一种微电子实验室去颗粒及化学污染物的FFU净化系统的制作方法

一种微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统
技术领域
1.本发明涉及实验室安装技术领域，具体涉及一种微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统。


背景技术：

2.微电子实验室对环境的温湿度、空气洁净度、震动性、噪音和电磁干扰等都有极高的要求，高精度芯片的光刻机需尽量减小环境和空气中细小颗粒物对光刻工艺的干扰，在实验室建立的位置、设计时要充分考虑各种各种环境影响因素，比如电子束光刻机对气体中的污染物的含量是比较敏感，一旦流动的空气中含有超标的杂质或者污染物时，会对芯片样品质量造成不利影响，同时实验室内的循环风速对芯片样品质量也会产生影响，一旦实验室内的循环风速不均匀，也会造成同批次或者不同批次芯片产品的质量不稳定，因此芯片生产需要在高精密稳定的恒温恒湿百级洁净的环境中(温度22℃
±
0.1℃、湿度
±
2％)才能降低芯片制成中对芯片样品质量的影响。
3.ffu英文全称为(fan filter unit)，中文为风机过滤机组。ffu风机滤网机组可模块化连接使用，使用ffu广泛应用于洁净室、洁净工作台、洁净生产线、组装式洁净室和局部百级等应用场合，适用于在各种环境中获得高级别的洁净环境。它为不同尺寸大小，不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。在新建洁净室、洁净厂房式改造翻新中，即可提高洁净度级别，降低噪音和振动，也可大大降低造价，安装维护方便，是洁净环境的理想部件。
4.现有微电子实验室的实验室内墙组合体顶部会安装ffu风机滤网机组，实验室内的内循环风从实验室内墙组合体底部的防静电地板小孔回风到实验室内外墙形成的风道再回流到ffu风机滤网机组与实验室外墙组合体的顶板之间的空间时，由于风道结构造成风压递减，导致整个实验室内带孔的防静电地板上的回风风速以及整个ffu送风面风速不均匀，越靠近内墙周边的地方风量和风速会越大，从而导致微电子实验室内风速不均匀，风速不均匀会造成同批次或者不同批次芯片产品的质量不稳定。
5.此外，现有技术中，ffu风机滤网机组的安装一般需要2个施工人员站在另外ffu顶面踏板处或t型龙骨上把化学净化模块和高效过滤器从上面往下依次安放在t型龙骨架上，t型龙骨由吊杆吊装在顶板支撑架上，再抬起ffu风机主体箱密封叠放在化学净化模块上；由于没法从t型龙骨架下面安装，属于高空作业的范畴，整个ffu机组重量很重，对施工安全存在隐患；尤其是ffu风机滤网机组中的超高效过滤器需要定期的清理更换，需要多人进行高空作业维修，操作不方便，人工成本高还不安全。


技术实现要素：

6.针对现有技术的不足，本发明提出了一种微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统，不仅可以使得ffu送风层面和地板回风层面的风速均匀一致，而且通过对ffu风机滤网机组的结构设计，极大的方便了ffu风机滤网机组的安装和拆卸。
7.为实现上述技术方案，本发明提供了一种微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统，包括：实验室外墙组合体；安装在实验室外墙组合体内的实验室内墙组合体，所述实验室外墙组合体与实验室内墙组合体之间形成风道；安装在实验室外墙组合体顶部外侧的室外风布风装置；安装在实验室内墙组合体顶部的ffu送风控制系统，所述ffu送风控制系统由多个安装在实验室内墙组合体顶部且成方形矩阵分布的ffu过滤机组组成，所述ffu送风控制系统中呈方形矩阵分布的ffu过滤机组按照送风区域的不同划分为三个可独立控制的ffu送风风速调控组合ⅰ、ffu送风风速调控组合ⅱ和ffu送风风速调控组合ⅲ，每个ffu过滤机组的出风口都安装有风速传感器；安装在实验