特气柜

1.本发明涉及一种包括防泄漏单元的特气柜。


背景技术：

2.当通过沉积工艺来制造显示面板时，将制造工艺时所需的气体引入至腔室内部。此处，可能发生工艺气体泄漏至外部的情形。由于工艺气体中对人体有害的成分较多，因此可以在柜体内部布置能够阻断泄漏气体以防止泄漏气体扩散至大气中的防泄漏单元。


技术实现要素：

3.本发明涉及一种包括防止流出至柜体内部的气体扩散到大气中的防泄漏单元的特气柜。
4.根据本发明的特气柜包括：壳体，包括收纳部、门体部以及支架，所述门体部在所述收纳部开闭并包括与所述收纳部一同定义内部空间的后表面以及与所述后表面对向的前表面，所述支架布置于所述后表面；气体存储部，布置于所述内部空间；以及防泄漏单元，布置于所述支架，其中，在所述门体部定义有与所述防泄漏单元重叠并贯通所述前表面以及所述后表面的空气流入口，所述防泄漏单元包括：支撑件，与所述空气流入口重叠，并定义有贯通与所述后表面面对的第一表面以及与所述第一表面对向的第二表面的流入孔；以及门部，一部分与所述第二表面结合，并覆盖所述流入孔。
5.其特征在于，可以是，当外部空气通过所述空气流入口流入时，所述门部的除了所述一部分以外的剩余部分从所述第二表面分离。
6.其特征在于，可以是，所述门部是柔性体。
7.其特征在于，可以是，所述防泄漏单元还包括：支撑部，定义有与所述流入孔对应的支撑孔，并且布置于所述支撑件与所述门部之间，其中，所述支撑部附着于所述第二表面，所述门部的所述剩余部分从所述支撑部分离。
8.其特征在于，可以是，所述防泄漏单元还包括：弹性部，一端与所述支撑部连接，另一端与所述门部连接。
9.其特征在于，可以是，所述防泄漏单元还包括：第一磁体，布置于所述门部；以及第二磁体，与所述第一磁体结合，并且布置于所述支撑部。
10.其特征在于，可以是，所述门部的所述一部分通过螺栓与所述第二表面结合。
11.其特征在于，可以是，所述门部的所述一部分通过粘贴剂与所述支撑部结合。
12.其特征在于，可以是，当气体从所述气体存储部流出至所述内部空间时，包括在所述内部空间的混合气体将所述门部紧贴于所述支撑部。
13.其特征在于，可以是，所述特气柜还包括：局部排出部，布置于所述壳体的上部，其中，从所述气体存储部流出的气体通过所述局部排出部排出至外部。
14.其特征在于，可以是，所述特气柜还包括：检测排管，检测从所述气体存储部流出的气体量，并且布置于所述壳体内部；以及控制部，控制所述气体存储部。
15.其特征在于，可以是，所述门部是圆形、椭圆形以及多边形中的一种形状。
16.其特征在于，可以是，在所述支架定义有至少一部分与所述门部重叠的多个支架孔。
17.其特征在于，可以是，所述防泄漏单元还包括：缓冲件，围绕所述支撑件的一端以及另一端中的至少一个，其中，所述支撑件的一端以及另一端将所述流入孔置于中间而隔开。
18.根据本发明的另一实施例的特气柜，包括：壳体，包括收纳部、门体部以及支架，所述门体部在所述收纳部开闭并包括与所述收纳部一同定义内部空间的后表面以及与所述后表面对向的前表面，所述支架布置于所述后表面；气体存储部，布置于所述内部空间；以及防泄漏单元，布置于所述支架，其中，在所述门体部定义有与所述防泄漏单元重叠并贯通所述前表面以及所述后表面的空气流入口，所述防泄漏单元包括：支撑件，定义有与所述空气流入口重叠的流入孔；支撑部，定义有与所述流入孔对应的支撑孔，并且结合于所述支撑件；以及门部，当外部空气通过所述空气流入口流入时，暴露所述支撑孔以及所述流入孔。
19.其特征在于，可以是，所述门部的一部分结合于所述支撑部，当所述外部空气流入时，所述门部的除了所述一部分以外的剩余部分可以从所述支撑部分离。
20.其特征在于，可以是，所述门部为柔性体。
21.其特征在于，可以是，当气体从所述气体存储部流出至所述内部空间时，包括在所述内部空间的气体将所述门部紧贴于所述支撑部。
22.其特征在于，可以是，所述特气柜还包括：局部排出部，布置于所述壳体的上部，其中，从所述气体存储部流出的气体通过所述局部排出部排出至外部。
