用于蒸镀OLED显示面板的掩模板及其制作方法、显示装置与流程

用于蒸镀oled显示面板的掩模板及其制作方法、显示装置
技术领域
1.本发明涉及显示技术领域。更具体地，涉及一种用于蒸镀oled显示面板的掩模板及其制作方法、显示装置。


背景技术：

2.如今机发光二极管(organic light emitting diode，oled)屏幕市场前景广阔，各大厂商都在积极研发和生产各种oled屏幕，以应对市场需求。目前，amoled显示屏主要使用具有精细金属掩模单元的掩模板在真空环境中将发光材料蒸镀到显示面板上。掩模板具体包括：框架、用于定义rgb子像素的精密金属掩模(fine metal mask，fmm)和用于遮挡非蒸镀区和支撑fmm的支撑板组成。然而在蒸镀时，在边缘磁力作用下fmm用于定义像素区的边缘出现褶皱，导致边缘出现蒸镀混色，降低了产品良率。


技术实现要素：

3.本发明的目的在于提供一种掩膜板及其制作方法，以解决现有技术存在的问题中的至少一个。
4.为达到上述目的，本发明采用下述技术方案：
5.本发明第一方面提供了一种用于蒸镀oled显示面板的掩模板，包括框架、支撑板和由支撑板支撑的、延第一方向排布的多个掩模单元，掩模单元具有至少一个网格区域，支撑板开设有对应网格区域的多个开口，开口限定网格区域的蒸镀图形区，掩模板包括：与第一方向垂直的侧边区域，
6.其中，掩模板还包括：设置在侧边区域中的至少一个凸起，以使掩模板附于oled显示面板进行蒸镀时蒸镀图形区靠近侧边区域的边缘不发生褶皱，或者
7.其中，靠近侧边区域的掩模单元包括位于侧边区域的第一边和相对的第二边，第一边和第二边支撑在支撑板上，第一边的宽度大于第二边的宽度，以使掩模板附于oled显示面板进行蒸镀时蒸镀图形区靠近侧边区域的边缘不发生褶皱，或者
8.其中，位于侧边区域的支撑板包括至少一个夹持部，夹持部与开口对应并与框架绑定，以使掩模板附于oled显示面板进行蒸镀时蒸镀图形区靠近侧边区域的边缘不发生褶皱。
9.在一些可选的实施例中，支撑板包括凸起，凸起自支撑板远离框架一侧表面凸出，并且与开口对应。
10.在一些可选的实施例中，掩模单元在支撑板上的正投影与凸起不交叠。
11.在一些可选的实施例中，掩模单元在支撑板上的正投影与凸起交叠，
12.其中，凸起为楔形，楔形包括延支撑板厚度方向的竖直面和与竖直面相对的斜面，斜面相对于直面远离开口。
13.在一些可选的实施例中，每个侧边区域包括一个凸起，凸起延与第一方向垂直的第二方向上的长度与支撑板延第二方向的边长相等。
14.在一些可选的实施例中，凸起为设置在支撑板之上的填充条，凸起设置在支撑板远离框架一侧并与开口对应，且凸起在支撑板上的正投影与掩模单元在支撑板上的正投影不交叠。
15.在一些可选的实施例中，靠近侧边区域的掩模单元包括位于侧边区域的第一边和相对的第二边，第一边包括凸起，凸起自掩模单元靠近支撑板的表面凸出并与开口对应。
16.在一些可选的实施例中，凸起的厚度与掩模单元的厚度相等。
17.在一些可选的实施例中，其中，侧边区域包括：
18.当第一边的宽度大于第二边的宽度，掩模板附于oled显示面板进行蒸镀时掩模单元中位于侧边区域的部分发生褶皱，并且蒸镀图形区靠近侧边区域的边缘不发生褶皱。
19.在一些可选的实施例中，每个侧边区域包括一个夹持部，夹持部延与第一方向垂直的第二方向上的长度与支撑板延第二方向的边长相等，或者
20.每个侧边区域包括与开口对应的多个第一夹持部、以及设置在第一夹持部间且与开口间的实体对应的第二夹持部。
21.本发明第二方面提供一种oled显示面板，包括：包括显示区和围绕显示区的非显示区，显示区包括阵列排布的像素单元，像素单元包括有机发光层，
