流体供应系统的制作方法

流体供应系统
1.相关申请的交叉引用
2.本技术基于在2022年2月21日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请no.10-2022-0022461并要求其优先权，其公开内容通过引用整体并入本文。
技术领域
3.本发明构思涉及流体供应系统，并且更具体地，涉及通过使用第一流体的热能来加热第二流体的流体供应系统。


背景技术：

4.为了制造半导体器件，在半导体衬底或显示衬底上形成多层薄膜，并且必须采用蚀刻和清洗工艺来形成薄膜。在蚀刻和清洗工艺中，沉积在衬底的后表面上的薄膜(诸如氮化物膜)和颗粒在后续工艺中充当杂质。使用衬底清洗系统去除衬底的后表面上的杂质，诸如不必要的薄膜。清洗工艺包括通过化学反应蚀刻或剥离半导体衬底上的污染物的化学溶液处理工艺、利用去离子水(diw)清洗通过化学溶液处理工艺经过化学溶液处理的半导体晶片的冲洗工艺以及干燥冲洗过的半导体晶片的干燥工艺。为了加热diw，已经提出了若干方法。


技术实现要素：

5.本发明构思提供了一种使用热交换的流体供应系统。
6.根据本发明构思的一方面，提供了一种流体供应系统，所述流体供应系统包括：第一流体源，所述第一流体源被构造为供应第一流体；第二流体源，所述第二流体源被构造为供应第二流体；热交换器，所述热交换器被构造为在所述第一流体与所述第二流体之间进行热交换；第一流体回收罐，所述第一流体回收罐被构造为回收已经通过所述热交换器的所述第一流体；以及第一输送管，所述第一输送管被构造为将所述第一流体经由所述热交换器从所述第一流体源输送到所述第一流体回收罐。所述热交换器可以设置在比所述第一流体回收罐的竖直高度高的竖直高度处。
7.根据本发明构思的另一方面，提供了一种流体供应系统，所述流体供应系统包括：第一流体源，所述第一流体源被构造为供应第一流体；第二流体源，所述第二流体源被构造为供应第二流体；热交换器，所述热交换器被构造为加热所述第二流体，并且在所述第一流体与所述第二流体之间进行热交换；第一流体回收罐，所述第一流体回收罐被构造为回收已经通过所述热交换器的所述第一流体；第一输送管，所述第一输送管被构造为将所述第一流体经由所述热交换器从所述第一流体源输送到所述第一流体回收罐；第一存液弯，所述第一存液弯设置在所述热交换器和所述第一流体回收罐之间，并且包括所述第一输送管的在重力方向上向下延伸的第一部分、所述第一输送管的在水平方向上延伸的第二部分以及所述第一输送管的在与所述重力方向相反的方向上向上延伸的第三部分；以及第二存液弯，所述第二存液弯设置在所述热交换器和所述第一流体回收罐之间并且被构造为输送处
于液态的所述第一流体。所述热交换器可以设置在比所述第一流体回收罐的竖直高度高的竖直高度处。所述第一输送管的所述第一部分、所述第二部分和所述第三部分可以顺序地彼此连接。所述第一输送管可以包括设置在所述第一流体源和所述热交换器之间的第一引入输送管以及设置在所述热交换器和所述第一流体回收罐之间的第一排出输送管。所述第一排出输送管以及所述第一存液弯和所述第二存液弯可以被构造为将所述第一流体从所述热交换器输送到所述第一流体回收罐。
8.根据本发明构思的另一方面，提供了一种流体供应系统，所述流体供应系统包括：第一流体源，所述第一流体源被构造为供应第一流体；第二流体源，所述第二流体源被构造为供应第二流体；热交换器，所述热交换器被构造为加热所述第二流体，并且在所述第一流体与所述第二流体之间进行热交换；第一流体回收罐，所述第一流体回收罐被构造为回收已经通过所述热交换器的所述第一流体；第二流体回收罐，所述第二流体回收罐被构造为回收已经通过所述热交换器的所述第二流体；第一输送管，所述第一输送管被构造为将所述第一流体经由所述热交换器从所述第一流体源输送到所述第一流体回收罐；第二输送管，所述第二输送管被构造为将所述第二流体经由所述热交换器从所述第二流体源输送到所述第二流体回收罐；第一存液弯，所述第一存液弯设置在所述热交换器和所述第一流体回收罐之间，并且包括所述第一输送管的在重力方向上向下延伸的第一部分、所述第一输送管的在水平方向上延伸的第二部分以及所述第一输送管的在与所述重力方向相反的方向上向上延伸的第三部分；第二存液弯，所述第二存液弯设置在所述第一存液弯和所述第一流体回收罐之间并且被构造为输送处于液态的所述第一流体；以及旁通管，所述旁通管设置在所述第二存液弯上，并且被构造为将所述第一流体从所述第一存液弯输送到所述第一流体回收罐。