偏移量的测定方法、测定装置和非暂时性地存储程序的存储介质与流程

1.本发明涉及偏移量的测定方法、测定装置以及非暂时性地存储程序的存储介质。


背景技术：

2.以往，公知有进行半导体晶片的姿势对准的对准器的精度测定装置。该精度测定装置包括：拍摄单元，其在晶片处于基准指标时和利用对准器对晶片进行了姿势对准时，拍摄在以能够装卸的方式安装于晶片载置台上的基准指标的精度测定用晶片的测定表面隔开规定间隔设置的一对标记；以及图像处理装置，其基于从各个拍摄得到的图像信息来测定对准器的精度(例如，参照专利文献1)。
3.另外，还公知有一种电子部件安装装置，其具有：部件安装头；照相机，其取得电子部件的图像；以及图像处理部，其基于畸变校正数据对所取得的电子部件的图像执行畸变校正，基于执行了畸变校正的图像识别电子部件的位置。关于对在该电子部件安装装置的部件位置识别用的照相机中产生的、由照相机姿势以及透镜畸变引起的图像畸变进行校正的方法，通过对设置有点图(dot chart)的畸变校正治具进行拍摄，能够检测角度偏移(例如，参照专利文献2)。此外，还公知有对包括由照相机支承体固定的第1照相机以及第2照相机的立体照相机的光轴方向的偏移进行校正的校正方法。在该校正方法中，能够拍摄校正用的图表，通过将输出的格子点的坐标与预先保持的没有偏移的理想坐标进行比较来制作校正数据(例如，参照专利文献3)。
4.现有技术文献
5.专利文献
6.专利文献1：日本特开2003-318249号公报
7.专利文献2：日本特开2013-239720号公报
8.专利文献3：日本特开2019-090755号公报


技术实现要素：

9.发明所要解决的课题
10.例如在使照相机沿着轴平行移动来对拍摄体进行拍摄时，或者在将照相机固定于轴而拍摄由带式输送机等搬运的拍摄体时，有可能因照相机的设置角度的偏移而导致图像的角度产生偏移。在上述专利文献1至3中，均公开了利用照相机对拍摄体进行拍摄，对拍摄时产生的图像的角度的偏移进行校正这一点。为了提高该校正的精度，存在相对于轴高精度地安装照相机的方法，但导入该方法会导致成本上升。另外，在上述专利文献1至3中，例如作为基于软件的校正，也存在利用照相机对拍摄体进行一次拍摄，仅在一个视野中检测照相机的设置角度的偏移的方法，但现状是在该检测方法中无法期望高的测定精度。
11.本发明是鉴于上述那样的问题点而完成的，其最终的目的在于提供一种测定方法、测定装置以及非暂时性地存储程序的存储介质，能够测定用于对拍摄体进行拍摄的照
相机的设置角度相对于轴的基准方向的偏移量，以低成本且高精度地校正设置角度的偏移。此外，在以下的应用例、实施例中，测定方法、测定装置以及非暂时性地存储程序的存储介质也表示照相机的设置角度相对于轴的基准方向的偏移量的测定方法、测定装置以及非暂时性地存储程序的存储介质。
12.用于解决课题的手段
13.用于解决上述课题的本公开是一种测定方法，其用于测定设置于支承体的照相机的设置角度相对于该支承体的规定的基准方向的偏移量，所述测定方法的特征在于，使用附加有基准指标的目标物，所述基准指标能够确定相对于所述基准方向平行或者具有规定的角度的直线，所述测定方法具有：拍摄步骤，通过使所述照相机或者所述目标物沿着所述基准方向移动，而以不同的视野多次拍摄所述目标物；图像处理步骤，与以所述不同的视野拍摄到的图像中的各个所述基准指标对应地求出基于所述基准指标确定出的所述直线；以及计算步骤，计算使多个所述直线之间的距离为0的旋转角，作为所述设置角度的偏移量。
14.在拍摄步骤中，通过以不同的视野多次拍摄附加有基准指标的目标物，在计算步骤中，能够高精度地计算旋转角作为设置角度的偏移量。因此，通过上述的测定方法测定出的设置角度的偏移量的可靠性高，如果能够准确地掌握设置角度的偏移量，则能够通过手动或自动的手段高精度地校正设置角度的偏移。另外，上述的测定方法简单，能够低成本地校正设置角度的偏移。此外，上述的规定的角度是指目标物以相对于基准方向不平行的状态设置时的、目标物相对于基准方向的角度。无论在目标物相对于基准方向平行地设置的情况下，还是在以不平行的状态设置的情况下，都能够在计算步骤中计算旋转角作为设置角度的偏移量。
15.另外，在本公开中，也可以是，测定方法的特征在于，还具有显示步骤，在该显示步骤中，显示与在所述拍摄步骤中以所述不同的视野拍摄到的所述图像中的各个所述基准指标、在所述图像处理步骤中求出的所述直线以及在所述计算步骤中计算出的所述旋转角中的至少一方有关的数据。由此，能够在视觉上以及数值上掌握产生了设置角度的偏移的情况、设置角度的偏移量。
