微波等离子单晶制备仪的制作方法

1.本实用新型涉及微波等离子单晶制备技术领域，具体为微波等离子单晶制备仪。


背景技术：

2.在微波等离子单晶的制备过程中，就需要用到微波等离子单晶制备仪，比如：微波等离子体cvd系统仪器。
3.目前市场上的一些微波等离子体cvd系统仪器，其制备结构较为简单，每次只能进行单份单晶体的制备，无法同时进行多份单晶体的制备，其制备效率较低，有待改进。
4.所以我们提出了微波等离子单晶制备仪，以便于解决上述中提出的问题。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于解决目前市场上的一些微波等离子体cvd系统仪器，其制备结构较为简单，每次只能进行单份单晶体的制备，无法同时进行多份单晶体的制备，其制备效率较低，有待改进的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：微波等离子单晶制备仪，包括微波发生器，所述微波发生器侧面设置有机构架，所述机构架包括上支撑板和下支撑板，所述上支撑板下表面设置有支撑腿，所述上支撑板上表面开设有升降槽口，且所述上支撑板上方对应升降槽口的位置设置有连接板，所述连接板两端均连接有l形支撑杆，所述l形支撑杆的一端与上支撑板相固定，所述连接板下表面设置有多个上罩体，所述微波发生器侧面连接有第一波导管，所述第一波导管侧面设置有多个与上罩体相连通的第二波导管，所述上支撑板上表面设置有活塞机构，所述上罩体侧面开设有活塞筒，所述连接板上表面设置有多个与上罩体相连通的进气管，所述下支撑板下表面设置有多个第一气缸，所述第一气缸的活塞杆顶端连接有升降板，所述升降板的上表面设置有多个与上罩体相对应的下罩体，所述下罩体内设置有基片加热台，所述基片加热台上设置有基片，所述下罩体表面连接有抽气管。
7.进一步地，所述基片加热台内开设有加热腔，所述加热腔内设置有电加热管，所述基片加热台内设置有与电加热管相连接的电连接线，所述升降板内开设有排线腔，且所述升降板侧面设置有与排线腔相连通的接线护套。
8.进一步地，所述上罩体的底部连接有卡环，所述下罩体顶端开设有与卡环相适配的环形卡槽，所述卡环表面包覆设置有第一密封橡胶垫，所述环形卡槽内设置有第二密封橡胶垫。
9.进一步地，所述活塞机构包括与上支撑板相连接的支撑架，所述支撑架上设置有第二气缸，所述第二气缸的活塞杆一端连接有推板，所述推板侧面连接有多个推杆，所述推杆的一端连接有与活塞筒相适配的活塞头。
10.进一步地，所述下支撑板上表面对称设置有限位杆，所述升降板表面靠近两端的位置对称开设有限位孔，所述限位孔与限位杆滑动连接。
11.进一步地，所述电加热管设置为平面螺旋结构。
12.进一步地，所述上罩体和下罩体均采用石英罩。
13.本实用新型的有益效果：通过在连接板下表面设置有多个上罩体，在微波发生器侧面连接有第一波导管，所述第一波导管侧面设置有多个与上罩体相连通的第二波导管，在多个上罩体侧面开设有活塞筒，以及在连接板上表面设置有多个与上罩体相连通的进气管，在升降板的上表面设置有多个与上罩体相对应的下罩体，在下罩体表面连接有抽气管，在下罩体的基片加热台上设置有基片，能够通过上罩体、第一波导管、第二波导管、活塞筒、活塞机构、进气管、下罩体、抽气管、以及基片加热台和基片之间的配合，能够同时进行多份单晶体的制备，大大提高了效率。
附图说明
14.图1是本实用新型微波等离子单晶制备仪的第一结构示意图；
15.图2是本实用新型微波等离子单晶制备仪的第二结构示意图；
16.图3是本实用新型微波等离子单晶制备仪的主视结构示意图；
17.图4是本实用新型微波等离子单晶制备仪的剖视结构示意图；
18.图5是本实用新型图4的局部结构a放大示意图；