22.其中，非显示区包括自多个凸起，以使得利用附于oled显示面板的掩模板进行有机发光层蒸镀时，凸起在掩模板的正投影落入掩模板的侧边区域，使得掩模板对应显示区边缘的部分不发生褶皱。
23.本发明第三方面提供一种根据上文所述掩膜板的制作方法，包括：
24.将支撑板固定在框架上；
25.在支撑板上形成固定于框架的、延第一方向排列的多个掩膜板单元；
26.其中，掩模板还包括：设置在侧边区域中的至少一个凸起，以使掩模板附于oled显示面板进行蒸镀时蒸镀图形区靠近侧边区域的边缘不发生褶皱，或者
27.其中，靠近侧边区域的掩模单元包括位于侧边区域的第一边和相对的第二边，第一边和第二边支撑在支撑板上，第一边的宽度大于第二边的宽度，以使掩模板附于oled显示面板进行蒸镀时蒸镀图形区靠近侧边区域的边缘不发生褶皱，或者
28.其中，位于侧边区域的支撑板包括至少一个夹持部，夹持部与开口对应并与框架绑定，以使掩模板附于oled显示面板进行蒸镀时蒸镀图形区靠近侧边区域的边缘不发生褶皱。
29.本发明的有益效果如下：
30.本发明针对目前现有的问题，制定一种用于蒸镀oled显示面板的掩模板及其制作方法、显示装置，并通过在掩模板的垂直于掩模单元排布方向的侧边区域设置凸起；另外，通过使得靠近侧边区域的掩模单元靠近侧边区域的第一边的宽度大于相对的第二边的宽度，或者位于侧边区域夹持部与所述网格区域中的网格开孔对应并与框架绑定，使得掩模板附于oled显示面板进行蒸镀时蒸镀图形区靠近侧边区域的边缘不发生褶皱，从而使得及时蒸镀时与蒸镀图形区的边缘不发生蒸镀混色，提高了显示面板的良率，具有广泛的应用前景。
附图说明
31.下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步详细的说明。
32.图1示出现有技术中掩模板的示意性结构俯视图；
33.图2示出延图1中的线aa'截取的掩模板的示意性剖视图；
34.图3示出针对现有技术的掩模板贴附于oled显示面板进行蒸镀时支撑板受磁力影响的形变仿真图；
35.图4示出根据本发明实施例的用于蒸镀oled显示面板的掩模板的示意性结构俯视图；
36.图5示出延图4中的线bb'截取的用于蒸镀oled显示面板的掩模板的示意性剖视图；
37.图6示出根据本发明另一实施例的用于蒸镀oled显示面板的掩模板的示意性结构俯视图；
38.图7示出根据本发明另一实施例的用于蒸镀oled显示面板的掩模板的示意性剖视图；
39.图8示出根据本发明另一实施例的用于蒸镀oled显示面板的掩模板的示意性结构俯视图；
40.图9示出延图8中的线cc'截取的用于蒸镀oled显示面板的掩模板的示意性剖视图；
41.图10示出图9中示出的支撑板部分的示意性放大图；
42.图11示出根据本发明另一实施例的用于蒸镀oled显示面板的掩模板的示意性结构俯视图；
43.图12示出延图11中的线dd'截取的用于蒸镀oled显示面板的掩模板的示意性剖视图；
44.图13示出根据本发明另一实施例的用于蒸镀oled显示面板的掩模板的示意性结构俯视图；
45.图14示出延图13中的线ee'截取的用于蒸镀oled显示面板的掩模板的示意性剖视图；
46.图15示出根据本发明另一实施例的用于蒸镀oled显示面板的掩模板的示意性结构俯视图；
47.图16示出根据本发明另一实施例的用于蒸镀oled显示面板的掩模板的示意性结构俯视图；
48.图17示出延图16中的线ff'截取的用于蒸镀oled显示面板的掩模板的示意性剖视图。
具体实施方式
49.为了更清楚地说明本发明，下面结合实施例和附图对本发明做进一步的说明。附图中相似的部件以相同的附图标记进行表示。本领域技术人员应当理解，下面所具体描述的内容是说明性的而非限制性的，不应以此限制本发明的保护范围。
50.需要说明的是，本发明中描述的“具有”、“包含”、“包括”等均为开式的含义，即，当