16.另外，在本公开中，也可以是，测定方法的特征在于，还具有通信步骤，在该通信步骤中，发送与在所述拍摄步骤中以所述不同的视野拍摄到的所述图像中的各个所述基准指标、在所述图像处理步骤中求出的所述直线、以及在所述计算步骤中计算出的所述旋转角中的至少一方有关的数据，接收基于该数据的与所述设置角度的偏移量有关的信息。由此，能够将产生了设置角度的偏移的情况、设置角度的偏移量发送到外部设备，还能够从例如专家等接受用于改善设置角度的偏移的应对方法的反馈。
17.另外，在本公开中，也可以是，测定方法的特征在于，还具有：判断步骤，判断所述基准指标中的污渍是否超过规定的阈值；以及通知步骤，在所述污渍超过所述规定的阈值的情况下，通知所述污渍的位置、所述污渍的等级以及与该等级对应的应对方法。由于基准指标中的污渍，在图像处理步骤中难以准确地识别基准指标，在计算步骤中计算旋转角的精度有可能降低，因此，由此能够准确地掌握与污渍有关的信息，能够抑制计算旋转角的精度降低的可能性。
18.另外，在本公开中，也可以是，测定方法的特征在于，在所述判断步骤中，根据所述基准指标的黑色的像素相对于白色的像素的比例来判断所述污渍。由此，根据黑色的像素
相对于白色的像素的比例来判断污渍，因此容易应用光学检查。
19.另外，在本公开中，也可以是，测定方法的特征在于，还具有：第2计算步骤，计算所述设置角度的偏移量与规定的标准值之差，或者定期地计算所述设置角度的偏移量；以及第2通知步骤，在所述设置角度的偏移量与所述规定的标准值之差、或者所述设置角度的偏移量为规定的一定值以上的情况下，通知警告。由此，能够迅速地掌握设置角度的偏移。
20.另外，在本公开中，也可以是，测定方法的特征在于，在所述计算步骤中，计算与多个所述照相机分别对应的所述旋转角，计算全部的所述旋转角的平均值作为所述设置角度的偏移量。由此，能够以更高的可靠性测定设置角度的偏移量。
21.另外，在本公开中，也可以是，测定方法的特征在于，所述基准指标是在所述目标物上呈直线状排列标注的图形。作为图形，例如有点、十字等，由此，在设计基准指标时，其变化的范围变宽。
22.另外，在本公开中，也可以是，测定方法的特征在于，所述基准指标是在所述目标物上描绘的直线。由此，在设计基准指标时，其变化的范围变宽。另外，在图像处理步骤中容易求出直线。
23.另外，在本公开中，也可以是，测定方法的特征在于，所述基准指标是投影到所述目标物上的直线。例如存在以激光等为介质的投影，由此，容易将具有准确的尺寸的基准指标投影到目标物上。
24.另外，在本公开中，也可以是，测定方法的特征在于，所述基准指标是在所述目标物上呈直线状排列的部件、或者形成于所述目标物上的直线状的构造物。作为在目标物上呈直线状排列的部件，例如有led发光元件等，由此，容易在目标物上形成具有准确的尺寸的基准指标。
25.另外，在本公开中，也可以设为计算机可读取的存储介质，其特征在于，存储有用于使测定装置执行上述的测定方法中的各步骤的程序。
26.另外，本公开也可以包括测定装置，该测定装置具备设置于支承体的照相机，用于测定设置角度相对于该支承体的规定的基准方向的偏移量，所述测定装置的特征在于，所述测定装置使用附加有基准指标的目标物，所述基准指标能够确定相对于所述基准方向平行或者具有规定的角度的直线，所述测定装置具备：图像处理部，其通过使所述照相机或者所述目标物沿着所述基准方向移动，而以不同的视野多次拍摄所述目标物之后，与从所述照相机取得的以所述不同的视野拍摄到的图像中的各个所述基准指标对应地求出基于所述基准指标确定的直线；以及计算部，其计算使多个所述直线之间的距离为0的旋转角，作为所述设置角度的偏移量。
27.通过照相机以不同的视野多次拍摄附加有基准指标的目标物，计算部能够高精度地计算旋转角作为设置角度的偏移量。因此，由上述的测定装置测定出的设置角度的偏移量的可靠性高，如果能够准确地掌握设置角度的偏移量，则能够通过手动或自动的手段高精度地校正设置角度的偏移。另外，上述的测定装置的结构简单，能够低成本地校正设置角度的偏移。此外，无论在目标物相对于基准方向平行地设置的情况下，还是在以不平行的状态设置的情况下，都能够通过计算部计算旋转角作为设置角度的偏移量。
28.另外，在本公开中，也可以是，测定装置的特征在于，还具备显示部，该显示部显示与所述照相机以所述不同的视野拍摄到的所述图像中的各个所述基准指标、所述图像处理
部求出的所述直线、以及所述计算部计算出的所述旋转角中的至少一方有关的数据。通过显示部显示该数据，能够在视觉上以及数值上掌握产生了设置角度的偏移的情况、设置角度的偏移量。