所述热交换器可以设置在比所述第一流体回收罐的竖直高度高的竖直高度处。所述第一输送管的所述第一部分、所述第二部分和所述第三部分可以顺序地彼此连接。所述第一输送管可以包括设置在所述第一流体源和所述热交换器之间的第一引入输送管以及设置在所述热交换器和所述第一流体回收罐之间的第一排出输送管。所述第一排出输送管以及所述第一存液弯和所述第二存液弯可以被构造为将所述第一流体从所述热交换器输送到所述第一流体回收罐。
附图说明
9.根据以下结合附图的详细描述，将更清楚地理解本发明构思的实施例，在附图中：
10.图1a是示出根据本发明构思的实施例的流体供应系统的构造的图，并且图1b是示出根据本发明构思的实施例的热交换器的构造的图；
11.图2是示出根据本发明构思的实施例的流体供应系统的构造的图；
12.图3是示出根据本发明构思的实施例的流体供应系统的构造的图；
13.图4a是示出根据本发明构思的实施例的流体供应系统的构造的图，并且图4b是示出从竖直方向观察的图4a的第二存液弯的图；
14.图5是示出根据本发明构思的实施例的流体供应系统的构造的图；
15.图6是示出根据本发明构思的实施例的流体供应系统的构造的图。
具体实施方式
16.在下文中，将参考附图详细描述本发明构思的实施例。相同的附图标记在附图中用于相同的组件，并且省略了其冗余描述。
17.图1a是示出根据本发明构思的实施例的流体供应系统的构造的图，并且图1b是示出根据本发明构思的实施例的热交换器的构造的图。
18.参考图1a和图1b，流体供应系统10是被构造为通过使用第一流体来控制第二流体的温度的系统，并且可以包括第一流体源110、第一输送管120、热交换器130、第一流体回收罐140、第二流体源210、第二输送管220和第二流体回收罐230。在图1a中，f1表示第一流体的移动路径，并且f2表示第二流体的移动路径。
19.第一流体源110可以包括第一流体储罐(未示出)和加热器(未示出)。第一流体储罐可以具有适合于储存第一流体的形状，例如容器形状。例如，储存在第一流体储罐中的第一流体可以以液态储存。加热器可以加热储存在第一流体储罐中的第一流体。加热器可以例如设置在第一流体储罐内。在其他实施例中，加热器可以安装在第一输送管120的第一引入输送管120-1上，并且被构造为加热沿着第一引入输送管120-1流动的第一流体。加热器可以包括感应加热型加热器、电阻加热型加热器等。例如，加热器可以包括利用感应电动势的线圈。在另一实施例中，加热器可以包括其中具有加热元件的护套加热器。例如，加热器可以蒸发第一流体。例如，第一流体可以包括蒸馏水。
20.第一流体可以被蒸发以入射在热交换器130上。当第一流体蒸发时，第一流体会具有相对大量的热能，因此，第二流体可以被有效地加热。相反，当第一流体未蒸发时，第一流体会具有相对小的热能，这可能不足以加热第二流体。
21.第一输送管120可以被构造为使得第一流体可以从第一流体源110通过热交换器130输送到第一流体回收罐140。第一输送管120的形状也可以为适合于输送第一流体的形状，例如圆柱形。第一输送管120可以包括设置在热交换器130和第一流体源110之间的第一引入输送管120-1以及设置在热交换器130和第一流体回收罐140之间的第一排出输送管120-2。
