一种晶圆检测平台调平装置的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆检测技术领域，特别的涉及一种晶圆检测平台调平装置。


背景技术：

2.晶圆在加工完成后需要进行电性测试，在电性测试中，需要将晶圆水平放置于测试设备的晶圆调平装置上；现有的晶圆检测平台调平装置大部分在放置台中心处设置真空吸盘，通常直接把晶圆放置在真空吸盘上进行吸附定位，在进行调平工作，因晶圆被真空吸盘吸附在吸盘表面时，晶圆会由于空气压力或者有微小颗粒吸入使局部变形，影响晶圆平整度，进而影响检测平台对晶圆检测的精准度。
3.因此，提出一种晶圆检测平台调平装置以解决上述问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供晶圆检测平台调平装置，改善了真空吸盘吸附定位晶圆，容易影响晶圆平整度的问题。
5.本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种晶圆检测平台调平装置，包括：检测台，所述检测台的顶部设置有放置盘；定位机构，使晶圆快速定位在放置盘上的所述定位机构设置于放置盘的表面；其中，所述定位机构包括设置于放置盘表面的定位部件，所述定位部件的表面设置有驱动组件。
6.优选的，所述定位部件包括开设于放置盘表面环形分布的滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑块，所述滑块的顶部固定连接有夹持块，所述夹持块的表面固定连接有等列分布的弹性块，所述滑槽的内部转动连接有丝杆，所述滑块的内部螺纹连接于丝杆的表面，丝杆转动通过滑块带动夹持块移动，使四个夹持块带动弹性块同时靠近并对晶圆进行夹持定位，弹性块用于降低对晶圆表面夹持损伤。
7.优选的，所述放置盘的内部开设有环形分布的限位槽，所述限位槽与滑槽相连通，所述滑块的两侧均固定连接有限位块，所述限位块的表面滑动连接于限位槽的内部，所述限位块的表面固定连接有弹簧，所述弹簧的一端固定连接于限位槽的内部，限位块与限位槽对移动中的滑块进行限位，保证滑块在移动中的稳定性，弹簧用于增大滑块在移动中的阻力，降低夹持块与弹性块对晶圆夹持定位的冲击力。
8.优选的，所述放置盘的内部转动连接有第一锥形齿轮，所述丝杆的一端固定连接有第二锥形齿轮，所述第一锥形齿轮的表面与第二锥形齿轮的表面相啮合，第一锥形齿轮转动通过第二锥形齿轮带动四个丝杆同时转动，降低逐个转动丝杆的繁琐性。
9.优选的，所述滑块的表面固定连接有数量为两个的弹性波纹套，所述弹性波纹套远离滑块的一侧固定连接于滑槽的内部，滑块在移动中拉伸一侧弹性波纹套并挤压另一侧弹性波纹套，两个弹性波纹套在滑块移动中始终对滑槽进行封堵，进而阻隔外界杂质进入到滑槽内部，保证滑槽内部的整洁性。
10.优选的，所述驱动组件包括固定连接于放置盘底部的固定架，所述固定架的表面
固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出轴固定连接于第一锥形齿轮的底端，固定架用于对伺服电机进行支撑限位，保证伺服电机在放置盘上的稳固性。
11.本实用新型的有益效果是：
12.1、通过设置定位机构，伺服电机的输出轴通过第一锥形齿轮、第二锥形齿轮与丝杆带动滑块移动，弹簧增大了滑块移动的阻力，使四个夹持块带动弹性块同时缓慢靠近并对晶圆进行夹持定位，可夹持不同尺寸的晶圆，定位机构降低对晶圆表面夹持损伤，保证晶圆在放置盘上的平整度，此时再进行调平工作，保证检测平台对晶圆检测的精准度；
13.2、通过设置定位部件，滑块在移动中拉伸一侧弹性波纹套并挤压另一侧弹性波纹套，两个弹性波纹套在滑块移动中始终对滑槽进行封堵，进而阻隔外界杂质进入到滑槽内部，保证滑槽内部的整洁性。
附图说明
14.图1为本实用新型的整体结构示意图；
15.图2为本实用新型的放置盘与定位部件结构示意图；
16.图3为本实用新型的放置盘剖视图；
17.图4为本实用新型的定位机构结构示意图。