29.另外，在本公开中，也可以是，测定装置的特征在于，还具备通信部，该通信部发送与所述照相机以所述不同的视野拍摄到的所述图像中的各个所述基准指标、所述图像处理部求出的所述直线以及所述计算部计算出的所述旋转角中的至少一方有关的数据，接收基于该数据的与所述设置角度的偏移量有关的信息。由此，能够将产生了设置角度的偏移的情况、设置角度的偏移量发送到外部设备，还能够从例如专家等接受用于改善设置角度的偏移的应对方法的反馈。
30.另外，在本公开中，也可以是，测定装置的特征在于，在所述通信部发送所述数据并接收到与所述设置角度的偏移量有关的信息的情况下，所述显示部显示所述设置角度的偏移已校正完毕的情况。由此，能够保证上述的测定装置的有效性、安全性，能够保证上述的测定装置的精度高。
31.另外，在本公开中，也可以是，测定装置的特征在于，还具备：判断部，其判断所述基准指标中的污渍是否超过规定的阈值；以及通知部，其在所述污渍超过所述规定的阈值的情况下，通知所述污渍的位置、所述污渍的等级以及与该等级对应的应对方法。由此，能够准确地掌握与基准指标中的污渍有关的信息，能够抑制因污渍而导致计算旋转角的精度降低的可能性。
32.另外，在本公开中，也可以是，测定装置的特征在于，所述判断部根据所述基准指标的黑色的像素相对于白色的像素的比例来判断所述污渍。由此，根据黑色的像素相对于白色的像素的比例来判断污渍，因此容易应用光学检查。
33.另外，在本公开中，也可以是，测定装置的特征在于，还具备：第2计算部，其计算所述设置角度的偏移量与规定的标准值之差，或者定期地计算所述设置角度的偏移量；以及第2通知部，其在所述设置角度的偏移量与所述规定的标准值之差、或者所述设置角度的偏移量为规定的一定值以上的情况下，通知警告。由此，能够迅速地掌握设置角度的偏移。
34.另外，在本公开中，也可以是，测定装置的特征在于，所述计算部计算与多个所述照相机分别对应的所述旋转角，计算全部的所述旋转角的平均值作为所述设置角度的偏移量。由此，能够以更高的可靠性测定设置角度的偏移量。
35.另外，在本公开中，也可以是，测定装置的特征在于，所述基准指标是在所述目标物上呈直线状排列标注的图形。由此，在设计基准指标时，图形的变化的范围变宽。
36.另外，在本公开中，也可以是，测定装置的特征在于，所述基准指标是在所述目标物上描绘的直线。由此，在设计基准指标时，其变化的范围变宽。另外，容易通过图像处理部求出直线。
37.另外，在本公开中，也可以是，测定装置的特征在于，所述基准指标是投影到所述目标物上的直线。由此，容易将具有正确的尺寸的基准指标投影到目标物上。
38.另外，在本公开中，也可以是，测定装置的特征在于，所述基准指标是在所述目标物上呈直线状排列的部件、或者形成于所述目标物上的直线状的构造物。由此，容易在目标物上形成具有准确的尺寸的基准指标。
39.另外，在本公开中，也可以是，测定装置的特征在于，在启动时自动地检测所述设
置角度的偏移。由此，能够定期且自动地进行设置角度的偏移的维护。
40.另外，在本公开中，也可以设为计算机可读取的存储介质，其特征在于，存储有用于作为上述的测定装置发挥功能的程序。
41.需要说明的是，本公开可以理解为包含上述单元进行的处理的至少一部分的测定方法。另外，本公开也能够理解为包含上述单元的至少一部分的测定装置。另外，也可以理解为非暂时性地存储用于执行这些方法的各步骤的计算机程序的存储介质。
42.需要说明的是，用于解决上述课题的手段可以尽可能地相互组合使用。
43.发明效果
44.根据本发明，在照相机的设置角度相对于轴的基准方向的偏移量的测定方法、测定装置以及非暂时性地存储程序的存储介质中，能够测定该偏移量，以低成本且高精度地校正设置角度的偏移。
附图说明
45.[图1]图1是表示实施例的测定装置的硬件结构的一例的图。
[0046]
[图2]图2是用于说明使用实施例的测定装置中的照相机对拍摄体进行拍摄时可能产生的问题和用于解决该问题的测定方法的图。
[0047]
[图3]图3是表示实施例的测定装置的一例的功能框图。
[0048]
[图4]图4的(a)是表示使用实施例的测定装置来测定照相机相对于移动轴的设置角度的偏移量的方法的第1说明图。图4的(b)是表示图4的(a)的后续的第2说明图。
[0049]
[图5]图5是表示图4的(b)的后续的第3说明图。
[0050]
[图6]图6是表示实施例的测定装置中的通信部收发的内容的一例的说明图。
