一种光学镜片镀膜制作系统及其制作方法与流程
未命名
09-22
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1.本发明涉及镜片技术领域,尤其涉及一种光学镜片镀膜制作系统及其制作方法。
背景技术:
2.镀膜镜片就是在原本的镜片表面镀上一层或者多层薄膜,其中包括有加硬膜、抗反射膜、防水膜、抗污膜,能够有效的改善镜片的使用性能,方便人们针对使用环境进行镀不同的膜,镀膜主要方式有两种,一种是沉浸式镀膜,另一种是真空蒸镀式镀膜,真空蒸镀式就是将镀膜材料加热气化,在真空环境下覆在镜片表面凝聚成膜
3.如cn105483618b现有技术公开了一种镜片的镀膜方法,镜片凹面边缘膜层要求在不断的提高,以往的镀膜技术只能确保此类镜片凹面中心位置的分光,无法保证凹面边缘膜层的分光,而且由于镀膜技术的限制,边缘膜层牢固度,膜厚及分光都已经不能满足日益提升的技术要求。
4.另一种典型的如cn113106397b的现有技术公开的一种光学镀膜镜片及镀膜工艺,首先,现有的镀膜工艺在清洗后,不对镜片进行风干,一方面镜片的水渍容易影响镀膜效果,另一方面镜片残留的静电也会导致出现吸附气化后的镀膜材料现象,从而导致镜片表面的镀膜材料厚度不均匀现象,不利于使用;其次,现有的镀膜工艺在清洗的时候,镜片需要通过外部清洗篮进行装载,导致在清洗的时候,镜片容易与清洗篮发生摩擦,从而导致镜片表面被划伤的现象,而且在镀膜的时候,如果需要两面镀膜,则需要在一面镀膜后重新对镜片的另一面进行镀膜,工作效率差。
5.再来看如cn115125506b的现有技术公开的一种镜片真空镀膜机镜片架旋转驱动装置,在实际镀膜中,由于蒸发源位置的影响,真空室内各位置的镀膜材料原子的浓度可能不同,从而使得各位置镜片的镀膜厚度不同,使得同一批镜片的镀膜厚度存在差异,从而使得良品率降低。
6.为了解决本领域普遍存在镀膜智能程度低、无法对镀模的效果进行在线检测、无法对清洗后的镜片进行烘干、无法对镜片的位置进行精准控制、镀膜的效果无法评估等等问题,作出了本发明。
技术实现要素:
7.本发明的目的在于,针对目前所存在的不足,提出了一种光学镜片镀膜制作系统及其制作方法。
8.为了克服现有技术的不足,本发明采用如下技术方案:
9.一种光学镜片镀膜制作系统,所述光学镜片镀膜制作系统包括服务器、真空腔室,所述光学镜片镀膜制作系统还包括清洗模块、烘干模块、转向模块、镀膜模块、在线评估模块,所述服务器分别与清洗模块、烘干模块、转向模块、镀膜模块、在线评估模块连接;
10.所述清洗模块用于对所述镜片进行清洗,所述烘干模块对清洗后的镜片进行烘干并送入所述转向模块中,所述转向模块用于对所述镜片进行夹持,并将夹持后的镜片角度
进行调整,所述镀膜模块对夹持的所述镜片进行镀膜,所述在线评估模块对镀膜后的所述镜片进行在线评估,以获得所述镜片的镀膜状态分析结果,其中,所述镀膜模块和在线评估模块设置在所述真空腔室中;
11.所述在线评估模块包括光照单元、采集单元和评估单元,所述光照单元用于向所述镀膜后的所述镜片照射,所述采集单元用于采集所述镜片表面的反射光照强度数据,所述评估单元根据所述采集单元采集得到的所述光照强度数据对所述镜片的镀膜状态进行分析,形成状态分析结果;
12.其中,所述光照强度和所述采集单元设置在所述真空腔室中;
13.若所述状态分析结果不满足生产工艺要求,则将镀膜后的镜片进行舍弃;若所述状态分析结果满足生产工艺要求,则将镀膜后的所述镜片送出下一工序。
14.可选的,所述在线评估模块还包括第一位置调整单元和第二位置调整单元,所述第一位置调整单元用于对所述光照单元的位置进行调整,所述第二位置调整单元对所述采集单元的位置进行调整;
15.其中,所述第一位置调整单元和第二位置调整单元均设置在所述真空腔室的上端端面上。
16.可选的,所述清洗模块包括清洗单元和运输单元,所述运输单元对所述镜片进行运输,所述清洗单元对运输的所述镜片进行清洗;
17.所述清洗单元包括清洗槽和超声波清洗构件,所述超声波清洗构件设置在所述清洗槽中,并对通过所述运输单元运输的所述镜片进行清洗,所述清洗槽用于放置清洗液,且所述清洗槽的两侧槽壁上设置有供运输单元通行的活动腔。
18.可选的,所述运输单元包括运输构件、以及对称设置在所述运输构件上的第一夹持构件,所述运输构件用于对所述第一夹持构件的位置进行运输,所述夹持构件对所述镜片进行夹持,并恒速通过所述清洗槽;
19.所述第一夹持构件包括至少两个夹持杆、至少两个吸附嘴、以及至少两个夹持驱动机构,至少两个所述吸附嘴对应设置在至少两个所述夹持杆的一端端部,至少两个所述夹持杆的另一端分别与至少两个所述夹持驱动机构驱动连接形成夹持部,所述夹持部对所述镜片的侧边框进行夹持;
