一种光学晶体AB面检测装置及其检测方法与流程

一种光学晶体ab面检测装置及其检测方法
技术领域
1.本发明涉及光学晶体检测领域，特别涉及一种光学晶体ab面检测装置及其检测方法。


背景技术：

2.光学晶体用作光学介质材料的晶体材料，主要用于制作紫外和红外区域窗口、透镜和棱镜，按晶体结构分为单晶和多晶。
3.现有一种光学晶体为六面体镀膜玻璃，其主要包括相对设置的镀膜面a和镀膜面b以及四个周向分布的切割面c,其中镀膜面a和镀膜面b的镀膜厚度不同；传统的检测设备在进行检测时需要人工利用显微镜区分镀膜面a和镀膜面b，然后夹取六面体镀膜玻璃使其镀膜面b朝上放入到检测盒中，人工分辨识别镀膜面a和镀膜面b再进行夹取，对于翻面的需要进行翻转，操作繁琐，检测镀膜面a和镀膜面b速度慢，光学晶体体积较小，采用手动夹子进行翻转时，夹取翻转操作难度大。
4.本技术提供一种光学晶体ab面检测装置及其检测方法，实现自动化检测和夹取。


技术实现要素：

5.本技术的目的在于解决传统的人工操作检测光学晶体ab面并翻转夹取时检测速度慢操作难度大的问题；相比现有技术提供一种光学晶体ab面检测装置及其检测方法，可以实现采用ccd相机拍摄并进行拾取、翻转和转移操作，提高检测速度和检测效果。
6.一种光学晶体ab面检测装置，包括作业台，作业台上放置有对称设置的蓝膜晶圆盘和检测盒，蓝膜晶圆盘上粘接有扩晶后的多个六面体镀膜玻璃，六面体镀膜玻璃包括相对设置且镀膜厚度不同的镀膜面a和镀膜面b以及四个切割面c；作业台上设有设置在蓝膜晶圆盘和检测盒之间的转移架，转移架连接有驱动转移架转动的第一动力机构，转移架上安装有一组对称设置的平面二维丝杆组件，平面二维丝杆组件下方连接有用来拾取和翻转六面体镀膜玻璃的拾取翻转机构；
7.拾取翻转机构包括安装架，安装架上安装有用来判断六面体镀膜玻璃的镀膜面朝向的ccd相机，安装架位于ccd相机内侧固定安装有竖直拾取组件，竖直拾取组件外侧设有移动拾取组件，移动拾取组件连接有与安装架转动连接的转动盘，转动盘连接有第二伺服电机；移动拾取组件固定连接有与转动盘转动连接的自转台,自转台连接有与转动盘固定连接的第三伺服电机。
8.进一步的，ccd相机连接有角度调节机构，角度调节机构包括与ccd相机固定连接并与安装架转动连接的安装轴，安装轴连接有摆动动力机构，摆动动力机构包括固定在安装轴端部的第一被动齿轮，第一被动齿轮啮合有与安装架滑动连接的齿条框，齿条框卡接有偏心盘，偏心盘固定连接有与安装架转动连接的传动轴，传动轴端部固定连接有与转动盘啮合的第二被动齿轮，转动盘的圆周侧壁上设有与第二被动齿轮啮合的卡齿。
9.优选的，齿条框呈水平l型，齿条框包括水平齿条、与水平齿条一体成型且竖直设
置的卡接框以及设置在水平齿条上部的滑动卡槽，安装架内壁固定连接有与滑动卡槽配合的滑轨。
10.优选的，转移架包括转动板，转动板下端固定连接有支撑轴，支撑轴通过轴承座与作业台转动连接；第一动力机构包括套接在支撑轴上的蜗轮，蜗轮啮合有蜗杆，蜗杆连接有第一伺服电机。
11.优选的，转动板为矩形板，转动板两侧开设有用来安装平面二维丝杆组件的安装槽，第一伺服电机外侧套设有防护罩。
12.优选的，平面二维丝杆组件包括纵向设置的y轴丝杆组件以及与y轴丝杆组件连接且横向设置的x轴丝杆组件，y轴丝杆组件和x轴丝杆组件均包括滑动槽、嵌套在滑动槽内的移动块、与移动块螺纹连接的丝杆以及与丝杆连接的丝杆电机，x轴丝杆组件的移动块与安装架固定连接。
13.优选的，竖直拾取组件和移动拾取组件结构相同，二者均包括音圈电机和与音圈电机固定连接的电木吸头。