室内墙组合体底部的地板回风控制系统，所述地板回风控制系统由多块安装在实验室内墙组合体底部且成方形矩阵分布的防静电地板组成，每块防静电地板表面都均匀开设有风孔，所述地板回风控制系统中呈方形矩阵分布的防静电地板按照回风区域的不同划分为三个可独立控制的地面回风风速调控组合ⅰ、地面回风风速调控组合ⅱ和地面回风风速调控组合ⅲ，每块防静电地板的下方均安装有电动风量调节阀；中央控制器，所述中央控制器分别与每个ffu过滤机组、风速传感器、电动风量调节阀电性连接，中央控制器根据风速传感器收集的风速数据设定相应防静电地板下方电动风量调节阀的回风量，使得ffu送风层面和地板回风层面的风速均匀一致。
8.在上述技术方案中，实际工作时，外部经过处理的空气首先经由室外风布风装置通过实验室外墙组合体与实验室内墙组合体顶部之间的风道向安装在实验室内墙组合体顶部的ffu送风控制系统进行布风，ffu送风控制系统由多个安装在实验室内墙组合体顶部且成方形矩阵分布的ffu过滤机组组成，并且按照送风区域的不同划分为三个可独立控制的ffu送风风速调控组合ⅰ、ffu送风风速调控组合ⅱ和ffu送风风速调控组合ⅲ，通过对ffu送风风速调控组合ⅰ、ffu送风风速调控组合ⅱ和ffu送风风速调控组合ⅲ中各个ffu过滤机组的独立控制，可以控制ffu送风风速调控组合ⅰ、ffu送风风速调控组合ⅱ和ffu送风风速调控组合ⅲ对应送风区域的风量和风速(风速可通过安装在ffu过滤机组出风口的风速传感器获得)，然后通过控制地面回风风速调控组合ⅰ、地面回风风速调控组合ⅱ和地面回风风速调控组合ⅲ中各个电动风量调节阀，控制地面回风风速调控组合ⅰ、地面回风风速调控组合ⅱ和地面回风风速调控组合ⅲ对应回风区域的风量和风速，从而使得ffu送风层面和地板回风层面的风速均匀一致，克服了现有技术中实验室内的内循环风从实验室内墙组合体底部的防静电地板小孔回风到实验室内外墙形成的风道再回流到ffu风机滤网机组与实验室外墙组合体的顶板之间的空间时，由于风道结构造成风压递减，导致整个实验室内带孔的防静电地板上的回风风速以及整个ffu送风面风速不均匀，越靠近内墙周边的地方风量和风速会越大的缺陷，提高了芯片产品的质量稳定性。
9.优选的，所述ffu送风风速调控组合ⅰ对应成方形矩阵分布的ffu过滤机组的外围机组，并与地板回风控制系统中的地面回风风速调控组合ⅰ的回风区域相对应；所述ffu送风风速调控组合ⅱ对应成方形矩阵分布的ffu过滤机组的中间机组，并与地板回风控制系统中的地面回风风速调控组合ⅱ的回风区域相对应；所述ffu送风风速调控组合ⅲ对应成方形矩阵分布的ffu过滤机组的中心机组，并与地板回风控制系统中的地面回风风速调控组合ⅲ的回风区域相对应。通过对ffu送风风速调控组合ⅰ和地面回风风速调控组合ⅰ、ffu送风风速调控组合ⅱ和地面回风风速调控组合ⅱ、以及ffu送风风速调控组合ⅲ和地面回
风风速调控组合ⅲ的对应设置，便于对ffu送风层面和地板回风层面中各不同区域的风速控制，形成稳定均匀的送风风速和回风风速。
10.优选的，所述ffu过滤机组包括ffu过滤机组本体、化学净化模块、高效过滤器和铝型材龙骨组件，所述铝型材龙骨组件由四条铝型材龙骨首尾相接拼接而成，铝型材龙骨首尾拼接处通过龙骨连接件固定连接，每个铝型材龙骨的左右两侧均设置有插片对接钩片，铝型材插片通过钩位与插片对接钩片契合后固定在铝型材龙骨上且向外凸出，每个铝型材龙骨的顶部均设置有顶部钩槽，吊杆组件的底部通过t型螺杆嵌入铝型材龙骨的顶部钩槽内，吊杆组件的顶部悬吊在实验室外墙组合体的顶板上，高效过滤器贴合安装在化学净化模块的底部，化学净化模块贴合安装在ffu过滤机组本体的底部，高效过滤器的四个端边分别搭放在插入至四条铝型材龙骨的四个铝型材插片上，风速传感器安装在高效过滤器底部的出风口，以方便高效过滤器处对风速的精准监测。