一种基于超疏油-亲油表面的无极变焦太赫兹液体透镜的制备方法

1.本发明属于太赫兹透镜技术领域，具体涉及一种基于超疏油-亲油表面的无极变焦太赫兹液体透镜的制备方法。


背景技术：

2.太赫兹(terahertz，简称thz)波在电磁波谱中占有一个很特殊的位置，它是指频率在0.1～10thz(1thz＝10
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hz)内的电磁波。它的长波段与微波相接，短波段与红外线相接。由于其在电磁波谱中所处的特殊位置，太赫兹波具有一些红外和微波不能同时具有的独特性质。如低能性：指单光子能量低，对生物组织没有光损伤；瞬态性：典型脉宽在皮秒量级，具有很高的时间分辨率和信噪比；宽带性：太赫兹源大多可发射包含ghz到几十thz的宽谱信号，可用于光谱检测。高穿透性：太赫兹波对有机物和非极性物质有很强的穿透能力。由于具有上述特点，太赫兹波在成像、医疗诊断、通信、生物化学，安全检测等领域具有广阔的应用前景。在实际应用中，首先需要对太赫兹波进行聚焦、发散、反射、折射等操控，透镜是操控太赫兹波必不可少的基础器件。
3.常见太赫兹透镜多为固体材料制备，如高阻硅、石英、蓝宝石等晶体材料，以及pe、pp、ptef、tpx等聚合物材料。然而，与液体透镜相比，固体透镜一次成型后，焦距等光学参数将不能改变，改变焦距只能更换透镜。此外，固体透镜制作周期及成本较高。白油，绝缘油等油质材料在太赫兹波段具有很高的透射率且不易挥发，有一定张力，静置时形态稳定，是合适的太赫兹透镜材料。然而由于液体形成透镜不易操控，目前对于液体太赫兹透镜的开发研究还很少。可查阅到的液体太赫兹透镜仅有一例，且其制作方法是参考可见光波段的液体透镜制作方法，本质思路相近，在太赫兹波段并不十分契合。该方法需要容器盛装液体，并在液体中注入离子，依靠外加电场来调控液体表面曲率，有诸多弊端。
4.如上所述，首先，与液体透镜相比，固体透镜在制作上成本较高，使用上无法调焦，不如液体透镜灵活；其次，已有的液体透镜制作成本较高，使用不够方便，其需要透镜镜体结合外加电场来配合使用。另外，已有的透镜制作需要在油质液体中注入离子，然而太赫兹波对于极性物质的吸收很强，注入离子后会明显降低太赫兹波的透过率，然而不注入离子该透镜又无法实现调焦，因此该方法的实际应用效果不好，这种直接参考可见光波段的制作方法在太赫兹波段不是很契合。此外，该方法的调焦能力有限，该方法依靠外加电场来改变透镜表面的曲率，加入电场后，注入液体透镜的离子在电场力作用下定向移动，带动液体表面由平面向曲面拉伸，然而拉伸能力有限，并不能形成曲率较小的曲面。


技术实现要素：

5.为了克服以上现有技术存在的问题，本发明的目的在于提供一种基于超疏油-亲油表面的无极变焦太赫兹液体透镜的制备方法，该方法首先选用了太赫兹波段透过率很高，常温下不易挥发的非极性液体如白油等作为透镜材料；然后以激光微纳加工等超疏油
表面制备方法在硅等固体基板上制备超疏油-亲油的图案化混合表面；最后，将液体注入亲油区域，在重力和表面张力作用下油滴自然形成底面平面，顶面球面的平凸液体透镜。通过缓慢增加或减少液体，可连续的改变透镜的球面曲率，实现焦距的无极调节。
6.为了实现上述目的，本发明采用的技术方案是：
7.一种基于超疏油-亲油表面的无极变焦太赫兹液体透镜的制备方法，包括以下步骤；
8.第一步，选择太赫兹透过率高的固体基板，在基板表面刻蚀诱导微结构，构筑超疏油表面所需要的表面微纳形貌；
9.第二步，将刻蚀后的基板，通过酒精清洗后置于氟硅烷溶液中浸泡后取出晾干，以进行化学修饰降低该固体基板的表面自由能，构筑超疏油表面所需要的化学成分；经过这两步之后，该表面成为超疏油表面；