14.优选的，转动盘上设有与其一体成型的安装筒，安装架上设有与安装筒配合的安装柱，安装筒套设在安装柱上并与其转动连接，第二伺服电机与安装架通过螺栓固定连接，第三伺服电机通过螺栓与转动盘后壁固定连接，移动拾取组件侧壁上安装有红外测距传感器。
15.一种光学晶体ab面检测的检测方法，采用如上所述的光学晶体ab面检测装置进行检测，包括如下步骤：步骤一，将人工采用蓝膜吸附铲平料盘上的六面体镀膜玻璃，然后对蓝膜进行扩晶，并将扩晶后的蓝膜放置在作业台上的蓝膜晶圆盘上；
16.步骤二，通过ccd相机对蓝膜晶圆盘上的六面体镀膜玻璃进行多角度拍摄，对六面体镀膜玻璃的位置和镀膜面b的朝向进行定位；
17.步骤三，通过拾取翻转机构对蓝膜晶圆盘上六面体镀膜玻璃进行吸取提升，根据步骤二中对六面体镀膜玻璃的位置和镀膜面b的朝向的定位，判定是否进行竖直拾取组件和移动拾取组件进行交换吸附以使得六面体镀膜玻璃的镀膜面b朝上的操作，然后进行操作，使得六面体镀膜玻璃的镀膜面b朝上；
18.步骤四，启动转移架对拾取翻转后的六面体镀膜玻璃进行水平转移，使得其移动到检测盒上方，然后将翻转后的六面体镀膜玻璃放入到检测盒内。
19.优选的，在步骤三中判定是否进行竖直拾取组件和移动拾取组件进行交换吸附操作的判定依据分为三种情况：第一种，六面体镀膜玻璃初始状态下镀膜面b朝上，无需进行竖直拾取组件和移动拾取组件的交换吸附；第二种，六面体镀膜玻璃初始状态下镀膜面b朝下，需要进行竖直拾取组件和移动拾取组件的交换吸附，使得六面体镀膜玻璃发生翻转使得镀膜面b朝上；第三种，六面体镀膜玻璃初始状态下镀膜面b为水平朝向，需要进行竖直拾取组件和移动拾取组件的交换吸附，使得六面体镀膜玻璃发生翻转使得镀膜面b朝上。
20.相比于现有技术，本发明的优点在于：
21.(1)本发明通过ccd相机，对蓝膜晶圆盘内的六面体镀膜玻璃的位置和镀膜面b的朝向进行快速拍照定位和判定，利用相互配合的竖直拾取组件和移动拾取组件，对需要进行翻转的六面体镀膜玻璃进行交换吸附以使得其镀膜面b朝上，无需单独设置翻转机构，简化了翻转操作流程，实现了晶体ab面的快速检测、拾取、翻转以及转移，提高了检测的效率。
22.(2)本发明通过设置在转动盘上的且用来固定移动拾取组件的自转台，方便调整移动拾取组件的朝向，使得其电木吸头朝向六面体镀膜玻璃的镀膜面b,快速实现交换吸附和翻转。
23.(3)本发明通过与ccd相机连接且与转动盘联动的角度调节机构，方便调节ccd相机对六面体镀膜玻璃的拍摄角度，使得ccd相机倾斜拍摄时定位六面体镀膜玻璃的镀膜面b的朝向，进而方便判定是否进行交换吸附以及吸附时移动拾取组件的转动角度。
24.(4)本发明公开的光学晶体ab面的检测方法，代替人工利用显微镜和夹子进行判断和翻转转移，提高了检测速度同时提高准确度，实现快速识别和翻转转移。
附图说明
25.图1为本发明的立体结构示意图；
26.图2为本发明中转动架的装配结构示意图；
27.图3为本发明中平面二维丝杆组件和拾取翻转机构的装配结构示意图；
28.图4为本发明中转动盘的后视结构示意图；
29.图5为本发明中无需交换吸附进行翻转时的状态结构示意图；
30.图6为本发明中需要移动拾取组件转动到晶体下方进行吸附的状态示意图；
31.图7为本发明中需要移动拾取组件转动到晶体侧边进行吸附的状态示意图；
32.图8为本发明中安装架的剖视结构示意图；
33.图9为本发明中转动盘的剖视结构示意图；
34.图10为本发明中角度调节机构的结构示意图；