20.其中,不同规格厚度的镜片选用不同的吸附嘴。
21.可选的,所述评估单元获取所述采集单元第i个位置采集得到的光照强度数据,并根据下式计算第i个位置的反射指数reflectioni:
[0022][0023]
式中,i
ri
为反射光的光照强度,其值根据采集单元采集得到,ii为光照强度,其值根据光源发出的,ci为第i个位置的角度调整因子,其值满足:
[0024][0025]
式中,k为权重调整系数,其值有操作者根据实际情况进行设定,α为一个调节因子根据经验进行取值,θ1为光源在第i个位置照向所述镜片的角度,θ2为所述采集单元在第i个位置接收光线的角度;
[0026]
所述评估单元根据下式计算综合评估指数comprehensive:
[0027][0028]
式中,threshold为所生产的镜片的基准反射阈值,n为系统设定的采样位置总数量;
[0029]
若所述综合评估指数comprehensive超过设定的监控阈值range,则镀膜后的所述镜片满足生产要求,并将所述镜片送入后续的工序。
[0030]
可选的,所述转向模块包括升降单元、限位单元、转向单元,所述升降单元对所述限位单元和所述转向单元的位置进行调整,所述限位单元用于对所述镜片进行限位,所述转向单元驱动所述转向单元进行转动;
[0031]
所述转向单元包括转动驱动机构、角度检测件和转动杆,所述转动杆的一端与所述限位单元连接,所述转动杆的另一端与所述转动驱动机构驱动连接形成转动部,所所述转动部设置在所述真空腔室中,所述角度检测件对所述转动杆的转动角度进行检测,所述转动驱动机构驱动所述转动杆进行转动。
[0032]
另外,本发明还提供一种光学镜片镀膜制作方法,所述光学镜片镀膜制作方法包括以下步骤:
[0033]
s1、将欲镀膜的镜片放置在所述运输单元中,并通过运输单元运输至所述清洗单元中进行清洗;
[0034]
s2、对清洗的所述镜片进行烘干,在烘干完毕后进入步骤s4;
[0035]
s3、将烘干后的所述镜片送入所述限位单元中进行限位,并在升降单元的调整下将所述转向单元和限位单元送入所述真空腔室中;
[0036]
s4、所述镀膜模块将所需镀膜材料向所述真空腔室中进行供应;
[0037]
s5、通过所述转向单元调整所述镜片角度;
[0038]
s6、在镀膜的过程中,通过所述在线评估模块对所述镜片进行在线评估,以确定所述镜片上的镀膜状态。
[0039]
可选的,所述光学镜片镀膜制作方法还包括:
[0040]
所述镀膜模块通过热蒸发或电子轰击方式,将镀膜材料转化为蒸发物并沉积在所述镜片的表面上,形成所需的镀膜。
[0041]
可选的,所述光学镜片镀膜制作方法还包括:
[0042]
所述转向单元调整所述镜片的角度时,朝同一方向匀速转动。
[0043]
可选的,所述光学镜片镀膜制作方法还包括:
[0044]
所述镀膜材料包括二氧化硅、二氧化钛、金属靶材和碳化硅。
[0045]
本发明所取得的有益效果是:
[0046]
1.通过评估单元和采集单元、光照单元的相互配合,使得镀膜后的镜片能够进行在线评估,有效提升整个系统的智能程度,使得整个系统具有在线检测、评估精度高的优点;
[0047]
2.通过清洗模块和烘干模块的相互配合,保证吸附在镜片上的灰尘能够被清洗,以保证镀膜的质量,防止镀膜过程中造成镀膜效果不佳的缺陷出现;
[0048]
3.通过升降单元、转向单元和限位单元之间的配合,使得清洗后的镜片能够转移
至真空腔室中,以配合镀膜模块对镜片进行镀膜,保证镜片的镀膜质量,使得整个系统具有智能程度高、能自动运行的优点;
[0049]
4.通过运输单元和转向模块的相互配合,使得清洗后的镜片能够转移至真空腔室中,以防止环境中的灰尘吸附在镜片上,导致镀膜效果下降;
[0050]
5.通过光照单元和采集单元的相互配合,使得镜片上的镀膜的光线反射强度被精准采集。
附图说明
[0051]
从以下结合附图的描述可以进一步理解本发明。图中的部件不一定按比例绘制,而是将重点放在示出实施例的原理上。在不同的视图中,相同的附图标记指定相同的部分。
[0052]
图1为本发明的整体方框示意图。
[0053]
图2为本发明的镜片、升降单元、转向单元、限位单元、镀膜模块的方框示意图。
[0054]
图3为本发明的评估单元的评估流程示意图。
[0055]
图4为本发明的镀膜模块、真空腔室、升降单元、转向单元、限位单元的部分剖视示意图。
[0056]
图5为图4中a处的放大示意图。
[0057]
图6为本发明的承接单元与运输单元的俯视示意图。