10.第三步，设定一个形成液体透镜所在的区域，在该设定区域上，用低功率参数再进行一次激光扫描，以除去该区域的化学修饰层，从而将该区域变为亲油区域，而该区域之外仍为超疏油区域，该次扫描除去化学修饰层的区域，由于表面能变为硅的本征表面自由能，而表现为亲油区域，因而形成了以第二次扫描区域为亲油区域，以亲油区域之外的全部区域为超疏油区域的“亲油-超疏油”图案化混合表面；
11.第四步，在该“亲油-超疏油”图案化混合表面的亲油区域注入油滴，注入的油滴在亲油作用下被自动黏附，并在该区域扩展晕开，油滴的边界扩展到亲油和超疏油区域的交界处后，由于超疏油表面的疏油作用而停止扩张，油滴边界停止在“亲油-超疏油”交界处，继续注入油滴后，油滴上表面自然鼓起，在表面张力作用下，形成表面曲率均匀的液体太赫兹透镜。
12.所述第一步具体为：透过率高的固体基板材质为硅；以激光刻蚀方法在基板表面诱导微结构。
13.所述激光刻蚀的具体方法和条件为：以扫描振镜控制激光聚焦光斑以20-60μm间距的十字图案为扫描路径进行刻蚀，激光功率平均功率一般为5-30w，脉冲重复频率为10-30khz，聚焦光斑直径为10-50μm。
14.所述微结构的结构特点是：在激光刻蚀后，光斑扫描过的区域被烧蚀去除，形成微米级的十字沟槽结构；同时，由激光烧蚀过程中的“熔融-喷射-沉积”作用在表面沉积一层丰富的纳米颗粒，由此构成了以十字沟槽形的微纳米复合结构。
15.所述激光扫描的参数限定条件为：十字沟槽的扫描间距一般应在40μm至100μm之间，沟槽深度在10μm至50μm之间；激光功率平均功率一般为5-30w，脉冲重复频率为不大于30khz，脉冲宽度不大于20ns，聚焦光斑直径为不大于50μm。
16.所述第二步，氟硅烷溶液中浸泡一般约30-60min；
17.所述氟硅烷溶液的溶液浓度为2％-8％质量浓度的氟硅烷异丙醇溶液，浸泡结束后，将其竖立晾干并在加热平台上以100-120℃加热30-60min。
18.所述第三步中：设定区域按所要形成的液体透镜的孔径来选取，一般为直径2-10mm的圆形区域。
19.所述低功率参数激光扫描的限定条件是：以十字沟槽为路径扫描，扫描间距应在3μm至10μm之间，激光平均功率不大于3w；其他激光参数不变，即脉冲重复频率为不大于
30khz，脉冲宽度不大于20ns，聚焦光斑直径不大于50um。此步骤的目的在于，以低功率密集轻扫的方式，刚好除去修饰层为宜，不应明显改变微米级形貌。
20.所述步骤四中，由于亲油区域和超疏油区域具有对油截然不同的润湿特性，当在亲油区域注入白油后，白油会立即润湿整个亲油区域，而不会润湿超过亲油-超疏油区域的边界进入超疏油区域；因此，在增加或减少液体时，白油与固体基板的接触区域，均始终只在基板的亲油区域；进而，由于底面的区域大小不再改变，其液体的上表面会随着增加液体时自然鼓起，曲率变小，随着减少液体时自然下落变平，曲率增大，从而，通过液体的增加和减少调节透镜的曲率。
21.所述油滴为白油。
22.所述液体太赫兹透镜由一个厚度约0.5mm的高阻硅固体基板和约0.1-2ml的白油构成；其中，固体基板作为透镜的载体，白油作为透镜的镜体；
23.工作时，在固体基板的亲油区域上注入白油，由于特殊的润湿性，白油只会润湿亲油区域，进而白油与基板接触的边缘可以固定不变；加入稍多白油时，其上表面会轻微鼓起，形成凸面，形成球冠状的平凸形状，从而可以作为透镜；
24.调节焦距时，只需要在亲油区域增加或减少白油，即可改变液体上表面的形状曲率，进而改变焦距；
25.其特性在于透镜体为液体，可自由改变透镜形状，调焦灵活。
26.所述液体太赫兹透镜中，当设定圆形亲油区域的直径d大小为d＝2mm直径时，可达近似零至无穷远的变焦范围；当加入小于0.5μl液体时，表面近似平面，焦距近似无穷远；当液体增加至10μl时，液体太赫兹透镜镜体为直径3mm的近似球形，此时焦点非常贴近透镜下表面，近似为f≈0；
