一种掩膜板拼接精度检测装置的制作方法

1.本实用新型涉及掩膜板拼接检测技术领域，具体为一种掩膜板拼接精度检测装置。


背景技术：

2.掩膜版是对光刻机光源进行部分遮挡工件，光源通过掩膜版能够将电路光蚀刻在芯片上，有时候一个掩膜版无法满足一个大面板的光刻需求，需要将多个掩膜版拼接起来进行光刻，掩膜版拼接精度影响到面板的质量。
3.但是现有的掩膜版拼接精度检测一般通过显微镜直接观察掩膜版对接处，在掩膜版拼接较差时无法对掩膜版进行调节，工作人员手动调节容易造成较大误差，因此需要一种能够对掩膜版进行检测并可以对掩膜版拼接处进行调节的掩膜板拼接精度检测装置来解决该问题。


技术实现要素：

4.本技术的一个目的在于提供一种掩膜板拼接精度检测装置，能够解决现有技术中掩膜板拼接精度检测装置无法对掩膜板拼接处进行调节的技术问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种掩膜板拼接精度检测装置，包括第一安装板、移动杆和第一螺纹杆，所述第一安装板的顶部安装有第二安装板，所述第二安装板的背面贯穿活动安装有移动杆，所述移动杆的一端安装有显微镜；
6.所述第二安装板的背面对称贯穿活动安装有第一移动板。
7.优选的，所述第一安装板的背面贯穿安装有第一螺纹杆，第一螺纹杆的一端安装有第一顶块。
8.优选的，所述第一顶块的外侧活动安装有第一活动环，第一活动环的正面安装有第一连接块，且第一连接块的底部与移动杆的顶部相连接。
9.优选的，所述第一移动板的顶部安装有第二连接块。
10.优选的，所述第二安装板的背面对称贯穿安装有第二螺纹杆，第二螺纹杆的一端安装有第二顶块，第二顶块的外侧活动安装有第二活动环，且第二活动环的正面与第二连接块的背面相连接。
11.优选的，所述第一移动板的顶部安装有第一安装杆，第一安装杆的一侧贯穿活动安装有第二移动板，第一安装杆的顶部贯穿安装有第三螺纹杆。
12.优选的，所述第一安装杆的顶部安装有第二安装杆，第二安装杆的顶部贯穿安装有第四螺纹杆，第四螺纹杆的一端安装有橡胶垫。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
14.1、本实用新型将两块拼接的掩膜版放置在两个第一移动板上方，转动第四螺纹杆带动橡胶垫对掩膜版进行下压固定，然后利用显微镜对掩膜版拼接处进行显微观察，从而判断掩膜版的拼接精度，通过前后移动移动杆能够带动显微镜前后移动，从而能够对掩膜
版的不同位置进行显微观察，通过前后移动第一移动板能够带动掩膜版进行前后移动，从而可以将拼接不好的掩膜版进行调节，使掩膜版拼接的更加精准，使掩膜板拼接精度检测装置能够前后移动移动杆能够带动显微镜前后移动，从而能够对掩膜版的不同位置进行显微观察，从而判断掩膜版的拼接精度，通过前后移动第一移动板能够带动掩膜版进行前后移动，从而可以将拼接不好的掩膜版进行调节，使掩膜版拼接的更加精准。
15.2、本实用新型通过向内侧移动第二移动板可以对第一移动板的顶部放置掩膜版的区域进行覆盖，在不使用时避免灰尘落在第一移动板上，避免第一移动板上的灰尘粘附到掩膜版上，使掩膜板拼接精度检测装置通过向内侧移动第二移动板可以对第一移动板的顶部放置掩膜板的区域进行覆盖，在不使用时避免灰尘落在第一移动板上。
附图说明
16.图1为本实用新型的立体图；
17.图2为本实用新型的移动杆结构示意图；
18.图3为本实用新型的第一活动环结构示意图；
19.图4为本实用新型的第一移动板结构示意图；
20.图5为本实用新型的第二顶块结构示意图。
21.图中：1、第一安装板；101、第二安装板；2、移动杆；201、显微镜；3、第一螺纹杆；301、第一顶块；4、第一活动环；401、第一连接块；5、第一移动板；501、第二连接块；6、第二螺纹杆；601、第二顶块；602、第二活动环；7、第一安装杆；701、第二移动板；702、第三螺纹杆；8、第二安装杆；801、第四螺纹杆；802、橡胶垫。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