实际安装时，首先利用龙骨连接件将四条铝型材龙骨首尾相接拼接成铝型材龙骨组件，然后使用吊杆组件将组装好的铝型材龙骨组件吊装在实验室的顶板上，然后将高效过滤器、化学净化模块和ffu过滤机组本体安装成一体的ffu组件，再放置在升降机平台上，利用升降机平台将上述ffu组件经由铝型材龙骨组件中心的框孔顶升至铝型材龙骨组件的上方，然后将铝型材插片以斜位插入铝型材龙骨的插片对接钩片的槽内，旋转铝型材插片水平推入，上移后外拉，下移往里推，使得插片对接钩片与铝型材插片的钩位紧密勾连，铝型材插片紧固连接在铝型材龙骨上，铝型材插片作为ffu组件的支撑件，然后控制升降机平台下降，升降机平台在下降的过程中ffu组件搭放在铝型材插片上，实现ffu组件的承托。当需要拆卸ffu组件时，只需使用升降机平台上顶，将ffu组件顶起后，对铝型材插片进行反向操作，将铝型材插片从铝型材龙骨上分离，然后通过升降机平台将ffu组件从铝型材龙骨组件中心的框孔下降至地面即可，极大的方便了ffu风机滤网机组的安装和拆卸。
11.优选的，所述ffu过滤机组本体的前后两个侧面各对应安装有两个不锈钢安全插销，每个不锈钢安全插销内均安装有向外凸出的插针，实际安装时，装好ffu过滤机组本体后，不锈钢安全插销的插针保持凸出状态，可防止龙骨上的某个铝型材插片出问题时，ffu过滤机组本体下落过程中安全插销上的插针会被其它完好的铝型材插片架住，确保不会出现安全事故。
12.优选的，所述吊杆组件包括吊杆、吊杆安装框和t型螺杆，所述t型螺杆的顶部锁紧安装在吊杆安装框的底部，且t型螺杆的t型端头嵌入安装在铝型材龙骨的顶部钩槽内，所述吊杆的底部锁紧固定在吊杆安装框的顶部，吊杆的顶部悬吊在实验室外墙组合体的顶板上，以方便吊杆组件与铝型材龙骨、顶板的快速安装。
13.优选的，每条铝型材龙骨均通过两个吊杆组件悬吊在实验室外墙组合体的顶板上，以确保每条铝型材龙骨的吊装平衡、稳定。
14.优选的，所述ffu过滤机组本体的顶部安装有把手，以方便ffu过滤机组本体的搬运。
15.优选的，所述ffu过滤机组本体包括外壳，风机安装在外壳内，所述外壳顶部与风机正对处设置有入风口，风机的出风口处安装有导流片。实际工作时，通过风机的运转将室外风布风装置的布风从入风口吸入，通过控制风机的功率可以控制入风的风量，并且经过导流片的导流后向实验室内墙组合体内送风。
16.优选的，所述化学净化模块内填充有高比表面积、多微孔的精细三氧化二铝过滤基材，所述三氧化二铝过滤基材表面浸润有强氧化的高锰酸钾和氢氧化钾。实际工作时，高锰酸钾和氢氧化钾分子充分渗透、牢固的吸附在三氧化二铝过滤基材的微细孔内表面，当酸性和有机化学气体分子经过这些毛细微孔时，通过氧化还原和中和反应，能够高效去除微电子元器件制造和清洗过程中产生的各种酸性化学污染气体和挥发性有机污染气体，比如：氯气、hcl、hf、h2no3、溴化氢、硅烷、二氯二氢硅、乙硅烷、三氟化硼、磷烷、砷烷等，产生的无害盐类固体留在基材的微孔里，不形成危废。
17.本发明提供的一种微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统的有益效果在于：
18.(1)本微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统设计合理，可以确保微电子实验室内空气百级洁净度和低浓度化学污染气体，降低了微电子芯片元件实验样品制程中的干扰因数和提高科研人员的实验室内工作环境；独特的ffu上送风下回风风量自动控制微调系统，保证了自上而下的风量风速的均匀一致性。