22.热交换器130可以连接到第一流体源110以接收第一流体，并且可以连接到第二流体源210以接收第二流体。可以在提供在热交换器130中的第一流体和第二流体之间进行热交换。例如，第二流体的温度可以通过气化的第一流体的热能而升高。根据本发明构思的实施例，第二流体在通过热交换器130之前的温度的范围可以为大约10℃至大约40℃，并且第二流体在通过热交换器130之后的温度的范围可以为大约65℃至大约85℃。诸如“大约”的术语可以反映仅以小的相对方式和/或以不显著改变特定元件的操作、功能或结构的方式变化的量、尺寸、取向或布局。例如，“大约0.1至大约1”的范围可以涵盖诸如0.1附近的0％至5％偏差和1附近的0％至5％偏差的范围，特别是如果这样的偏差保持与所列范围相同的效果。
23.热交换器130可以使第一流体和第二流体之间进行热交换。例如，热交换器130可以包括加热器、预热器、冷凝器、蒸发器等。例如，热交换器130可以包括壳管式热交换器、块式热交换器、夹套式热交换器、空气冷却式热交换器、螺旋式热交换器、板式热交换器、焊接式热交换器和/或螺旋板式热交换器。
24.热交换器130可以包括第一流体入口131、第一流体出口132、第一流体移动管133、
第二流体入口134、第二流体出口135和第二流体移动管136。第一流体移动管133和/或第二流体移动管136可以具有反复的z字形形状。因此，第一流体和第二流体之间的接触面积可以增加。因此，可以更积极地执行在第一流体移动管133内部移动的第一流体与在第二流体移动管136内部移动的第二流体之间的热交换。
25.根据另一实施例，第一流体移动管133和/或第二流体移动管136可以以螺旋形状形成。在第一流体移动管133和/或第二流体移动管136中，重复地形成螺旋，因此，第一流体和第二流体之间的接触面积可以增加。
26.另外，第一流体入口131的竖直高度可以高于第一流体出口132的竖直高度。因此，热交换器130内部的第一流体可以有效地输送到第一流体出口132。
27.第一流体回收罐140可以回收已经通过热交换器130的第一流体。第一流体回收罐140可以具有适合于回收第一流体的形状，例如容器形状。随着第一流体的温度降低，第一流体可以在通过热交换器130之后立即液化，或者在热交换器130和第一流体回收罐140之间液化。因此，在第一流体回收罐140中回收的第一流体可以处于液态。设置第一流体回收罐140所在的水平平面可以被限定为标准平面sp。
28.在本说明书中，竖直方向(z方向)可以表示重力作用的方向，并且水平方向(x方向和/或y方向)可以表示与竖直方向(z方向)垂直的方向。此外，水平方向(x方向和/或y方向)可以意指与标准平面sp平行的方向。
29.第二流体源210可以储存第二流体。第二流体源210可以具有适合于储存第二流体的形状，例如容器形状。例如，储存在第二流体源210中的第二流体可以以液态储存。例如，第二流体可以包括去离子水(diw)和/或超纯水(upw)。可以在半导体工艺中使用第二流体。
30.第二输送管220可以被构造为使得第二流体可以通过热交换器130从第二流体源210输送到第二流体回收罐230。第二输送管220的形状也可以为适合于输送第二流体的形状，例如圆柱形。第二输送管220可以包括设置在热交换器130和第二流体源210之间的第二引入输送管220-1以及设置在热交换器130和第二流体回收罐230之间的第二排出输送管220-2。
31.第二流体回收罐230可以回收已经通过热交换器130的第二流体。第二流体回收罐230可以具有适合于回收第二流体的形状，例如容器形状。
32.热交换器130可以设置在比第一流体回收罐140的竖直高度高的竖直高度处。例如，已经通过热交换器130的第一流体可以由于重力而输送到第一流体回收罐140。因此，可以有效地回收第一流体。
33.一般的流体供应系统包括在热交换器和第一流体回收罐之间供应动力的泵，以将热交换器的第一流体输送到第一流体回收罐。因此，为了回收第一流体，不得不向流体供应系统10供应外部动力。
34.在示例实施例中，在流体供应系统10中，热交换器130可以设置在比第一流体回收罐140的竖直高度高的竖直高度处。因此，已经通过热交换器130的第一流体可以由于重力而输送到第一流体回收罐140。例如，无论是否供应外部动力，第一流体都可以输送到第一流体回收罐140。