[0058]
图7为本发明的第一夹持构件和镜片的结构示意图。
[0059]
图8为本发明的清扫杆和运输单元的部分结构示意图。
[0060]
图9为本发明的清扫构件和清洗槽的侧视示意图。
[0061]
图10为本发明的清洗槽和运输单元的俯视示意图。
[0062]
附图标记说明:1、真空腔室;2、光照单元;3、第一调整轨道;4、第二调整轨道;5、采集单元;6、镜片;7、连接管道;8、接触件;9、限位杆;10、限位座;11、镀膜模块;12、升降杆;13、密封塞;14、第二夹持构件;15、承接运输;16、运输轨道;17、转向单元;18、吸附嘴;19、保护垫;20、夹持杆;21、第一夹持构件;22、烘干模块;23、支撑立座;24、清扫杆;25、清洗槽;26、清洗刷毛。
具体实施方式
[0063]
以下是通过特定的具体实施例来说明本发明的实施方式,本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本发明的优点与效果。本发明可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用,本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用,在不悖离本发明的精神下进行各种修饰与变更。另外,本发明的附图仅为简单示意说明,并非依实际尺寸的描绘,事先声明。以下的实施方式将进一步详细说明本发明的相关技术内容,但所公开的内容并非用以限制本发明的保护范围。需要说明的是,在本实施中的,光学镜片与镜片均为同一物品所指,不存在指向两种不同物品的情况。
[0064]
实施例一:根据图1、图2、图3、图4、图5、图6、图7、图8、图9和图10所示,本实施例提供一种光学镜片镀膜制作系统,所述光学镜片镀膜制作系统包括服务器、真空腔室1,所述光学镜片镀膜制作系统还包括清洗模块、烘干模块22、转向模块、镀膜模块11、在线评估模块,所述服务器分别与清洗模块、烘干模块22、转向模块、镀膜模块11、在线评估模块连接,
并将清洗模块、烘干模块22、转向模块、镀膜模块11、在线评估模块的过程数据传输至所述服务器的数据库进行存储;
[0065]
所述清洗模块用于对所述镜片6进行清洗,所述烘干模块22对清洗后的镜片6进行烘干并送入所述转向模块中,所述转向模块用于对所述镜片6进行夹持,并将夹持后的镜片6角度进行调整,所述镀膜模块11对夹持的所述镜片6进行镀膜,所述在线评估模块对镀膜后的所述镜片6进行在线评估,以获得所述镜片6的镀膜状态分析结果,其中,所述镀膜模块11和在线评估模块设置在所述真空腔室1中;
[0066]
所述光学镜片镀膜制作系统还包括中央控制器,所述中央控制器分别与所述清洗模块、烘干模块22、转向模块、镀膜模块11、在线评估模块控制连接,并基于所述中央控制器对所述清洗模块、烘干模块22、转向模块、镀膜模块11、在线评估模块进行集中控制,以使得整个系统具有较高的智能程度;
[0067]
本实施例中,待镀膜处理的镜片6依次完成以下的操作:
[0068]
清洗
‑‑‑‑
烘干
‑‑‑‑
进入真空腔室1
‑‑‑‑
镀膜(镀膜过程中依据工艺进行镜片6位置的转向)
‑‑‑‑
在线检测;
[0069]
其中,清洗操作通过所述清洗模块进行,烘干操作通过所述烘干模块22实现,其中,所述烘干模块22设置在清洗单元的操作之后,以将所述镜片6上的水渍烘干,防止镜片6上的水对镀膜造成影响;
[0070]
当烘干完毕后,通过所述转向单元17将所述镜片6送入所述真空腔室1中,并利用与真空腔室1连接的所述镀膜模块11对所述镜片6进行镀膜,当完成一个镀膜流程后,利用所述在线评估模块对所述镜片6进行在线检测,以获得前一个阶段的镀膜状况,若不满足设定的工艺要求,则继续触发对所述镜片6的镀膜或抛弃该镜片6;
[0071]
在本实施中,所述转向模块设置在所述真空腔室1下方,且所述真空腔室1的底部开设有供所述转向模块通行的动作腔;
[0072]
所述光学镜片镀膜制作系统还包括密封模块,所述密封模块在所述转向模块进入所述真空腔室1后(处于工作状态时),对所述动作腔进行密封,以保证所述真空腔室1中能够形成真空或半真空环境;其中,所述密封模块与所述中央处理器控制连接,并基于所述中央处理器进行集中控制;
[0073]
如图4所示,转向模块能将烘干的镜片6进行夹持后,送入所述真空腔室1中,并利用密封模块对动作腔进行密封,以在所述真空腔室1中形成真空或半真空环境;
[0074]
可选的,所述清洗模块包括清洗单元和运输单元,所述运输单元对所述镜片6进行运输,所述清洗单元对运输的所述镜片6进行清洗;