19.图6是本实用新型微波等离子单晶制备仪的局部剖视结构示意图；
20.图7是本实用新型微波等离子单晶制备仪的电加热管结构示意图。
21.图中各标记对应的名称：
22.1、微波发生器；2、机构架；201、上支撑板；2011、升降槽口；202、下支撑板；203、支撑腿；3、连接板；4、l形支撑杆；5、上罩体；6、第一波导管；7、第二波导管；8、活塞机构；81、支撑架；82、第二气缸；83、推板；84、推杆；85、活塞头；9、活塞筒；10、进气管；11、第一气缸；12、升降板；121、排线腔；13、下罩体；14、基片加热台；15、基片；16、电加热管；17、电连接线；18、抽气管；19、接线护套；20、卡环；21、第一密封橡胶垫；22、第二密封橡胶垫；23、限位杆。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
24.本实用新型的实施例：
25.实施例一
26.如图1-图7所示，本实用新型提供微波等离子单晶制备仪，包括微波发生器1，微波发生器1侧面设置有机构架2，机构架2包括上支撑板201和下支撑板202，上支撑板201下表面设置有支撑腿203，上支撑板201上表面开设有升降槽口2011，且上支撑板201上方对应升降槽口2011的位置设置有连接板3，连接板3两端均连接有l形支撑杆4，l形支撑杆4的一端与上支撑板201相固定，连接板3下表面设置有多个上罩体5，微波发生器1侧面连接有第一波导管6，第一波导管6侧面设置有多个与上罩体5相连通的第二波导管7，上支撑板201上表面设置有活塞机构8，上罩体5侧面开设有活塞筒9，连接板3上表面设置有多个与上罩体5相
连通的进气管10，下支撑板202下表面设置有多个第一气缸11，第一气缸11的活塞杆顶端连接有升降板12，升降板12的上表面设置有多个与上罩体5相对应的下罩体13，上罩体5和下罩体13均采用石英罩，下罩体13内设置有基片加热台14，基片加热台14上设置有基片15，下罩体13表面连接有抽气管18，基片加热台14内开设有加热腔，加热腔内设置有电加热管16，电加热管16设置为平面螺旋结构，基片加热台14内设置有与电加热管16相连接的电连接线17，升降板12内开设有排线腔121，且升降板12侧面设置有与排线腔121相连通的接线护套19，首先通过抽气管18将上罩体5和下罩体13内抽为真空状态，然后通过进气管10向真空腔内通入工艺混合气体，通过微波发生器1、第一波导管6和第二波导管7的配合，将微波导入上罩体5和下罩体13内，微波在基片加热台14上方放电并产生等离子体球，随着活塞筒9与活塞机构8的配合进行加压，然后便可在基片15上沉积出单晶体。
27.实施例二
28.如图1和图4-5所示，在本实用新型实施例一的基础上：活塞机构8包括与上支撑板201相连接的支撑架81，支撑架81上设置有第二气缸82，第二气缸82的活塞杆一端连接有推板83，推板83侧面连接有多个推杆84，推杆84的一端连接有与活塞筒9相适配的活塞头85，可以通过第二气缸82、推板83、多个推杆84和多个活塞头85之间的配合，同时进行多个上罩体5和下罩体13内的加压。
29.实施例三
30.如图1和图3-5所示，在本实用新型实施例一的基础上：下支撑板202上表面对称设置有限位杆23，升降板12表面靠近两端的位置对称开设有限位孔，限位孔与限位杆23滑动连接，能够防止升降板12在升降过程中发生倾斜。
31.实施例四
32.如图6所示，在本实用新型实施例一的基础上：上罩体5的底部连接有卡环20，下罩体13顶端开设有与卡环20相适配的环形卡槽，卡环20表面包覆设置有第一密封橡胶垫21，环形卡槽内设置有第二密封橡胶垫22，通过卡环20与环形卡槽之间的配合、以及第一密封橡胶垫21与第二密封橡胶垫22之间的配合，大大提高了密封性。

