用于射束系统的惰性气体样本转移的制作方法

1.所发明所公开的技术总体上涉及用于射束系统的样本制备，并且具体地涉及在用于射束系统的惰性气体环境下的样本转移。


背景技术：

2.带电粒子束系统，诸如聚焦离子束(fib)系统和电子束系统，被用于创建和改变微观结构，因为带电粒子束可被聚焦到小于十分之一微米的束斑。此类射束系统可用于通过溅射、化学辅助离子束蚀刻、化学辅助电子束蚀刻等对材料进行微加工，并且还可用于在样本上直接沉积材料。以这种方式，射束系统可用于微机电系统(mems)、半导体和薄膜电池的微米和纳米级制造。


技术实现要素：

3.提供了用于将惰性气体环境内的样本转移到射束系统的真空室和从射束系统的真空室转移样本的各种方法。在一个示例中，一种装置包括：容器，该容器被配置为在传送期间储存样本，该容器能够在闭合构型与开启构型之间进行调节；惰性气体储存室，该惰性气体储存室被配置为储存惰性气体；和阀，该阀被配置为在容器处于闭合构型时选择性地允许惰性气体从惰性气体储存室流到容器。以这种方式，样本可在传送期间以及在射束系统真空室通气到大气时保持在惰性气体环境中，从而减少样本暴露于大气，并且随后降低样本的化学反应(诸如样本的氧化或氮化)的可能性或速率。
4.根据参考附图进行的以下详细描述，所公开的技术的前述和其他目的、特征和优点将变得更加明显。
附图说明
5.图1示出了例示根据示例的示例性射束系统的框图。
6.图2示出了例示根据示例的示例性样本转移舱的框图。
7.图3示出了例示根据示例的示例性方法的框图，该方法用于利用图2的样本转移舱转移样本以便利用射束系统成像。
8.图4示出了例示根据示例的示例性方法的高级流程图，该方法用于利用图2的样本转移舱转移样本以便利用射束系统成像。
9.图5示出了例示根据示例的另一示例性样本转移舱的框图。
10.图6示出了例示根据示例的示例性方法的框图，该方法用于利用图5的样本转移舱转移样本以便利用射束系统成像。
11.图7示出了例示根据示例的另一示例性方法的高级流程图，该方法用于利用图5的样本转移舱转移样本以便利用射束系统成像。
12.图8示出了例示根据示例的处于第一构型的示例性样本转移舱的透视图的图。
13.图9示出了例示根据示例的处于第二构型的图8的样本转移舱的透视图的图。
14.图10示出了例示根据示例的图8的样本转移舱的透视横剖视图的图。
15.图11示出了例示根据示例的示例性方法的高级流程图，该方法用于利用图8的样本转移舱转移样本以便利用射束系统成像。
具体实施方式
16.本公开涉及转移用于射束系统的样本。具体地，提供了用于在用于射束系统的惰性气体环境下转移样本的系统、装置和方法。可使用带电粒子束系统(诸如图1中描绘的双射束系统)对样本进行成像和处理。尽管此类射束系统包括真空室，该真空室在样本被射束系统研究或处理时被抽吸到真空，但是样本在暴露于空气时可能容易发生不希望的化学变化，例如氧化或氮化。如本文进一步所述，样本转移舱可保持样本完全浸入惰性气体(诸如氩气)中以保存样本。当真空室被抽空时，样本转移舱允许样本暴露在真空室内以用于成像和/或处理。此外，为了在从真空室取出样本时继续保存样本，样本转移舱包括储存惰性气体的内置惰性气体储存室，使得样本转移舱可在舱密封在真空室中的同时用惰性气体填充自身。样本转移舱可通过控制样本转移舱的容器和惰性气体储存室之间的阀来填充自身，其中样本可储存在该容器中。在一些示例中，可通过调整带电粒子束系统的真空室中的载物台的位置来将阀在开启位置与闭合位置之间调整。当样本转移舱从带电粒子束系统移除时，惰性气体储存室可附接到样本转移舱的其余部分。此外，样本转移舱的容器被配置为在转移期间储存样本并且可在开启构型与闭合构型之间进行调节。当容器处于开启构型时，容器与围绕样本转移舱的容积(诸如真空室或大气)流体连通，并且当容器处于闭合构型时，容器不与围绕样本转移舱的容积流体连通。换句话说，样本转移舱的容器在处于闭合构型时可被密封而不与外部流体连通，并且在处于开启构型时可被开封而与外部流体连通。另外，如本文进一步讨论的，当容器处于开启构型时，储存在样本转移舱内的样本可被带电粒子束直接照射，而当容器处于闭合构型时，样本可不被带电粒子束直接照射。样本转移舱的一个示例(诸如图2中描绘的样本转移舱)可基于舱内的惰性气体相对于周围空气压力的压力将样本密封在舱内。用于将样本转移到射束系统和从射束系统转移样本的方法(诸如图3和图4中描绘的方法)可因此包括将真空室抽吸以开启样本转移舱。样本转移舱的另一个示例(诸如图5中描绘的样本转移舱)可通过将平台移动到样本转移舱的主体上，例如通过将平台锁定到主体上，例如通过将平台拧到主体上，来将样本密封在舱内。用于将样本转移到射束系统和从射束系统转移样本的方法(诸如图6和图7中描绘的方法)因此可包括例如通过旋转并拧松平台来相对于舱的主体移动舱的平台，从而解锁样本转移舱并且由此开启样本转移舱。样本转移舱的又一个示例(诸如图8-10中描绘的样本转移舱)可包括用于致动样本转移舱的盖的马达。用于利用这种样本转移舱将样本转移到射束系统和从射束系统转移样本的方法(诸如图11中描绘的方法)因此可包括控制样本转移舱选择性地开启和关闭盖以及选择性地控制阀来用惰性气体填充该舱。
17.参见图1，在一个代表性示例中，多射束系统可被配置作为双射束系统100，该双射束系统包括整体以102指示的扫描电子显微镜(sem)和整体以104指示的离子束柱。sem 102可包括一个或多个带电粒子束(cpb)透镜，诸如聚束透镜116和物镜106。在一些示例中，一个或多个cpb透镜可为磁透镜，并且特别地，物镜106可为磁物镜。离子束柱104被布置成向工件w提供聚焦离子束(fib)，并且sem 102被安置用于产生工件w的图像。工件w包括正被成
像和/或处理的样本，该样本经由如本文进一步描述的样本转移舱170被转移到双射束系统100和从该双射束系统转移。
18.sem 102和离子束柱104可安装到真空室108，该真空室容纳用于保持工件w的可移动定位系统110。可使用真空泵(例如，耦接到真空室108的真空泵180)将真空室108抽空。如下面进一步详细讨论的，定位系统110可能够相对于坐标系150沿着所示的x轴、y轴和/或z轴移动，其中y轴垂直于页面平面，或者可选地沿着倾斜(t)轴和旋转(r)轴移动。在一些示例中，sem 102可垂直地布置在工件w上方并且可用于将工件w成像，离子束柱104可以一定角度布置并且可用于对工件w进行机械加工和/或处理。图1示出了sem 102和离子束柱104相对于工件w的示例性取向。