23.其特征在于，可以是，所述特气柜还包括：检测排管，检测从所述气体存储部流出的气体量，并且布置于所述壳体内部；以及控制部，控制所述气体存储部。
24.根据本发明，由于特气柜包括能够仅使向一方向移动的气流通过的防泄漏单元，因此在进行预定的工艺期间，即使气体从气体存储部泄漏，也可以防止毒性气体等流出到作业者的现象发生，据此，可以预先防止安全事故发生。
附图说明
25.图1是图示根据本发明的一实施例的沉积设备的平面图。
26.图2是图示根据本发明的一实施例的特气柜的开放状态的平面图。
27.图3是根据本发明的一实施例的防泄漏单元的立体图。
28.图4a是根据本发明的一实施例的防泄漏单元的剖视图。
29.图4b是根据本发明的一实施例的防泄漏单元的剖视图。
30.图5是根据本发明的一实施例的防泄漏单元的立体图。
31.图6是根据本发明的一实施例的防泄漏单元的立体图。
32.图7是根据本发明的一实施例的防泄漏单元的平面图。
33.图8是根据本发明的一实施例的防泄漏单元的平面图。
34.图9是根据本发明的一实施例的防泄漏单元的平面图。
35.图10是根据本发明的一实施例的防泄漏单元的立体图。
36.图11是根据本发明的一实施例的防泄漏单元的立体图。
37.附图标记说明：
38.ed：制造设备
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eda：沉积设备
39.gda：特气柜
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cs：壳体
40.b1：收纳部
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b2：门体部
41.gs：气体存储部
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nd：检测排管
42.va：防泄漏单元
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hd：支架
43.ut：局部排出部
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eb：控制部
44.具体实施方法
45.在本说明书中，当提到某一构成要素(或者区域、层、部分等)在另一构成要素“之上”、与另一构成要素“连接”或者“结合”时，其表示可以直接布置在另一构成要素之上或者与另一构成要素直接连接/结合，或者在它们之间也可以布置有第三构成要素。
46.相同的附图标记指代相同的构成要素。并且，在附图中，为了针对技术内容进行有效的说明，构成要素的厚度、比率以及尺寸被夸大。“和/或”包括相关的构成要素可以定义的一个以上的全部的组合。
47.第一、第二等术语可以用于说明多种构成要素，但所述构成要素不应被所述术语限定。所述术语仅用于将一个构成要素与另一构成要素进行区分的目的。例如，在不脱离本发明的权利范围的情形下，第一构成要素可以被命名为第二构成要素，相似地，第二构成要素也可以被命名为第一构成要素。只要在语境中没有明确表示出不同含义，单数的表述便包括复数的表述。
48.并且，“下方”、“下侧”、“上方”、“上侧”等术语用于说明附图中图示的构成要素的相关关系。所述术语为相对性的概念，以附图中表示的方向为基准而被说明。
[0049]“包括”或者“具有”等术语应当被理解为旨在指定说明书中所记载的特征、数字、步骤、操作、构成要素、部件或者其组合的存在，而不是预先排除一个或者其以上的其他特征或者数字、步骤、操作、构成要素、部件或者其组合的存在或者附加的可能性。
[0050]
只要没有被不同地定义，则本说明书中所使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本发明所属技术领域的技术人员通常所理解的含义相同的含义。并且，诸如在通常使用的词典中定义的术语之类的术语应当被解释为具有与在相关技术的语境中所具有的含义一致的含义，并且只要在此没有被明示性地定义，则不应被解释为理想的或者过于形式性的含义。