[0075]
所述清洗单元包括清洗槽25和超声波清洗构件,所述超声波清洗构件设置在所述清洗槽25中,并对通过所述运输单元运输的所述镜片6进行清洗,所述清洗槽25用于放置清洗液,且所述清洗槽25的两侧槽壁上设置有供运输单元通行的活动腔;
[0076]
所述清洗构件包括至少超声波清洗仪和计时器,所述计时器用于对至少一个超声波清洗仪的清洗时间进行计时,至少一个超声波清洗仪对所述镜片6进行清洗;
[0077]
可选的,所述运输单元包括运输构件、以及对称设置在所述运输构件上的第一夹持构件21,所述运输构件用于对所述第一夹持构件21的位置进行运输,所述夹持构件对所述镜片6进行夹持,并恒速通过所述清洗槽25;
[0078]
如图8和图4所示,所述运输构件包括运输轨道16和运输驱动机构,所述运输轨道16倒“几”字型,且在所述清洗槽25中的所述运输轨道16在清洗液位以下,运输驱动机构驱动所述第一夹持构件21沿着运输轨道16的方向进行滑动;
[0079]
所述第一夹持构件21包括至少两个夹持杆20、至少两个吸附嘴18、以及至少两个夹持驱动机构,至少两个所述吸附嘴18对应设置在至少两个所述夹持杆20的一端端部,至少两个所述夹持杆20的另一端分别与至少两个所述夹持驱动机构驱动连接形成夹持部,所述夹持部对所述镜片6的侧边框进行夹持;
[0080]
其中,不同规格厚度的镜片6选用不同的吸附嘴18;
[0081]
如图8所示,所述活动腔呈u字型且保证所述运输带带动所述夹持构件和镜片6能够通过清洗槽25的液位以下,从而实现对所述镜片6的清洗;
[0082]
同时,所述烘干模块22设置在所述运输单元的运输路线上,并对通过的所述镜片6进行烘干,以提升所述镜片6的镀膜精度和镀膜效果;
[0083]
其中,所述烘干模块22设置在所述运输单元将所述镜片6朝所述真空腔室1运送的路径上方,以实现对清洗后的镜片6进行烘干;
[0084]
所述烘干模块22包括烘干单元和温度检测单元,所述温度检测单元用于对所述烘干单元的烘干温度进行检测,所述烘干单元对经过清洗的所述镜片6进行烘干;
[0085]
所述烘干单元包括加热棒和烘干腔,所述烘干腔用于对所述加热棒进行支撑,所述加热棒设置在所述烘干腔中;
[0086]
所述温度检测单元包括至少一个温度传感器,至少一个温度传感器用于对所述烘干腔下运输的所述镜片6周围的环境温度进行检测,以保证烘干的温度能恰好满足烘干而不会导致过高温度影响镜片6的表面质量;
[0087]
通过清洗模块和烘干模块22的相互配合,保证吸附在镜片6上的灰尘能够被清洗,以保证镀膜的质量,防止镀膜过程中造成镀膜效果不佳的缺陷出现;
[0088]
可选的,所述转向模块包括升降单元、限位单元、转向单元17,所述升降单元对所述限位单元和所述转向单元17的位置进行调整,所述限位单元用于对所述镜片6进行限位,所述转向单元17驱动所述转向单元17进行转动;
[0089]
具体的,所述限位单元设置在所述转向单元17中,并通过所述转向单元17对所述限位单元和限位单元限位的镜片6的角度进行调整;
[0090]
所述升降单元包括升降杆12、高度检测件和升降驱动机构,所述升降杆12的一端与所述转向单元17进行连接,所述升降驱动机构与所述升降杆12的另一端驱动连接,并驱动所述升降杆12进行伸缩动作,所述高度检测件用于对所述升降杆12的升降高度进行检测;
[0091]
所述限位单元包括限位座10、对称设置在的至少两个限位构件,至少两个限位构件用于对所述镜片6进行限位,其中,至少两个限位构件设置在所述限位座10上;
[0092]
所述限位构件包括限位杆9、限位驱动机构、接触件8和伸缩检测件,所述限位杆9的一端与所述接触件8连接,所述接触件8与所述镜片6的边框柔性接触,所述限位驱动机构与所述限位杆9驱动连接;所述限位杆9设置为可伸缩式,并在所述限位驱动机构的驱动下进行伸缩动作;另外,所述伸缩检测对所述限位杆9的伸缩长度进行检测;
[0093]
所述转向单元17包括转动驱动机构、角度检测件和转动杆,所述转动杆的一端与
所述限位单元连接,所述转动杆的另一端与所述转动驱动机构驱动连接形成转动部,所所述转动部设置在所述真空腔室1中,所述角度检测件对所述转动杆的转动角度进行检测,所述转动驱动机构驱动所述转动杆进行转动;
[0094]
通过升降单元、转向单元17和限位单元之间的配合,使得清洗后的镜片6能够转移至真空腔室1中,以配合镀膜模块11对镜片6进行镀膜,保证镜片6的镀膜质量,使得整个系统具有智能程度高、能自动运行的优点;
[0095]