35.加热的第二流体可以随后输送到半导体设施的处理室。可以通过使用第二流体来执行清洗工艺。清洗工艺包括通过化学反应蚀刻或剥离半导体衬底上的污染物的化学溶液
处理工艺、利用diw清洗通过化学溶液处理工艺经过化学溶液处理的半导体晶片的冲洗工艺以及干燥冲洗过的半导体晶片的干燥工艺。
36.半导体衬底可以包括半导体晶片，半导体晶片可以包括半导体基础衬底和一个或更多个层(例如，图案化的导电层和图案化的电介质层)以在晶片上/或晶片内形成电路。可以在制造方法中处理半导体衬底和/或半导体晶片，以生产半导体芯片，例如存储器芯片、处理器芯片、通信ic等。半导体衬底/晶片可能仅经过图案化工艺，作为在衬底/晶片内和/或上生产和/或连接集成电路的步骤的一部分。例如，在制造集成电路半导体芯片的方法中，可以在衬底上形成层。该层可以被图案化(例如，通过形成掩模，例如通过光刻，并且通过掩模选择性地蚀刻该层)。然后可以清洗、冲洗和干燥包括图案化的层的所得结构。
37.图2是示出根据本发明构思的实施例的流体供应系统的构造的图。
38.参考图2，流体供应系统10a可以包括第一流体源110、第一输送管120、热交换器130、第一流体回收罐140、第一存液弯(trap)150、第二流体源210、第二输送管220和第二流体回收罐230。图2的第一流体源110、第一输送管120、热交换器130、第一流体回收罐140、第二流体源210、第二输送管220和第二流体回收罐230可以分别与图1a的第一流体源110、第一输送管120、热交换器130、第一流体回收罐140、第二流体源210、第二输送管220和第二流体回收罐230基本上相同。因此，在本文中将主要描述第一存液弯150。
39.第一存液弯150可以被构造为降低第一流体的温度，使得第一流体液化。第一存液弯150可以设置在热交换器130和第一流体回收罐140之间，并且可以连接在第一排出输送管120-2上，使得液化的第一流体可以通过第一排出输送管120-2和第一存液弯150从热交换器130输送到第一流体回收罐140。第一存液弯150可以具有弯曲形状，使得液化的第一流体可以位于第一存液弯150下方。通过第一存液弯150的第一流体的温度可以被液化的第一流体降低。
40.例如，第一存液弯150可以被限定为第一输送管120的弯曲部分。例如，第一存液弯150可以包括第一输送管120的在重力方向上向下延伸的第一部分、第一输送管120的在水平方向上延伸的第二部分和第一输送管120的在与重力方向相反的方向上向上延伸的第三部分，其中，第一输送管120的第一部分、第二部分和第三部分可以在第一流体的移动方向上顺序地彼此连接。
41.第一存液弯150可以设置在热交换器130的竖直高度和第一流体回收罐140的竖直高度之间。因此，从热交换器130排出的第一流体可以通过重力移动到第一存液弯150，并且已经通过第一存液弯150的第一流体可以移动到第一流体回收罐140。
42.在图2中，第一存液弯150被示出为具有“u”形，但是第一存液弯150的形状不限于此。例如，第一存液弯150可以具有其中具有不同的竖直高度的下端和上端位于其中的形状，并且第一流体可以以液态储存在上端和/或下端处。例如，第一存液弯150可以具有“j”、“v”和/或“w”的形状。
43.图3是示出根据本发明构思的实施例的流体供应系统的构造的图。
44.参考图3，流体供应系统10b可以包括第一流体源110、第一输送管120、热交换器130、第一流体回收罐140、第二存液弯160、第二流体源210、第二输送管220和第二流体回收罐230。图3的第一流体源110、第一输送管120、热交换器130、第一流体回收罐140、第二流体源210、第二输送管220和第二流体回收罐230可以分别与图1a的第一流体源110、第一输送
管120、热交换器130、第一流体回收罐140、第二流体源210、第二输送管220和第二流体回收罐230基本上相同。因此，在本文中将主要描述第二存液弯160。