描述模块“具有”、“包含”或“包括”第一元件、第二元件和/或第三元件时，表示该模块除了第一元件、第二元件和/或第三元件外还包括其他的元件。另外，本发明中“第一”、“第二”和“第三”等序数词并不旨在限定具体的顺序，而仅在于区分各个部分。
51.本发明中所述的“在
……
上”、“在
……
上形成”和“设置在
……
上”可以表示一层直接形成或设置在另一层上，也可以表示一层间接形成或设置在另一层上，即两层之间还存在其它的层。
52.如图1所示，现有技术中的掩模板包括框架、支撑板和掩模单元，支撑板中与掩模单元中的实体区域对应设置有夹持具，夹持具绑定在框架上固定支撑板，多个掩模单元延x方向排列，掩模单元延伸超出支撑板的部分焊接在框架上，支撑板上的多个开口用于限定蒸镀图形区(图中为圆形开口，实际应用中可以为矩形等其他形状)，为了清楚，未示出掩模板贴附于oled显示面板时的oled显示面板的轮廓。
53.如图2所示，当掩模板贴附于oled显示面板进行蒸镀时，因为掩模板垂直于x方向的侧边区域中，支撑板与显示面板之间存在至少与掩模单元的厚度s一致的间隙，在来自显示面板方向的磁力作用下，吸附位于侧边区域的支撑板的边缘被吸附贴近显示面板，从显示面板方向看，位于侧边区域的支撑板发生凹陷。参照图3所示的仿真图，在来自上方的磁力作用下，受磁力作用未固定的区域将朝向磁力方向倾斜上翘，而支撑板的开口间的实体部分被夹持具固定在框架上，因而支撑板的边缘将形成褶皱，褶皱相对于正常情况变化了m。因此，支撑于支撑板上的掩模单元受支撑板影响产生褶皱，从而在开口限定出的蒸镀图形区的、靠近以上侧边区域的边缘将形成高度h在1-5μm之间的褶皱，导致蒸镀混色问题，降低了产品良率。
54.为了解决以上问题，本发明的实施例提供了一种用于蒸镀oled显示面板的掩模板，包括框架、支撑板和由支撑板支撑的、延第一方向排布的多个掩模单元，掩模单元具有至少一个网格区域，支撑板开设有对应网格区域的多个开口，开口限定网格区域的蒸镀图形区，掩模板包括：与第一方向垂直的侧边区域，
55.其中，掩模板还包括：设置在侧边区域中的至少一个凸起，以使掩模板附于oled显示面板进行蒸镀时蒸镀图形区靠近侧边区域的边缘不发生褶皱，或者
56.其中，靠近侧边区域的掩模单元包括位于侧边区域的第一边和相对的第二边，第一边和第二边支撑在支撑板上，第一边的宽度大于第二边的宽度，以使掩模板附于oled显示面板进行蒸镀时蒸镀图形区靠近侧边区域的边缘不发生褶皱，或者
57.其中，位于侧边区域的支撑板包括至少一个夹持部，夹持部与开口对应并与框架绑定，以使掩模板附于oled显示面板进行蒸镀时蒸镀图形区靠近侧边区域的边缘不发生褶皱。
58.在本实施例中，通过在掩模板的垂直于掩模单元排布方向的侧边区域设置凸起；另外，通过使得靠近侧边区域的掩模单元靠近侧边区域的第一边的宽度大于相对的第二边的宽度，或者位于侧边区域夹持部与所述网格区域中的网格开孔对应并与框架绑定，使得掩模板附于oled显示面板进行蒸镀时蒸镀图形区靠近侧边区域的边缘不发生褶皱，从而使得及时蒸镀时与蒸镀图形区的边缘不发生蒸镀混色，提高了显示面板的良率，具有广泛的应用前景。
59.在一具体的示例中，参照图4所示，本技术中用于蒸镀oled显示面板的掩模板包
括：框架10、支撑板20和由支撑板20支撑的、延第一方向x排布的多个掩模单元30。
60.每个掩模单元30具有至少一个网格区域，该网格区域用于限定待蒸镀的像素，网格区域中的一个网孔对应一个像素点。支撑板20开设有对应网格区域的多个开口201，开口201限定网格区域的蒸镀图形区，也就是说，实际完成蒸镀的区域以开口201进行限定。
61.参照图5所示，掩模板包括与第一方向x垂直的侧边区域kk，侧边区域kk延第二方向y延伸。