19.sem 102可包括电子源112，并且可被配置为操纵来自电子源112的“原始”辐射束并且对其执行操作，诸如聚焦、像差减轻、裁剪(使用孔径)、滤波等。sem 102可产生沿着粒子光轴115传播的输入带电粒子束114(例如，电子束)。sem 102的一个或多个透镜(例如，cpb透镜)诸如聚光透镜116和物镜106被配置为将射束114聚焦到工件w上。在一些示例中，sem 102可设置有偏转单元118，该偏转单元可被配置为引导射束114。例如，射束114可以扫描运动(例如，光栅或矢量扫描)被引导穿过正被研究的样本或待处理的工件。
20.双射束系统100还可包括计算机处理舱和/或控制器128，用于控制偏转单元118、带电粒子束(cpb)透镜106、116和检测器(未示出)等，并且用于在显示单元上显示从检测器收集的信息。在一些情况下，提供控制计算机130以建立各种激励、记录成像数据，并且一般地控制sem和fib两者的操作。
21.离子束柱104可包括离子源(例如，等离子体源120)和离子束光学器件122。在例示的示例中，离子束柱104是等离子体聚焦离子束(pfib)，然而，在其他示例中，离子束柱104可为具有液体金属离子源(lmis)的标准聚焦离子束(fib)，或与聚焦离子束柱兼容的任何其他离子源。离子束柱104可产生离子束124和/或沿着离子光轴125引导该离子束。如上所述，离子柱104可用于对工件w执行成像、处理和/或机加工操作，诸如切割、铣削、蚀刻、沉积等。
22.在离子束为pfib的示例中，离子源120可经由气体歧管140流体耦接到多种气体，该气体歧管包括由相应阀耦接到离子源120的气体源。在离子源120的操作期间，可引入气体，其中该气体变得带电或离子化，从而形成等离子体。从该等离子体提取的离子然后可通过离子束柱104加速，变成离子束。在其他示例中，系统100可包括一个或多个激光器，或其他类型的铣削或诊断工具。
23.尽管本文关于图1描述了多射束系统，但是应当理解，在其他例示性和非限制性示例中，可将样本转移到仅具有fib柱的带电粒子束系统、仅包括sem或透射电子显微镜(tem)的其他单射束带电粒子束系统的真空室，或者转移到配备有宽离子束(bib)的系统。
24.如上所述，此类多射束系统可包括被配置为保持和定位工件w的定位系统(例如，载物台)110。定位系统110可以多个自由度来定位/移动载体元件，包括线性移动(例如，以选择用于在工件上分析的特定区域)和/或角移动或旋转移动(例如，以实现工件相对于仪器的选定角度)。
25.如上所述，工件w可能对样本的化学反应敏感，诸如在空气中氧化或氮化。尽管如上所述使用真空泵180抽空真空室108，但是在将工件w转移到真空室108时并且在抽空真空
室108的大气之前，以及在从真空室108取出工件w时，工件w可暴露于空气。为了避免样本的化学反应，诸如工件w的氧化或氮化，可经由将工件w储存在惰性气体环境中的样本转移舱170来将工件w转移进真空室108和从该真空室转移出去。例如，样本转移舱170可在氩气或另一种稀有气体下储存工件w，但是应当理解，可使用惰性混合物气体，具体取决于工件w的组成。为了在对真空室108通气来使得样本转移舱170可从真空室108移除之前将工件w固定在惰性气体环境中，样本转移舱170包括惰性气体储存室172，该惰性气体储存室被配置为用惰性气体填充限定用于储存工件w的容积的隔室或容器。
26.在一些示例中，例如，在利用双射束系统100进行成像和/或处理期间，工件w可与样本转移舱170分离。例如，样本转移舱170可对接到安装在真空室108中的保持器175。用于这种样本转移舱170的示例性系统和方法在本文中参考图2-7进一步描述。在其他示例中，样本转移舱170可安装到定位载物台110并且可在利用双射束系统100进行成像和/或处理期间保持工件w。用于这种样本转移舱170的示例性系统和方法在本文中参考图8-11进一步描述。
27.图2示出了例示根据示例的用于样本转移舱201的示例性系统200的框图。样本转移舱201包括储存惰性气体207(诸如氩气)的惰性气体容器205。样本转移舱201还包括用于储存样本220的容器208，该容器可包括上文所述的工件w。具体地，容器208包括形成用于储存样本220的样本容积212的壳体或主体210。如所描绘的，主体210形成限定样本容积212的容器208，其具有包括样本容积212的未被主体210包围的一侧的开口部分。样本转移舱201还包括样本保持器或平台222，样本220定位在该样本保持器或平台上。主体210与平台222之间的空间可由垫圈213密封，作为例示性和非限制性示例，该垫圈可包括o形环。以这种方式，平台222被配置为覆盖样本容积212的开口部分并且在闭合构型中密封样本容积，并且平台222可从主体210移除以将样本容积212开封。
28.样本转移舱201还包括阀209，该阀被配置为当阀209处于开启位置时允许惰性气体容器205中的惰性气体207流入样本容积212中。在一些示例中，样本转移舱201还可包括一个或多个阀弹簧215和216，这些阀弹簧被配置为在惰性气体容器205与主体210之间施加压力，从而将阀209保持在如所描绘的闭合位置。在闭合位置，惰性气体207不会从惰性气体容器205流到样本容积212。然而，应当理解，可使用各种带阀连接来耦接并且选择性地允许惰性气体207从惰性气体容器205转移到样本容积212。
29.如所描绘的，样本转移舱201可定位在射束系统的载物台224上，该射束系统可包括可移动定位系统110作为例示性示例。此外，样本转移舱201可适于停靠在系统200的保持器230中。例如，保持器230可定位在双射束系统100的真空室108内，因此保持器230可包括保持器175。保持器230可被配置为当样本转移舱201定位在保持器230内时抓住样本转移舱201。例如，保持器230可被机电地致动以抓住样本转移舱201。又如，保持器230可包括闩锁设备，当样本转移舱201被向上按压到保持器230中时，该闩锁设备将样本转移舱201闩锁，其中当样本转移舱201再次被向上按压到保持器230中时，该闩锁设备解除样本转移舱201的闩锁。在不同的示例中，这种闩锁设备可为机械致动或电致动的。再如，保持器230和样本转移舱201可被配置为使得样本转移舱201可从一侧插入保持器230，其中保持器230被配置为当舱201插入保持器230时固定惰性气体容器205和主体210，使得当载物台224远离保持器230降低时主体210与平台222分离。