[0051]
以下，参照附图对本发明的实施例进行说明。
[0052]
图1是图示根据本发明的一实施例的沉积设备的平面图。图1是示例性地图示根据本发明的特气柜gda的使用例的图。
[0053]
根据一实施例的制造设备ed可以包括沉积设备eda及至少一个特气柜gda。沉积设备eda是用于沉积显示面板dp的一构成的设备，并且特气柜gda可以是向沉积设备eda的内部注入工艺气体的设备。
[0054]
沉积设备eda可以包括沉积腔室cb、布置于沉积腔室cb的内侧的固定部件cm、沉积源ds以及掩模组件mk。虽然未单独图示，但是沉积设备eda还可以包括用于实现在线系统的附加机械装置。
[0055]
沉积腔室cb可以将沉积条件设定为真空。沉积腔室cb可以包括底表面、顶表面和
侧壁。沉积腔室cb的底表面与由第一方向dr1及第二方向dr2限定的面平行。沉积腔室cb的底表面的法线方向由第三方向dr3指示。
[0056]
固定部件cm布置于沉积腔室cb的内侧，布置于沉积源ds上，并且固定掩模组件mk。固定部件cm可以设置于沉积腔室cb的顶表面。固定部件cm可以包括用于保持掩模组件mk的夹具或机械臂。
[0057]
固定部件cm包括支撑部bd及结合于支撑部bd的磁体mm。支撑部bd可以包括作为用于固定掩模组件mk的基本结构的板，但不限于此。磁体mm可以布置于支撑部bd的内侧或外侧。磁体mm可以通过磁力固定掩模组件mk。
[0058]
沉积源ds可以使沉积物质蒸发并以沉积蒸汽喷出。相应的沉积蒸汽通过掩模组件mk并以预定图案沉积在显示面板dp。图1所示的显示面板dp可以定义为在制造完成的显示面板dp的中间阶段的基板。
[0059]
掩模组件mk可以包括掩模ms及框架fr。掩模组件mk布置于沉积腔室cb的内侧，布置于沉积源ds上，并支撑显示面板dp。
[0060]
框架fr可以支撑掩模ms。框架fr可以是支撑掩模ms的边缘部分的框架。
[0061]
显示面板dp可以是包括通过掩模ms沉积的至少一个功能层的面板。例如，包括在显示面板dp的功能层中的一个可以是以与多个发光区域整体重叠的方式提供的“公共层”。此时，掩模ms可以提供为开放式掩模(open mask)。
[0062]
但是，并不限于此，功能层中的另一个可以以图案化为与发光区域中的每一个重叠的方式提供，此时，掩模ms可以提供为精细金属掩模(fmm：fine metal mask)。
[0063]
显示面板dp可以是液晶显示面板(liquid crystal display panel)、电泳显示面板(electrophoretic display panel)、微机电系统显示面板(microelectromechanical system display panel)、电润湿显示面板(electrowetting display panel)、有机发光显示面板(organic light emitting display panel)及无机发光显示面板(inorganic light emitting display panel)中的一种，但没有特别限制。
[0064]
根据本发明的特气柜gda可以是通过沉积设备eda对显示面板dp进行沉积工艺期间或沉积工艺开始之前向沉积腔室cb内部注入预定的工艺气体的设备。只要是在沉积工艺使用的气体，由特气柜gda提供的气体的种类不会限制于一种。
[0065]
在图1示例性地图示了与沉积设备eda连接的一个特气柜gda，但不限于此，特气柜gda可以提供为多个而连接于沉积设备eda，并且从每个特气柜gda提供的气体的种类可以彼此不同。
[0066]
在图1中作为特气柜gda的一使用例以向沉积设备eda注入工艺气体的用途进行了说明，但不限于此，只要涉及在工艺进行的过程中向预定设备注入工艺气体的特气柜gda，并不限于任意一种用途。
[0067]
图2是图示根据本发明的一实施例的特气柜的开放状态的平面图。图3是根据本发明的一实施例的防泄漏单元的立体图。图4a是根据本发明的一实施例的防泄漏单元的剖视图。图4b是根据本发明的一实施例的防泄漏单元的剖视图。