35.图11为本发明中图10中b处的放大结构示意图；
36.图12为本发明中齿条框的立体结构示意图。
37.图中标号说明：1、作业台；2、转移架；201、转动板；2011、安装槽；202、支撑轴；203、蜗轮；204、蜗杆；205、第一伺服电机；206、防护罩；3、平面二维丝杆组件；301、y轴丝杆组件；302、x轴丝杆组件；4、拾取翻转机构；401、安装架；4011、安装柱；402、ccd相机；403、竖直拾取组件；404、电木吸头；405、转动盘；4051、安装筒；406、自转台；407、移动拾取组件；408、红外测距传感器；409、第二伺服电机；410、第三伺服电机；5、蓝膜晶圆盘；6、检测盒；7、六面体镀膜玻璃；8、安装轴；9、第一被动齿轮；10、齿条框；1001、水平齿条；1002、滑动卡槽；1003、卡接框；11、滑轨；12、偏心盘；13、传动轴；14、第二被动齿轮。
具体实施方式
38.实施例将结合说明书附图，对本技术技术方案进行清楚、完整地描述，基于本技术中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
39.实施例1：
40.本发明提供了一种光学晶体ab面检测装置，请参阅图1-9，包括作业台1，作业台1上放置有对称设置的蓝膜晶圆盘5和检测盒6，蓝膜晶圆盘5上粘接有扩晶后的多个六面体镀膜玻璃7，六面体镀膜玻璃7包括相对设置且镀膜厚度不同的镀膜面a和镀膜面b以及四个切割面c；作业台1上设有设置在蓝膜晶圆盘5和检测盒6之间的转移架2，转移架2连接有驱
动转移架2转动的第一动力机构，转移架2上安装有一组对称设置的平面二维丝杆组件3，平面二维丝杆组件3下方连接有用来拾取和翻转六面体镀膜玻璃7的拾取翻转机构4；
41.拾取翻转机构4包括安装架401，安装架401上安装有用来判断六面体镀膜玻璃7的镀膜面朝向的ccd相机402，安装架401位于ccd相机402内侧固定安装有竖直拾取组件403，竖直拾取组件403外侧设有移动拾取组件407，移动拾取组件407连接有与安装架401转动连接的转动盘405，转动盘405连接有第二伺服电机409；移动拾取组件407固定连接有与转动盘405转动连接的自转台406,自转台406连接有与转动盘405固定连接的第三伺服电机410。
42.具体的，在对六面体镀膜玻璃7进行检测时，启动ccd相机402，ccd相机402对蓝膜晶圆盘5内六面体镀膜玻璃7进行拍照，对六面体镀膜玻璃7的位置进行定位并对其镀膜面进行辨认，然后启动位于蓝膜晶圆盘5上方的平面二维丝杆组件3，平面二维丝杆组件3将拾取翻转机构4移动到定位位置，然后启动竖直拾取组件403，竖直拾取组件403向下移动对定位的六面体镀膜玻璃7进行吸取并抬升；
43.根据镀膜面朝向分为三种情况(图5-7)，第一种，当竖直拾取组件403向下移动吸附在六面体镀膜玻璃7的镀膜面b时，启动转移架2，使得转移架2带动拾取翻转机构4转动一百八十度，使得六面体镀膜玻璃7移动到检测盒6上方，然后再次启动竖直拾取组件403，竖直拾取组件403向下移动将六面体镀膜玻璃7放入到检测盒6内；