30.可移动载物台224可选择性地在射束系统的真空室内移动以将样本浸入惰性气体环境中以便于转移。作为例示性示例，图3示出了例示根据示例的示例性方法300的框图，该方法用于利用样本转移舱201转移样本以便利用射束系统诸如双射束系统100成像。
31.方法300开始于305。在305处，将样本转移舱201定位在射束系统的真空室(诸如双射束系统100的真空室108)内的载物台224上。样本220定位在样本容积212内，其中样本容积212填充有惰性气体207，如样本转移舱201的阴影区域所描绘的。例如，当样本转移舱201位于储物箱中时，样本容积212可填充有惰性气体207，并且作为例示性示例，样本容积212内的压力可小于1巴。样本转移舱201的上部(例如，主体210和惰性气体容器205)和样本转移舱201的下部(例如，平台222)由于压差(诸如周围空气的大气压)而经由垫圈213被压在一起并密封，因为周围空气的大气压力为约一巴。载物台224被控制为将样本转移舱201定位在保持器230下方。
32.在310处，载物台224在向上(例如，+z)方向上移动以将样本转移舱201停靠在保持器230内。当样本转移舱201停靠在保持器230内时，真空室被抽吸以排空空气，因此降低真空室内的压力。因此，样本容积212内的惰性气体相对于真空室的所得过压有助于开启样本转移舱201。
33.因此，在315处，载物台224被控制为在样本转移舱201的上部停靠在保持器230中时在向下(例如，-z)方向上移动。当样本容积212被开封时，平台222和样本220从样本转移舱201的上部释放。在320处，载物台224被控制为在一个方向(例如，作为例示性和非限制性示例，+x方向)上移动以将样本220定位在sem柱和/或fib柱322的射束路径内。因此可通过控制柱322来将样本220成像和/或成形。
34.在将样本220成像和/或成形之后，在325处载物台224被控制为移回到对接的样本转移舱201(例如，作为例示性和非限制性示例，在-x方向上)。如所描绘的，样本容积212没有填充惰性气体。然而，样本容积212由垫圈213密封并且在样本220周围处于高真空。
35.在330处，载物台224被控制为在向上(例如，+z)方向上移动以开启阀209，使得惰性气体207从惰性气体容器205流动以填充围绕样本220的样本容积212。如所描绘的，载物台224的向上运动使弹簧215和216压缩以开启阀209。在用惰性气体207填充样本容积212之后，样本容积212和惰性气体容器205中的总压力略小于1巴。然后对射束系统的真空室进行通气，直到周围压力达到大气压力(例如，1巴)，从而密封样本容积212并将样本转移舱201保持在一起。
36.在335处，载物台224被控制为在向下(例如，-z)方向上远离保持器230移动以从保持器230移除样本转移舱201。然后可从真空室移除样本转移舱201，例如以将样本220转移到储物箱、另一射束系统、离子抛光机或另一系统，其中样本220在这种转移期间保持在密封样本容积212的惰性气体环境中。
37.为了进一步例示样本转移舱201可如何用于在惰性气体环境下转移样本，图4示出了例示根据示例的示例性方法400的高级流程图，该方法用于利用样本转移舱201转移样本以便利用射束系统诸如双射束系统100成像和/或成形。作为例示性和非限制性示例，方法400可被实施为存储在控制器128的非暂态存储器中的可执行指令，当由控制器128执行时，该可执行指令使得控制器128执行本文描述的动作，但应了解，这些动作中的一个或多个可由射束系统的操作者手动执行，如本文进一步讨论。
38.方法400开始于405。在405处，方法400将样本转移装置或样本转移舱定位在射束系统的载物台上。样本转移舱可例如由操作者手动地定位在射束系统的载物台上，或者在自动设置下，样本转移舱可例如经由机械臂自动地定位在射束系统的载物台上。样本转移舱包括待成像和/或成形或以其他方式利用射束系统处理的样本，并且样本被浸入样本转移舱中的惰性气体诸如氩气中，其中样本容积中的惰性气体压力小于大气压力，使得样本转移舱由于周围空气的较高大气压力而被密封。
39.在410处，方法400控制载物台位置以将转移舱或样本转移舱定位在射束系统的保持器(诸如保持器175或230)中。样本转移舱可停靠在保持器中，使得保持器抓住或闩锁到样本转移舱上。在415处，方法400例如使用一个或多个真空泵180对真空室进行抽吸，直到真空室达到真空压力。一旦真空室的压力小于样本转移舱的样本容积内的惰性气体压力，样本转移舱由于样本容积内的惰性气体的过压而开始开封。在420处，方法400控制载物台位置以开启样本转移舱或样本转移装置，例如通过将其上定位有样本220的平台222远离样本转移舱201的其余部分降低。
40.在425处，方法400随后控制载物台位置以将样本定位在射束系统的射束路径中。此后，在430处，方法400控制射束系统执行样本的成像和/或成形。
41.一旦完成样本的成像和/或其他处理，方法400就继续到435。在435处，方法400控制载物台位置以关闭样本转移舱或样本转移装置，例如通过将其上定位有样本220的平台222移回到样本转移舱201的上部部分并且将平台222压抵主体210和/或垫圈213。在440处，方法400随后控制载物台位置以用惰性气体(诸如氩气)填充样本容积。例如，方法400能够控制载物台位置向上移动，从而将阀弹簧215和216压缩以开启阀209，使得惰性气体207从惰性气体容器205流到样本容积212。例如，方法400可向上按压持续阈值时间量以允许用惰性气体207填充样本容积212，然后一旦该阈值时间量过去就停止向上按压以保持阀209开启。另选地，应当理解，可经由压力传感器监测样本容积212的压力以确定样本容积何时达到所需的惰性气体压力，此时方法400可停止向上按压以保持阀209开启。在一些示例中，惰性气体容器205可储存足够的氩气以在再填充例如多个巴的惰性气体207之前用于多个加压循环和/或舱转移。