[0068]
参照图2，根据一实施例的特气柜gda可以包括壳体cs、气体存储部gs、支架hd、检测排管nd、防泄漏单元va、局部排出部ut及控制部eb。
[0069]
壳体cs可以提供供气体存储部gs、检测排管nd、控制部eb、防泄漏单元va及局部排
出部ut能够布置的内部空间。虽然未图示，壳体cs还可以包括能够将从气体存储部gs提供的气体供应到沉积设备eda的供应排管。
[0070]
壳体cs可以包括：收纳部b1；以及门体部b2，在收纳部b1开闭并在关闭的状态下与收纳部b1一起定义所述内部空间。门体部b2可以包括与收纳部b1一起定义所述内部空间的后表面以及前表面。在门体部b2的后表面可以布置有支架hd。
[0071]
在门体部b2可以定义有前表面和后表面贯通的空气流入口ih。空气流入口ih可以提供为多个，在图2中图示了呈圆形的两个空气流入口ih，但数量及形状并不限于此。特气柜gda可以通过空气流入口ih使壳体cs外部的空气流入到壳体cs内部。
[0072]
气体存储部gs可以收纳于收纳部b1。气体存储部gs可以向沉积腔室cb(参照图1)内部供应工艺所需的气体。只要是诸如特殊气体、毒性气体、可溶性气体等的工艺所需的气体，气体的种类并不局限于一种。气体存储部gs可以是可更换的构成。
[0073]
检测排管nd可以布置于收纳部b1并且可以布置为与气体存储部gs的入口相邻。检测排管nd可以是检测从气体存储部gs泄漏的气体的装置。
[0074]
控制部eb可以布置于收纳部b1的外部。控制部eb可以与检测排管nd联动，并且在从气体存储部gs泄漏预定量以上的气体而使检测排管nd操作的情况下，控制部eb可以感测紧急状况并通过外部接口向用户发出警告。用户可以按下控制部eb的切断按钮来紧急控制气体存储部gs的气体供应。
[0075]
局部排出部ut可以连接于收纳部b1的上端。局部排出部ut可以是在从气体存储部gs泄漏小于预定量的气体的情况下将壳体cs内部的气体与从外部流入的空气一起向外部排出的设备。局部排出部ut可以包括过滤器等分解毒性气体的装置。由于特气柜gda包括局部排出部ut，从而可以维持壳体cs内部的状态，使得从气体存储部gs泄漏的气体不会搁置于壳体cs内部。
[0076]
支架hd可以布置于门体部b2的后表面。支架hd可以与空气流入口ih重叠。在由支架hd和门体部b2的后表面而定义的预定的空间可以布置有防泄漏单元va。在支架hd可以定义有用于使通过防泄漏单元va的气流顺利排出的支架孔。
[0077]
但是，在防泄漏单元va直接附着于门体部b2的后表面的情况下，可以省略支架hd，并不限于一个实施例。
[0078]
防泄漏单元va可以收容于支架hd。防泄漏单元va可以使外部的空气流入壳体cs内部，以使从气体存储部gs泄漏的气体能够与壳体cs内部的气体通过局部排出部ut排出。
[0079]
根据本发明的防泄漏单元va只能使朝一方向移动的气流通过。例如，防泄漏单元va可以使外部的空气流入壳体cs内部，但可以防止壳体cs内部的气体向外部流出。
[0080]
参照图3，根据一实施例的防泄漏单元va可以包括支撑件sp、支撑部ad、门部gf、缓冲件sb及螺栓sc。
[0081]
支撑件sp可以包括多个流入孔ah。流入孔ah可以通过贯通支撑件sp中的与门体部b2的后表面面对的第一表面以及与第一表面对向的第二表面而定义。流入孔ah可以提供为圆形、椭圆形及多边形中的一种形状。
[0082]
流入孔ah可以与空气流入口ih(参照图2)重叠。在空气流入口ih提供为多个的情况下，流入孔组可以与各自的空气流入口ih重叠。例如，在门体部b2定义有两个空气流入口，并且在支撑件sp可以以与两个空气流入口对应的方式定义有左侧流入孔组以及右侧流
入孔组。以下，以包括在一个流入孔组的流入孔ah为基准进行说明，并省略重复的说明。
[0083]
根据一实施例的支撑件sp可以包括聚碳酸酯(pc：polycarbonate)、亚克力中的一种。
[0084]