另外,所述转向模块还包括承接单元,如图6所示,所述承接单元用于承接所述限位单元和所述运输单元运输的所述镜片6;当所述运输单元将运输到所述承接单元后,所述承接单元将所述镜片6运输至所述限位单元中,并通过所述限位杆9和所述限位驱动机构的作用下对所述镜片6进行夹持(夹持的过程中,限位杆9能恰好对称的对所述镜片6的侧沿进行限位)。
[0096]
所述承接单元包括承接运输15带、设置在所述承接运输15带上的保护垫19和承接驱动机构,所述承接驱动机构与所述承接运输15带驱动连接,以使得所述运输单元运输过来的镜片6(经过清洗的镜片6)能顺利的转移至所述限位座10上。
[0097]
通过运输单元和转向模块的相互配合,使得清洗后的镜片6能够转移至真空腔室1中,以防止环境中的灰尘吸附在镜片6上,导致镀膜效果下降;
[0098]
如图4和图5所示,在镀膜前首先保证所述镜片6的一侧端面朝向,当镀膜模块11进行一次镀膜操作后,通过所述转向单元17将所述镜片6调整时,将镜片6的另一端朝上,并在此触发所述镀膜模块11的镀膜操作,以使得所述镜片6能够与镀膜材料进行接触,从而达到镀膜的效果;
[0099]
所述密封模块包括密封塞13和第二夹持构件14,所述密封塞13设置在所述第二夹持构件14上,所述第二夹持构件14用于对所述动作腔进行封装;
[0100]
具体的,所述密封模块设置在所述真空腔室1的底壁处(靠近所述动作腔的位置);
[0101]
所述密封模块还包括真空发生单元,所述真空发生单元对所述真空腔室1中的环境进行处理,以使得所述真空腔室1形成真空或半真空的状态;
[0102]
所述真空发生单元包括真空发生器和真空管道,所述真空管道的一端与所述真空腔室1管道连接,所述真空管道的另一端与所述真空发生器连接,所述真空发生器通过所述真空管道对所述真空腔室1抽真空或半真空;
[0103]
对于所述真空发生器对所述真空腔室1抽真空是本领域的技术人员所熟知的技术手段,因而在本实施例中不再一一赘述;
[0104]
当所述升降单元将所述转向单元17和限位单元升降到所述真空腔室1后,则触发对所述真空腔室1的密封,从而实现所述真空腔室1的真空和半真空的环境;
[0105]
所述镀膜模块11包括蒸发源、加热单元、调节单元、气体排放单元和反应检测单元,所述蒸发源装载的镀膜材料,所述加热单元用于对装载的所述镀膜材料进行加热,所述调节单元对所述镀膜材料的蒸发速率和蒸发流量进行调整,所述气体排放单元用于对排放反应后的废气,反应检测单元用于对所述真空腔室1中的环境进行检测;
[0106]
所述镀膜模块11设置在所述真空腔室1侧壁上,并通过连接管道7将蒸发产生的镀膜材料(气态)供应至所述真空腔室1中;
[0107]
所述镀膜模块11对清洗后的镜片6进行镀膜的步骤包括:
[0108]
s11、将镀膜材料块状源放置在所述真空腔室1的适当位置,通常是在加热器上,确保证镜片6处于固定的镀膜工位中(使得所述限位单元和转向单元17伸入所述真空腔室1中时的位置设置为镀膜工位),以实现镀膜材料均匀的蒸发和沉积;
[0109]
s12、启动加热单元,加热所述蒸发源至蒸发温度,使镀膜材料转变为气态,控制加热温度以确保所需的蒸发速率和沉积速度;其中,所述加热单元是本领域的技术人员所熟知的技术手段,因而在本实施例中不再一一赘述;
[0110]
s13、在加热的蒸发源表面,镀膜材料从固态直接转变为气态,形成蒸发物流,其中,蒸发物流沉积在镜片6表面,形成薄膜,沉积过程中,镜片6要保持相对静止;
[0111]
s14、通过调节蒸发源的温度、蒸发速率和沉积时间参数,控制薄膜的厚度和成分并监测和调整温度、气体流量和压力参数,以实现所需的沉积质量和性能,其中,通过所述反应检测单元对所述真空腔室1中进行检测,并在所述中央处理器的控制下对所述真空腔室1中的温度进行控制;
[0112]
s15、当蒸发过程结束后,停止加热蒸发源,关闭气体供应,排放所述真空腔室1中的废气,通常通过气体排放单元将废气引导到适当的处理设施进行处理和过滤;
[0113]
其中,对于所述气体排放单元对所述废气进行处理和过滤是本领域的技术人员所熟知的技术手段,因而在本实施例中不再一一赘述;
[0114]
另外,本领域的技术人员可以采用与所述镀膜模块11相类似的方式实现,本实施例中不再一一赘述;
[0115]
所述在线评估模块包括光照单元2、采集单元5和评估单元,所述光照单元2用于向所述镀膜后的所述镜片6照射,所述采集单元5用于采集所述镜片6表面的反射光照强度数据,所述评估单元根据所述采集单元5采集得到的所述光照强度数据对所述镜片6的镀膜状态进行分析,形成状态分析结果;
[0116]
其中,所述光照强度和所述采集单元5设置在所述真空腔室1中;