62.特别地，在本技术的实施例中，掩模板还包括：设置在侧边区域kk中的至少一个凸起，以使掩模板附于oled显示面板进行蒸镀时蒸镀图形区靠近侧边区域的边缘不发生褶皱。
63.具体地，继续参照图4和图5所示，掩模板包括设置在侧边区域kk中的至少一个凸起202-1。在本示例中，支撑板包括该凸起202-1。凸起自支撑板20远离框架10一侧表面凸出，并且与开口201对应。可以通过电镀或者后板材刻蚀的方法在支撑板20上制作凸起202-1，当然本技术不限制具体制作方法。
64.凸起既可以与每个开口201一一对应，也可以与所有开口整体对应。即，可选地，参照图6所示，撑板上每个侧边区域kk可以仅包括一个凸起202-2，凸起延第二方向y的长度与支撑板20延第二方向y的边长相等。通过该方式，通过将凸起202-2只作为整体，同样达到了与开口201对应的目的，同时降低了工艺难度。
65.更具体地，继续参照图4和图5所示，掩模单元30在支撑板20上的正投影与凸起202-1不交叠，也就是，凸起202-1的位置与掩模板与oled显示面板40贴附在一起进行蒸镀时产生间隙的区域对应。较为优选地，凸起202-1的厚度与掩模单元30的厚度相等。凸起202-1的厚度也可以略低于掩模单元30的厚度，例如，凸起202-1的厚度比掩模单元30的厚度小2μm至5μm之间。当然其低于掩模单元30的值不能过多以掩模单元30被开口201限定出的蒸镀图形区靠近侧边区域kk的边缘不产生褶皱为准。
66.需要说明的是，本技术并不特别限定凸起202-1的延x方向的宽度，只要能够对间隙起到部分填充作用，使得当受到磁力作用时支撑板20位于侧边区域kk的部分不发生形变即可。当然，本领域技术人员可以理解，该宽度也不宜过宽，具体设计时考虑到支撑板的张望应力的均匀，在此不再赘述。
67.通过该设置，通过在掩模板与oled显示面板贴附在一起进行蒸镀时可能产生间隙的区域设置凸起，从而在空隙区域对支撑板形成支撑，使得支撑板位于侧边区域的部分在受到来自oled显示面板方向的磁力作用时，未固定在框架上的部分不会倾斜上翘，从而不发生褶皱，从而对应的掩模单元的蒸镀图形区的靠近侧边区域的边缘也不发生褶皱，避免边缘蒸镀混色，提高了产品良率。
68.需要说明的是，其实并不必要求在支撑板上制作凸起也能够通过填充间隙而实现避免蒸镀图形区褶皱的问题。参照图7所示，在另一可选的示例中，掩模板包括凸起，该凸起为设置在支撑板20之上的填充条50，凸起50可以为金属条，设置在支撑板远离框架一侧并与开口201对应。该凸起50在支撑板20上的正投影与掩模单元30在支撑板20上的正投影不交叠。
69.类似地，凸起50的厚度也可以略低于掩模单元30的厚度，例如，凸起50的厚度比掩模单元30的厚度小2μm至5μm之间。当然其低于掩模单元30的值不能过多以掩模单元30被开
口201限定出的蒸镀图形区靠近侧边区域kk的边缘不产生褶皱为准。
70.凸起50的材料可以与支撑板的材料一致或者不一致，通过将凸起制作为填充条的形式，可以在支撑板形成后，再在支撑板上形成另一层支撑层，能够降低支撑板的工艺难度，降低掩模板的成本。
71.凸起202-3既可以与每个开口201一一对应，也可以作为整体与每个开口对应。即，每个侧边区域kk可以仅包括一个凸起50，凸起50延第二方向y的长度与支撑板20延第二方向y的边长相等。通过该方式，通过将凸起202-2只作为整体，同样达到了与开口201对应的目的，同时降低了工艺难度。
72.通过该方式，同样能够在空隙区域对支撑板形成支撑，使得支撑板位于侧边区域的部分在受到来自oled显示面板方向的磁力作用时，未固定在框架上的部分不会发生倾斜上翘，不发生褶皱，从而对应的掩模单元的蒸镀图形区的靠近侧边区域的边缘也不发生褶皱，避免边缘蒸镀混色，提高了产品良率。