24.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
25.请参阅图1、图2和图3，本实用新型提供的一种实施例：一种掩膜板拼接精度检测装置；
26.包括第一安装板1、移动杆2、第一螺纹杆3和第一活动环4，第一安装板1的顶部安
装有第二安装板101，第一安装板1能够为该设备的其他部件提供安装位置，使该设备的其他部件有位置进行安装，第二安装板101起到安装移动杆2的作用，第二安装板101的背面贯穿活动安装有移动杆2，移动杆2的一端安装有显微镜201，移动杆2通过前后移动可以带动显微镜201前后移动，显微镜201可以对拼接的掩膜板对接处进行显微观察，从而检测拼接精度，第一安装板1的背面贯穿安装有第一螺纹杆3，第一螺纹杆3的一端安装有第一顶块301，第一螺纹杆3通过转动能够带动第一顶块301前后移动，第一顶块301通过前后移动可以带动第一活动环4前后移动，第一顶块301的外侧活动安装有第一活动环4，第一活动环4的正面安装有第一连接块401，且第一连接块401的底部与移动杆2的顶部相连接，第一活动环4起到连接第一顶块301和第一连接块401的作用，使第一顶块301和第一连接块401可以活动连接起来，第一连接块401起到连接第一活动环4和移动杆2的作用，使移动杆2可以随着第一螺纹杆3的移动而移动。
27.请参阅图1、图4和图5，本实用新型提供的一种实施例：一种掩膜板拼接精度检测装置；
28.包括第一移动板5、第二螺纹杆6、第一安装杆7和第二安装杆8，第二安装板101的背面对称贯穿活动安装有第一移动板5，第一移动板5的顶部安装有第二连接块501，第一移动板5能够为掩膜版提供放置位置，同时能够带动掩膜版前后移动，第二连接块501起到连接第一移动板5和第二活动环602的作用，使第一移动板5能够随着第二活动环602前后移动，第二安装板101的背面对称贯穿安装有第二螺纹杆6，第二螺纹杆6的一端安装有第二顶块601，第二顶块601的外侧活动安装有第二活动环602，且第二活动环602的正面与第二连接块501的背面相连接，第二螺纹杆6通过转动能够带动第二顶块601前后移动，第二顶块601前后移动能够带动第二活动环602前后移动，进而带动第一移动板5前后移动，第一移动板5的顶部安装有第一安装杆7，第一安装杆7的一侧贯穿活动安装有第二移动板701，第一安装杆7的顶部贯穿安装有第三螺纹杆702，第一安装杆7能够为第二移动板701提供安装位置，同时能够为第二移动板701提供导向，第二移动板701起到防尘的作用，能够在不使用时避免灰尘落在第一移动板5上，第三螺纹杆702通过转动能够对第二移动板701进行挤压固定，保证第二移动板701的稳定性，第一安装杆7的顶部安装有第二安装杆8，第二安装杆8的顶部贯穿安装有第四螺纹杆801，第四螺纹杆801的一端安装有橡胶垫802，第二安装杆8能够为第四螺纹杆801提供安装位置，使第四螺纹杆801有位置进行安装，第四螺纹杆801通过转动能够带动橡胶垫802进行上下移动，橡胶垫802可以对掩膜版进行下压固定，保证掩膜板在第一移动板5上的稳定性。
29.工作原理：在使用掩膜板拼接精度检测装置前，应先检查该掩膜板拼接精度检测装置是否存在影响使用的问题，首先将两块拼接的掩膜版放置在两个第一移动板5上方，转动第四螺纹杆801带动橡胶垫802对掩膜版进行下压固定，然后利用显微镜201对掩膜版拼接处进行显微观察，从而判断掩膜版的拼接精度，通过前后移动移动杆2能够带动显微镜201前后移动，从而能够对掩膜版的不同位置进行显微观察，通过前后移动第一移动板5能够带动掩膜版进行前后移动，从而可以将拼接不好的掩膜版进行调节，使掩膜版拼接的更加精准，通过向内侧移动第二移动板701可以对第一移动板5的顶部放置掩膜版的区域进行覆盖，在不使用时避免灰尘落在第一移动板5上，避免第一移动板5上的灰尘粘附到掩膜版上。
30.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内，不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利。