42.在用惰性气体填充样本容积之后，方法400继续到445，其中方法400使真空室通气到大气压，从而由于真空室和样本容积的相对压力而将样本转移装置或转移舱密封。在450处，方法400控制载物台位置以将样本转移舱定位成远离保持器。在455处，方法400从载物台移除样本转移装置或转移舱。样本转移舱可例如由操作者手动地从射束系统的载物台移除，或者在自动设置下，样本转移舱可经由上文提到的机械臂自动地从射束系统的载物台移除。然后方法400返回。
43.因此，提供了一种样本转移舱，其中样本由于样本容积的惰性气体压力相对于周围大气压力而被密封在惰性气体环境内。样本转移舱允许在将样本保持在惰性气体环境内的同时使样本被传送到射束系统的真空室和从射束系统的真空室传送，从而减少样本暴露于大气。
44.尽管当惰性气体压力小于大气压力时，样本转移舱201将样本容积内的样本密封成与大气隔离，但在其他示例中，即使当样本容积内的惰性气体压力高于大气压力时，样本转移舱也可将样本密封成与大气隔离。作为例示性和非限制性示例，图5示出了例示根据示
例的用于另一个样本转移舱501的示例性系统500的框图，该样本转移舱将样本520密封在样本容积512内，而不管样本容积512内的惰性气体压力如何。类似于样本转移舱201，样本转移舱501包括储存惰性气体507诸如氩气的惰性气体容器505，和包括形成用于储存样本520的样本容积512的壳体或主体510的容器508，该容器可包括上文所述的工件w。样本转移舱501还包括样本保持器或平台522，样本520定位在该样本保持器或平台上。容器508的一侧包括开口部分或开口侧，当样本转移舱501的容器508处于闭合构型时，该开口部分或开口侧被平台522覆盖。在这种闭合构型中，主体510与平台522之间的空间可由垫圈513密封，从而密封样本容积512，作为例示性和非限制性示例，该垫圈可包括o形环。
45.样本转移舱501还包括阀509，该阀被配置为当阀509处于开启位置时允许惰性气体容器505中的惰性气体507流入样本容积512中。样本转移舱501还可包括一个或多个阀弹簧515和516，这些阀弹簧被配置为在惰性气体容器505与主体510之间施加压力，从而将阀509保持在如所描绘的闭合位置。在闭合位置，惰性气体507不会从惰性气体容器505流到样本容积512。
46.如所描绘的，样本转移舱501可定位在射束系统的载物台524上，该射束系统可包括可移动定位系统110作为例示性示例。此外，样本转移舱501可适于停靠在系统500的保持器530中。例如，保持器530可定位在双射束系统100的真空室108内，因此保持器530可包括保持器175。保持器530可被配置为当样本转移舱501定位在保持器530内时抓住样本转移舱501。例如，保持器530可被机电地致动以抓住样本转移舱501。又如，保持器530可包括闩锁设备，当样本转移舱501被向上按压到保持器530中时，该闩锁设备将样本转移舱501闩锁，其中当样本转移舱501再次被向上按压到保持器530中时，该闩锁设备解除样本转移舱501的闩锁。在不同的示例中，这种闩锁设备可为机械致动或电致动的。
47.此外，主体510和平台522包括相应的互锁机构519和529，这些互锁机构被配置为使主体510和平台522互锁。互锁机构519和529可包括被配置为当平台522选择性地移动并耦接到主体510时使主体510和平台522机械地互锁的机械互锁机构，诸如螺纹、闩锁、卡口等。例如，在互锁机构519和529包括对应的螺纹或对应的螺旋结构的示例中，平台522可通过相对于主体510旋转平台522以使得螺纹处于面共享接触而耦接到主体510。换句话说，在一些示例中，平台522可被拧到主体510上。例如，当平台522经由互锁机构(例如，螺纹)519和529耦接到主体510时，样本转移舱501可被密封，而不管样本容积512内的惰性气体相对于周围大气的相对压力如何。因此，如果需要，样本容积512内的惰性气体压力可高于1巴。在其他示例中，互锁机构519和529可包括电磁锁，该电磁锁被配置为当互锁机构519和529处于面共享接触时将平台522锁定到主体510。例如，互锁机构519或529中的一个可包括电磁体，而互锁机构519或529中的另一个可包括电枢板。通常，互锁机构519和529被配置为当互锁机构519和529相对于彼此选择性地移动时将平台522配合并锁定到主体510。
48.应当理解，图2和图5分别描绘了样本转移舱201和501的横剖视图，并且作为例示性和非限制性示例，样本转移舱201和501可包括圆柱形形状、矩形形状或另一形状。
49.可移动载物台524可选择性地在射束系统的真空室内移动以将样本浸入惰性气体环境中以便于转移。此外，通过相对于主体510移动平台522以锁定互锁机构519和529，从而将平台522锁定到主体510，可移动载物台524可选择性地移动以开启和关闭样本转移舱501。作为例示性示例，图6示出了例示根据示例的示例性方法600的框图，该方法用于利用
样本转移舱501转移样本以便利用射束系统诸如双射束系统100成像。
50.方法600开始于605。在605处，将样本转移舱501定位在射束系统的真空室(诸如双射束系统100的真空室108)内的载物台524上。样本520定位在样本容积512内，其中样本容积512填充有惰性气体507，如样本转移舱501的阴影区域所描绘的。例如，当样本转移舱501位于储物箱中时，样本容积512可填充有惰性气体507，并且作为例示性示例，样本容积512内的压力可小于1巴、等于1巴，或者如果需要的话大于1巴。样本转移舱501的上部(例如，主体510和惰性气体容器505)和样本转移容器501的下部(例如，平台222)经由互锁机构519和529耦接在一起，并且经由垫圈513密封。载物台524被控制为将样本转移舱501定位在保持器530下方。