27.当设定圆形亲油区域的直径大小为4mm＜d＜10mm直径范围时，变焦范围的最大值为f≈无穷远，最小值由d决定，约为f≈d/2；
28.当设定圆形亲油区域的直径大小为2mm＜d＜4mm直径范围时，变焦范围的最大值为f＝无穷远，最小值介于0至2mm之间；其中d＝2mm时，f≈0，d＝4mm时，f≈2mm；其中，d＝2mm，液体透镜体积最大可形成近似球体，此时f≈0；d＝4mm，液体透镜体积最大只能形成半球体，此时f≈d/2。
29.本发明的有益效果：
30.1、首先，该液体透镜区别于固体透镜，其常温下具有不固定形态，因此可灵活调节透镜曲率来改变焦距。
31.2、其次，该透镜的制作原理区别于之前提出的施加电场形成凸面的方式，其基本原理是基于亲油表面和超疏油表面对油质液体的不同界面表现而制作的，该方式制作简单，易于质量控制。
32.3、另外，由于其制作原理的不同，该透镜不需要参杂阴阳离子，其透镜的材料成分为单一纯净的油质液体白油，因此具有稳定的折射率和高的透过率。
33.4、还有，该透镜调节焦距方式为增加或减少液体，连续缓慢调节可实现无极变焦，操控简单灵活，实用性较强。不需要用外加电场控制调焦。
34.5、最后，该透镜具有极大的变焦范围。当设定圆形亲油区域的直径d大小为d＝2mm直径时，可达近似零至无穷远的变焦范围。当加入很少液体时(小于0.5μl)，表面近似平面，
焦距近似无穷远；当液体增加至最大时(约10μl)，透镜镜体为直径约3mm的近似球形，此时焦点非常贴近透镜下表面，近似为f≈0。
35.当设定圆形亲油区域的直径大小为4mm＜d＜10mm直径范围时，变焦范围的最大值为f≈无穷远，最小值由d决定，约为f≈d/2.这是由于，在d处于该尺寸时，液体透镜上表面最大鼓起至半圆，对应最小曲率为d/2，此时焦距近似为f≈d/2。
36.当设定圆形亲油区域的直径大小为2mm＜d＜4mm直径范围时，变焦范围的最大值为f＝无穷远，最小值介于0至2mm之间。其中d＝2mm时，f≈0，d＝4mm时，f≈2mm.这是由于，在d处于该尺寸时，液体透镜介于球体和半球体之间的状态。其中，d＝2mm，液体透镜体积最大可形成近似球体，此时f≈0；d＝4mm，液体透镜体积最大只能形成半球体，此时f≈d/2。
附图说明
37.图1是本发明流程示意图。
38.图2为本发明基于超疏油-亲油表面的太赫兹液体透镜的连续调焦过程示意图。
39.附图标记：
40.图中：1-激光微加工系统；2-固体基板；3-表面微结构的固体基板；4-氟硅烷溶液；5-超疏油表面的固体基板；6-超疏油区域；7-亲油区域；8
‑“
亲油-超疏油”图案化混合表面的固体基板；9-液体材料；10-液体太赫兹透镜。
具体实施方式
41.下面结合附图对本发明作进一步详细说明。
42.实施例1：
43.如图1所示：一种基于超疏油-亲油表面的无极变焦太赫兹液体透镜的制备方法，包括以下步骤；
44.第一步，选择太赫兹透过率较高的固体基板，在基板表面诱导微结构，构筑超疏油表面所需要的表面微纳形貌；
45.第二步，将刻蚀后的基板，通过酒精清洗后置于氟硅烷溶液中浸泡后取出晾干，以进行化学修饰来降低该固体基板的表面自由能，构筑超疏油表面所需要的化学成分；经过这两步之后，该表面成为超疏油表面；
46.第三步，设定一个形成液体透镜所在的区域，在该设定区域上，用低功率参数再进行一次激光扫描，以除去该区域的化学修饰层，从而将该区域变为亲油区域，而该区域之外仍为超疏油区域，从而形成“亲油-超疏油”图案化混合表面；