73.在一些可选的实施例中，参照图8和图9所示，支撑板20包括凸起202-3，凸起202-3自支撑板20远离框架10一侧表面凸出，并且与开口201对应。
74.在该示例中，参照图8和图9所示，掩模单元30在支撑板20上的正投影与凸起202-3交叠。凸起202-3为楔形，具体见图10所示，楔形包括延支撑板20厚度方向的竖直面和与竖直面相对的斜面，斜面相对于竖直面远离开口201。可选地，凸起202-3其支撑板20远离支撑架的表面凸起的厚度小于等于10μm。当然这只是示例性的，对于不同的显示产品该凸起的厚度可能不同，本技术并不旨在进行限制。
75.需要说明的是，凸起既可以如图8所示与每个开口201一一对应，也可以与各个开口201形成整体对应关系。即，每个侧边区域kk可以仅包括一个凸起，凸起延第二方向y的长度与支撑板20延第二方向y的边长相等。通过该方式，通过将凸起只作为整体，同样达到了与开口201对应的目的，同时降低了工艺难度。
76.通过以上设置，参照图9所示，通过提供与掩模单元位于侧边区域kk中的部分在正投影关系上发生交叠的楔形凸起202-3，当掩模板贴附于oled显示面板40进行蒸镀时，即使支撑板20与oled显示面板40之间的空隙依然存在，但当位于侧边区域kk的支撑板20受来自oled显示面板40方向的磁力而形变翘起时，楔形的凸起202-3的斜面对掩模单元30位于侧边区域kk的部分进行支撑，从而使得掩模单元30的蒸镀图形区靠近侧边区域kk的边缘不发生褶皱，避免蒸镀混色，提高了产品良率。
77.在一些可选的实施例中，参照图11和图12所示，靠近侧边区域kk的掩模单元30包括位于侧边区域kk的第一边和相对的第二边，第一边包括凸起301，凸起自掩模单元30靠近支撑板20的表面凸出并与开口201对应。优选地，凸起301的凸出厚度与不设置凸起时受磁力影响支撑板相对于正常状态变化距离m一致(图2中所示的m)。
78.凸起既可以如图11所示与每个开口201一一对应，也可以与各个开口201形成整体对应关系。即，每个侧边区域kk可以仅包括一个凸起，凸起延第二方向y的长度与支撑板20延第二方向y的边长相等。通过该方式，通过将凸起只作为整体，同样达到了与开口201对应的目的，同时降低了工艺难度。
79.以上设置，如图12所示，通过在侧边区域提供自掩模单元30靠近支撑板20的表面凸出的凸起301，使得当掩模板贴附于oled显示面板40进行蒸镀时，即使支撑板20与oled显
示面板40之间的空隙依然存在，但当位于侧边区域kk的支撑板20受来自oled显示面板40方向的磁力而形变翘起时，凸起301填充了支撑板翘起的空隙，相当于在支撑板位于侧边区域的部分受磁力而形变时凸起301与支撑板形变后的区域形成紧密支撑，从而使得掩模单元30的蒸镀图形区靠近侧边区域kk的边缘不发生褶皱，避免蒸镀混色，提高了产品良率。
80.在一些可选的实施例中，参照图13和图14所示，用于蒸镀oled显示面板的掩模板包括：框架10、支撑板20和由支撑板20支撑的、延第一方向x排布的多个掩模单元30。
81.每个掩模单元30具有至少一个网格区域，该网格区域用于限定待蒸镀的像素，网格区域中的一个网孔对应一个像素点。支撑板20开设有对应网格区域的多个开口201，开口201限定网格区域的蒸镀图形区，也就是说，具体将要蒸镀的区域以开口201进行限定。
82.参照图13所示，掩模板包括与第一方向x垂直的侧边区域kk，侧边区域kk延与第二方向y延伸。
83.特别地，在该实施例中，位于侧边区域的支撑板20包括至少一个夹持部。参照图14所示，夹持部与开口201对应并与框架10绑定，以使掩模板附于oled显示面板40进行蒸镀时蒸镀图形区靠近侧边区域的边缘不发生褶皱。
84.具体地，每个侧边区域kk包括一个夹持部60，夹持部60延第二方向y的长度与支撑板延第二方向y的边长相等，其中第二方向y垂直于第一方向x。