[0051]
[图7]图7是表示使用实施例的测定装置的测定方法的过程的流程图。
[0052]
标号说明
[0053]
1：测定装置；10：照相机；11：控制装置；110：图像处理部；111：计算部；112：判断部；113：通知部；114：第2计算部；115：第2通知部；12：数据管理用服务器；13：ui；130：显示部；131：通信部；2：印刷基板；21：拍摄部位；3：移动轴；4：治具；41、42：点图。
具体实施方式
[0054]
[应用例]
[0055]
以下，使用一部分附图对本公开的应用例的概要进行说明。本公开能够应用于图1所示的测定装置1。另外，本公开通过使用测定装置1，能够应用于图4的(a)至图5的说明图所示的方法。
[0056]
图1是表示能够应用本公开的测定装置1的硬件结构的一例的图。本应用例中的测定装置1是照相机10、控制装置11、数据管理用服务器12以及ui(user interface：用户界面)13经由无线或者有线的通信线路相互连接而构成的。
[0057]
控制装置11根据照相机10拍摄到的拍摄体生成拍摄体的图像，使用非暂时地存储预先登记的检查程序的存储介质来处理图像，由此判定拍摄体中的拍摄部位的状态是良好还是不良。控制装置11例如包括cpu等处理器、ram、rom等存储装置、与外部装置的接口等作为硬件结构。控制装置11通过cpu执行非暂时性地存储程序的存储介质，提供以下的图3所
示那样的结构的功能。上述的各功能的一部分或者全部也可以通过asic(application specific integrated circuit：专用集成电路)、fpga(field programmable gate array：现场可编程门阵列)那样的硬件电路来实现。这些各功能部的详细情况在图3的功能框图中进行说明。
[0058]
另外，作为拍摄体的一例，在本应用例中，例示印刷基板2上的拍摄部位21(图2中图示)。作为拍摄部位21，例如有印刷基板2的布线、通孔等。在本应用例中，使用照相机10，对通过搬送线(省略图示)向图1所示的箭头的方向搬送的印刷基板2上的拍摄部位21进行拍摄，但也可以固定印刷基板2来对拍摄部位21进行拍摄。
[0059]
另外，作为控制装置11对照相机10、照射印刷基板2的照明(省略图示)执行的控制，例如有照相机10的光学系统的f值的变更、照明的明亮度的变更、照相机10与照明的校准等。
[0060]
在数据管理用服务器12中存储有多种数据，除了保存有非暂时地存储上述检查程序的存储介质、决定了每个拍摄部位21的检查项目及检查基准的检查内容数据之外，还登记有ui 13中的处理所需的各种信息。
[0061]
图2是用于说明在使用能够应用本公开的测定装置1中的照相机10对拍摄体进行拍摄时可能产生的问题和用于解决该问题的测定方法的图。另外，图2是从上方观察照相机10对拍摄体进行拍摄的方式的概略图。照相机10以能够沿着移动轴3的长度方向(以下，称为基准方向)移动的方式设置于在移动轴3安装的大致矩形的板(省略图示)，但在将照相机10设置于板(以下，包括板在内地称为移动轴3)时，使用照相机10拍摄的图像的基准轴大多不固定为与移动轴3的基准方向平行，大多产生图2所示的θ的量的照相机10相对于移动轴3的设置角度的偏移。若产生设置角度的偏移，则在照相机10的拍摄视野(图2所示的斜线部分)中当然也产生偏移，所获得的图像的分析也因该偏移而变得困难。为了校正该设置角度的偏移量θ，即为了使θ接近作为理想值的0，在本应用例中，使用以下的图3的功能框图所示那样的测定装置1的功能来测定设置角度的偏移量θ。具体的方法在以下的图4的(a)至图5的说明图中进行说明。在此，移动轴3相当于本公开中的支承体。
[0062]
图3是表示能够应用本公开的测定装置1的一例的功能框图。本应用例中的测定装置1的控制装置11构成为大致具备图像处理部110以及计算部111等。在测定图2所示的设置角度(以下，将图2所示的设置角度简称为设置角度)的偏移量θ时，使用以下的图4的(a)至图5所示的、附加有点图41、42的治具4。
[0063]
在测定设置角度的偏移量θ时，首先，使用照相机10拍摄点图41、42，此时，通过使照相机10沿着移动轴3的基准方向移动，或者通过在固定了照相机10的状态下使附加有点图41、42的治具4移动，从而以不同的视野多次拍摄治具4。图像处理部110从照相机10取得以不同的视野拍摄到的图像，与拍摄图像5中的各个点图41、42对应地求出通过点图41、42的直线。另外，该直线的斜率也可以是已知的。计算部111计算使求出的多条直线之间的距离为0的旋转角作为设置角度的偏移量θ。详细内容在图4的(a)至图5的说明图中依次进行说明。