51.在610处，方法600使样本转移舱501在向上(例如，+z)方向上移动以将样本转移舱501停靠在保持器530中。在样本转移舱501停靠在保持器530中的同时，射束系统的真空室可被抽吸，以从真空室排空大气气体。在支架530抓住样本转移舱501的上部时，载物台524使平台522移动以解除平台522相对于主体510的锁定，从而开启样本转移舱501。例如，如果互锁机构519和529包括螺纹，则载物台524可旋转并降低以将平台522从主体510拧松。在615处，方法600控制载物台524使平台522和样本520在向下(例如，-z)方向上远离样本转移舱501的上部降低。然后，在620处，方法600控制载物台524将样本520定位在射束柱622的射束路径内以便于成像和/或成形，例如通过使平台522平移(例如，作为非限制性示例，在+x方向上平移)。
52.在625处，在样本520成像和/或成形之后，方法600控制载物台524将样本520和平台522返回到样本转移舱501的主体510，例如通过使平台522平移(例如，作为非限制性示例，在-x方向上平移)并且使平台522在向上(例如，+z)方向上朝向停靠在保持器530中的主体510升高。具体地，方法600通过移动其上具有平台522的载物台524来关闭和密封样本转移舱501，使得平台522经由互锁机构519和529锁定到主体510上。例如，在互锁机构519和529包括对应螺纹的示例中，方法600可使载物台524移动以将平台522拧到主体510上。
53.在630处，方法600控制载物台524在向上(例如，+z)方向上移动，从而将阀弹簧515和516压缩以开启阀509，使得惰性气体507从惰性气体容器505流到样本容积512。在635处，在用惰性气体507填充样本容积512之后，方法600使样本转移舱501在向下(例如，-z)方向上远离保持器530降低。然后，具有密封在惰性气体环境中的样本520的样本转移舱501可从载物台524移除并因此从射束系统移除。
54.为了进一步例示样本转移舱501可如何用于在惰性气体环境下转移样本，图7示出了例示根据示例的示例性方法700的高级流程图，该方法用于利用样本转移舱501转移样本以便利用射束系统诸如双射束系统100成像和/或成形。作为例示性和非限制性示例，方法700可被实施为存储在控制器128的非暂态存储器中的可执行指令，当由控制器128执行时，该可执行指令使得控制器128执行本文描述的动作，但应了解，这些动作中的一个或多个可由射束系统的操作者手动执行，如本文进一步讨论。
55.方法700开始于705。在705处，方法700将样本转移装置或转移舱定位在射束系统的载物台上。样本转移舱可例如由操作者手动地定位在射束系统的载物台上，或者在自动设置下，样本转移舱可例如经由机械臂自动地定位在射束系统的载物台上。可包括样本转移舱501的样本转移舱储存待成像和/或成形或以其他方式利用射束系统处理的样本，并且
该样本被浸入样本转移舱中的惰性气体(诸如氩气)中。
56.在710处，方法700控制载物台位置以将转移舱或样本转移装置定位在射束系统的保持器(诸如保持器175或530)中。样本转移舱可停靠在保持器中，使得保持器抓住或闩锁到样本转移舱上。在715处，方法700例如使用一个或多个真空泵180对真空室进行抽吸，以排空真空室内的大气。在从真空室排空大气的情况下，样本可暴露在真空室内。为此，在720处，方法700控制载物台位置以解锁并开启转移舱或样本转移装置，例如通过移动其上定位有样本520的平台522以将平台522从主体510解锁，然后将平台522远离样本转移舱501的主体510降低。例如，在互锁机构519和529包括螺纹的示例中，方法700可通过螺旋地旋转平台522或从主体510拧松该平台来使该平台移动。当样本转移舱开启时，惰性气体在真空室中消散，或者在一些示例中，样本转移舱可在真空泵180抽吸真空室的同时被开封和开启，使得惰性气体也从真空室排出。
57.在725处继续，方法700控制载物台位置以将样本定位在射束系统的射束路径中。此后，在730处，方法700控制射束系统执行样本的成像和/或成形。
58.在完成样本的成像和/或其他处理之后，方法700继续到735。在735处，方法700控制载物台位置以锁定、关闭并且因此密封转移舱或样本转移装置，例如通过将其上定位有样本520的平台522移回到样本转移舱501的主体510并且使平台522在向上移动的同时抵靠主体510移动以将平台522锁定到主体510上。在关闭和密封样本转移舱之后，在740处，方法700随后控制载物台位置以用惰性气体(诸如氩气)填充样本容积。例如，方法700可控制载物台位置向上移动，从而将阀弹簧515和516压缩以开启阀509，使得惰性气体507从惰性气体容器505流到样本容积512。例如，方法700能够控制载物台向上按压持续阈值时间量以允许用惰性气体507填充样本容积512，然后一旦该阈值时间量过去就停止向上按压以保持阀509开启。另选地，应当理解，可经由压力传感器监测样本容积512的压力以确定样本容积何时达到所需的惰性气体压力，此时方法700可停止控制载物台向上按压来保持阀509开启。
59.在用惰性气体填充样本容积之后，方法700继续到745，其中方法700将真空室通气到大气压力。在750处，方法700控制载物台位置以将样本转移舱定位成远离保持器。在755处，方法700从载物台移除样本转移装置或转移舱。样本转移舱可例如由操作者手动地从射束系统的载物台移除，或者在自动设置下，样本转移舱可经由上文提到的机械臂自动地从射束系统的载物台移除。然后方法700返回。
60.因此，提供了一种样本转移舱，其中通过将平台机械地或电磁地锁定到舱的主体上来将样本密封在惰性气体环境内。样本转移舱允许在将样本保持在惰性气体环境内的同时使样本被传送到射束系统的真空室和从射束系统的真空室传送，从而减少样本暴露于大气。
61.尽管上文所述的样本转移舱在样本由射束系统处理时停靠在射束系统内的保持器中，但是应当理解，在一些示例中，样本转移舱可在样本被成像和/或成形时停靠在载物台上。作为例示性和非限制性示例，图8-10例示了可在样本920的成像和/或成形期间安装在载物台上的示例性样本转移舱801。具体地，根据一个示例，图8示出了例示处于第一闭合构型的示例性样本转移舱801的透视图800的图，并且图9示出了例示处于第二开启构型的样本转移舱801的透视图900的图。图10示出了例示处于第一闭合构型的样本转移舱801的透视横剖视图1000的图。类似于上文所述的样本转移舱201和501，样本转移舱801包括储存