技术特征：
1.一种掩膜板拼接精度检测装置，包括第一安装板(1)、移动杆(2)和第一螺纹杆(3)，其特征在于：所述第一安装板(1)的顶部安装有第二安装板(101)，所述第二安装板(101)的背面贯穿活动安装有移动杆(2)，所述移动杆(2)的一端安装有显微镜(201)；所述第二安装板(101)的背面对称贯穿活动安装有第一移动板(5)。2.根据权利要求1所述的一种掩膜板拼接精度检测装置，其特征在于：所述第一安装板(1)的背面贯穿安装有第一螺纹杆(3)，第一螺纹杆(3)的一端安装有第一顶块(301)。3.根据权利要求2所述的一种掩膜板拼接精度检测装置，其特征在于：所述第一顶块(301)的外侧活动安装有第一活动环(4)，第一活动环(4)的正面安装有第一连接块(401)，且第一连接块(401)的底部与移动杆(2)的顶部相连接。4.根据权利要求1所述的一种掩膜板拼接精度检测装置，其特征在于：所述第一移动板(5)的顶部安装有第二连接块(501)。5.根据权利要求1所述的一种掩膜板拼接精度检测装置，其特征在于：所述第二安装板(101)的背面对称贯穿安装有第二螺纹杆(6)，第二螺纹杆(6)的一端安装有第二顶块(601)，第二顶块(601)的外侧活动安装有第二活动环(602)，且第二活动环(602)的正面与第二连接块(501)的背面相连接。6.根据权利要求1所述的一种掩膜板拼接精度检测装置，其特征在于：所述第一移动板(5)的顶部安装有第一安装杆(7)，第一安装杆(7)的一侧贯穿活动安装有第二移动板(701)，第一安装杆(7)的顶部贯穿安装有第三螺纹杆(702)。7.根据权利要求6所述的一种掩膜板拼接精度检测装置，其特征在于：所述第一安装杆(7)的顶部安装有第二安装杆(8)，第二安装杆(8)的顶部贯穿安装有第四螺纹杆(801)，第四螺纹杆(801)的一端安装有橡胶垫(802)。

技术总结
本实用新型公开了一种掩膜板拼接精度检测装置，包括第一安装板、移动杆和第一螺纹杆，所述第一安装板的顶部安装有第二安装板，所述第二安装板的背面贯穿活动安装有移动杆，所述移动杆的一端安装有显微镜，所述第二安装板的背面对称贯穿活动安装有第一移动板。本实用新型将两块拼接的掩膜版放置在两个第一移动板上方，转动第四螺纹杆带动橡胶垫对掩膜版进行下压固定，利用显微镜对掩膜版拼接处进行显微观察，从而判断掩膜版的拼接精度，通过前后移动移动杆能够带动显微镜前后移动，从而能够对掩膜版的不同位置进行显微观察，通过前后移动第一移动板能够带动掩膜版进行前后移动，从而可以将拼接不好的掩膜版进行调节，使掩膜版拼接的更加精准。接的更加精准。接的更加精准。


技术研发人员：郑卫东 李付英
受保护的技术使用者：深圳市柯宝原科技有限公司
技术研发日：2023.05.04
技术公布日：2023/9/19