44.第二种，当竖直拾取组件403向下移动吸附在六面体镀膜玻璃7的镀膜面a上时，第一步，竖直拾取组件403向上移动使得六面体镀膜玻璃7与蓝膜晶圆盘5脱离；第二步，启动第二伺服电机409，第二伺服电机409带动移动拾取组件407转动九十度到六面体镀膜玻璃7的镀膜面b的下方，第三步，启动移动拾取组件407使得移动拾取组件407对六面体镀膜玻璃7的镀膜面b进行吸附固定，然后，使得竖直拾取组件403与六面体镀膜玻璃7的镀膜面a脱离；第四步，启动第三伺服电机410，第三伺服电机410带动自转台406转动一百八十度，使得六面体镀膜玻璃7发生一百八十度的翻转，使得镀膜面b朝上；第五步，启动转移架2，使得转移架2带动拾取翻转机构4转动一百八十度，使得六面体镀膜玻璃7移动到检测盒6上方，然后再次启动移动拾取组件407带动六面体镀膜玻璃7向下移动放入到到检测盒6内；
45.第三种，当竖直拾取组件403向下移动吸附在六面体镀膜玻璃7的切割面c上时，第一步，竖直拾取组件403向上移动使得六面体镀膜玻璃7与蓝膜晶圆盘5脱离；第二步，启动第二伺服电机409，转动盘405带动移动拾取组件407转动，使得移动拾取组件407朝向六面体镀膜玻璃7的镀膜面b,然后启动移动拾取组件407对六面体镀膜玻璃7进行吸附固定，然后，启动竖直拾取组件403与六面体镀膜玻璃7脱离；第三步，启动转移架2，使得转移架2带动拾取翻转机构4转动一百八十度，使得六面体镀膜玻璃7移动到检测盒6上方，然后再次启动移动拾取组件407带动六面体镀膜玻璃7向下移动放入到到检测盒6内。
46.需要说明的是，在第三种情况时，ccd相机402对蓝膜晶圆盘5内的六面体镀膜玻璃7进行了多角度的拍摄，进而定位六面体镀膜玻璃7的镀膜面b的朝向，进而控制移动拾取组件407转动到镀膜面b的相对一侧。
47.请参阅图2，在本实施例中，转移架2包括转动板201，转动板201下端固定连接有支撑轴202，支撑轴202通过轴承座与作业台1转动连接；第一动力机构包括套接在支撑轴202上的蜗轮203，蜗轮203啮合有蜗杆204，蜗杆204连接有第一伺服电机205。
48.具体的，第一伺服电机205通过蜗杆204和蜗轮203带动支撑轴202和其上的转动板
201转动，实现六面体镀膜玻璃7的转移。
49.在本实施例中，转动板201为矩形板，转动板201两侧开设有用来安装平面二维丝杆组件3的安装槽2011，第一伺服电机205外侧套设有防护罩206。
50.具体的，方便实现平面二维丝杆组件3的安装。
51.请参阅图3和图4，在本实施例中，平面二维丝杆组件3包括纵向设置的y轴丝杆组件301以及与y轴丝杆组件301连接且横向设置的x轴丝杆组件302。
52.在本实施例中，y轴丝杆组件301和x轴丝杆组件302均包括滑动槽、嵌套在滑动槽内的移动块、与移动块螺纹连接的丝杆以及与丝杆连接的丝杆电机，x轴丝杆组件302的移动块与安装架401固定连接。
53.具体的，y轴丝杆组件301对拾取翻转机构4的在纵向方向的位置进行调节，x轴丝杆组件302对拾取翻转机构4在水平方向上的位置进行调节，进而保证拾取翻转机构4在二维平面内移动，定位不同位置的六面体镀膜玻璃7，进行拾取。
54.请参阅图3，在本实施例中，竖直拾取组件403和移动拾取组件407结构相同，二者均包括音圈电机和与音圈电机固定连接的电木吸头404。
55.具体的，通过电木吸头404对六面体镀膜玻璃7进行吸取固定，进而实现快速的转移和翻转。
56.请参阅图8和图9，在本实施例中，转动盘405上设有与其一体成型的安装筒4051，安装架401上设有与安装筒4051配合的安装柱4011，安装筒4051套设在安装柱4011上并与其转动连接，第二伺服电机409与安装架401通过螺栓固定连接，第三伺服电机410通过螺栓与转动盘405后壁固定连接。
57.具体的，实现了转动盘405的安装以及方便其转动，进而带动移动拾取组件407调整位置。
58.请参阅图3，在本实施例中，移动拾取组件407侧壁上安装有红外测距传感器408。