惰性气体的惰性气体容器805，和包括形成样本容积912的主体81o的容器808。样本转移舱801还包括阀809，该阀被配置为允许惰性气体从惰性气体容器805流到样本容积912。阀809可为电气或气动驱动的以允许对阀809的选择性控制。样本920定位在样本容积912内。样本920可定位在短柱928上，或定位在操作中保持器921上。操作中保持器921可用于在带电粒子束进行成像或处理期间刺激样本920。样本920可例如通过电场、磁场、电磁波或通过在操作中保持器921上加热/冷却来刺激。例如，操作中保持器921可在样本区域中配备有多个触点，使得样本920能够与放置在真空室外部的测试设备电连接。在该示例中，作为例示性和非限制性示例，操作中保持器921可用于样本920的电偏置和用于感测来自样本920的信号。
62.样本转移舱801还包括平台或封盖815，其适于在第一闭合构型中覆盖和密封容器808的样本容积912，其中在一些示例中的垫圈(未示出)诸如o形环可放置在腔913中围绕样本容积912的顶部，以在封盖815处于第一构型时密封样本容积912。封盖815可包括窗口817，该窗口包括真空密封玻璃。样本转移舱801还包括耦接到封盖815的马达850，其中能够控制马达850以使封盖815在图8中描绘的第一闭合构型与图9中描绘的第二开启构型之间调节，使得样本容积912经由容器808的开口侧或开口部分暴露。作为例示性和非限制性示例，马达850可经由轴852耦接到封盖815。
63.样本转移舱801还包括具有载物台适配器1032的载物台平台830，该载物台适配器用于将样本转移舱801牢固地耦接到载物台，诸如载物台或定位系统11o。除了用于使惰性气体从惰性气体容器805流到样本容积912的阀809之外，样本转移舱801还包括用于填充惰性气体容器805的阀1054。
64.作为示例，样本转移舱801还包括电连接件840，该电连接件可电耦接到通过射束系统馈通件连接的电缆(未示出)。例如，电连接件840可提供电力和对操作中保持器921的控制，并且在一些示例中，还可向马达850、阀809、阀1054和样本容积912内的任何电气设备(例如，压力计、传感器等)中的一个或多个提供电力和控制。例如，样本转移舱801可例如经由电连接件840电气地和通信地耦接到控制器128。以这种方式，阀809、马达850、操作中保持器921和阀1054中的一者或多者可被控制为执行一个或多个动作。例如，控制器128可命令马达850开启封盖子815以允许对样本920进行成像和/或其他处理。在样本920的这种处理之后，控制器128可进一步命令马达850关闭封盖815，然后控制器128可命令阀809开启，使得惰性气体从惰性气体容器805流到样本空间912。因此，样本转移舱801的电连接件840使得样本转移舱801能够在转移期间为样本920提供惰性气体环境，而无需控制载物台110的位置。
65.为了例示样本转移舱801用于在惰性气体环境下转移样本的使用，图11示出了例示示例性方法1100的高级流程图，该方法用于利用样本转移舱801转移样本以便利用射束系统诸如射束系统100成像和/或成形。作为例示性和非限制性示例，方法1100可被实施为存储在控制器128的非暂态存储器中的可执行指令，当由控制器128执行时，该可执行指令使得控制器128执行本文描述的动作。
66.方法1100开始于1105。在1105处，方法1100将转移舱或样本转移装置定位在射束系统的载物台上。例如，操作者可手动地将样本转移舱801定位在双射束系统100的载物台或定位系统110上。在其他示例中，作为例示性和非限制性示例，方法1100可自动控制机械臂将样本转移舱801定位在定位系统110上。样本转移舱801可经由载物台平台适配器1032
耦接到载物台。此外，样本转移舱801处于闭合构型，其中封盖815覆盖并密封样本容积912，其中样本容积912填充有惰性气体。在将样本转移舱801定位在载物台上之前或在将样本转移舱801定位在载物台上之后，可将电缆耦接到样本转移舱801的电连接件840，以提供与样本转移舱801和控制器(诸如射束系统100的控制器128)的电连通。
67.在1110处，方法1100控制泵(诸如真空泵180)抽吸射束系统100的真空室108。在利用真空泵180排空真空室108之后，方法1100继续到1115。在1115处，方法1100控制样本转移舱801的马达850开启样本转移舱801的封盖815。样本容积912内的惰性气体可因此在真空室108内消散，并且如果方法1100继续在封盖815开启时控制真空泵180，则该惰性气体也可经由真空泵180排空。
68.在1120处，方法1100控制载物台位置以将样本920定位在射束路径中。例如，方法1100可控制定位系统110将样本920定位在sem102和/或fib柱104的射束路径内。在1125处，方法1100控制射束系统100执行样本920的成像和/或成形。
69.在将样本920成像和/或成形之后，方法1100继续到1130。在1130处，方法1100控制样本转移舱801的马达850关闭封盖815。例如，方法1100控制马达850将封盖815的位置调节到闭合位置，这时封盖815覆盖并密封样本容积912。
70.在关闭封盖815并密封样本容积912之后，方法1100继续到1135。在1135处，方法1100控制样本转移舱801的阀809以用来自惰性气体容器805的惰性气体填充样本容积912。在用惰性气体替换样本容积912中的高真空之后，方法1100继续到1140，其中方法1100使真空室108通气。
71.在1145处，方法1100从载物台移除样本转移舱。例如，可手动地或自动地将样本转移舱801从载物台或定位系统110移除。然后可使样本920保持在惰性气体环境中的同时将样本转移舱从真空室108移除并传送到储物箱、另一个射束系统等。然后方法1100返回。
72.因此，提供了各种系统、装置和方法来用于将密封惰性气体环境内的样本传送到射束系统的真空室和从射束系统的真空室传送样本。