实际工作时，外部经过处理的空气首先经由室外风布风装置通过实验室外墙组合体与实验室内墙组合体顶部之间的风道向安装在实验室内墙组合体顶部的ffu送风控制系统进行布风，ffu送风控制系统由多个安装在实验室内墙组合体顶部且成方形矩阵分布的ffu过滤机组组成，并且按照送风区域的不同划分为三个可独立控制的ffu送风风速调控组合ⅰ、ffu送风风速调控组合ⅱ和ffu送风风速调控组合ⅲ，通过对ffu送风风速调控组合ⅰ、ffu送风风速调控组合ⅱ和ffu送风风速调控组合ⅲ中各个ffu过滤机组的独立控制，可以控制ffu送风风速调控组合ⅰ、ffu送风风速调控组合ⅱ和ffu送风风速调控组合ⅲ对应送风区域的风量和风速(风速可通过安装在ffu过滤机组出风口的风速传感器获得)，然后通过控制地面回风风速调控组合ⅰ、地面回风风速调控组合ⅱ和地面回风风速调控组合ⅲ中各个电动风量调节阀，控制地面回风风速调控组合ⅰ、地面回风风速调控组合ⅱ和地面回风风速调控组合ⅲ对应回风区域的风量和风速，从而使得ffu送风层面和地板回风层面的风速均匀一致，克服了现有技术中实验室内的内循环风从实验室内墙组合体底部的防静电地板小孔回风到实验室内外墙形成的风道再回流到ffu风机滤网机组与实验室外墙组合体的顶板之间的空间时，由于风道结构造成风压递减，导致整个实验室内带孔的防静电地板上的回风风速以及整个ffu送风面风速不均匀，越靠近内墙周边的地方风量和风速会越大的缺陷，减少了空气流动的波动，提高了芯片产品的质量稳定性。
19.(2)本微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统通过对ffu过滤机组的结构设计，极大的方便了ffu风机滤网机组的安装和拆卸。实际安装时，首先利用龙骨连接件将四条铝型材龙骨首尾相接拼接成铝型材龙骨组件，然后使用吊杆组件将组装好的铝型材龙骨组件吊装在实验室的顶板上，然后将高效过滤器、化学净化模块和ffu过滤机组本体安装成一体的ffu组件，再放置在升降机平台上，利用升降机平台将上述ffu组件经由铝型材龙骨组件中心的框孔顶升至铝型材龙骨组件的上方，然后将铝型材插片以斜位插入铝型材龙骨的插片对接钩片的槽内，旋转铝型材插片水平推入，上移后外拉，下移往里推，使得插片对接钩片与铝型材插片的钩位紧密勾连，铝型材插片紧固连接在铝型材龙骨上，铝型材插片作为ffu组件的支撑件，然后控制升降机平台下降，升降机平台在下降的过程中ffu组件搭放在铝型材插片上，实现ffu组件的承托。当需要拆卸ffu组件时，只需使用升降机平台
上顶，将ffu组件顶起后，对铝型材插片进行反向操作，将铝型材插片从铝型材龙骨上分离，然后通过升降机平台将ffu组件从铝型材龙骨组件中心的框孔下降至地面即可，极大的方便了ffu风机滤网机组的安装和拆卸。
附图说明
20.图1为本发明的整体结构装配示意图。
21.图2为本发明中ffu送风控制系统的布局图。
22.图3为本发明中地板回风控制系统的布局图。
23.图4为本发明中ffu过滤机组的立体结构装配示意图。
24.图5为本发明中ffu过滤机组的立体结构爆炸示意图。
25.图6为本发明中ffu过滤机组的装配结构剖视图。
26.图7为本发明中ffu过滤机组的吊杆组件与铝型材龙骨的立体装配结构示意图。
27.图8为本发明中ffu过滤机组的吊杆组件与铝型材龙骨、铝型材插片的装配结构示意图。
28.图9为本发明中ffu过滤机组的铝型材插片与铝型材龙骨的安装步骤结构示意图。
29.图中：1、实验室内墙组合体；2、ffu送风控制系统；21、ffu送风风速调控组合ⅰ；22、ffu送风风速调控组合ⅱ；23、ffu送风风速调控组合ⅲ；211、ffu过滤机组本体；212、安全插销；213、化学净化模块；214、高效过滤器；215、吊杆组件；2151、吊杆；2152、吊杆安装框；2153、t型螺杆；216、龙骨连接件；217、铝型材插片；218、铝型材龙骨；2181、顶部钩槽；2182、插片对接钩片；219、风速传感器；2110、把手；2111、外壳；2112、入风口；2113、风机；2114、导流片；3、地板回风控制系统；31、地面回风风速调控组合ⅰ；32、地面回风风速调控组合ⅱ；33、地面回风风速调控组合ⅲ；4、实验室外墙组合体；5、室外风布风装置；6、电动风量调节阀。
具体实施方式
30.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。本领域普通人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，均属于本发明的保护范围。