[0064]
图4的(a)是表示使用能够应用本公开的测定装置1来测定设置角度的偏移量θ的方法的第1说明图。如上所述，首先，使照相机10沿着移动轴3的基准方向移动距离l，以不同的视野多次拍摄附加有点图41、42的治具4。在本应用例中，以不同的视野拍摄两次，但次数
不限于此。此外，在图4的(a)中的图像1和图像2的各个图像中，作为拍摄体的治具4相同，以不同的视野拍摄同一治具4上的不同的点图41、42。点图41、42的尺寸预先明确，在图像1和图像2的各个中，在治具4的长度方向(基准方向)上排列的一组点是点图41、42。另外，在图像1和图像2中，只要分别包含点图41、42即可，也可以包含其他内容。在图像1和图像2中，点图41、42以在同一直线上排列的方式配置。另外，在设置治具4时，治具4的长度方向可以与移动轴3的基准方向平行，也可以不平行。在本公开中，规定的角度是在治具4的长度方向相对于移动轴3的基准方向不平行的状态下设置时的、治具4的长度方向相对于移动轴3的基准方向的角度。在此，治具4相当于本公开中的目标物。另外，点图41、42相当于本公开中的基准指标。
[0065]
图4的(b)是表示图4的(a)的后续的第2说明图。图像处理部110将移动轴3的基准方向视为x轴，以沿着图像1和图像2各自的短边方向的两条箭头(图4的(a)所示的两条箭头)与x轴垂直的方式，即以将该两条箭头视为y轴的方式，使图像1和图像2旋转。在旋转后，求出分别通过点图41、42的直线(y＝ax+b1，y＝ax+b2)。这两条直线的斜率相等，相互平行，因此在任意的部位在y轴方向上离开距离p。两条直线的式子基于距离l的值而求出。
[0066]
图5是表示图4的(b)的后续的第3说明图。由于两条直线相互平行，因此若使各个直线向相反方向旋转相同的角度，则两条直线相互一致。该一致时的旋转角φ在几何学上相当于设置角度的偏移量θ。即，计算部111以距离p成为0的方式使图像1和图像2分别向相反方向旋转，计算此时的旋转角φ作为设置角度的偏移量θ。
[0067]
如上所述，通过使用图3的功能框图所示的测定装置1的功能，执行图4的(a)至图5的说明图所示的方法，能够低成本且高精度地测定设置角度的偏移量θ。另外，在本应用例中，对在治具4的长度方向与移动轴3的基准方向平行的状态下设置治具4的例子进行了说明。与此相对，在治具4的长度方向相对于移动轴3的基准方向不平行的状态下设置治具4的情况下，两条直线的数学式(y＝ax+b1、y＝ax+b2)中的斜率a发生变化。然而，即使在该情况下，两条直线的斜率相等且相互平行的情况也没有变化，能够与在治具4的长度方向相对于移动轴3的基准方向平行的状态下设置治具4的情况同样地，计算设置角度的偏移量θ。
[0068]
[实施例]
[0069]
以下，使用附图(也包括在上述的应用例中暂时说明了的附图)，更详细地说明本公开的实施例的测定方法、测定装置1以及非暂时性地存储程序的存储介质。另外，本公开的实施例的测定方法、测定装置1以及非暂时性地存储程序的存储介质并不限定于以下的结构。
[0070]
＜功能结构＞
[0071]
在此，返回图3的说明。本实施例的测定装置1具有与在应用例中说明的测定装置1相同的结构，因此对于在应用例中已说明的内容，省略详细的说明。另外，在本说明书中，对相同的构成要素使用相同的附图标号进行说明。
[0072]
本实施例中的测定装置1的ui 13构成为大致具备显示部130以及通信部131等。显示部130例如是监视器、显示器等，能够将与照相机10拍摄到的图像(图4的(a)所示的图像1和图像2)、图像处理部110求出的两条直线、计算部111计算出的旋转角φ有关的数据可视化地显示。显示部130能够显示图4的(a)至图5的说明图所示那样的内容，但不需要显示其全部的功能。例如，如果是图4的(b)所示的内容，则显示部130只要显示图像1和图像2即可，
也可以不显示两条直线。另外，由于只要知道旋转角φ即可，所以显示部130也可以仅显示如图5所示的内容。
[0073]
通信部131能够自动地向预先设定登记的发送目的地的或者向手动地输入的发送目的地发送与照相机10拍摄到的图像、图像处理部110求出的两条直线、计算部111计算出的旋转角φ有关的数据。另外，也能够从该发送目的地接收基于发送的数据的与设置角度的偏移量θ有关的信息。具体例如以下的图6所示。
[0074]