支撑部ad可以附着于支撑件sp的第二表面。在支撑部ad可以定义有与流入孔ah对应的支撑孔dh。支撑孔dh中的每一个的面积可以大于或等于对应的流入孔ah的面积，并且可以具有与对应的流入孔ah的形状相同或不同的形状，然而并不限于一个实施例。
[0085]
在门部gf紧贴于支撑部ad的情况下，相比于门部gf直接结合于支撑件sp的情况，支撑部ad可以使门部gf更加巩固地固定。支撑部ad可以包括阻燃性材质。门部gf可以包括柔性材质。根据一实施例，可以省略支撑部ad，此时，门部gf可以布置于支撑件sp的第二表面。
[0086]
门部gf可以布置于支撑部ad上。即，门部gf可以将支撑部ad置于中间而与支撑件sp隔开。门部gf的一部分可以通过螺栓sc结合于支撑件sp。门部gf中除了通过螺栓sc结合的一部分之外的剩余部分的至少一部分可以从支撑部ad分离。
[0087]
缓冲件sb可以围绕支撑件sp的一端以及另一端中的至少一个，并且支撑件sp的一端以及另一端将流入孔ah置于中间而隔开。当在支架hd布置防泄漏单元va时，由于防泄漏单元va包括缓冲件sb，因此缓冲件sb可以使支架hd以在支架hd与门体部b2之间以没有间隙的方式得到布置。并且，在进行预定的工艺的期间，由于缓冲件sb抵消传递至壳体cs的振动，从而可以减少施加于防泄漏单元va的冲击。
[0088]
参照图4a及图4b，对仅使朝一方向移动的气流通过的防泄漏单元va进行说明。图4a是图示当外部空气oa通过图2的空气流入口ih流入壳体cs的内部时的防泄漏单元va的操作状态的图，图4b是图示当外部空气oa不流入壳体cs时的防泄漏单元va的操作状态的图。
[0089]
参照图4a，当从气体存储部gs(参照图2)泄漏小于预定量的气体的情况下，为了通过局部排出部ut(参照图2)排出泄漏的气体，可以使外部空气oa流入壳体cs(参照图2)的内部。
[0090]
当外部空气oa通过流入孔ah流入到壳体cs(参照图2)的内部时，门部gf中除了通过螺栓sc结合于支撑件sp的一部分之外的剩余部分可以从支撑部ad分离。当外部空气oa流入时，多个流入孔ah及多个支撑孔dh可以从门部gf暴露。据此，外部空气oa可以流入到壳体cs的内部，并且由于外部空气oa的流动，泄漏于壳体cs内部的气体可以不流出到外部。
[0091]
参照图4b，当外部空气oa不流入到壳体cs的内部时，壳体cs内部的泄漏的气体等残留的壳体cs的内部的气体ia可以将门部gf压到支撑部ad。据此，泄漏到壳体cs的内部的气体可以不流出到外部。
[0092]
根据本发明，由于特气柜gda包括能够仅使沿一方向移动的气流通过的防泄漏单元va，因此在进行预定的工艺期间，即使气体从气体存储部gs泄漏，也可以防止毒性气体等流出到操作者的现象发生，据此，可以预先防止安全事故发生。
[0093]
图5是根据本发明的一实施例的防泄漏单元的立体图。图6是根据本发明的一实施例的防泄漏单元的立体图。对于与在图1至图4b中说明的构成相同/相似的构成赋予相同/相似的附图标记，并省略重复的说明。
[0094]
参照图5，根据一实施例的防泄漏单元va-a可以包括支撑件sp、支撑部ad、门部gf、缓冲件sb、螺栓sc及结合部mg。关于支撑件sp、支撑部ad、门部gf、缓冲件sb及螺栓sc的说明
可以与在图3至图4b中说明的内容对应。
[0095]
在本实施例中，结合部mg可以包括第一磁体m1及第二磁体m2。第一磁体m1及第二磁体m2可以具有彼此相反的磁力。
[0096]
第一磁体m1可以布置于门部gf，并且第二磁体m2可以布置于支撑部ad。左侧门部gf是示出门部gf与支撑部ad紧贴的状态，右侧门部gf是示出门部gf从支撑部ad分离的状态。
[0097]
由于根据一实施例的防泄漏单元va-a还包括结合部mg，因此在门部gf紧贴于支撑部ad的状态下门部gf可以更加巩固地与支撑部ad结合。
[0098]
参照图6，根据一实施例的防泄漏单元va-b可以包括支撑件sp、支撑部ad、门部gf、缓冲件sb、螺栓sc及弹性部st。关于支撑件sp、支撑部ad、门部gf、缓冲件sb及螺栓sc的说明可以与在图3至图4b中说明的内容对应。