47.第四步，在该“亲油-超疏油”表面的亲油区域注入油滴，注入的油滴在亲油作用下被自动黏附，并在该区域扩展晕开，油滴的边界扩展到亲油和超疏油区域的交界处后，由于超疏油表面的疏油作用而停止扩张，油滴边界停止在“亲油-超疏油”交界处，继续注入油滴后，油滴上表面自然鼓起，在表面张力作用下，形成表面曲率均匀的液体太赫兹透镜。
48.所述第一步具体为：透过率高的固体基板材质为硅；以激光刻蚀方法在基板表面诱导微结构。
49.所述激光刻蚀的具体方法和条件为：以扫描振镜控制激光聚焦光斑以50μm间距的十字图案为扫描路径进行刻蚀，激光功率平均功率为20w，脉冲重复频率为20khz，聚焦光斑
直径为25um。
50.所述微结构的结构特点是：在激光刻蚀后，光斑扫描过的区域被烧蚀去除，形成微米级的十字沟槽结构；同时，由激光烧蚀过程中的“熔融-喷射-沉积”作用在表面沉积一层丰富的纳米颗粒，由此构成了以十字沟槽形的微纳米复合结构。
51.所述激光扫描的参数限定条件为：十字沟槽的扫描间距为50μm，沟槽深度在20μm；激光功率平均功率20w，脉冲重复频率为20khz，脉冲宽度15ns，聚焦光斑直径为30μm。
52.所述第二步，氟硅烷溶液中浸泡约40min；
53.所述氟硅烷溶液的溶液浓度为3％质量浓度的氟硅烷异丙醇溶液，浸泡结束后，以加热平台120
°
加热30min的方式晾干。
54.所述第三步中：设定区域按所要形成的液体透镜的孔径为直径5毫米的圆形区域。
55.所述低功率参数激光扫描的限定条件是：十字沟槽的扫描间距为5μm，激光平均功率为2w；其他激光参数不变，即脉冲重复频率为20khz，脉冲宽度为15ns，聚焦光斑直径为30μm。
56.所述油滴为白油。
57.所述液体太赫兹透镜由一个厚度约0.5mm的高阻硅固体基板和约1ml的白油构成；其中，固体基板作为透镜的载体，白油作为透镜的镜体；
58.1、作为本发明技术方案的进一步改进，所述液体材料也可为白油以外的其他非极性液体，包括：植物油，矿物油，润滑油，电器绝缘油等。
59.2、作为本发明技术方案的进一步改进，所述亲油-超疏油的图案化混合表面的制备技术，其中激光微纳加工制备超疏油表面为优选方案，也可为：气相沉积制备超疏油、旋涂法制备超疏油、磁控溅射制备超疏油等其他方法。
60.3、作为本发明技术方案的进一步改进，所述制备超疏油表面的固体基板，硅仅为一优选方案，包括但不限于其他太赫兹波可透射的固体基板，如pe、pp、ptfe、tpx等。
61.如图2所示：所述步骤四中，由于亲油区域和超疏油区域具有对油截然不同的润湿特性，当在亲油区域注入白油后，白油会立即润湿整个亲油区域，而不会润湿超过亲油-超疏油区域的边界进入超疏油区域；因此，在增加或减少液体时，白油与固体基板的接触区域，均始终只在基板的亲油区域；进而，由于底面的区域大小不再改变，其液体的上表面会随着增加液体时自然鼓起，曲率变小，随着减少液体时自然下落变平，曲率增大，从而，通过液体的增加和减少调节透镜的曲率。
62.所述液体太赫兹透镜由一个厚度约0.5mm的高阻硅固体基板和约0.1-2ml的白油构成；其中，固体基板作为透镜的载体，白油作为透镜的镜体；
63.工作时，在固体基板的亲油区域上注入白油，由于特殊的润湿性，白油只会润湿亲油区域，进而白油与基板接触的边缘可以固定不变；加入稍多白油时，其上表面会轻微鼓起，形成凸面，形成球冠状的平凸形状，从而可以作为透镜；
64.调节焦距时，只需要在亲油区域增加或减少白油，即可改变液体上表面的形状曲率，进而改变焦距；
65.其特性在于透镜体为液体，可自由改变透镜形状，调焦灵活。
66.本发明中，该液体透镜实现的基本原理，是基于图案化混合的“亲油-超疏油”表面基板的制备，在硅基板的亲油区域，其固体表面自由能高于油的表面能，该区域表现为亲