59.具体的，方便调整移动拾取组件407的电木吸头404与六面体镀膜玻璃7的距离，在移动拾取组件407和竖直拾取组件403在交换吸附固定时精准移动其上的电木吸头404，避免二者交换吸附失败造成六面体镀膜玻璃7的掉落。
60.本发明还提供了一种光学晶体ab面检测方法，包括如下步骤：步骤一，将人工采用蓝膜吸附铲平料盘上的六面体镀膜玻璃7，然后对蓝膜进行扩晶，并将扩晶后的蓝膜放置在作业台1上的蓝膜晶圆盘5上；步骤二，通过ccd相机402对蓝膜晶圆盘5上的六面体镀膜玻璃7进行多角度拍摄，对六面体镀膜玻璃7的位置和镀膜面b的朝向进行定位，步骤三，通过拾取翻转机构4对蓝膜晶圆盘5上六面体镀膜玻璃7进行吸取提升，根据步骤二中对六面体镀膜玻璃7的位置和镀膜面b的朝向的定位，判定是否进行竖直拾取组件403和移动拾取组件407进行交换吸附以使得六面体镀膜玻璃7的镀膜面b朝上的操作，然后进行操作，使得六面体镀膜玻璃7的镀膜面b朝上；步骤四，启动转移架2对拾取翻转后的六面体镀膜玻璃7进行水平转移，使得其移动到检测盒6上方，然后将翻转后的六面体镀膜玻璃7放入到检测盒6内。
61.请参阅图5-7，在本实施例中，判定是否进行竖直拾取组件403和移动拾取组件407进行交换吸附以使得六面体镀膜玻璃7的镀膜面b朝上的操作的判定依据分为三种情况：第一种，六面体镀膜玻璃7初始状态下镀膜面b朝上，无需进行竖直拾取组件403和移动拾取组
件407的交换吸附；第二种，六面体镀膜玻璃7初始状态下镀膜面b朝下，需要进行竖直拾取组件403和移动拾取组件407的交换吸附，使得六面体镀膜玻璃7发生翻转使得镀膜面b朝上；第三种，六面体镀膜玻璃7初始状态下镀膜面b为水平朝向，需要进行竖直拾取组件403和移动拾取组件407的交换吸附，使得六面体镀膜玻璃7发生翻转使得镀膜面b朝上。
62.实施例2：
63.本发明提供了一种光学晶体ab面检测装置及其检测方法，请参阅图10-12，本实施例与实施例1的区别在于：ccd相机402连接有角度调节机构；角度调节机构包括与ccd相机402固定连接并与安装架401转动连接的安装轴8，安装轴8连接有摆动动力机构。
64.具体的，通过摆动动力机构带动安装轴8转动，安装轴8带动ccd相机402摆动，然后对蓝膜晶圆盘5内的六面体镀膜玻璃7进行多角度拍照，进而方便识别切割面c朝上的六面体镀膜玻璃7上的镀膜面b的朝向，进而方便判定移动拾取组件407转动的角度。
65.在本实施例中，摆动动力机构包括固定在安装轴8端部的第一被动齿轮9，第一被动齿轮9啮合有与安装架401滑动连接的齿条框10，齿条框10卡接有偏心盘12，偏心盘12固定连接有与安装架401转动连接的传动轴13，传动轴13端部固定连接有与转动盘405啮合的第二被动齿轮14，转动盘405的圆周侧壁上设有与第二被动齿轮14啮合的卡齿。
66.具体的，通过第二伺服电机409带动转动盘405转动，转动盘405通过第二被动齿轮14和传动轴13带动偏心盘12转动，偏心盘12带动齿条框10横向移动，齿条框10通过第一被动齿轮9带动安装轴8和其上固定的ccd相机402转动，进而调整ccd相机402的拍摄角度，实现对六面体镀膜玻璃7多角度拍摄。
67.在本实施例中，齿条框10呈水平l型，齿条框10包括水平齿条1001、与水平齿条1001一体成型且竖直设置的卡接框1003以及设置在水平齿条1001上部的滑动卡槽1002，安装架401内壁固定连接有与滑动卡槽1002配合的滑轨11。
