滤芯2的外侧套设有外壳1，外壳1上下两端设置有开口，多孔滤芯2的厚度为3mm。
33.多孔滤芯2对连通规管与腔室的通道进行隔离过滤，多孔滤芯2不影响规管与腔室之间的气体流通，只对气体中的粉尘进行拦截；多孔滤芯2由于其内部为错综复杂的细小孔隙，粉尘进入孔隙后会附着在孔隙内，相较于使用滤网，可大大提高过滤效果，从而增加真空规管的使用寿命。
34.多孔滤芯2可通过粘黏或者卡接的方式直接安装在规管管壳6中。进一步的，为保护多孔滤芯2的结构，避免多孔滤芯2安装时被磨损，在多孔滤芯2的外侧套设有外壳1，外壳的上下两端均有开口，保证多孔滤芯2对气体的过滤过程。
35.将多孔滤芯2的厚度设置为3mm，在保证过滤效果的同时，减小多孔滤芯2的厚度，以减少多孔滤芯2的使用成本，经过使用测试结果得知，多孔滤芯2的厚度为3mm时为最佳厚度。
36.外壳1由不锈钢材料制成，以提高外壳1的耐腐蚀性能。
37.进一步的，将外壳1设置为圆筒状，方便外壳1的外壁与规管管壳6的内壁贴合，减少粉尘从外壳1与规管管壳6之间的间隙通过并绕过多孔滤芯2进入到真空规管的灯丝放置空间中。
38.进一步的，多孔滤芯2通过外壳1与规管管壳6可拆卸连接，方便拆卸多孔滤芯2进行更换。其中可拆卸连接方式包括但不限于螺杆连接和螺纹连接，螺杆连接是在外壳1上设置竖直贯穿外壳1并与规管管壳6螺纹连接的螺杆；螺纹连接则是在规管管壳6内壁和外壳1外壁上设置螺纹。
39.本技术中采用的是螺纹连接方式，即外壳1与规管管壳6螺纹连接，相较于螺杆的连接方式，可以减少螺杆的使用，即缩减了使用成本。其中外壳1外壁上的螺纹为标准的m12*0.5的螺纹。
40.进一步的，在外壳1的一端面设置有插孔3。由于规管管壳6的尺寸较小，手不方便伸入到规管管壳6中拧动外壳1，因此设置插孔3，方便使用插杆插入插孔3中辅助拧动外壳1。其中插孔3的尺寸为φ1.2。
41.进一步的，如图2所示，将插孔3设置两个，且两个插孔3位于外壳1的对称线上，方便使用u型的插杆插入两个插孔3中对外壳1进行转动，u型的插杆可以方便外壳1沿着轴向转动，相较于插入一个插孔3的插杆更方便省力。
42.多孔滤芯2可以为陶瓷滤芯、pp滤芯、树脂滤芯、烧结金属粉末滤芯等等，上述滤芯均可在内部形成细小孔隙，用于过滤粉尘。为了承受腔室的高温高压，优选使用烧结金属粉末滤芯。烧结金属粉末滤芯通过对金属粉末的冷等静压成型、高温真空烧结以及焊接等主要工序过程制备，具有高强度及整体高性能，在高温高压状态下，孔径不会发生变形。
43.多孔滤芯2采用的金属粉末可以选用包括但不限于不锈钢、蒙乃尔合金、哈氏合金、钛及其合金、镍、英科耐尔、因康镍中的一种。而本技术采用的是不锈钢粉末合金制成，
不锈钢的耐腐蚀性高，并且相较于钛及其合金，不锈钢的使用成本低，适合大批量的生产。不锈钢粉末采用60-90um的粉末，在不锈钢粉末成型后形成的孔隙保证可以对大部分粉尘进行过滤的同时保证气体的正常通过。
44.在多孔滤芯2使用一段时间后，其内部的孔隙会被粉尘填充满，从而影响气体的流通，因此需要取下多孔滤芯2和外壳1进行清洗，由于多孔滤芯2和外壳1均为不锈钢的材质，可直接使用清水浸泡和冲洗，可避免生锈的发生；清洗完毕的多孔滤芯2和外壳1放入烘干设备中进行烘干，烘干后即可使用，实现多孔滤芯2的重复使用，进一步减少多孔滤芯2的使用成本。
45.外壳1与不锈钢粉末一同成型并进行烧结，从而在外壳1中形成多孔滤芯2；为方便多孔滤芯2与外壳1一起成型加工，外壳1的厚度也设置成3mm。如图1所示，在外壳1的内壁设置有用于卡合多孔滤芯2的凹槽5，在多孔滤芯2采用金属粉末制备时，多孔滤芯2会在凹槽5中形成突出部4，从而防止多孔滤芯2从外壳1中脱离。进一步的，将凹槽5设置为环形凹槽，提高多孔滤芯2与外壳1卡接稳定性。
46.以上仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

技术特征：
1.一种保护真空规管内腔的装置，其特征在于，包括规管管壳(6)以及设置在规管管壳(6)通道中的多孔滤芯(2)，所述多孔滤芯(2)的外侧套设有外壳(1)，外壳(1)上下两端设置有开口，多孔滤芯(2)的厚度为3mm。2.根据权利要求1所述的一种保护真空规管内腔的装置，其特征在于，所述外壳(1)由不锈钢材料制成。3.根据权利要求1所述的一种保护真空规管内腔的装置，其特征在于，所述外壳(1)为圆筒状。4.根据权利要求3所述的一种保护真空规管内腔的装置，其特征在于，所述多孔滤芯(2)通过外壳(1)与规管管壳(6)可拆卸连接。5.根据权利要求4所述的一种保护真空规管内腔的装置，其特征在于，所述外壳(1)与规管管壳(6)螺纹连接。6.根据权利要求5所述的一种保护真空规管内腔的装置，其特征在于，所述外壳(1)的一端面设置有插孔(3)。7.根据权利要求6所述的一种保护真空规管内腔的装置，其特征在于，所述插孔(3)设置有至少两个。8.根据权利要求1所述的一种保护真空规管内腔的装置，其特征在于，所述多孔滤芯(2)为烧结金属粉末滤芯。9.根据权利要求8所述的一种保护真空规管内腔的装置，其特征在于，所述多孔滤芯(2)由不锈钢粉末合金制成。10.根据权利要求1所述的一种保护真空规管内腔的装置，其特征在于，所述外壳(1)的内壁设置有用于卡合多孔滤芯(2)的凹槽(5)。

技术总结
本发明提供了一种保护真空规管内腔的装置，属于真空规管防尘技术领域，解决了现有真空规管使用滤网的防尘效果不佳导致真空规管使用寿命缩短以及真空度的测量精度降低的问题。其包括规管管壳以及设置在规管管壳通道中的多孔滤芯，所述多孔滤芯的外侧套设有外壳，外壳上下两端设置有开口，多孔滤芯的厚度为3mm。在规管管壳内设置多孔滤芯对连通规管与腔室的通道进行隔离过滤，多孔滤芯由于其内部为错综复杂的细小孔隙，粉尘进入孔隙后会附着在孔隙内，相较于使用滤网，可大大提高过滤效果，避免粉尘附着在真空规管中的灯丝表面影响灯丝的散热以及真空度的测量精度，从而增加真空规管的使用寿命，保证真空度的测量精度。保证真空度的测量精度。保证真空度的测量精度。


技术研发人员：林红 曾玉林 杨上义
受保护的技术使用者：成都国光电气股份有限公司
技术研发日：2023.05.25
技术公布日：2023/8/1