45.第二存液弯160可以被构造为使得液化的第一流体被输送到第一流体回收罐140，并且气化的第一流体不被输送到第一流体回收罐140。因此，液化的第一流体可以被回收在第一流体回收罐140中。例如，第二存液弯160可以包括自由浮动存液弯(free float trap)。第二存液弯160可以设置在热交换器130和第一流体回收罐140之间，并且可以连接在第一排出输送管120-2上，使得液化的第一流体可以从热交换器130通过第一排出输送管120-2和第二存液弯160输送到第一流体回收罐140。
46.第二存液弯160可以设置在热交换器130的竖直高度与第一流体回收罐140的竖直高度之间的竖直高度处。因此，从热交换器130排出的第一流体可以通过重力移动到第二存液弯160，并且已经通过第二存液弯160的第一流体可以输送到第一流体回收罐140。
47.图4a是示出根据本发明构思的实施例的流体供应系统的构造的图，并且图4b是示出从竖直方向观察的图4a的第二存液弯的图。
48.参考图4a，流体供应系统10c可以包括第一流体源110、第一输送管120、热交换器130、第一流体回收罐140、第二存液弯160、旁通管170、第二流体源210、第二输送管220和第二流体回收罐230。图4a的第一流体源110、第一输送管120、热交换器130、第一流体回收罐140、第二存液弯160、第二流体源210、第二输送管220和第二流体回收罐230可以分别与图1a的第一流体源110、第一输送管120、热交换器130、第一流体回收罐140、第二存液弯160、第二流体源210、第二输送管220和第二流体回收罐230基本上相同。因此，在本文中将主要描述旁通管170。
49.旁通管170可以被构造为使得已经通过热交换器130的第一流体绕开并且输送到第一流体回收罐140。第一输送管120可以包括其上安装有第二存液弯160的主管以及旁通管170。当将等于或大于其上设置有第二存液弯160的第一输送管120的输送流量的第一流体输送到第一输送管120时，旁通管170可以将溢出的第一流体输送到第一流体回收罐140。旁通管170可以设置在热交换器130和第一流体回收罐140之间。
50.旁通管170可以设置在热交换器130的竖直高度和第一流体回收罐140的竖直高度之间。例如，从热交换器130排出的第一流体可以通过重力移动到旁通管170，并且已经通过旁通管170的第一流体可以移动到第一流体回收罐140。另外，旁通管170可以处于比第二存液弯160的竖直高度高的竖直高度处。因此，当第二存液弯160不处理第一流体的流量时，第一流体可以在旁通管170中流动。如果旁通管170的竖直高度低于第二存液弯160的竖直高度，则第一流体可以优先输送到旁通管170。当安装第二存液弯160和旁通管170时，其上没有设置旁通管的第一排出输送管120-2可以被称为主管。例如，液化的第一流体可以从热交换器130通过第一排出输送管120-2、第二存液弯160和旁通管170输送到第一流体回收罐140。
51.另外，流体供应系统10c可以包括多个第二存液弯160。例如，其上设置有第二存液弯160的第一输送管120可以分支成多个管。其上设置有第二存液弯160的多个第一输送管120可以基本上处于相同的竖直高度处，并且可以并行地分支。
52.图5是示出根据本发明构思的实施例的流体供应系统的构造的图。
53.参考图5，流体供应系统10d可以包括第一流体源110、第一输送管120、热交换器
130、第一流体回收罐140、第二存液弯160、旁通管170、流量传感器180、第二流体源210、第二输送管220和第二流体回收罐230。图5的第一流体源110、第一输送管120、热交换器130、第一流体回收罐140、第二存液弯160、第二流体源210、第二输送管220和第二流体回收罐230可以分别与图4a的第一流体源110、第一输送管120、热交换器130、第一流体回收罐140、第二存液弯160、第二流体源210、第二输送管220和第二流体回收罐230基本上相同。因此，在本文中将主要描述流量传感器180。