18.图中：1、检测台；2、放置盘；3、定位机构；301、定位部件；3011、滑槽；3012、滑块；3013、夹持块；3014、弹性块；3015、丝杆；3016、限位槽；3017、限位块；3018、弹簧；3019、第一锥形齿轮；30110、第二锥形齿轮；30111、弹性波纹套；302、驱动组件；3021、固定架；3022、伺服电机。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.具体实施时：如图1-4所示，一种晶圆检测平台调平装置，包括：检测台1，检测台1的顶部设置有放置盘2；定位机构3，使晶圆快速定位在放置盘2上的定位机构3设置于放置盘2的表面；其中，定位机构3包括设置于放置盘2表面的定位部件301，定位部件301的表面设置有驱动组件302。
21.如图2-4所示，定位部件301包括开设于放置盘2表面环形分布的滑槽3011，滑槽3011的内部滑动连接有滑块3012，滑块3012的顶部固定连接有夹持块3013，夹持块3013的表面固定连接有等列分布的弹性块3014，滑槽3011的内部转动连接有丝杆3015，滑块3012的内部螺纹连接于丝杆3015的表面，放置盘2的内部开设有环形分布的限位槽3016，限位槽3016与滑槽3011相连通，滑块3012的两侧均固定连接有限位块3017，限位块3017的表面滑动连接于限位槽3016的内部，限位块3017的表面固定连接有弹簧3018，弹簧3018的一端固定连接于限位槽3016的内部，放置盘2的内部转动连接有第一锥形齿轮3019，丝杆3015的一端固定连接有第二锥形齿轮30110，第一锥形齿轮3019的表面与第二锥形齿轮30110的表面相啮合，驱动组件302包括固定连接于放置盘2底部的固定架3021，固定架3021的表面固定
连接有伺服电机3022，伺服电机3022的输出轴固定连接于第一锥形齿轮3019的底端；
22.在需要对晶圆进行定位时，晶圆放置在放置盘2上，启动伺服电机3022，伺服电机3022的输出轴转动带动第一锥形齿轮3019转动，第一锥形齿轮3019转动带动四个第二锥形齿轮30110同时转动，第二锥形齿轮30110转动带动丝杆3015转动，丝杆3015转动带动滑块3012移动，滑块3012移动带动夹持块3013移动并带动限位块3017移动，限位块3017在移动中拉伸弹簧3018，弹簧3018增大限位块3017移动的阻力，进而使四个夹持块3013带动弹性块3014同时缓慢靠近并对晶圆进行夹持定位，可夹持不同尺寸的晶圆，提高使用定位机构3的自适应性，定位机构3降低对晶圆表面夹持损伤，保证晶圆在放置盘2上的平整度，此时再进行调平工作，保证检测平台对晶圆检测的精准度。
23.如图2所示，滑块3012的表面固定连接有数量为两个的弹性波纹套30111，弹性波纹套30111远离滑块3012的一侧固定连接于滑槽3011的内部(弹性波纹套30111的厂家：为清河县尚品橡胶制品有限公司，弹性波纹套30111的形状根据实际需求进行选择)，滑块3012在移动中拉伸一侧弹性波纹套30111并挤压另一侧弹性波纹套30111，两个弹性波纹套30111在滑块3012移动中始终对滑槽3011进行封堵，进而阻隔外界杂质进入到滑槽3011内部，保证滑槽3011内部的整洁性。
24.本实用新型在使用时，在需要对晶圆进行定位时，晶圆放置在放置盘2上，启动伺服电机3022，伺服电机3022的输出轴转动带动第一锥形齿轮3019转动，第一锥形齿轮3019转动带动四个第二锥形齿轮30110同时转动，第二锥形齿轮30110转动带动丝杆3015转动，丝杆3015转动带动滑块3012移动，滑块3012移动带动夹持块3013移动并带动限位块3017移动，限位块3017在移动中拉伸弹簧3018，弹簧3018增大限位块3017移动的阻力，进而使四个夹持块3013带动弹性块3014同时缓慢靠近并对晶圆进行夹持定位，可夹持不同尺寸的晶圆，提高使用定位机构3的自适应性，定位机构3降低对晶圆表面夹持损伤，保证晶圆在放置盘2上的平整度，此时再进行调平工作，保证检测平台对晶圆检测的精准度。
25.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

