一种基于转盘固晶机的芯片转移方法、系统、设备和介质

未命名 10-18 阅读:70 评论:0


1.本发明涉及固晶机技术领域,尤其涉及基于转盘固晶机的芯片转移方法、系统、设备和介质。


背景技术:

2.目前,集成电路封装中微型阵列器件进一步小型化、集成化。芯片转移是集成电路封装过程最重要的环节,针对芯片转移的需求,现已提出一大批有代表性的芯片转移技术,如真空吸嘴法、弹性体冲压、静电转移、电磁转移、激光辅助转移和流体自组装等。
3.其中,真空吸嘴法是市面上现已经被广泛运用的一种芯片转移方法,芯片与基板分离式布局,通过转盘搭载真空吸嘴的装置,从芯片载体吸取芯片,转移到电路基板上进行转移封装。
4.但现有的芯片转移方法采用真空吸嘴法进行芯片转移的工作过程中,无论是拾取是节拍还是放置的节拍都会需要一个停止的动作,只能在转盘静止时进行芯片转移,且不能对芯片转移情况进行远程监测,出现转移异常不能及时进行调整,导致芯片转移效率低。


技术实现要素:

5.本发明提供了一种基于转盘固晶机的芯片转移方法、系统、设备和介质,解决了现有的芯片转移方法只能在转盘静止时进行芯片转移,且不能对芯片转移情况进行远程监测,出现转移异常不能及时进行调整,导致芯片转移效率低的技术问题。
6.本发明提供的一种基于转盘固晶机的芯片转移方法,应用于转盘固晶机,所述转盘固晶机包括转盘、供料平台和芯片接收台;所述方法包括:
7.获取待转移芯片数据和转盘固晶机数据,分别采用所述待转移芯片数据和所述转盘固晶机数据加载对应的数据页面组件并全部进行渲染,生成芯片待转移页面;
8.采用所述待转移芯片数据、所述转盘固晶机数据和预设距离阈值进行转盘运行数据计算,确定所述转盘对应的转盘结构数据和目标线速度;
9.采用所述转盘结构数据和所述目标线速度更新所述芯片待转移页面,生成初始芯片转移页面;
10.当所述供料平台移动到预设拾取点位时,基于所述供料平台的初始供料运行速度和所述目标线速度进行芯片拾取,并更新所述初始芯片转移页面,生成中间转移页面和中间转盘线速度;
11.当所述芯片接收台移动到预设放置点位时,基于所述中间转盘线速度和所述芯片接收台的初始接收运行速度进行芯片放置,并更新中间芯片转移页面,生成所述待转移芯片数据对应的目标芯片转移页面。
12.可选地,所述待转移芯片数据包括芯片转移效率;所述采用所述待转移芯片数据、所述转盘固晶机数据和预设距离阈值进行转盘运行数据计算,确定所述转盘对应的转盘结构数据和目标线速度的步骤,包括:
13.采用所述转盘固晶机数据对应的不碰撞距离阈值,确定转盘半径选取区间;
14.按照预设半径选取规则和所述转盘半径选取区间,选取转盘半径;
15.采用所述转盘半径和预设距离阈值,确定所述转盘的运动柱数量;
16.根据所述芯片转移效率、所述运动柱数量和所述转盘半径进行线速度计算,生成所述转盘对应的目标线速度;
17.采用所述目标线速度对应的转盘半径和对应的运动柱数量,构建所述转盘对应的转盘结构数据。
18.可选地,所述转盘固晶机数据包括供料平台最大速度和芯片接收平台最大速度;所述根据所述芯片转移效率、所述运动柱数量和所述转盘半径进行线速度计算,生成所述转盘对应的目标线速度的步骤,包括:
19.将所述芯片转移效率和所述运动柱数量进行平均速度计算,生成转盘平均速度;
20.将所述转盘平均速度和所述转盘半径计算进行线速度计算,生成初始线速度;
21.若所述初始线速度大于或等于所述供料平台最大速度和所述芯片接收平台最大速度中的任一个,则跳转执行所述按照预设半径选取规则和所述转盘半径选取区间,选取转盘半径的步骤;
22.若所述初始线速度同时小于所述供料平台最大速度和所述芯片接收平台最大速度,则将所述初始线速度作为所述转盘对应的目标线速度。
23.可选地,所述基于所述供料平台的初始供料运行速度和所述目标线速度进行芯片拾取,并更新所述初始芯片转移页面,生成中间转移页面和中间转盘线速度的步骤,包括:
24.将所述目标线速度与所述供料平台的初始供料运行速度进行比对,生成第一比对结果;
25.若所述第一比对结果为不相同,则根据预设转盘调整幅度、预设转盘线速度阈值和预设供料平台调整幅度进行芯片拾取,生成芯片拾取数据和中间转盘线速度;
26.若所述第一比对结果为相同,则通过所述转盘进行芯片拾取,生成芯片拾取数据并将所述目标线速度作为中间转盘线速度;
27.采用所述芯片拾取数据更新所述初始芯片转移页面,生成中间芯片转移页面。
28.可选地,所述根据预设转盘调整幅度、预设线速度阈值和预设供料平台调整幅度进行芯片拾取,生成芯片拾取数据和中间转盘线速度的步骤,包括:
29.当所述目标线速度不等于预设转盘线速度阈值时,按照预设转盘调整幅度调整所述目标线速度,生成初始转盘线速度;
30.将所述初始转盘线速度作为目标线速度,并跳转执行所述将所述目标线速度与所述供料平台的初始供料运行速度进行比对,生成第一比对结果的步骤;
31.当所述目标线速度等于预设线速度阈值时,按照预设供料平台调整幅度调整所述初始供料运行速度,生成目标供料运行速度;
32.当所述目标供料运行速度等于所述目标线速度时,通过所述转盘进行芯片拾取,生成芯片拾取数据并将所述芯片拾取数据对应的目标线速度作为中间转盘线速度。