另外，ui 13也可以具备键盘、鼠标等向控制装置11输入信息的输入部(省略图示)。另外，控制装置11也可以构成为包括ui 13。
[0075]
另外，控制装置11也可以构成为还具备判断部112以及通知部113。在图像处理部110所取得的图像1和图像2(图4的(b)所示的图像1和图像2)中，例如在异物等污渍附着于点图41、42的情况下，难以准确地识别点图41、42，计算部111计算旋转角φ的精度有可能降低。
[0076]
判断部112对在图像处理部110所取得的图像1和图像2中，点图41、42中的污渍是否超过了预定的阈值进行判断。作为污渍的判断基准，例如有点图41、42的黑色的像素相对于白色的像素的比例等，若该比例超过规定的阈值，则判断部112判断为在点图41、42附着有污渍。通知部113具有例如汽笛等警报功能，在点图41、42中的污渍超过规定的阈值的情况下，通知例如污渍的位置、污渍的等级、与该等级对应的应对方法等。另外，也可以由显示部130显示通知部113通知的内容，或者由通信部131向外部设备发送。
[0077]
另外，控制装置11也可以构成为还具备第2计算部114以及第2通知部115。第2计算部114计算设置角度的偏移量θ与规定的标准值之差，或者定期地计算设置角度的偏移量θ。此时，第2计算部114可以基于从图像处理部110取得的数据，或者也可以基于在数据管理用服务器12中存储的从图像处理部110取得的过去的数据，或者也可以基于从照相机10直接取得的数据进行计算。第2通知部115在设置角度的偏移量θ与规定的标准值之差、或者设置角度的偏移量θ为规定的一定值以上的情况下，通知警告。作为通知警告的手段，例如有输出“照相机设置角度偏移标准”、“照相机设置角度的变化量偏移标准值”这样的错误消息的手段。此外，在设置角度的偏移量θ与规定的标准值之差、或者设置角度的偏移量θ小于规定的一定值的情况下，也可以通知关于设置角度的偏移没有问题的意思。另外，也可以由显示部130显示第2通知部115通知的内容，或者由通信部131向外部设备发送。
[0078]
此外，在测定装置1构成为具备多个照相机10的情况下，计算部111也可以计算与多个照相机10分别对应的旋转角φ，计算全部的旋转角φ的平均值作为设置角度的偏移量θ。另外，测定装置1也可以具备在启动时自动地检测设置角度θ的偏移的功能。
[0079]
＜测定方法＞
[0080]
在此，返回到图4的(a)至图5的说明。在测定设置角度的偏移量θ时，使用了包括点图41、42在内的多个点以直线状排列标注的治具4，但治具4的种类不限于此。例如，附加于治具4的图形不限于点，也可以是十字、四边形等。另外，也可以代替点图41、42，而例如是方形图等在治具4上高精度地描绘的直线。此外，也可以使用经由激光等介质投影到治具4上的直线、在治具4上呈直线状排列的led发光元件等部件。另外，这些指标也可以不形成在治具4上，而直接形成在测定装置1上。进而，作为指标，或者也可以使用形成在测定装置1上的直线状的构造物。作为这些构造物的例子，也可以是构成移动轴3的轨道等。
[0081]
图6是表示实施例的测定装置1中的通信部131收发的内容的一例的说明图。作为概要，通信部131向与测定装置1有关的专家(测定装置1的设计者、制造者、管理人等)发送数据，专家进行基于该数据的测定、判断等，通信部131接收基于该数据的与设置角度的偏移量θ有关的信息。
[0082]
作为通信部131向专家发送的数据，例如如上所述的那样，除了照相机10拍摄到的点图41、42的图像、图像处理部110求出的两条直线(也可以仅是各个直线的式子)、计算部111计算出的旋转角φ之外，还存在与测定装置1的检查性能有关的数据、或者测定装置1的外观照片、治具4的照片等。例如，如果发送的数据是点图41、42的图像、两条直线，则专家也能够基于该数据计算旋转角φ，将旋转角φ作为运算的结果进行反馈。在发送的数据是旋转角φ的情况下，假设旋转角φ是接近0的值，则专家能够判断为在照相机10相对于移动轴3的设置上没有问题，否则，能够将手动地修正设置角度的偏移的方法作为应对错误的方法进行提示。如果发送的数据是测定装置1的外观照片，则专家能够确认测定装置1的经年劣化，作为应对错误的方法而提示保养对策等。如果发送的数据是治具4的照片，则能够目视确认点图41、42的污渍，提示治具4的清扫。
[0083]