31.实施例：一种微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统。
32.参照图1至图9所示，一种微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统，包括：
33.实验室外墙组合体4，所述实验室外墙组合体4为密闭的空间，用于实现微电子实验室的对外分隔。
34.安装在实验室外墙组合体4内的实验室内墙组合体1，所述实验室外墙组合体4与实验室内墙组合体1之间形成风道，室外新风和内循环风可以在实验室外墙组合体4与实验室内墙组合体1之间形成的风道内流动。
35.安装在实验室外墙组合体4顶部外侧的室外风布风装置5，室外风布风装置5用于向微电子实验室内补充新风。
36.安装在实验室内墙组合体1顶部的ffu送风控制系统2，所述ffu送风控制系统2由多个安装在实验室内墙组合体1顶部且成方形矩阵分布的ffu过滤机组组成，所述ffu送风控制系统2中呈方形矩阵分布的ffu过滤机组按照送风区域的不同划分为三个可独立控制的ffu送风风速调控组合ⅰ21、ffu送风风速调控组合ⅱ22和ffu送风风速调控组合ⅲ23，每个ffu过滤机组的出风口都安装有风速传感器219。
37.其中，所述ffu过滤机组包括ffu过滤机组本体211、化学净化模块213、高效过滤器214和铝型材龙骨组件，所述铝型材龙骨组件由四条铝型材龙骨218首尾相接拼接而成，铝型材龙骨218首尾拼接处通过龙骨连接件216固定连接，其中，每个铝型材龙骨218的左右两侧均设置有插片对接钩片2182，铝型材插片217通过钩位与插片对接钩片2182契合后固定在铝型材龙骨218上且向外凸出，每个铝型材龙骨218的顶部均设置有顶部钩槽2181，吊杆组件215的底部通过t型螺杆2153嵌入铝型材龙骨218的顶部钩槽2181内，吊杆组件的顶部悬吊在实验室外墙组合体的顶板上，所述吊杆组件215包括吊杆2151、吊杆安装框2152和t型螺杆2153，所述t型螺杆2153的顶部锁紧安装在吊杆安装框2152的底部，且t型螺杆2153的t型端头嵌入安装在铝型材龙骨218的顶部钩槽2181内，所述吊杆2151的底部锁紧固定在吊杆安装框2152的顶部，吊杆2151的顶部悬吊在实验室外墙组合体的顶板上，通过上述结构设计可以方便吊杆组件215与铝型材龙骨218、顶板的快速安装。且每条铝型材龙骨218均通过两个吊杆组件215悬吊在实验室外墙组合体的顶板上，以确保每条铝型材龙骨218的吊装平衡、稳定。
38.高效过滤器214贴合安装在化学净化模块213的底部，化学净化模块213贴合安装在ffu过滤机组本体211的底部，高效过滤器214的四个端边分别搭放在插入至四条铝型材龙骨218的四个铝型材插片217上。所述ffu过滤机组本体211的前后两个侧面各对应安装有两个不锈钢安全插销212，每个不锈钢安全插销212内均安装有向外凸出的插针，实际安装时，装好ffu过滤机组本体211后，不锈钢安全插销212的插针保持凸出状态，可防止龙骨上的某个铝型材插片217出问题时，ffu过滤机组本体211下落过程中安全插销212上的插针会被其它完好的铝型材插片217架住，确保不会出现安全事故。所述ffu过滤机组本体211的顶部安装有把手2110，以方便ffu过滤机组本体211的搬运。所述高效过滤器214底部安装有风速传感器219，以方便高效过滤器214处对风速的精准监测。
39.本实施例中，所述ffu过滤机组本体211包括外壳2111，风机2113安装在外壳2111内，所述外壳2111顶部与风机2113正对处设置有入风口2112，风机2113的出风口处安装有导流片2114。实际工作时，通过风机2113的运转将室外风布风装置5的布风从入风口2112吸入，通过控制风机2113的功率可以控制入风的风量，并且经过导流片2114的导流后向实验室内墙组合体1内送风。