[0099]
在本实施例中，弹性部st的一端可以附着于门部gf，另一端可以附着于支撑部ad。在弹性部st中，为了在门部gf与支撑部ad紧贴的状态下抵消弹性部st的厚度，在门部gf及支撑部ad中的至少一个可以定义有与弹性部st的厚度相对应的槽。
[0100]
由于根据一实施例的防泄漏单元va-b包括弹性部st，从而门部gf可以容易地紧贴于支撑部ad。
[0101]
图7是根据本发明的一实施例的防泄漏单元的平面图。图8是根据本发明的一实施例的防泄漏单元的平面图。图9是根据本发明的一实施例的防泄漏单元的平面图。对于与在图1至图4b中说明的构成相同/相似的构成赋予相同/相似的附图标记，并省略重复的说明。在图7至图9中，定义在门体部b2(参照图2)的空气流入口ih以虚线示出。
[0102]
参照图7，根据一实施例的流入孔ah-1可以与空气流入口ih重叠。流入孔ah-1可以被提供为以圆的中心为基准分割成四个的形态。
[0103]
参照图8，根据一实施例的流入孔ah-2可以与空气流入口ih重叠。流入孔ah-2可以沿空气流入口ih的内侧彼此隔开而排列成圆形。
[0104]
参照图9，根据一实施例的流入孔ah-3可以与空气流入口ih重叠。流入孔ah-3可以以空气流入口ih的中心为基准在分割成4个区域中的每个区域布置有多个。
[0105]
根据本发明，门部gf与支撑部ad的紧贴力可以以与流入孔的数量成比例的方式增加，流入孔的排列及形状并不限于上述形成方式。
[0106]
图10是根据本发明的一实施例的防泄漏单元的立体图。图11是根据本发明的一实施例的防泄漏单元的立体图。对于与在图1至图4b中说明的构成相同/相似的构成赋予相同/相似的附图标记，并省略重复的说明。
[0107]
参照图10，根据一实施例的防泄漏单元va-1可以包括支撑件sp、支撑部ad1、门部gf1、缓冲件sb及粘贴剂al。关于支撑件sp、支撑部ad、门部gf及缓冲件sb的说明可以与在图3至图4b中说明的内容对应。
[0108]
根据本实施例的门部gf1可以借由粘贴剂al结合于支撑部ad1。粘贴剂al的针对门部gf1的粘贴力可以大于粘贴剂al的针对支撑部ad1的粘贴力。据此，在门部gf1受损的情况下，可以将门部gf1及粘贴剂al从支撑部ad1分离，并且可以将新的门部结合于支撑部ad1。
[0109]
参照图11，根据一实施例的防泄漏单元va-2可以包括支撑件sp、支撑部ad2、门部gf2、缓冲件sb及粘贴剂al。关于支撑件sp、支撑部ad、门部gf及缓冲件sb的说明可以与在图
3至图4b中说明的内容对应。
[0110]
根据本实施例的门部gf2可以借由粘贴剂al结合于支撑部ad2。门部gf2及支撑部ad2中的每一个可以具有矩形形状。
[0111]
根据一实施例，支撑部ad2的面积可以大于门部gf2的面积。据此，门部gf2可以稳定地紧贴于支撑部ad2。
[0112]
然而，不限于此，门部gf2及支撑部ad2的形状可以变形为圆形、椭圆形以及多边形中的一种而对应于流入孔ah的布置形状。
[0113]
以上，虽然参照本发明的优选的实施例进行了说明，但只要是本技术领域的熟练的技术人员或者具有本技术领域中的普通知识的人员，便可以理解在不脱离权利要求书中记载的本发明的思想和技术领域的范围内，可以对本发明进行多样的修改和变更。
[0114]
因此，本发明的技术范围不应该局限于说明书的详细说明中记载的内容，而应当通过权利要求的范围来确定。

技术特征：