另外，在通信部131向专家发送上述数据，从专家接收到基于上述数据的与设置角度的偏移量θ有关的信息的情况下，也可以作为设置角度的偏移已校正的证明，而一起接收校正证书、校正证书有效期。此时，可以在显示部130显示校正证书和校正证书有效期，并且校正证书和校正证书有效期也可以是能够更新的方式。此外，在接近校正证书有效期的情况下或者过了校正证书有效期的情况下，也可以在显示部130显示该情况。
[0084]
＜流程图＞
[0085]
图7是表示使用了实施例的测定装置1的测定方法的过程的流程图。在本流程图中，首先，通过使照相机10沿着移动轴3的基准方向移动，或者在固定了照相机10的状态下使附加有点图41、42的治具4移动，而以不同的视野对治具4进行两次拍摄(步骤s101)。此时，以在各个图像中包含点图41、42的方式进行拍摄。另外，拍摄的次数也可以多于两次。在此，步骤s101相当于本公开中的拍摄步骤以及本实施例中的图4的(a)。接着，图像处理部110从照相机10取得以不同的视野拍摄到的图像，与该图像各自中的点图41、42对应地求出通过点图41、42的两条直线(步骤s102)。两条直线相互平行，在任意的部位在规定的方向上离开固定距离。在此，步骤s102相当于本公开中的图像处理步骤以及本实施例中的图4的(b)。接着，计算部111以使两条直线之间的固定距离为0、即两条直线重合而一致的方式，使以不同的视野拍摄到的图像分别向相反方向旋转，计算此时的旋转角φ作为设置角度的偏移量θ(步骤s103)。在此，步骤s103相当于本公开中的计算步骤以及本实施例中的图5。
[0086]
另外，显示部130能够将与在步骤s101中以不同的视野拍摄到的图像、在步骤s102中求出的两条直线、在步骤s103中计算出的旋转角φ有关的数据可视化地显示(步骤s104)。在此，步骤s104相当于本公开中的显示步骤。通信部131能够自动地向预先设定登记的发送目的地或者向手动地输入的发送目的地发送与在步骤s101中以不同的视野拍摄到的图像、在步骤s102中求出的两条直线、在步骤s103中计算出的旋转角φ有关的数据。另外，也能够从该发送目的地接收基于发送的数据的与设置角度的偏移量θ有关的信息(步骤s105)。在此，步骤s105相当于本公开中的通信步骤以及本实施例中的图6。
[0087]
此外，判断部112对在步骤s102中所取得的图像中，点图41、42中的污渍是否超过
了规定的阈值进行判断(步骤s106)。在污渍超过规定的阈值的情况下(步骤s106：是)，判断部112判断为污渍附着于点图41、42。在该情况下，通知部113通知污渍的位置、污渍的等级、与该等级对应的应对方法(步骤s107)。在此，步骤s106相当于本公开中的判断步骤，步骤s107相当于本公开中的通知步骤。在污渍未超过规定的阈值的情况下(步骤s106：否)，通知部113不发挥功能。
[0088]
另外，第2计算部114计算设置角度的偏移量θ与规定的标准值之差，或者定期地计算设置角度的偏移量θ(步骤s108)。此时，第2计算部114可以基于在步骤s102中取得的数据，或者也可以基于在数据管理用服务器12中存储的过去在步骤s102中取得的数据，或者也可以基于在步骤s101中直接取得的数据进行计算。在此，步骤s108相当于本公开中的第2计算步骤。在步骤s108中，第2通知部115在设置角度的偏移量θ与规定的标准值之差、或者设置角度的偏移量θ为规定的一定值以上的情况下，通知警告(步骤s109)。在此，步骤s109相当于本公开中的第2通知步骤。此外，在设置角度的偏移量θ与规定的标准值之差、或者设置角度的偏移量θ小于规定的一定值的情况下，也可以通知关于设置角度的偏移没有问题的意思。
[0089]
＜附记1＞
[0090]
一种测定方法，用于测定设置于支承体(3)的照相机(10)相对于该支承体的规定的基准方向的设置角度的偏移量，其特征在于，具有：拍摄步骤(步骤s101)，使用附加有能够确定相对于所述基准方向平行或者具有规定的角度的直线的基准指标(41、42)的目标物(4)，通过使所述照相机或者所述目标物沿着所述基准方向移动，而以不同的视野多次拍摄所述目标物；图像处理步骤(步骤s102)，与在所述不同的视野中拍摄到的图像中的各个所述基准指标对应地求出基于所述基准指标确定出的所述直线；以及计算步骤(步骤s103)，计算使多个所述直线之间的距离为0的旋转角作为所述设置角度的偏移量。
[0091]
＜附记2＞
[0092]