油，油滴完全润湿亲油区域；在超疏油区域，其固体表面的自由能低于油的表面能，油滴完全被超疏油表面排斥而无法润湿。因此，在亲油区域和超疏油区域的交界两边，油滴表现出截然不同的润湿特性。滴入亲油区域的油在铺展到超疏油边界处时将不再继续铺展，油滴边界将固定在亲油和超疏油区域的交界处，而丝毫不会扩展至超疏油区域。形成仅为亲油区域为孔径的油质液体透镜。如图2所示，当在亲油区域注入少量液体时，液体快速润湿亲油区域，形成一圆形孔径的油膜薄层，继续增加液体时，液体与固体接触面不会继续扩展，因而油膜上表面由于液体增加而缓慢鼓起，在重力和表面张力的作用下，油滴上表面自然形成球面，底面与基板贴合为平面，透镜整体为平凸透镜。当继续加入液体时，油滴、基板和空气构成的“固-液-气”三相线不会移动，油滴边界保持钉扎在亲油-超疏油交界处，形成尺寸固定不变的孔径，从而可以油膜上表面“更凸”，从而使透镜曲率更小，进而焦距变小；相反的，当缓慢减少液体时，油滴边界也仍然保持钉扎在亲油-超疏油交界处，孔径尺寸固定不变。从而使油膜上表面“更平”，从而使透镜曲率更大，进而焦距变大；因此，可通过简单的加入或减少液体，来灵活调节该液体透镜的焦距。
67.由于液体的加入和减少可以连续变化，因而透镜焦距可无极调节，且调节范围很大。
68.该液体透镜的调焦过程如附图2所示，当液体很少时，其上表面几乎为平面，此时具有最大的焦距，近似在无穷远处；当逐渐增加液体时，液体边缘位置不会扩展，保持不变的孔径，其上表面逐渐鼓起，曲率逐渐变小，焦距减小；当液体体积增加到最大时，液体透镜形状为球形(d＝2mm时)，这时焦点位于基板下表面附近，焦距近似为f≈0；或切去一小部分的球形(2mm＜d＜4mm时)，焦点位于基板下表面附近，最小焦距介于f≈0至f≈2mm之间；或半球形(4mm＜d＜10mm时)，此时，最小焦距与d相关，为f≈d/2。
69.以上内容仅为说明本发明的技术思想，不能以此限定本发明的保护范围，凡是按照本发明提出的技术思想，在技术方案基础上所做的任何改动，均落入本发明权利要求书的保护范围之内。

技术特征：
1.一种基于超疏油-亲油表面的无极变焦太赫兹液体透镜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤；第一步，选择太赫兹透过率高的固体基板，在基板表面刻蚀诱导微结构，构筑超疏油表面所需要的表面微纳形貌；第二步，将刻蚀后的基板进行化学修饰降低该固体基板的表面自由能，构筑超疏油表面所需要的化学成分；经过这两步之后，该表面成为超疏油表面；第三步，设定一个形成液体透镜所在的区域，在该设定区域上，再进行一次激光扫描，以除去该区域的化学修饰层，该次扫描除去化学修饰层的区域，由于表面能变为硅的本征表面自由能，而表现为亲油区域，因而形成了以第二次扫描区域为亲油区域，以亲油区域之外的全部区域为超疏油区域的“亲油-超疏油”图案化混合表面；第四步，在该“亲油-超疏油”图案化混合表面的亲油区域注入油滴，油滴上表面自然鼓起，在表面张力作用下，形成表面曲率均匀的液体太赫兹透镜。2.根据权利要求1所述的一种基于超疏油-亲油表面的无极变焦太赫兹液体透镜的制备方法，其特征在于，所述第一步具体为：透过率高的固体基板材质为硅；以激光刻蚀方法在基板表面诱导微结构。3.根据权利要求1所述的一种基于超疏油-亲油表面的无极变焦太赫兹液体透镜的制备方法，其特征在于，所述激光刻蚀的具体方法和条件为：激光刻蚀的扫描图案一般为十字沟槽，或平行线沟槽；十字，或平行线沟槽的扫描间距应在40μm至100μm之间，刻蚀后的沟槽深度一般在10μm至50μm之间。4.根据权利要求3所述的一种基于超疏油-亲油表面的无极变焦太赫兹液体透镜的制备方法，其特征在于，所述激光扫描的参数限定条件为：激光平均功率一般为5-30w，脉冲重复频率为不大于30khz，脉冲宽度不大于20ns，聚焦光斑直径为不大于50um。5.