85.通过该方式将支撑板20完全固定在框架10上，从而使得掩模单元30的蒸镀图形区靠近侧边区域kk的边缘不发生褶皱，避免蒸镀混色，提高了产品良率。
86.进一步优选地，参照图15所示，每个侧边区域包括与开口对应的多个第一夹持部60'-1、以及设置在第一夹持部间且与开口201间的实体对应的第二夹持部60'-2。
87.通过该设置，利用第一夹持部60'-1减小支撑板位于侧边区域的边缘的翘曲变形，利用第二夹持部60'-2作为支撑板的拉伸夹具，用于提高支撑板的张网力量，保证支撑板张网的均匀性，使得能够在避免蒸镀混色的同时，确保提供足够的拉伸张网能力。
88.在另一些可选的实施例中，参照图16和图17所示，用于蒸镀oled显示面板的掩模板包括：框架10、支撑板20和由支撑板20支撑的、延第一方向x排布的多个掩模单元31。
89.每个掩模单元31具有至少一个网格区域，该网格区域用于限定待蒸镀的像素，网格区域中的一个网孔对应一个像素点。支撑板20开设有对应网格区域的多个开口201，开口201限定网格区域的蒸镀图形区，也就是说，具体将要蒸镀的区域以开口201进行限定。
90.参照图16所示，掩模板包括与第一方向x垂直的侧边区域kk，侧边区域kk延与第二方向y延伸。
91.特别地，靠近侧边区域kk的掩模单元31包括位于侧边区域kk的第一边和与第一边相对的第二边，第一边和第二边支撑在支撑板20上，第一边的宽度a大于第二边的宽度b，以使掩模板附于oled显示面板40进行蒸镀时蒸镀图形区靠近侧边区域kk的边缘不发生褶皱。
92.参照图17所示，当第一边的宽度大于第二边的宽度，掩模板附于oled显示面板进行蒸镀时掩模单元中位于侧边区域的部分发生褶皱，并且蒸镀图形区靠近侧边区域的边缘不发生褶皱。
93.通过该设置，使得当掩模板贴附于oled显示面板40进行蒸镀时，即使支撑板20与oled显示面板40之间的空隙依然存在，但当位于侧边区域kk的支撑板20受来自oled显示面板40方向的磁力而形变翘起时，因为将侧边区域中搭接在支撑板20上的第一边进行加宽，
使其宽度大于相对的第二边，掩模单元受支撑板20的翘曲变形的影响而发生褶皱变形的部分仅能够作用于位于侧边区域的部分，从而使得蒸镀图形区靠近侧边区域kk的边缘不受影响，从而蒸镀图形区的边缘不发生褶皱，避免了蒸镀混色，提高了产品良率。
94.本发明另一方面还提供一种oled显示面板，包括：包括显示区和围绕显示区的非显示区，显示区包括阵列排布的像素单元，像素单元包括有机发光层，
95.非显示区包括自多个凸起，以使得利用附于oled显示面板的掩模板进行有机发光层蒸镀时，掩模板对应显示区边缘的部分不发生褶皱。
96.通过该设置，将与掩模板的侧边区域对应的非显示区中提供多个凸起，使得利用附于oled显示面板的掩模板进行有机发光层蒸镀时，掩模板的支撑板与oled显示面板的间隙能够被凸起填充，凸起提供的支撑力使得支撑板位于侧边区域的部分不发生翘曲形变，从而使得掩模板与显示区边缘对应的部分不发生褶皱，避免了蒸镀混色，提高了产品的成品率。
97.基于同一发明构思，本发明的实施例还提供一种上文实施例所述的掩膜板的制作方法，包括：
98.将支撑板固定在框架上，掩模板单元具有至少一个网格区域，支撑板开设有对应网格区域的多个开口，开口限定网格区域的蒸镀图形区；
99.在支撑板上形成固定于框架的、延第一方向排列的多个掩膜板单元；
100.其中，掩模板还包括：设置在侧边区域中的至少一个凸起，以使掩模板附于oled显示面板进行蒸镀时蒸镀图形区靠近侧边区域的边缘不发生褶皱，或者
101.其中，靠近侧边区域的掩模单元包括位于侧边区域的第一边和相对的第二边，第一边和第二边支撑在支撑板上，第一边的宽度大于第二边的宽度，以使掩模板附于oled显示面板进行蒸镀时蒸镀图形区靠近侧边区域的边缘不发生褶皱，或者