73.在第一示例中，一种样本转移舱包括：容器，该容器被配置为在传送期间储存样本，其中该容器可在闭合构型和开启构型之间调节；惰性气体储存室，该惰性气体储存室耦接到容器并且被配置为储存惰性气体；和阀，该阀耦接到惰性气体储存室和容器，并且被配置为当容器处于闭合构型时选择性地允许惰性气体从惰性气体储存室流到容器。
74.在该样本转移舱的第一示例中，样本转移舱还包括：主体，该主体形成具有开口部分的容器；和平台，该平台被配置为覆盖该开口部分并且将容器密封在闭合构型中。在该样本转移舱的可选地包括第一示例的第二示例中，主体和平台被配置为在容器中的惰性气体压力小于容器外部的压力的情况下形成密封，并且该密封被配置为在容器外部的压力低于容器中的惰性气体压力的情况下被开封。在该样本转移舱的可选地包括第一和第二示例中的一个或多个的第三示例中，主体和平台包括相应的可互锁机构，该可互锁机构将容器密封在闭合构型中。在该样本转移舱的可选地包括第一至第三示例中的一个或多个的第四示例中，样本转移舱还包括耦接到平台的马达，其中可控制该马达移动平台以使容器在开启构型与闭合构型之间进行调节。在该样本转移舱的可选地包括第一至第四示例中的一个或多个的第五示例中，主体被配置为对接到带电粒子束系统的真空室中的保持器，同时样本和平台被定位在该带电粒子束系统的远离主体的射束路径内。在该样本转移舱的可选地包
括第一至第五示例中的一个或多个的第六示例中，惰性气体储存室与主体一起对接到保持器，或者惰性气体储存室在主体对接到保持器的同时耦接到平台。在该样本转移舱的可选地包括第一至第六示例中的一个或多个的第七示例中，样本转移舱还包括安装在容器内的操作中保持器，其中样本被定位在该操作中保持器上，并且其中当容器处于开启构型时，样本可暴露于带电粒子束系统的射束路径。在该样本转移舱的可选地包括第一至第七示例中的一个或多个的第八示例中，惰性气体包括氩气。
75.在另一个示例中，一种系统包括被配置为传送样本的样本转移舱和带电粒子束系统。在该示例中，样本转移舱包括：容器，该容器被配置为储存样本，其中该容器可在闭合构型和开启构型之间调节；惰性气体储存室，该惰性气体储存室耦接到容器并且被配置为储存惰性气体；和阀，该阀耦接到惰性气体储存室和容器，并且被配置为当容器处于闭合构型时选择性地允许惰性气体从惰性气体储存室流到容器。此外，在该示例中，带电粒子束系统包括被配置为生成带电粒子束并且将该带电粒子束朝向样本引导的至少一个柱，真空室，以及定位在真空室内并且在真空室内可移动的载物台。在该示例性系统中，样本转移舱可安装到载物台上，样本转移舱的容器被配置为当气体从真空室排出时从为样本提供惰性气体环境的闭合构型调节到开启构型，并且当容器处于开启构型时样本可暴露于带电粒子束。当容器处于开启构型时，可使用真空室的抽吸系统将容器抽吸到真空。
76.在该系统的第一示例中，样本转移舱还包括：主体，该主体形成具有开口部分的容器；和平台，该平台被配置为覆盖该开口部分并且将容器密封在闭合构型中。在该系统的可选地包括第一示例的第二示例中，带电粒子束系统还包括安装在真空室内的保持器，其中平台可与样本转移舱的主体分离，并且其中样本转移舱的主体可与保持器对接以将样本转移舱固定成远离带电粒子束。在该系统的可选地包括第一示例和第二示例中的一个或多个的第三示例中，当容器中的惰性气体压力小于样本转移舱周围的大气压力时，平台附接到样本转移舱的主体并且将该主体密封。在该系统的可选地包括第一至第三示例中的一个或多个的第四示例中，平台可经由平台和主体的对应互锁机构与主体互锁，其中当平台经由平台和主体的对应互锁机构锁定到主体上时，平台附接到样本转移舱的主体并且将该主体密封。在该系统的可选地包括第一至第四示例中的一个或多个的第五示例中，样本转移舱还包括马达，该马达耦接到平台并且被配置为移动平台以使容器在开启构型与闭合构型之间进行调节。
77.在又一示例中，一种方法包括：将样本转移舱定位在带电粒子束系统的真空室内，其中样本转移舱将样本密封在样本转移舱的填充有惰性气体的容器内；抽吸真空室以在真空室内产生真空；开启样本转移舱以将样本暴露于带电粒子束；关闭样本转移舱以将样本密封在样本转移舱内；开启样本转移舱的阀以用来自样本转移舱的惰性气体储存室的惰性气体填充容器；以及从真空室移除样本转移舱。
78.在该方法的第一示例中，开启样本转移舱以将样本暴露于带电粒子束包括：控制真空室的载物台将样本转移舱的容器和惰性气体储存室停靠在安装在真空室内的保持器中；控制载物台将样本转移舱的平台与容器分离，其中样本被定位在平台上；以及控制载物台将样本定位在带电粒子束的路径内。在该方法的可选地包括第一示例的第二示例中，控制载物台将平台与容器分离包括选择性地移动载物台和/或保持器以将平台从容器解锁。在该方法的可选地包括第一和第二示例中的一个或多个的第三示例中，控制载物台将平台
与容器分离包括在真空室的真空压力低于容器内的惰性气体压力之后降低载物台。在该方法的可选地包括第一至第三示例中的一个或多个的第四示例中，开启样本转移舱以将样本暴露于带电粒子束包括控制样本转移舱的马达开启样本转移舱的封盖，并且其中关闭样本转移舱以将样本密封在样本转移舱内包括控制样本转移舱的马达关闭样本转移舱的封盖。在该方法的可选地包括第一至第四示例中的一个或多个的第五示例中，开启样本转移舱的阀以用来自样本转移舱的惰性气体储存室的惰性气体填充容器包括以电气方式、气动方式或机械方式致动阀以开启中的一者。
79.本说明书使用短语“示例”、“各种示例”和“一些示例”，它们中的每一者可指代相同示例或不同示例中的一个或多个。此外，如关于本公开的示例所使用的术语“包括”、“包含”、“具有”等是同义的。当用于描述尺寸范围时，短语“在x和y之间”表示包括x和y的范围。如本文中所用，“装置”可指代任何个别设备、设备的集合、设备的部分，或设备的部分的集合。附图未必按比例绘制。
80.鉴于可以应用所公开的技术的原理的许多可能的示例，应当认识到，所示实施方案仅是优选示例，并且不应当被视为限制范围。相反，所公开的技术的范围由以下权利要求书限定。因此，我们要求保护落入至少这些权利要求的范围内的所有内容。

技术特征：