根据权利要求3所述的一种基于超疏油-亲油表面的无极变焦太赫兹液体透镜的制备方法，其特征在于，所述微结构的结构特点是：在激光刻蚀后，光斑扫描过的区域被烧蚀去除，形成微米级的十字沟槽结构；同时，由激光烧蚀过程中的“熔融-喷射-沉积”作用在表面沉积一层丰富的纳米颗粒，构成以十字沟槽形的微纳米复合结构。6.根据权利要求1所述的一种基于超疏油-亲油表面的无极变焦太赫兹液体透镜的制备方法，其特征在于，所述第二步，将刻蚀后的基板通过酒精清洗后置于氟硅烷溶液中浸泡后取出晾干，氟硅烷溶液中浸泡一般为20-60min；所述氟硅烷溶液的溶液浓度为3％质量浓度的氟硅烷异丙醇溶液，浸泡结束后，将其竖立晾干并在加热平台上以100-120℃加热30-60min。7.根据权利要求1所述的一种基于超疏油-亲油表面的无极变焦太赫兹液体透镜的制备方法，其特征在于，所述第三步中：设定区域按所要形成的液体透镜的孔径来选取，直径2-10mm的圆形区域。8.根据权利要求1所述的一种基于超疏油-亲油表面的无极变焦太赫兹液体透镜的制备方法，其特征在于，再进行一次激光扫描采用低功率参数，所述低功率参数激光扫描的限定条件是：十字沟槽的扫描间距应在3μm至5μm之间，激光平均功率不大于3w；其他激光参数不变，即脉冲重复频率为不大于30khz，脉冲宽度不大于20ns，聚焦光斑直径不大于50um；所述油滴为白油。
9.基于权利要求1-8任一项所述的方法得到的液体太赫兹透镜，其特征在于，液体太赫兹透镜由一个厚度约0.5mm的高阻硅固体基板和约0.1-2ml的白油构成；其中，固体基板作为透镜的载体，白油作为透镜的镜体；工作时，在固体基板的亲油区域上注入白油，由于特殊的润湿性，白油只会润湿亲油区域，进而白油与基板接触的边缘可以固定不变；加入稍多白油时，其上表面会轻微鼓起，形成凸面，形成球冠状的平凸形状，作为透镜；调节焦距时，只需要在亲油区域增加或减少白油，即可改变液体上表面的形状曲率，进而改变焦距；其特性在于透镜体为液体，可自由改变透镜形状，调焦灵活。10.根据权利要求9所述的液体太赫兹透镜，其特征在于；所述液体太赫兹透镜中，当设定圆形亲油区域的直径d大小为d＝2mm直径时，可达近似零至无穷远的变焦范围；当加入小于0.5ul液体时，表面近似平面，焦距近似无穷远；当液体增加至10微升时，液体太赫兹透镜镜体为直径3mm的近似球形，此时焦点非常贴近透镜下表面，近似为f≈0；当设定圆形亲油区域的直径大小为4mm＜d＜10mm直径范围时，变焦范围的最大值为f≈无穷远，最小值由d决定，约为f≈d/2.；当设定圆形亲油区域的直径大小为2mm＜d＜4mm直径范围时，变焦范围的最大值为f＝无穷远，最小值介于0至2mm之间；其中d＝2mm时，f≈0，d＝4mm时，f≈2mm；其中，d＝2mm，液体透镜体积最大可形成近似球体，此时f≈0；d＝4mm，液体透镜体积最大只能形成半球体，此时f≈d/2。

技术总结
一种基于超疏油-亲油表面的无极变焦太赫兹液体透镜的制备方法，包括以下步骤；第一步，选择太赫兹透过率较高的固体基板，在基板表面刻蚀诱导微结构；第二步，将刻蚀后的基板，通过酒精清洗后置于氟硅烷溶液中浸泡后取出晾干，以进行化学修饰来降低该固体基板的表面自由能，构筑超疏油表面所需要的化学成分；第三步，设定一个形成液体透镜所在的区域，在该设定区域上，用低功率参数再进行一次激光扫描，从而形成“亲油-超疏油”图案化混合表面；第四步，在该“亲油-超疏油”表面的亲油区域注入油滴，在表面张力作用下，形成表面曲率均匀的液体太赫兹透镜。本发明通过缓慢增加或减少液体，可连续的改变透镜的球面曲率，实现焦距的无极调节。节。节。


技术研发人员：周喜康 韩一平 陈兴飞 王皓杰 王皓宇
受保护的技术使用者：西安电子科技大学
技术研发日：2023.06.08
技术公布日：2023/9/9