技术特征：
1.微波等离子单晶制备仪，包括微波发生器(1)，其特征在于：所述微波发生器(1)侧面设置有机构架(2)，所述机构架(2)包括上支撑板(201)和下支撑板(202)，所述上支撑板(201)下表面设置有支撑腿(203)，所述上支撑板(201)上表面开设有升降槽口(2011)，且所述上支撑板(201)上方对应升降槽口(2011)的位置设置有连接板(3)，所述连接板(3)两端均连接有l形支撑杆(4)，所述l形支撑杆(4)的一端与上支撑板(201)相固定，所述连接板(3)下表面设置有多个上罩体(5)，所述微波发生器(1)侧面连接有第一波导管(6)，所述第一波导管(6)侧面设置有多个与上罩体(5)相连通的第二波导管(7)，所述上支撑板(201)上表面设置有活塞机构(8)，所述上罩体(5)侧面开设有活塞筒(9)，所述连接板(3)上表面设置有多个与上罩体(5)相连通的进气管(10)，所述下支撑板(202)下表面设置有多个第一气缸(11)，所述第一气缸(11)的活塞杆顶端连接有升降板(12)，所述升降板(12)的上表面设置有多个与上罩体(5)相对应的下罩体(13)，所述下罩体(13)内设置有基片加热台(14)，所述基片加热台(14)上设置有基片(15)，所述下罩体(13)表面连接有抽气管(18)。2.根据权利要求1所述的微波等离子单晶制备仪，其特征在于：所述基片加热台(14)内开设有加热腔，所述加热腔内设置有电加热管(16)，所述基片加热台(14)内设置有与电加热管(16)相连接的电连接线(17)，所述升降板(12)内开设有排线腔(121)，且所述升降板(12)侧面设置有与排线腔(121)相连通的接线护套(19)。3.根据权利要求1所述的微波等离子单晶制备仪，其特征在于：所述上罩体(5)的底部连接有卡环(20)，所述下罩体(13)顶端开设有与卡环(20)相适配的环形卡槽，所述卡环(20)表面包覆设置有第一密封橡胶垫(21)，所述环形卡槽内设置有第二密封橡胶垫(22)。4.根据权利要求1所述的微波等离子单晶制备仪，其特征在于：所述活塞机构(8)包括与上支撑板(201)相连接的支撑架(81)，所述支撑架(81)上设置有第二气缸(82)，所述第二气缸(82)的活塞杆一端连接有推板(83)，所述推板(83)侧面连接有多个推杆(84)，所述推杆(84)的一端连接有与活塞筒(9)相适配的活塞头(85)。5.根据权利要求1所述的微波等离子单晶制备仪，其特征在于：所述下支撑板(202)上表面对称设置有限位杆(23)，所述升降板(12)表面靠近两端的位置对称开设有限位孔，所述限位孔与限位杆(23)滑动连接。6.根据权利要求2所述的微波等离子单晶制备仪，其特征在于：所述电加热管(16)设置为平面螺旋结构。7.根据权利要求1所述的微波等离子单晶制备仪，其特征在于：所述上罩体(5)和下罩体(13)均采用石英罩。

技术总结
本实用新型涉及微波等离子单晶制备技术领域，且公开了微波等离子单晶制备仪，包括微波发生器，该微波等离子单晶制备仪，能够通过上罩体、第一波导管、第二波导管、活塞筒、活塞机构、进气管、下罩体、抽气管、以及基片加热台和基片之间的配合，能够同时进行多份单晶体的制备，大大提高了效率。大大提高了效率。大大提高了效率。


技术研发人员：李少梅 汪纪彬
受保护的技术使用者：郑州成越科学仪器有限公司
技术研发日：2023.03.08
技术公布日：2023/8/5