68.具体的，通过转动盘405的转动实现ccd相机402在一定角度内的摆动调节，简化了驱动结构，调节方便。
69.以上，仅为本发明较佳的具体实施方式；但本发明的保护范围并不局限于此。

技术特征：
1.一种光学晶体ab面检测装置，包括作业台(1)，所述作业台(1)上放置有对称设置的蓝膜晶圆盘(5)和检测盒(6)，蓝膜晶圆盘(5)上粘接有扩晶后的多个六面体镀膜玻璃(7)，六面体镀膜玻璃(7)包括相对设置且镀膜厚度不同的镀膜面a和镀膜面b以及四个切割面c；其特征在于，所述作业台(1)上设有设置在蓝膜晶圆盘(5)和检测盒(6)之间的转移架(2)，转移架(2)连接有驱动转移架(2)转动的第一动力机构，转移架(2)上安装有一组对称设置的平面二维丝杆组件(3)，平面二维丝杆组件(3)下方连接有用来拾取和翻转六面体镀膜玻璃(7)的拾取翻转机构(4)；所述拾取翻转机构(4)包括安装架(401)，安装架(401)上安装有用来判断六面体镀膜玻璃(7)的镀膜面朝向的ccd相机(402)，安装架(401)位于ccd相机(402)内侧固定安装有竖直拾取组件(403)，竖直拾取组件(403)外侧设有移动拾取组件(407)，移动拾取组件(407)连接有与安装架(401)转动连接的转动盘(405)，转动盘(405)连接有第二伺服电机(409)；所述移动拾取组件(407)固定连接有与转动盘(405)转动连接的自转台(406),自转台(406)连接有与转动盘(405)固定连接的第三伺服电机(410)。2.根据权利要求1所述的一种光学晶体ab面检测装置，其特征在于，所述ccd相机(402)连接有角度调节机构，角度调节机构包括与ccd相机(402)固定连接并与安装架(401)转动连接的安装轴(8)，安装轴(8)连接有摆动动力机构，摆动动力机构包括固定在安装轴(8)端部的第一被动齿轮(9)，第一被动齿轮(9)啮合有与安装架(401)滑动连接的齿条框(10)，齿条框(10)卡接有偏心盘(12)，偏心盘(12)固定连接有与安装架(401)转动连接的传动轴(13)，传动轴(13)端部固定连接有与转动盘(405)啮合的第二被动齿轮(14)，转动盘(405)的圆周侧壁上设有与第二被动齿轮(14)啮合的卡齿。3.根据权利要求2所述的一种光学晶体ab面检测装置，其特征在于，所述齿条框(10)呈水平l型，齿条框(10)包括水平齿条(1001)、与水平齿条(1001)一体成型且竖直设置的卡接框(1003)以及设置在水平齿条(1001)上部的滑动卡槽(1002)，安装架(401)内壁固定连接有与滑动卡槽(1002)配合的滑轨(11)。4.根据权利要求1所述的一种光学晶体ab面检测装置，其特征在于，所述转移架(2)包括转动板(201)，转动板(201)下端固定连接有支撑轴(202)，支撑轴(202)通过轴承座与作业台(1)转动连接；所述第一动力机构包括套接在支撑轴(202)上的蜗轮(203)，蜗轮(203)啮合有蜗杆(204)，蜗杆(204)连接有第一伺服电机(205)。5.根据权利要求4所述的一种光学晶体ab面检测装置，其特征在于，所述转动板(201)为矩形板，转动板(201)两侧开设有用来安装平面二维丝杆组件(3)的安装槽(2011)，第一伺服电机(205)外侧套设有防护罩(206)。6.根据权利要求1所述的一种光学晶体ab面检测装置，其特征在于，所述平面二维丝杆组件(3)包括纵向设置的y轴丝杆组件(301)以及与y轴丝杆组件(301)连接且横向设置的x轴丝杆组件(302)，所述y轴丝杆组件(301)和x轴丝杆组件(302)均包括滑动槽、嵌套在滑动槽内的移动块、与移动块螺纹连接的丝杆以及与丝杆连接的丝杆电机，x轴丝杆组件(302)的移动块与安装架(401)固定连接。7.根据权利要求1所述的一种光学晶体ab面检测装置，其特征在于，所述竖直拾取组件(403)和移动拾取组件(407)结构相同，二者均包括音圈电机和与音圈电机固定连接的电木吸头(404)。