40.本实施例中，化学净化模块213内填充有高比表面积、多微孔的精细三氧化二铝过滤基材，所述三氧化二铝过滤基材表面浸润有强氧化的高锰酸钾和氢氧化钾。实际工作时，高锰酸钾和氢氧化钾分子充分渗透、牢固的吸附在三氧化二铝过滤基材的微细孔内表面，当酸性和有机化学气体分子经过这些毛细微孔时，通过氧化还原和中和反应，能够高效去除微电子元器件制造和清洗过程中产生的各种酸性化学污染气体和挥发性有机污染气体，比如：氯气、hcl、hf、h2no3、溴化氢、硅烷、二氯二氢硅、乙硅烷、三氟化硼、磷烷、砷烷等，产生的无害盐类固体留在基材的微孔里，不形成危废。本发明通过增加了专项的化学净化模块
213。每小时300以上的循环换气次数在超高效(净化效率99.9995％)的颗粒污染物净化系统和专项配方的化学净化模块213综合技术应用下，确保微电子实验室内空气百级洁净度和低浓度化学污染气体，降低了微电子芯片元件实验样品制程中的干扰因数。
41.本发明通过对ffu过滤机组的结构设计，极大的方便了ffu风机滤网机组的安装和拆卸。实际安装时，首先利用龙骨连接件216将四条铝型材龙骨218首尾相接拼接成铝型材龙骨组件，然后使用吊杆组件215将组装好的铝型材龙骨组件吊装在实验室的顶板上，然后将高效过滤器214、化学净化模块213和ffu过滤机组本体211安装成一体的ffu组件，再放置在升降机平台上，利用升降机平台将上述ffu组件经由铝型材龙骨组件中心的框孔顶升至铝型材龙骨组件的上方，然后将铝型材插片217以斜位插入铝型材龙骨218的插片对接钩片2182的槽内，旋转铝型材插片217水平推入，上移后外拉，下移往里推，使得插片对接钩片2182与铝型材插片217的钩位紧密勾连，铝型材插片217紧固连接在铝型材龙骨218上，铝型材插片217作为ffu组件的支撑件，然后控制升降机平台下降，升降机平台在下降的过程中ffu组件搭放在向外凸出的铝型材插片217上，实现ffu组件的承托。当需要拆卸ffu组件时，只需使用升降机平台上顶，将ffu组件顶起后，对铝型材插片217进行反向操作，将铝型材插片217从铝型材龙骨218上分离，然后通过升降机平台将ffu组件从铝型材龙骨组件中心的框孔下降至地面即可，从而极大的方便了ffu风机滤网机组的安装和拆卸。
42.安装在实验室内墙组合体1底部的地板回风控制系统3，所述地板回风控制系统3由多块安装在实验室内墙组合体底部且成方形矩阵分布的防静电地板组成，每块防静电地板表面都均匀开设有风孔，所述地板回风控制系统中呈方形矩阵分布的防静电地板按照回风区域的不同划分为三个可独立控制的地面回风风速调控组合ⅰ31、地面回风风速调控组合ⅱ32和地面回风风速调控组合ⅲ33，每块防静电地板的下方均安装有电动风量调节阀6。本实施例中，所述ffu送风风速调控组合ⅰ21对应成方形矩阵分布的ffu过滤机组的外围机组，并与地板回风控制系统3中的地面回风风速调控组合ⅰ31的回风区域相对应；所述ffu送风风速调控组合ⅱ22对应成方形矩阵分布的ffu过滤机组的中间机组，并与地板回风控制系统3中的地面回风风速调控组合ⅱ32的回风区域相对应；所述ffu送风风速调控组合ⅲ23对应成方形矩阵分布的ffu过滤机组的中心机组，并与地板回风控制系统3中的地面回风风速调控组合ⅲ33的回风区域相对应。通过对ffu送风风速调控组合ⅰ21和地面回风风速调控组合ⅰ31、ffu送风风速调控组合ⅱ22和地面回风风速调控组合ⅱ32、以及ffu送风风速调控组合ⅲ23和地面回风风速调控组合ⅲ33的对应设置，便于对ffu送风层面和地板回风层面中各不同区域的风速控制，形成稳定均匀的送风风速和回风风速。
43.中央控制器，所述中央控制器分别与每个ffu过滤机组、风速传感器219、电动风量调节阀6电性连接，中央控制器根据风速传感器219收集的风速数据设定相应防静电地板下方电动风量调节阀6的回风量，使得ffu送风层面和地板回风层面的风速均匀一致。