1.一种样本转移舱，包括：容器，所述容器被配置为在传送期间储存样本，其中所述容器能够在闭合构型与开启构型之间进行调节；惰性气体储存室，所述惰性气体储存室耦接到所述容器并且被配置为储存惰性气体；和阀，所述阀耦接到所述惰性气体储存室和所述容器，并且被配置为当所述容器处于所述闭合构型时选择性地允许所述惰性气体从所述惰性气体储存室流到所述容器。2.根据权利要求1所述的样本转移舱，还包括：主体，所述主体形成具有开口部分的容器；和平台，所述平台被配置为覆盖所述开口部分并且将所述容器密封在所述闭合构型中。3.根据权利要求2所述的样本转移舱，其中所述主体和所述平台被配置为在所述容器中的惰性气体压力小于所述容器外部的压力的情况下形成密封，并且其中所述密封被配置为在所述容器外部的压力低于所述容器中的所述惰性气体压力的情况下被开封。4.根据权利要求2-3中任一项所述的样本转移舱，其中所述主体和所述平台包括相应的可互锁机构，所述可互锁机构将所述容器密封在所述闭合构型中。5.根据权利要求2-3中任一项所述的样本转移舱，还包括耦接到所述平台的马达，其中能够控制所述马达移动所述平台以使所述容器在所述开启构型与所述闭合构型之间进行调节。6.根据权利要求2-3中任一项所述的样本转移舱，其中所述主体被配置为对接到带电粒子束系统的真空室中的保持器，同时所述样本和所述平台被定位在所述带电粒子束系统的远离所述主体的射束路径内。7.根据权利要求2-3中任一项所述的样本转移舱，还包括安装在所述容器内的操作中保持器，其中所述样本被定位在所述操作中保持器上，并且其中当所述容器处于所述开启构型时，所述样本能够暴露于带电粒子束系统的射束路径。8.一种系统，包括：样本转移舱，所述样本转移舱被配置为传送样本，所述样本转移舱包括：容器，所述容器被配置为储存所述样本，其中所述容器能够在闭合构型与开启构型之间进行调节；惰性气体储存室，所述惰性气体储存室耦接到所述容器并且被配置为储存惰性气体；和阀，所述阀耦接到所述惰性气体储存室和所述容器，并且被配置为当所述容器处于所述闭合构型时选择性地允许所述惰性气体从所述惰性气体储存室流到所述容器；和带电粒子束系统，所述带电粒子束系统包括：至少一个柱，所述至少一个柱被配置为生成带电粒子束并且将所述带电粒子束朝向所述样本引导；真空室；和载物台，所述载物台定位在所述真空室内并且能够在所述真空室内移动；其中所述样本转移舱能够安装到所述载物台，其中所述样本转移舱的所述容器被配置为从为所述样本提供惰性气体环境的所述闭合构型调节到所述开启构型，并且其中当所述容器处于所述开启构型时所述样本能够暴露于所述带电粒子束。
9.根据权利要求8所述的系统，其中所述样本转移舱还包括：主体，所述主体形成具有开口部分的所述容器；和平台，所述平台被配置为覆盖所述开口部分并且将所述容器密封在所述闭合构型中。10.根据权利要求9所述的系统，其中所述带电粒子束系统还包括安装在所述真空室内的保持器，其中所述平台能够与所述样本转移舱的所述主体分离，并且其中所述样本转移舱的所述主体能够与所述保持器对接以将所述样本转移舱固定成远离所述带电粒子束。11.根据权利要求10所述的系统，其中当所述容器中的惰性气体压力小于所述样本转移舱周围的大气压力时，所述平台附接到所述样本转移舱的所述主体并且将所述主体密封。12.根据权利要求10所述的系统，其中所述平台能够经由所述平台和所述主体的对应互锁机构与所述主体互锁，其中当所述平台经由所述平台和所述主体的所述对应互锁机构锁定到所述主体上时，所述平台附接到所述样本转移舱的所述主体并且将所述主体密封。13.根据权利要求9所述的系统，其中所述样本转移舱还包括马达，所述马达耦接到所述平台并且被配置为移动所述平台以使所述容器在所述开启构型与所述闭合构型之间进行调节。14.一种使用根据权利要求1所述的样本转移舱转移样本的方法，包括：将所述样本转移舱定位在带电粒子束系统的真空室内，其中所述样本转移舱将所述样本密封在所述样本转移舱的填充有惰性气体的容器内；抽吸所述真空室以在所述真空室内产生真空；开启所述样本转移舱以将所述样本暴露于带电粒子束；关闭所述样本转移舱以将所述样本密封在所述样本转移舱内；开启所述样本转移舱的所述阀以用来自所述样本转移舱的所述惰性气体储存室的所述惰性气体填充所述容器；以及从所述真空室移除所述样本转移舱。15.根据权利要求14所述的方法，其中开启所述样本转移舱以将所述样本暴露于所述带电粒子束包括：控制所述真空室的载物台将所述样本转移舱的所述容器和所述惰性气体储存室停靠在安装在所述真空室内的保持器中；控制所述载物台将所述样本转移舱的平台与所述容器分离，其中所述样本被定位在所述平台上；以及控制所述载物台以将所述样本定位在所述带电粒子束的路径内。16.根据权利要求15所述的方法，其中控制所述载物台以将所述平台与所述容器分离包括选择性地移动所述载物台和/或保持器以将所述平台从所述容器解锁。17.根据权利要求15所述的方法，其中控制所述载物台以将所述平台与所述容器分离包括在所述真空室的真空压力低于所述容器内的惰性气体压力之后降低所述载物台。18.根据权利要求14所述的方法，其中开启所述样本转移舱以将所述样本暴露于所述带电粒子束包括控制所述样本转移舱的马达以开启所述样本转移舱的封盖，并且其中关闭所述样本转移舱以将所述样本密封在所述样本转移舱内包括控制所述样本转移舱的所述马达以关闭所述样本转移舱的所述封盖。
19.根据权利要求14所述的方法，其中开启所述样本转移舱的所述阀以用来自所述样本转移舱的所述惰性气体储存室的所述惰性气体填充所述容器包括以电气方式、气动方式或机械方式致动所述阀以开启中的一者。

技术总结
提供了用于将惰性气体环境内的样本转移到射束系统和从射束系统转移样本的各种方法。在一个示例中，一种样本转移舱包括：容器，该容器被配置为在传送期间储存样本，其中该容器能够在闭合构型和开启构型之间进行调节；惰性气体储存室，该惰性气体储存室耦接到该容器并且被配置为储存惰性气体；和阀，该阀耦接到该惰性气体储存室和该容器，并且被配置为当该容器处于该闭合构型时选择性地允许该惰性气体从该惰性气体储存室流到该容器。以这种方式，样本可在传送期间以及在射束系统真空室通气时保持在惰性气体环境中，从而减少该样本的暴露，并且随后降低该样本的化学反应诸如氧化或氮化的速率。氮化的速率。氮化的速率。


技术研发人员：L
受保护的技术使用者：FEI公司
技术研发日：2023.01.31
技术公布日：2023/8/23