54.流量传感器180可以测量第一流体的流量，以感测第一输送管120和第二存液弯160的操作是否异常。流量传感器180可以设置在第二存液弯160和第一流体回收罐140之间，使得第一流体可以从热交换器130通过第一排出输送管120-2、第二存液弯160和流量传感器180输送到第一流体回收罐140。例如，流量传感器180可以设置在与第二存液弯160的竖直高度相同的竖直高度处。因此，可以容易地确定流体供应系统10d的组件的操作是否异常。
55.根据本发明构思的实施例，当第一输送管120中的流量不包括在流量的预定范围内时，可以确定第一输送管120和/或第二存液弯160是有问题的。
56.当第一输送管120处于相同的竖直高度处并且分支成多个管，并且第二存液弯160设置在每个第一输送管120上时，流量传感器180可以设置在第二存液弯160和第一流体回收罐140之间。可以使用流量传感器180来确定第二存液弯160的操作是否异常。第二存液弯160和流量传感器180可以设置在相同的竖直高度处。
57.尽管在图5中未示出，但是当设置旁通管(图4a的170)时，流量传感器180可以设置在旁通管(图4a的170)上。因此，流量传感器180可以设置在与旁通管(图4a的170)的竖直高度相同的竖直高度处。
58.图6是示出根据本发明构思的实施例的流体供应系统的构造的图。
59.参考图6，流体供应系统10e可以包括第一流体源110、第一输送管120、热交换器130、第一流体回收罐140、第一存液弯150、第二存液弯160、旁通管170、流量传感器180、压力调节器190、第二流体源210、第二输送管220和第二流体回收罐230。
60.第一流体源110还可以包括压力调节器190。压力调节器190可以调节气化的第一流体的压力。因此，第一流体可以在适当的压力下被输送到热交换器130。例如，第一流体可以在大约1kgf/cm2至大约3kgf/cm2的压力下被供应到热交换器130。压力调节器190可以包括例如泵。根据本发明构思的实施例，压力调节器190可以设置在第一引入输送管120-1上。
61.第一流体可以从第一流体源110通过热交换器130输送到第一存液弯150。已经通过第一存液弯150的第一流体可以被输送到第二存液弯160和/或可以被输送旁通管170。此后，第一流体可以移动到第一流体回收罐140。因此，第一存液弯150可以设置在热交换器130和第二存液弯160之间。
62.例如，热交换器130处于比第一流体回收罐140、第一存液弯150、第二存液弯160、旁通管170和流量传感器180的竖直高度高的竖直高度处。因此，已经通过热交换器130的第一流体可以通过第一存液弯150、第二存液弯160、旁通管170和/或流量传感器180并且移动到第一流体回收罐140。
63.另外，旁通管170可以处于比第二存液弯160的竖直高度高的竖直高度处。另外，第二存液弯160和旁通管170可以处于比第一流体回收罐140的竖直高度高的竖直高度处。因
此，已经通过第二存液弯160和/或旁通管170的第一流体可以移动到第一流体回收罐140。
64.当旁通管170处于比第二存液弯160的竖直高度低的竖直高度处时，流过旁通管170的第一流体的流量会大于流过第二存液弯160的第一流体的流量。因此，旁通管170可以处于比第二存液弯160的竖直高度高的竖直高度处。
65.在示例实施例中，在热交换器130、第一流体回收罐140、第一存液弯150、第二存液弯160、旁通管170和流量传感器180之中，热交换器130可以处于最高的竖直高度处，并且第一流体回收罐140可以处于最低的竖直高度处。
66.如上所述，根据本发明构思的实施例，热交换器130的竖直高度与第一流体回收罐140的竖直高度之间的差h1可以为大约0.5m至大约5m。另外，第一存液弯150的第三部分的竖直高度与第一流体回收罐140的竖直高度之间的差h2可以为大约0.05m至大约0.5m。第二存液弯160的竖直高度与第一流体回收罐140的竖直高度之间的差h3可以为大约0.1m至大约2m。旁通管170的竖直高度与第一流体回收罐140的竖直高度之间的差h4可以为大约0.1m至大约3m。另外，第二存液弯160的竖直高度与旁通管170的竖直高度之间的差h5可以为大约0.1m至大约1m。