[0117]
所述光照单元2包括光源和透镜组件,所述透镜组件设置在所述光源朝向待检的所述镜片6一侧,用于对光源发出的光线进行折射,所述光源朝向所述待检的所述镜片6一侧伸出,使得光线能够照向待检测的所述镜片6,
[0118]
通过所述光照单元2和所述采集单元5的相互配合,使得所述镜片6上的镀膜的光线反射强度被精准采集;
[0119]
若所述状态分析结果不满足生产工艺要求,则将镀膜后的镜片6进行舍弃;若所述状态分析结果满足生产工艺要求,则将镀膜后的所述镜片6送出下一工序;
[0120]
可选的,所述在线评估模块还包括第一位置调整单元和第二位置调整单元,所述第一位置调整单元用于对所述光照单元2的位置进行调整,所述第二位置调整单元对所述采集单元5的位置进行调整;
[0121]
其中,所述第一位置调整单元和第二位置调整单元均设置在所述真空腔室1的上端端面上;
[0122]
所述第一位置调整单元包括第一调整轨道3、第一滑动座、第一滑动驱动机构、第一识别探头、至少一个标记件,所述第一滑动座与所述第一滑动轨道滑动连接,所述第一滑动驱动机构驱动所述第一滑动座沿着所述第一滑动轨道的延伸方向进行滑动,至少一个位置标记件沿着所述第一调整轨道3的方向等间距的分布,其中,第一识别探头对至少一个标
记件进行识别;
[0123]
其中,所述第一调整轨道3的轨道方向沿着镜片6的检测方向进行设置;
[0124]
所述第一滑动驱动机构设置在所述第一滑动座上,并驱动所述第一滑动座沿着所述第一调整轨道3进行滑动;
[0125]
所述第二位置调整单元包括第二调整轨道4、第二滑动座、第二滑动驱动机构、第二识别探头、至少一个标记件,所述第二滑动座与所述第二滑动轨道滑动连接,所述第二滑动驱动机构驱动所述第二滑动座沿着所述第二滑动轨道的延伸方向进行滑动,至少一个位置标记件沿着所述第二调整轨道4的方向等间距的分布,其中,第二识别探头对至少一个标记件进行识别;
[0126]
其中,所述第二调整轨道4的轨道方向沿着镜片6的检测方向进行设置;
[0127]
所述第二滑动驱动机构设置在所述第二滑动座上,并驱动所述第二滑动座沿着所述第二调整轨道4进行滑动;
[0128]
所述第一调整轨道3和所述第二调整轨道4相互平行;
[0129]
当设置在所述第一调整轨道3上的所述光照单元2向所述镜片6照射时,使得镜片6反射的光线能被设置在所述第二调整轨道4上的所述采集单元5所捕获;
[0130]
在本实施例中,需要调整所述光照单元的位置,并通过采集单元获取多个角度下的镜片反射数据;具体的调整角度或调整参数,由操作者自行设定光照单元和采集单元的位置,并在n个位置的反射数据;n的具体值由操作者根据不同镜片的需要自行设定,在此不再一一赘述;
[0131]
可选的,所述评估单元获取所述采集单元第i个位置采集得到的光照强度数据,并根据下式计算第i个位置的反射指数reflectioni:
[0132][0133]
式中,i
ri
为反射光的光照强度,其值根据采集单元采集得到,ii为光照强度,其值根据光源发出的,ci为第i个位置的角度调整因子,其值满足:
[0134][0135]
式中,k为权重调整系数,其值有操作者根据实际情况进行设定,α为一个调节因子根据经验进行取值,θ1为光源在第i个位置照向所述镜片的角度,θ2为所述采集单元在第i个位置接收光线的角度;
[0136]
所述评估单元根据下式计算综合评估指数comprehensive:
[0137][0138]
式中,threshold为所生产的镜片的基准反射阈值,n为系统设定的采样位置总数量;
[0139]
若所述综合评估指数comprehensive超过设定的监控阈值range,则镀膜后的所述镜片满足生产要求,并将所述镜片送入后续的工序;
[0140]
若所述综合评估指数comprehensive低于设定的监控阈值range,则镀膜后的所述镜片无法满足生产要求,将镀膜后的镜片进行舍弃;
[0141]
对于设定的所述监控阈值range由系统或操作根据具体情况进行设定,这是本领域的技术人员所熟知的技术手段,本领域的技术人员可以查询相关的技术手册获知该技术,因而在本实施例中不再一一赘述;
[0142]
通过所述评估单元和所述采集单元5、光照单元2的相互配合,使得镀膜后的镜片6能够进行在线评估,有效提升整个系统的智能程度,使得整个系统具有在线检测、评估精度高的优点;
[0143]
另外,本发明还提供一种光学镜片镀膜制作方法,所述光学镜片镀膜制作方法包括以下步骤:
[0144]
s1、将欲镀膜的镜片6放置在所述运输单元中,并通过运输单元运输至所述清洗单元中进行清洗;