102.其中，位于侧边区域的支撑板包括至少一个夹持部，夹持部与开口对应并与框架绑定，以使掩模板附于oled显示面板进行蒸镀时蒸镀图形区靠近侧边区域的边缘不发生褶皱。
103.通过以上方式，通过对掩模板的侧边区域进行改进，在侧边区域形成凸起，以及通过使得形成在侧边区域中的掩模单元的第一边的宽度大于相对的第二边，或者通过设置与开口对应的夹持部，从而能够通过简单的工艺方法，制作出在蒸镀时蒸镀图形区靠近侧边区域的边缘不发生褶皱的掩模板，从而避免了边缘蒸镀混色，工艺步骤简单，在现有技术基础上未提高生产成本，具有广泛的应用前景。
104.本发明针对目前现有的问题，制定一种用于蒸镀oled显示面板的掩模板及其制作方法、显示装置，并通过在掩模板的垂直于掩模单元排布方向的侧边区域设置凸起；另外，通过使得靠近侧边区域的掩模单元靠近侧边区域的第一边的宽度大于相对的第二边的宽度，或者位于侧边区域夹持部与网格区域中的网格开孔对应并与框架绑定，使得掩模板附于oled显示面板进行蒸镀时蒸镀图形区靠近侧边区域的边缘不发生褶皱，从而使得及时蒸镀时与蒸镀图形区的边缘不发生蒸镀混色，提高了显示面板的良率，具有广泛的应用前景。
105.显然，本发明的上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定，对于本领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动，这里无法对所有的实施方式予以穷举，凡是属于本发明
的技术方案所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之列。

技术特征：
1.一种用于蒸镀oled显示面板的掩模板，其特征在于，包括框架、支撑板和由所述支撑板支撑的、延第一方向排布的多个掩模单元，所述掩模单元具有至少一个网格区域，所述支撑板开设有对应所述网格区域的多个开口，所述开口限定所述网格区域的蒸镀图形区，所述掩模板包括：与所述第一方向垂直的侧边区域，其中，所述掩模板还包括：设置在所述侧边区域中的至少一个凸起，以使所述掩模板附于所述oled显示面板进行蒸镀时所述蒸镀图形区靠近所述侧边区域的边缘不发生褶皱，或者其中，靠近所述侧边区域的所述掩模单元包括位于所述侧边区域的第一边和相对的第二边，所述第一边和所述第二边支撑在所述支撑板上，所述第一边的宽度大于所述第二边的宽度，以使所述掩模板附于所述oled显示面板进行蒸镀时所述蒸镀图形区靠近所述侧边区域的边缘不发生褶皱，或者其中，位于所述侧边区域的所述支撑板包括至少一个夹持部，所述夹持部与所述开口对应并与所述框架绑定，以使所述掩模板附于所述oled显示面板进行蒸镀时所述蒸镀图形区靠近所述侧边区域的边缘不发生褶皱。2.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述支撑板包括所述凸起，所述凸起自所述支撑板远离所述框架一侧表面凸出，并且与所述开口对应。3.根据权利要求2所述的掩模板，其特征在于，所述掩模单元在所述支撑板上的正投影与所述凸起不交叠。4.根据权利要求2所述的掩模板，其特征在于，所述掩模单元在所述支撑板上的正投影与所述凸起交叠，其中，所述凸起为楔形，所述楔形包括延所述支撑板厚度方向的竖直面和与所述竖直面相对的斜面，所述斜面相对于所述直面远离所述开口。5.根据权利要求2所述的掩模板，其特征在于，每个所述侧边区域包括一个所述凸起，所述凸起延与所述第一方向垂直的第二方向上的长度与所述支撑板延所述第二方向的边长相等。6.