67.虽然已经参考本发明构思的实施例具体示出并描述了本发明构思，但是将理解的是，在不脱离所附权利要求的精神和范围的情况下，可以在其中进行形式和细节上的各种改变。

技术特征：
1.一种流体供应系统，所述流体供应系统包括：第一流体源，所述第一流体源被构造为供应第一流体；第二流体源，所述第二流体源被构造为供应第二流体；热交换器，所述热交换器被构造为在所述第一流体与所述第二流体之间进行热交换；第一流体回收罐，所述第一流体回收罐被构造为回收已经通过所述热交换器的所述第一流体；以及第一输送管，所述第一输送管被构造为将所述第一流体从所述第一流体源经由所述热交换器输送到所述第一流体回收罐，其中，所述热交换器设置在比所述第一流体回收罐的竖直高度高的竖直高度处。2.根据权利要求1所述的流体供应系统，所述流体供应系统还包括：存液弯，所述存液弯设置在所述热交换器和所述第一流体回收罐之间，并且包括所述第一输送管的在重力方向上向下延伸的第一部分、所述第一输送管的在水平方向上延伸的第二部分以及所述第一输送管的在与所述重力方向相反的方向上向上延伸的第三部分，其中，所述第一输送管的所述第一部分、所述第二部分和所述第三部分顺序地彼此连接，其中，所述第一输送管包括设置在所述第一流体源和所述热交换器之间的第一引入输送管以及设置在所述热交换器和所述第一流体回收罐之间的第一排出输送管，并且其中，所述第一排出输送管和所述存液弯被构造为将所述第一流体从所述热交换器输送到所述第一流体回收罐。3.根据权利要求2所述的流体供应系统，其中，所述存液弯设置在所述热交换器的竖直高度与所述第一流体回收罐的竖直高度之间。4.根据权利要求1所述的流体供应系统，所述流体供应系统还包括：存液弯，所述存液弯设置在所述热交换器与所述第一流体回收罐之间并且被构造为阻挡处于气态的所述第一流体。5.根据权利要求4所述的流体供应系统，其中，所述存液弯设置在所述热交换器的竖直高度与所述第一流体回收罐的竖直高度之间。6.根据权利要求1所述的流体供应系统，其中：所述热交换器包括第一流体入口和第一流体出口，所述第一流体通过所述第一流体入口注入，所述第一流体通过所述第一流体出口排出，并且所述第一流体入口的竖直高度高于第一流体出口的竖直高度。7.根据权利要求1所述的流体供应系统，其中：所述热交换器包括第一流体移动管，所述第一流体移动通过所述第一流体移动管，并且所述第一流体移动管具有z字形或螺旋形。8.一种流体供应系统，所述流体供应系统包括：第一流体源，所述第一流体源被构造为供应第一流体；第二流体源，所述第二流体源被构造为供应第二流体；热交换器，所述热交换器被构造为加热所述第二流体，并且在所述第一流体与所述第二流体之间进行热交换；
第一流体回收罐，所述第一流体回收罐被构造为回收已经通过所述热交换器的所述第一流体；第一输送管，所述第一输送管被构造为将所述第一流体从所述第一流体源经由所述热交换器输送到所述第一流体回收罐；第一存液弯，所述第一存液弯设置在所述热交换器和所述第一流体回收罐之间，并且包括所述第一输送管的在重力方向上向下延伸的第一部分、所述第一输送管的在水平方向上延伸的第二部分以及所述第一输送管的在与所述重力方向相反的方向上向上延伸的第三部分；以及第二存液弯，所述第二存液弯设置在所述热交换器和所述第一流体回收罐之间并且被构造为输送液态的所述第一流体，其中，所述热交换器设置在比所述第一流体回收罐的竖直高度高的竖直高度处，其中，所述第一输送管的所述第一部分、所述第二部分和所述第三部分顺序地彼此连接，其中，所述第一输送管包括设置在所述第一流体源和所述热交换器之间的第一引入输送管以及设置在所述热交换器和所述第一流体回收罐之间的第一排出输送管，并且其中，所述第一排出输送管以及所述第一存液弯和所述第二存液弯被构造为将所述第一流体从所述热交换器输送到所述第一流体回收罐。9.根据权利要求8所述的流体供应系统，其中，所述第二存液弯设置在所述第一存液弯和所述第一流体回收罐之间。10.