44.本微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统设计合理，可以确保微电子实验室内空气百级洁净度和低浓度化学污染气体，降低了微电子芯片元件实验样品制程中的干扰因数和提高科研人员的实验室内工作环境；独特的ffu上送风下回风风量自动控制微调系统，保证了自上而下的风量风速的均匀一致性。实际工作时，外部经过处理的空气首先经由室外风布风装置5通过实验室外墙组合体4与实验室内墙组合体1顶部之间的风道向安装在实验室内墙组合体1顶部的ffu送风控制系统2进行布风，ffu送风控制系统2由多个
安装在实验室内墙组合体顶部且成方形矩阵分布的ffu过滤机组组成，并且按照送风区域的不同划分为三个可独立控制的ffu送风风速调控组合ⅰ21、ffu送风风速调控组合ⅱ22和ffu送风风速调控组合ⅲ23，通过对ffu送风风速调控组合ⅰ21、ffu送风风速调控组合ⅱ22和ffu送风风速调控组合ⅲ23中各个ffu过滤机组的独立控制，可以控制ffu送风风速调控组合ⅰ21、ffu送风风速调控组合ⅱ22和ffu送风风速调控组合ⅲ23对应送风区域的风量和风速(风速可通过安装在ffu过滤机组出风口的风速传感器获得)，然后通过控制地面回风风速调控组合ⅰ31、地面回风风速调控组合ⅱ32和地面回风风速调控组合ⅲ33中各个电动风量调节阀6，控制地面回风风速调控组合ⅰ31、地面回风风速调控组合ⅱ32和地面回风风速调控组合ⅲ33对应回风区域的风量和风速，从而使得ffu送风层面和地板回风层面的风速均匀一致，克服了现有技术中实验室内的内循环风从实验室内墙组合体1底部的防静电地板小孔回风到实验室内外墙形成的风道再回流到ffu风机滤网机组与实验室外墙组合体的顶板之间的空间时，由于风道结构造成风压递减，导致整个实验室内带孔的防静电地板上的回风风速以及整个ffu送风面风速不均匀，越靠近内墙周边的地方风量和风速会越大的缺陷，减少了空气流动的波动，提高了芯片产品的质量稳定性。
45.以上所述为本发明的较佳实施例而已，但本发明不应局限于该实施例和附图所公开的内容，所以凡是不脱离本发明所公开的精神下完成的等效或修改，都落入本发明保护的范围。

技术特征：
1.一种微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统，其特征在于包括：实验室外墙组合体；安装在实验室外墙组合体内的实验室内墙组合体，所述实验室外墙组合体与实验室内墙组合体之间形成风道；安装在实验室外墙组合体顶部外侧的室外风布风装置；安装在实验室内墙组合体顶部的ffu送风控制系统，所述ffu送风控制系统由多个安装在实验室内墙组合体顶部且成方形矩阵分布的ffu过滤机组组成，所述ffu送风控制系统中呈方形矩阵分布的ffu过滤机组按照送风区域的不同划分为三个可独立控制的ffu送风风速调控组合ⅰ、ffu送风风速调控组合ⅱ和ffu送风风速调控组合ⅲ，每个ffu过滤机组的出风口都安装有风速传感器；安装在实验室内墙组合体底部的地板回风控制系统，所述地板回风控制系统由多块安装在实验室内墙组合体底部且成方形矩阵分布的防静电地板组成，每块防静电地板表面都均匀开设有风孔，所述地板回风控制系统中呈方形矩阵分布的防静电地板按照回风区域的不同划分为三个可独立控制的地面回风风速调控组合ⅰ、地面回风风速调控组合ⅱ和地面回风风速调控组合ⅲ，每块防静电地板的下方均安装有电动风量调节阀；中央控制器，所述中央控制器分别与每个ffu过滤机组、风速传感器、电动风量调节阀电性连接，中央控制器根据风速传感器收集的风速数据设定相应防静电地板下方电动风量调节阀的回风量，使得ffu送风层面和地板回风层面的风速均匀一致。2.如权利要求1所述的微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统，其特征在于：所述ffu送风风速调控组合ⅰ对应成方形矩阵分布的ffu过滤机组的外围机组，并与地板回风控制系统中的地面回风风速调控组合ⅰ的回风区域相对应；所述ffu送风风速调控组合ⅱ对应成方形矩阵分布的ffu过滤机组的中间机组，并与地板回风控制系统中的地面回风风速调控组合ⅱ的回风区域相对应；所述ffu送风风速调控组合ⅲ对应成方形矩阵分布的ffu过滤机组的中心机组，并与地板回风控制系统中的地面回风风速调控组合ⅲ的回风区域相对应。