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述凸起为设置在所述支撑板之上的填充条，所述凸起设置在所述支撑板远离所述框架一侧并与所述开口对应，且所述凸起在所述支撑板上的正投影与所述掩模单元在所述支撑板上的正投影不交叠。7.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，靠近所述侧边区域的所述掩模单元包括位于所述侧边区域的第一边和相对的第二边，所述第一边包括所述凸起，所述凸起自所述掩模单元靠近所述支撑板的表面凸出并与所述开口对应。8.根据权利要求3或6所述的掩模板，其特征在于，所述凸起的厚度与所述掩模单元的厚度相等。9.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，其中，所述侧边区域包括：当所述第一边的宽度大于所述第二边的宽度，所述掩模板附于所述oled显示面板进行蒸镀时所述掩模单元中位于所述侧边区域的部分发生褶皱，并且所述蒸镀图形区靠近所述侧边区域的边缘不发生褶皱。10.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，每个侧边区域包括一个所述夹持部，所
述夹持部延与所述第一方向垂直的第二方向上的长度与所述支撑板延所述第二方向的边长相等，或者每个所述侧边区域包括与所述开口对应的多个第一夹持部、以及设置在所述第一夹持部间且与所述开口间的实体对应的第二夹持部。11.一种oled显示面板，其特征在于，包括：包括显示区和围绕所述显示区的非显示区，所述显示区包括阵列排布的像素单元，所述像素单元包括有机发光层，所述非显示区包括自多个凸起，以使得利用附于所述oled显示面板的掩模板进行有机发光层蒸镀时，所述掩模板对应所述显示区边缘的部分不发生褶皱。12.一种根据权利要求1-10中任一项所述掩膜板的制作方法，其特征在于，包括：将所述支撑板固定在所述框架上，所述掩模单元具有至少一个网格区域，所述支撑板开设有对应所述网格区域的多个开口，所述开口限定所述网格区域的蒸镀图形区；在支撑板上形成固定于所述框架的、延第一方向排列的多个掩膜板单元；其中，所述掩模板还包括：设置在所述侧边区域中的至少一个凸起，以使所述掩模板附于所述oled显示面板进行蒸镀时所述蒸镀图形区靠近所述侧边区域的边缘不发生褶皱，或者其中，靠近所述侧边区域的所述掩模单元包括位于所述侧边区域的第一边和相对的第二边，所述第一边和所述第二边支撑在所述支撑板上，所述第一边的宽度大于所述第二边的宽度，以使所述掩模板附于所述oled显示面板进行蒸镀时所述蒸镀图形区靠近所述侧边区域的边缘不发生褶皱，或者其中，位于所述侧边区域的所述支撑板包括至少一个夹持部，所述夹持部与所述开口对应并与所述框架绑定，以使所述掩模板附于所述oled显示面板进行蒸镀时所述蒸镀图形区靠近所述侧边区域的边缘不发生褶皱。

技术总结
本发明公开一种用于蒸镀OLED显示面板的掩模板及其制作方法、显示装置。其中一实施例的用于蒸镀OLED显示面板的掩模板侧边区域，其中掩模板还包括：设置在侧边区域中的至少一个凸起，或者其中，靠近侧边区域的掩模单元包括位于侧边区域的第一边和相对的第二边，第一边和第二边支撑在支撑板上，开口限定网格区域的待蒸镀区第一边的宽度大于第二边的宽度，或者其中，位于侧边区域的支撑板包括至少一个夹持部，夹持部与开口对应并与框架绑定，以使掩模板附于OLED显示面板进行蒸镀时蒸镀图形区靠近侧边区域的边缘不发生褶皱。本发明实施例的掩模板，能够有效改善掩模板使用过程中出现的边缘褶皱问题，具有广泛的应用前景。具有广泛的应用前景。具有广泛的应用前景。


技术研发人员：沈阔 刘华猛 刘佳宁 李娟 王魁 王威
受保护的技术使用者：京东方科技集团股份有限公司
技术研发日：2022.03.01
技术公布日：2023/9/11