技术特征：
1.一种晶圆检测平台调平装置，其特征在于，包括：检测台(1)，所述检测台(1)的顶部设置有放置盘(2)；定位机构(3)，使晶圆快速定位在放置盘(2)上的所述定位机构(3)设置于放置盘(2)的表面；其中，所述定位机构(3)包括设置于放置盘(2)表面的定位部件(301)，所述定位部件(301)的表面设置有驱动组件(302)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测平台调平装置，其特征在于：所述定位部件(301)包括开设于放置盘(2)表面环形分布的滑槽(3011)，所述滑槽(3011)的内部滑动连接有滑块(3012)，所述滑块(3012)的顶部固定连接有夹持块(3013)，所述夹持块(3013)的表面固定连接有等列分布的弹性块(3014)。3.根据权利要求2所述的一种晶圆检测平台调平装置，其特征在于：所述滑槽(3011)的内部转动连接有丝杆(3015)，所述滑块(3012)的内部螺纹连接于丝杆(3015)的表面。4.根据权利要求2所述的一种晶圆检测平台调平装置，其特征在于：所述放置盘(2)的内部开设有环形分布的限位槽(3016)，所述限位槽(3016)与滑槽(3011)相连通，所述滑块(3012)的两侧均固定连接有限位块(3017)，所述限位块(3017)的表面滑动连接于限位槽(3016)的内部。5.根据权利要求4所述的一种晶圆检测平台调平装置，其特征在于：所述限位块(3017)的表面固定连接有弹簧(3018)，所述弹簧(3018)的一端固定连接于限位槽(3016)的内部。6.根据权利要求3所述的一种晶圆检测平台调平装置，其特征在于：所述放置盘(2)的内部转动连接有第一锥形齿轮(3019)，所述丝杆(3015)的一端固定连接有第二锥形齿轮(30110)，所述第一锥形齿轮(3019)的表面与第二锥形齿轮(30110)的表面相啮合。7.根据权利要求2所述的一种晶圆检测平台调平装置，其特征在于：所述滑块(3012)的表面固定连接有数量为两个的弹性波纹套(30111)，所述弹性波纹套(30111)远离滑块(3012)的一侧固定连接于滑槽(3011)的内部。8.根据权利要求6所述的一种晶圆检测平台调平装置，其特征在于：所述驱动组件(302)包括固定连接于放置盘(2)底部的固定架(3021)，所述固定架(3021)的表面固定连接有伺服电机(3022)，所述伺服电机(3022)的输出轴固定连接于第一锥形齿轮(3019)的底端。

技术总结
本实用新型涉及晶圆检测技术领域，具体的说是一种晶圆检测平台调平装置，包括：检测台，所述检测台的顶部设置有放置盘；定位机构，使晶圆快速定位在放置盘上的所述定位机构设置于放置盘的表面；其中，所述定位机构包括设置于放置盘表面的定位部件，所述定位部件的表面设置有驱动组件；该装置中伺服电机的输出轴通过第一锥形齿轮、第二锥形齿轮与丝杆带动滑块移动，弹簧增大了滑块移动的阻力，使四个夹持块带动弹性块同时缓慢靠近并对晶圆进行夹持定位，可夹持不同尺寸的晶圆，定位机构降低对晶圆表面夹持损伤，保证晶圆在放置盘上的平整度，此时再进行调平工作，保证检测平台对晶圆检测的精准度。检测的精准度。检测的精准度。


技术研发人员：张乔栋 刘少丽 杨萱
受保护的技术使用者：江苏纳沛斯半导体有限公司
技术研发日：2023.04.13
技术公布日：2023/9/19