[0145]
s2、对清洗的所述镜片6进行烘干,在烘干完毕后进入步骤s4;
[0146]
s3、将烘干后的所述镜片6送入所述限位单元中进行限位,并在升降单元的调整下将所述转向单元17和限位单元送入所述真空腔室1中;
[0147]
s4、所述镀膜模块11将所需镀膜材料向所述真空腔室1中进行供应;
[0148]
s5、通过所述转向单元17调整所述镜片6角度;
[0149]
s6、在镀膜的过程中,通过所述在线评估模块对所述镜片6进行在线评估,以确定所述镜片6上的镀膜状态;
[0150]
可选的,所述光学镜片镀膜制作方法还包括:
[0151]
所述镀膜模块11通过热蒸发或电子轰击方式,将镀膜材料转化为蒸发物并沉积在所述镜片6的表面上,形成所需的镀膜;
[0152]
可选的,所述光学镜片镀膜制作方法还包括:
[0153]
所述转向单元17调整所述镜片6的角度时,朝同一方向匀速转动;
[0154]
可选的,所述光学镜片镀膜制作方法还包括:
[0155]
所述镀膜材料包括二氧化硅、二氧化钛、金属靶材和碳化硅。
[0156]
实施例二:本实施例应当理解为至少包含前述任一一个实施例的全部特征,并在其基础上进一步改进,根据图1、图2、图3、图4、图5、图6、图7、图8、图9和图10所示,还在于所述清洗单元包括支撑立座23和清扫构件,所述清扫构件分别设置在所述支撑立座23和所述清洗槽25中,对通过所述清洗槽25的所述镜片6进行清洗;
[0157]
所述清洗构件包括清洗刷毛26、清洗杆24和清洗驱动机构,所述清洗刷毛26设置在所述清洗杆24的一端,所述清洗杆24的一端与所述清洗驱动机构驱动连接形成清扫部,所述清扫部分别设置在所述清洗槽25和所述支撑立座23上,并朝向所述镜片6的方向伸出,以实现对所述镜片6的清扫。
[0158]
在清扫的过程中,所述清洗驱动机构驱动所述清洗杆进行转动,并带动所述清洗刷毛沿着所述清洗杆的轴线进行转动,从而将所述镜片上的灰尘等污渍清扫掉,并配合超声波清洗构件对所述镜片进行清洗,从而实现对所述镜片洁净度;
[0159]
另外,本实施例中中,所述清洗刷毛26可拆卸的嵌套在所述清洗杆的外壁上;
[0160]
通过所述清扫构件和所述清洗单元的相互配合,使得所述镜片6的洁净度更加高,也促使镜片6的镀膜效果更加好,保证整个工艺的质量。
[0161]
在本实施例中,通过使用光学镜片镀膜制作方法能降低了加工的效率,也使得镜
片6在镀膜后能在线进行评估,并根据评估结果将镜片6进行筛选,保证整个系统具有智能程度高、自动对镜片6清洗和镀膜效果好的优点。
[0162]
以上所公开的内容仅为本发明的优选可行实施例,并非因此局限本发明的保护范围,所以凡是运用本发明说明书及附图内容所做的等效技术变化,均包含于本发明的保护范围内,此外,随着技术发展其中的元素可以更新的。
技术特征:
1.一种光学镜片镀膜制作系统,所述光学镜片镀膜制作系统包括服务器、真空腔室,其特征在于,所述光学镜片镀膜制作系统还包括清洗模块、烘干模块、转向模块、镀膜模块、在线评估模块,所述服务器分别与清洗模块、烘干模块、转向模块、镀膜模块、在线评估模块连接;所述清洗模块用于对所述镜片进行清洗,所述烘干模块对清洗后的镜片进行烘干并送入所述转向模块中,所述转向模块用于对所述镜片进行夹持,并将夹持后的镜片角度进行调整,所述镀膜模块对夹持的所述镜片进行镀膜,所述在线评估模块对镀膜后的所述镜片进行在线评估,以获得所述镜片的镀膜状态分析结果,其中,所述镀膜模块和在线评估模块设置在所述真空腔室中;所述在线评估模块包括光照单元、采集单元和评估单元,所述光照单元用于向所述镀膜后的所述镜片照射,所述采集单元用于采集所述镜片表面的反射光照强度数据,所述评估单元根据所述采集单元采集得到的所述光照强度数据对所述镜片的镀膜状态进行分析,形成状态分析结果;其中,所述光照强度和所述采集单元设置在所述真空腔室中;若所述状态分析结果不满足生产工艺要求,则将镀膜后的镜片进行舍弃;若所述状态分析结果满足生产工艺要求,则将镀膜后的所述镜片送出下一工序。2.根据权利要求1所述的光学镜片镀膜制作系统,其特征在于,所述在线评估模块还包括第一位置调整单元和第二位置调整单元,所述第一位置调整单元用于对所述光照单元的位置进行调整,所述第二位置调整单元对所述采集单元的位置进行调整;其中,所述第一位置调整单元和第二位置调整单元均设置在所述真空腔室的上端端面上。3.根据权利要求2所述的光学镜片镀膜制作系统,其特征在于,所述清洗模块包括清洗单元和运输单元,所述运输单元对所述镜片进行运输,所述清洗单元对运输的所述镜片进行清洗;所述清洗单元包括清洗槽和超声波清洗构件,所述超声波清洗构件设置在所述清洗槽中,并对通过所述运输单元运输的所述镜片进行清洗,所述清洗槽用于放置清洗液,且所述清洗槽的两侧槽壁上设置有供运输单元通行的活动腔。