一种测定装置(1)，其具备设置于支承体(3)的照相机(10)，用于测定设置角度相对于该支承体的规定的基准方向的偏移量，所述测定装置(1)的特征在于，使用附加有能够确定相对于所述基准方向平行或者具有规定的角度的直线的基准指标(41、42)的目标物(4)，所述测定装置具备：图像处理部(110)，其在通过使所述照相机或者所述目标物沿着所述基准方向移动而以不同的视野对所述目标物进行多次拍摄之后，与从所述照相机取得的以所述不同的视野拍摄到的图像中的各个所述基准指标对应地求出基于所述基准指标确定出的直线；以及计算部(111)，其计算使多个所述直线之间的距离为0的旋转角作为所述设置角度的偏移量。

技术特征：
1.一种测定方法，其用于测定设置于支承体的照相机的设置角度相对于该支承体的规定的基准方向的偏移量，所述测定方法的特征在于，使用附加有基准指标的目标物，所述基准指标能够确定相对于所述基准方向平行或者具有规定的角度的直线，所述测定方法具有：拍摄步骤，通过使所述照相机或者所述目标物沿着所述基准方向移动，而以不同的视野多次拍摄所述目标物；图像处理步骤，与以所述不同的视野拍摄到的图像中的各个所述基准指标对应地求出基于所述基准指标确定出的所述直线；以及计算步骤，计算使多个所述直线之间的距离为0的旋转角，作为所述设置角度的偏移量。2.一种测定装置，其具备设置于支承体的照相机，用于测定设置角度相对于该支承体的规定的基准方向的偏移量，所述测定装置的特征在于，所述测定装置使用附加有基准指标的目标物，所述基准指标能够确定相对于所述基准方向平行或者具有规定的角度的直线，所述测定装置具备：图像处理部，其通过使所述照相机或者所述目标物沿着所述基准方向移动，而以不同的视野多次拍摄所述目标物之后，与从所述照相机取得的以所述不同的视野拍摄到的图像中的各个所述基准指标对应地求出基于所述基准指标确定的直线；以及计算部，其计算使多个所述直线之间的距离为0的旋转角，作为所述设置角度的偏移量。3.根据权利要求2所述的测定装置，其特征在于，所述测定装置还具备显示部，所述显示部显示与所述照相机以所述不同的视野拍摄到的所述图像中的各个所述基准指标、所述图像处理部求出的所述直线以及所述计算部计算出的所述旋转角中的至少一方有关的数据。4.根据权利要求2所述的测定装置，其特征在于，所述测定装置还具备通信部，所述通信部发送与所述照相机以所述不同的视野拍摄到的所述图像中的各个所述基准指标、所述图像处理部求出的所述直线以及所述计算部计算出的所述旋转角中的至少一方有关的数据，接收基于该数据的与所述设置角度的偏移量有关的信息。5.根据权利要求4所述的测定装置，其特征在于，在所述通信部发送所述数据并接收到与所述设置角度的偏移量有关的信息的情况下，所述显示部显示所述设置角度的偏移已校正完毕的情况。6.根据权利要求2所述的测定装置，其特征在于，所述测定装置还具备：第2计算部，其计算所述设置角度的偏移量与规定的标准值之差，或者定期地计算所述设置角度的偏移量；以及第2通知部，其在所述设置角度的偏移量与所述规定的标准值之差、或者所述设置角度的偏移量为规定的一定值以上的情况下，通知警告。
7.根据权利要求2所述的测定装置，其特征在于，所述计算部计算与多个所述照相机分别对应的所述旋转角，计算全部的所述旋转角的平均值作为所述设置角度的偏移量。8.根据权利要求2所述的测定装置，其特征在于，所述基准指标是在所述目标物上呈直线状排列标注的图形。9.根据权利要求2所述的测定装置，其特征在于，所述基准指标是在所述目标物上描绘的直线。10.根据权利要求2所述的测定装置，其特征在于，所述基准指标是在所述目标物上呈直线状排列的部件或者形成于所述目标物上的直线状的构造物。11.根据权利要求2所述的测定装置，其特征在于，在启动时自动地检测所述设置角度的偏移。12.一种计算机可读取的存储介质，其特征在于，所述计算机可读取的存储介质存储有用于使计算机作为权利要求2至11中的任一项所述的测定装置发挥功能的程序。

技术总结
本发明提供偏移量的测定方法、测定装置和非暂时性地存储程序的存储介质，能够测定用于对拍摄体进行拍摄的照相机的设置角度相对于轴的基准方向的偏移量，以低成本且高精度地校正设置角度的偏移。使用了用于测定照相机的设置角度相对于轴的基准方向的偏移量的测定装置的测定方法的特征在于，具有：拍摄步骤，以不同的视野多次拍摄附加有能够确定斜率已知的直线的基准指标的目标物；图像处理步骤，与以不同的视野拍摄到的图像中的各个基准指标对应地求出基于基准指标确定出的直线；以及计算步骤，计算使多个直线之间的距离为0的旋转角作为设置角度的偏移量。作为设置角度的偏移量。作为设置角度的偏移量。


技术研发人员：林信吾 靳北平
受保护的技术使用者：欧姆龙株式会社
技术研发日：2023.01.18
技术公布日：2023/8/5