根据权利要求8所述的流体供应系统，所述流体供应系统还包括：旁通管，所述旁通管设置在比其上设置有所述第二存液弯的主管的竖直高度高的竖直高度处，并且所述旁通管被构造为将所述第一流体从所述第一存液弯传送到所述第一流体回收罐。11.根据权利要求10所述的流体供应系统，其中，所述旁通管设置在所述热交换器的竖直高度与所述第一流体回收罐的竖直高度之间。12.根据权利要求8所述的流体供应系统，所述流体供应系统还包括：流量传感器，所述流量传感器设置在所述第一输送管上并且被构造为测量所述第一流体的流量。13.根据权利要求12所述的流体供应系统，其中，所述流量传感器设置在所述第二存液弯和所述第一流体回收罐之间。14.根据权利要求8所述的流体供应系统，其中：所述第一输送管并行地分支成处于相同竖直高度的多个管，并且在分支成的所述多个管中的每一者上设置有所述第二存液弯。15.一种流体供应系统，所述流体供应系统包括：第一流体源，所述第一流体源被构造为供应第一流体；第二流体源，所述第二流体源被构造为供应第二流体；热交换器，所述热交换器被构造为加热所述第二流体，并且在所述第一流体与所述第二流体之间进行热交换；第一流体回收罐，所述第一流体回收罐被构造为回收已经通过所述热交换器的所述第
一流体；第二流体回收罐，所述第二流体回收罐被构造为回收已经通过所述热交换器的所述第二流体；第一输送管，所述第一输送管被构造为将所述第一流体从所述第一流体源经由所述热交换器输送到所述第一流体回收罐；第二输送管，所述第二输送管被构造为将所述第二流体从所述第二流体源经由所述热交换器输送到所述第二流体回收罐；第一存液弯，所述第一存液弯设置在所述热交换器和所述第一流体回收罐之间，并且包括所述第一输送管的在重力方向上向下延伸的第一部分、所述第一输送管的在水平方向上延伸的第二部分以及所述第一输送管的在与所述重力方向相反的方向上向上延伸的第三部分；第二存液弯，所述第二存液弯设置在所述第一存液弯和所述第一流体回收罐之间并且被构造为输送处于液态的所述第一流体；以及旁通管，所述旁通管设置在所述第一存液弯和所述第一流体回收罐之间，并且被构造为将所述第一流体从所述第一存液弯输送到所述第一流体回收罐，其中，所述热交换器设置在比所述第一流体回收罐的竖直高度高的竖直高度处，其中，所述第一输送管的所述第一部分、所述第二部分和所述第三部分顺序地彼此连接，其中，所述第一输送管包括设置在所述第一流体源和所述热交换器之间的第一引入输送管以及设置在所述热交换器和所述第一流体回收罐之间的第一排出输送管，并且其中，所述第一排出输送管以及所述第一存液弯和所述第二存液弯被构造为将所述第一流体从所述热交换器输送到所述第一流体回收罐。16.根据权利要求15所述的流体供应系统，其中，所述第一流体以蒸气状态被供应到所述热交换器。17.根据权利要求15所述的流体供应系统，所述流体供应系统还包括：压力调节器，所述压力调节器设置在所述第一流体源和所述热交换器之间，并且被配置为调节所述第一流体的压力。18.根据权利要求15所述的流体供应系统，其中，所述热交换器的竖直高度与所述第一流体回收罐的所述竖直高度之间的差的范围为0.5m至5m。19.根据权利要求15所述的流体供应系统，其中，所述第二存液弯的竖直高度与所述第一流体回收罐的所述竖直高度之间的差的范围为0.1m至2m。20.根据权利要求15所述的流体供应系统，其中：所述第一流体包括蒸馏水，并且所述第二流体包括去离子水和超纯水中的至少一种。

技术总结
一种流体供应系统包括被构造为供应第一流体的第一流体源、被构造为供应第二流体的第二流体源、被构造为在所述第一流体与所述第二流体之间进行热交换的热交换器、被构造为回收已经通过所述热交换器的所述第一流体的第一流体回收罐以及被构造为将所述第一流体从所述第一流体源经由所述热交换器输送到所述第一流体回收罐的第一输送管。所述热交换器可以设置在比所述第一流体回收罐的竖直高度高的竖直高度处。竖直高度处。竖直高度处。


技术研发人员：李胤行 孙侊远 张智恩 崔友泳 朴恩惠
受保护的技术使用者：三星电子株式会社
技术研发日：2022.12.29
技术公布日：2023/8/23