4.根据权利要求3所述的光学镜片镀膜制作系统,其特征在于,所述运输单元包括运输构件、以及对称设置在所述运输构件上的第一夹持构件,所述运输构件用于对所述第一夹持构件的位置进行运输,所述夹持构件对所述镜片进行夹持,并恒速通过所述清洗槽;所述第一夹持构件包括至少两个夹持杆、至少两个吸附嘴、以及至少两个夹持驱动机构,至少两个所述吸附嘴对应设置在至少两个所述夹持杆的一端端部,至少两个所述夹持杆的另一端分别与至少两个所述夹持驱动机构驱动连接形成夹持部,所述夹持部对所述镜片的侧边框进行夹持;其中,不同规格厚度的镜片选用不同的吸附嘴。5.根据权利要求4所述的光学镜片镀膜制作系统,其特征在于,所述评估单元获取所述采集单元第i个位置采集得到的光照强度数据,并根据下式计算第i个位置的反射指数reflection
i
:
式中,i
ri
为反射光的光照强度,其值根据采集单元采集得到,i
i
为光照强度,其值根据光源发出的,c
i
为第i个位置的角度调整因子,其值满足:式中,k为权重调整系数,其值有操作者根据实际情况进行设定,α为一个调节因子根据经验进行取值,θ1为光源在第i个位置照向所述镜片的角度,θ2为所述采集单元在第i个位置接收光线的角度;所述评估单元根据下式计算综合评估指数comprehensive:式中,threshold为所生产的镜片的基准反射阈值,n为系统设定的采样位置总数量;若所述综合评估指数comprehensive超过设定的监控阈值range,则镀膜后的所述镜片满足生产要求,并将所述镜片送入后续的工序。6.根据权利要求5所述的光学镜片镀膜制作系统,其特征在于,所述转向模块包括升降单元、限位单元、转向单元,所述升降单元对所述限位单元和所述转向单元的位置进行调整,所述限位单元用于对所述镜片进行限位,所述转向单元驱动所述转向单元进行转动;所述转向单元包括转动驱动机构、角度检测件和转动杆,所述转动杆的一端与所述限位单元连接,所述转动杆的另一端与所述转动驱动机构驱动连接形成转动部,所所述转动部设置在所述真空腔室中,所述角度检测件对所述转动杆的转动角度进行检测,所述转动驱动机构驱动所述转动杆进行转动。7.一种光学镜片镀膜制作方法,应用了如权利要求6所述的光学镜片镀膜制作系统,其特征在于,所述光学镜片镀膜制作方法包括以下步骤:s1、将欲镀膜的镜片放置在所述运输单元中,并通过运输单元运输至所述清洗单元中进行清洗;s2、对清洗的所述镜片进行烘干,在烘干完毕后进入步骤s4;s3、将烘干后的所述镜片送入所述限位单元中进行限位,并在升降单元的调整下将所述转向单元和限位单元送入所述真空腔室中;s4、所述镀膜模块将所需镀膜材料向所述真空腔室中进行供应;s5、通过所述转向单元调整所述镜片角度;s6、在镀膜的过程中,通过所述在线评估模块对所述镜片进行在线评估,以确定所述镜片上的镀膜状态。8.根据权利要求7所述的光学镜片镀膜制作方法,其特征在于,所述光学镜片镀膜制作方法还包括:所述镀膜模块通过热蒸发或电子轰击方式,将镀膜材料转化为蒸发物并沉积在所述镜片的表面上,形成所需的镀膜。9.根据权利要求8所述的光学镜片镀膜制作方法,其特征在于,所述光学镜片镀膜制作方法还包括:
所述转向单元调整所述镜片的角度时,朝同一方向匀速转动。10.根据权利要求9所述的光学镜片镀膜制作方法,其特征在于,所述光学镜片镀膜制作方法还包括:所述镀膜材料包括二氧化硅、二氧化钛、金属靶材和碳化硅。
技术总结
本发明提供了一种光学镜片镀膜制作系统及其制作系统,包括服务器、真空腔室、清洗模块、烘干模块、转向模块、镀膜模块、在线评估模块,所述清洗模块用于对所述镜片进行清洗,所述烘干模块对清洗后的镜片进行烘干并送入所述转向模块中,所述转向模块用于对所述镜片进行夹持,并将夹持后的镜片角度进行调整,所述镀膜模块对夹持的所述镜片进行镀膜,所述在线评估模块对镀膜后的所述镜片进行在线评估,以获得所述镜片的镀膜状态分析结果,其中,所述镀膜模块和在线评估模块设置在所述真空腔室中。本发明通过在线评估模块对镀膜后的镜片能够进行在线评估,有效提升整个系统的智能程度,使得整个系统具有在线检测、评估精度高的优点。优点。优点。
技术研发人员:陈江强
受保护的技术使用者:广州市博泰光学科技有限公司
技术研发日:2023.06.25
技术公布日:2023/9/20
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