8.根据权利要求1所述的一种光学晶体ab面检测装置，其特征在于，所述转动盘(405)上设有与其一体成型的安装筒(4051)，安装架(401)上设有与安装筒(4051)配合的安装柱(4011)，安装筒(4051)套设在安装柱(4011)上并与其转动连接，第二伺服电机(409)与安装架(401)通过螺栓固定连接，第三伺服电机(410)通过螺栓与转动盘(405)后壁固定连接，所述移动拾取组件(407)侧壁上安装有红外测距传感器(408)。9.一种光学晶体ab面检测的检测方法，其特征在于，采用如权利要求1-8任一所述的光学晶体ab面检测装置进行检测，包括如下步骤：步骤一，将人工采用蓝膜吸附铲平料盘上的六面体镀膜玻璃(7)，然后对蓝膜进行扩晶，并将扩晶后的蓝膜放置在作业台(1)上的蓝膜晶圆盘(5)上；步骤二，通过ccd相机(402)对蓝膜晶圆盘(5)上的六面体镀膜玻璃(7)进行多角度拍摄，对六面体镀膜玻璃(7)的位置和镀膜面b的朝向进行定位；步骤三，通过拾取翻转机构(4)对蓝膜晶圆盘(5)上六面体镀膜玻璃(7)进行吸取提升，根据步骤二中对六面体镀膜玻璃(7)的位置和镀膜面b的朝向的定位，判定是否进行竖直拾取组件(403)和移动拾取组件(407)进行交换吸附以使得六面体镀膜玻璃(7)的镀膜面b朝上的操作，然后进行操作，使得六面体镀膜玻璃(7)的镀膜面b朝上；步骤四，启动转移架(2)对拾取翻转后的六面体镀膜玻璃(7)进行水平转移，使得其移动到检测盒(6)上方，然后将翻转后的六面体镀膜玻璃(7)放入到检测盒(6)内。10.根据权利要求9所述的一种光学晶体ab面检测的检测方法，其特征在于，在步骤三中判定是否进行竖直拾取组件(403)和移动拾取组件(407)进行交换吸附操作的判定依据分为三种情况：第一种，六面体镀膜玻璃(7)初始状态下镀膜面b朝上，无需进行竖直拾取组件(403)和移动拾取组件(407)的交换吸附；第二种，六面体镀膜玻璃(7)初始状态下镀膜面b朝下，需要进行竖直拾取组件(403)和移动拾取组件(407)的交换吸附，使得六面体镀膜玻璃(7)发生翻转使得镀膜面b朝上；第三种，六面体镀膜玻璃(7)初始状态下镀膜面b为水平朝向，需要进行竖直拾取组件(403)和移动拾取组件(407)的交换吸附，使得六面体镀膜玻璃(7)发生翻转使得镀膜面b朝上。

技术总结
本发明提供了光学晶体检测领域的一种光学晶体AB面检测装置及其检测方法，通过CCD相机，对蓝膜晶圆盘内的六面体镀膜玻璃的位置和镀膜面B的朝向进行快速拍照定位和判定，利用相互配合的竖直拾取组件和移动拾取组件，对需要进行翻转的六面体镀膜玻璃进行交换吸附以使得其镀膜面B朝上，无需单独设置翻转机构，简化了翻转操作流程，实现了晶体AB面的快速检测、拾取、翻转以及转移，提高了检测的效率；公开的光学晶体AB面的检测方法，代替人工利用显微镜和夹子进行判断和翻转转移，提高了检测速度同时提高准确度，实现快速识别和翻转转移。实现快速识别和翻转转移。实现快速识别和翻转转移。


技术研发人员：谢安 谢贤仁 陈永恩 陈孝君 蒋磊 王志坚
受保护的技术使用者：厦门竣铭科技有限公司
技术研发日：2023.05.16
技术公布日：2023/8/6