3.如权利要求1所述的微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统，其特征在于：所述ffu过滤机组包括ffu过滤机组本体、化学净化模块、高效过滤器和铝型材龙骨组件，所述铝型材龙骨组件由四条铝型材龙骨首尾相接拼接而成，铝型材龙骨首尾拼接处通过龙骨连接件固定连接，每个铝型材龙骨的左右两侧均设置有插片对接钩片，铝型材插片通过钩位与插片对接钩片契合后固定在铝型材龙骨上且向外凸出，每个铝型材龙骨的顶部均设置有顶部钩槽，吊杆组件的底部通过t型螺杆嵌入铝型材龙骨的顶部钩槽内，吊杆组件的顶部悬吊在实验室外墙组合体的顶板上，高效过滤器贴合安装在化学净化模块的底部，化学净化模块贴合安装在ffu过滤机组本体的底部，高效过滤器的四个端边分别搭放在插入至四条铝型材龙骨的四个铝型材插片上，风速传感器安装在高效过滤器底部的出风口。4.如权利要求3所述的微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统，其特征在于：所述ffu过滤机组本体的前后两个侧面各对应安装有两个不锈钢安全插销，每个不锈钢安全插销内均安装有向外凸出的插针。5.如权利要求3所述的微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统，其特征在于：所述吊杆组件包括吊杆、吊杆安装框和t型螺杆，所述t型螺杆的顶部锁紧安装在吊杆安
装框的底部，且t型螺杆的t型端头嵌入安装在铝型材龙骨的顶部钩槽内，所述吊杆的底部锁紧固定在吊杆安装框的顶部，吊杆的顶部悬吊在实验室外墙组合体的顶板上。6.如权利要求3所述的微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统，其特征在于：每条铝型材龙骨均通过两个吊杆组件悬吊在实验室外墙组合体的顶板上。7.如权利要求3所述的微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统，其特征在于：所述ffu过滤机组本体的顶部安装有把手。8.如权利要求3所述的微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统，其特征在于：所述ffu过滤机组本体包括外壳，风机安装在外壳内，所述外壳顶部与风机正对处设置有入风口，风机的出风口处安装有导流片。9.如权利要求3所述的微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统，其特征在于：所述化学净化模块内填充有高比表面积、多微孔的精细三氧化二铝过滤基材，所述三氧化二铝过滤基材表面浸润有强氧化的高锰酸钾和氢氧化钾。

技术总结
本发明提供了一种微电子实验室去颗粒及化学污染物的FFU净化系统，包括：实验室外墙组合体；安装在实验室外墙组合体内的实验室内墙组合体；安装在实验室外墙组合体顶部外侧的室外风布风装置；安装在实验室内墙组合体顶部的FFU送风控制系统；安装在实验室内墙组合体底部的地板回风控制系统；以及中央控制器，中央控制器根据风速传感器收集的风速数据设定相应防静电地板下方电动风量调节阀的回风量，使得FFU送风层面和地板回风层面的风速均匀一致。本微电子实验室去颗粒及化学污染物的FFU净化系统不仅可以使得FFU送风层面和地板回风层面的风速均匀一致，而且通过对FFU风机滤网机组的结构设计，极大的方便了FFU风机滤网机组的安装和拆卸。组的安装和拆卸。组的安装和拆卸。


技术研发人员：唐汉湘 邓财亮 孙英健 黄科元 林奇豪
受保护的技术使用者：广州澳企实验室技术股份有限公司
技术研发日：2023.06.19
技术公布日：2023/8/21