1.一种特气柜，包括：壳体，包括收纳部、门体部以及支架，所述门体部在所述收纳部开闭并包括与所述收纳部一同定义内部空间的后表面以及与所述后表面对向的前表面，所述支架布置于所述后表面；气体存储部，布置于所述内部空间；以及防泄漏单元，布置于所述支架，其中，在所述门体部定义有与所述防泄漏单元重叠并贯通所述前表面以及所述后表面的空气流入口，所述防泄漏单元包括：支撑件，与所述空气流入口重叠，并定义有贯通与所述后表面面对的第一表面以及与所述第一表面对向的第二表面的流入孔；以及门部，一部分与所述第二表面结合，并覆盖所述流入孔。2.根据权利要求1所述的特气柜，其中，当外部空气通过所述空气流入口流入时，所述门部的除了所述一部分以外的剩余部分从所述第二表面分离。3.根据权利要求2所述的特气柜，其中，所述门部为柔性体。4.根据权利要求2所述的特气柜，所述防泄漏单元还包括：支撑部，定义有与所述流入孔对应的支撑孔，并且布置于所述支撑件与所述门部之间，其中，所述支撑部附着于所述第二表面，所述门部的所述剩余部分从所述支撑部分离。5.根据权利要求4所述的特气柜，其中，所述防泄漏单元还包括：弹性部，一端与所述支撑部连接，另一端与所述门部连接。6.根据权利要求4所述的特气柜，其中，所述防泄漏单元还包括：第一磁体，布置于所述门部；以及第二磁体，与所述第一磁体结合，并且布置于所述支撑部。7.根据权利要求4所述的特气柜，其中，所述门部的所述一部分通过螺栓与所述第二表面结合。8.根据权利要求4所述的特气柜，其中，所述门部的所述一部分通过粘贴剂与所述支撑部结合。9.根据权利要求4所述的特气柜，其中，当气体从所述气体存储部流出至所述内部空间时，包括在所述内部空间的混合气体将所述门部紧贴于所述支撑部。10.根据权利要求1所述的特气柜，还包括：局部排出部，布置于所述壳体的上部，其中，从所述气体存储部流出的气体通过所述局部排出部排出至外部。11.根据权利要求1所述的特气柜，还包括：
检测排管，检测从所述气体存储部流出的气体量，并且布置于所述壳体内部；以及控制部，控制所述气体存储部。12.根据权利要求1所述的特气柜，其中，所述门部为圆形、椭圆形以及多边形中的一种形状。13.根据权利要求1所述的特气柜，其中，在所述支架定义有至少一部分与所述门部重叠的多个支架孔。14.根据权利要求1所述的特气柜，其中，所述防泄漏单元还包括：缓冲件，围绕所述支撑件的一端以及另一端中的至少一个，其中，所述支撑件的一端以及另一端将所述流入孔置于中间而隔开。15.一种特气柜，包括：壳体，包括收纳部、门体部以及支架，所述门体部在所述收纳部开闭并包括与所述收纳部一同定义内部空间的后表面以及与所述后表面对向的前表面，所述支架布置于所述后表面；气体存储部，布置于所述内部空间；以及防泄漏单元，布置于所述支架，其中，在所述门体部定义有与所述防泄漏单元重叠并贯通所述前表面以及所述后表面的空气流入口，所述防泄漏单元包括：支撑件，定义有与所述空气流入口重叠的流入孔；支撑部，定义有与所述流入孔对应的支撑孔，并且结合于所述支撑件；以及门部，当外部空气通过所述空气流入口流入时，暴露所述支撑孔以及所述流入孔。16.根据权利要求15所述的特气柜，其中，所述门部的一部分结合于所述支撑部，当所述外部空气流入时，所述门部的除了所述一部分以外的剩余部分从所述支撑部分离。17.根据权利要求16所述的特气柜，其中，所述门部为柔性体。18.根据权利要求16所述的特气柜，其中，当气体从所述气体存储部流出至所述内部空间时，包括在所述内部空间的气体将所述门部紧贴于所述支撑部。19.根据权利要求15所述的特气柜，还包括：局部排出部，布置于所述壳体的上部，其中，从所述气体存储部流出的气体通过所述局部排出部排出至外部。20.根据权利要求15所述的特气柜，还包括：检测排管，检测从所述气体存储部流出的气体量，并且布置于所述壳体内部；以及控制部，控制所述气体存储部。

技术总结
本发明涉及一种特气柜。特气柜包括：壳体，包括收纳部以及门体部以及支架，所述门体部包括后表面以及与所述后表面对向的前表面并包括布置于所述后表面的支架；气体存储部，布置于所述壳体的内部空间；以及防泄漏单元，布置于所述支架，其中，在所述门体部定义有与所述防泄漏单元重叠并贯通所述前表面以及所述后表面的空气流入口，所述防泄漏单元包括：支撑件，与所述空气流入口重叠，并定义有贯通与所述后表面面对的第一表面以及与所述第一表面对向的第二表面的流入孔；以及门部，一部分与所述第二表面结合，并覆盖所述流入孔。并覆盖所述流入孔。并覆盖所述流入孔。


技术研发人员：崔永宝 安泰鎭 朴世元
受保护的技术使用者：忠北大学校产学协力团
技术研发日：2023.02.03
技术公布日：2023/8/4