33.可选地,所述基于所述中间转盘线速度和所述芯片接收台的初始接收运行速度进行芯片放置,并更新中间芯片转移页面,生成所述待转移芯片数据对应的目标芯片转移页面的步骤,包括:
34.将所述中间转盘线速度和所述芯片接收台的初始接收运行速度进行比对,生成第二比对结果;
35.若所述第二比对结果为不相同,则根据所述预设转盘调整幅度、所述预设转盘线速度阈值和预设芯片接收台调整幅度进行芯片放置,生成芯片放置数据;
36.若所述第二比对结果为相同,则通过所述转盘进行芯片放置,生成芯片放置数据;
37.当所述芯片放置数据为预设的放置数据时,通过工业相机对所述供料平台和所述芯片接收台进行视觉检测,生成芯片转移完成状况数据;
38.采用所述芯片转移完成状况数据更新所述中间芯片转移页面,生成所述待转移芯片数据对应的目标芯片转移页面。
39.可选地,所述根据所述预设转盘调整幅度、所述预设转盘线速度阈值和预设芯片接收台调整幅度进行芯片放置,生成芯片放置数据的步骤,包括:
40.当所述目标转盘线速度不等于所述预设转盘线速度阈值时,按照预设转盘调整幅度调整所述中间转盘线速度,生成目标转盘线速度;
41.将所述目标转盘线速度作为中间转盘线速度,并跳转执行所述将所述中间转盘线速度和所述芯片接收台的初始接收运行速度进行比对,生成第二比对结果的步骤;
42.当所述目标转盘线速度等于所述预设线速度阈值时,按照预设芯片接收台调整幅度调整所述初始接收运行速度,生成目标接收运行速度;
43.当所述目标接收运行速度等于所述中间转盘线速度时,通过所述转盘进行芯片放置,生成芯片放置数据。
44.本发明还提供了一种基于转盘固晶机的芯片转移系统,应用于转盘固晶机,所述转盘固晶机包括转盘、供料平台和芯片接收台;所述系统包括:
45.芯片待转移页面生成模块,用于获取待转移芯片数据和转盘固晶机数据,分别采用所述待转移芯片数据和所述转盘固晶机数据加载对应的数据页面组件并全部进行渲染,生成芯片待转移页面;
46.转盘结构数据和目标线速度确定模块,用于采用所述待转移芯片数据、所述转盘固晶机数据和预设距离阈值进行转盘运行数据计算,确定所述转盘对应的转盘结构数据和目标线速度;
47.初始芯片转移页面生成模块,用于采用所述转盘结构数据和所述目标线速度更新所述芯片待转移页面,生成初始芯片转移页面;
48.中间芯片转移页面和中间转盘线速度得到模块,用于当所述供料平台移动到预设拾取点位时,基于所述供料平台的初始供料运行速度和所述目标线速度进行芯片拾取,并更新所述初始芯片转移页面,生成中间转移页面和中间转盘线速度;
49.目标芯片转移页面得到模块,用于当所述芯片接收台移动到预设放置点位时,基于所述中间转盘线速度和所述芯片接收台的初始接收运行速度进行芯片放置,并更新中间芯片转移页面,生成所述待转移芯片数据对应的目标芯片转移页面。
50.本发明还提供了一种电子设备,包括存储器及处理器,所述存储器中储存有计算机程序,所述计算机程序被所述处理器执行时,使得所述处理器执行实现如上述任一项基于转盘固晶机的芯片转移方法的步骤。
51.本发明还提供了一种计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序,所述计算机
程序被执行时实现如上述任一项基于转盘固晶机的芯片转移方法。
52.从以上技术方案可以看出,本发明具有以下优点:
53.本发明通过获取待转移芯片数据和转盘固晶机数据,分别采用待转移芯片数据和转盘固晶机数据加载对应的数据页面组件并全部进行渲染,生成芯片待转移页面。采用待转移芯片数据、转盘固晶机数据和预设距离阈值进行转盘运行数据计算,确定转盘对应的转盘结构数据和目标线速度。采用转盘结构数据和目标线速度更新芯片待转移页面,生成初始芯片转移页面。当供料平台移动到预设拾取点位时,基于供料平台的初始供料运行速度和目标线速度进行芯片拾取,并更新初始芯片转移页面,生成中间转移页面和中间转盘线速度。当芯片接收台移动到预设放置点位时,基于中间转盘线速度和芯片接收台的初始接收运行速度进行芯片放置,并更新中间芯片转移页面,生成待转移芯片数据对应的目标芯片转移页面。解决现有的芯片转移方法只能在转盘静止时进行芯片转移,且不能对芯片转移情况进行远程监测,出现转移异常不能及时进行调整,导致芯片转移效率低的技术问题。通过对供料平台的初始供料运行速度和目标线速度进行调整,在两者速度相等时进行芯片拾取以及对中间转盘线速度和所芯片接收台的初始接收运行速度进行调整,在两者速度相等时进行芯片放置。转盘在进行芯片拾取或放置时,不需要执行停止的动作,并将操作后的数据更新对应的芯片转移页面,以便操作人员监测转盘固晶机运行情况,并基于实际需要进行相应的调整,提供芯片转移效率。
附图说明
54.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图。
55.图1为本发明实施例一提供的一种基于转盘固晶机的芯片转移方法的步骤流程图;
56.图2为本发明实施例一提供的转盘固晶机的结构示意图;
57.图3为本发明实施例一提供的供料平台和转盘之间的结构示意图;
58.图4为本发明实施例一提供的芯片接收台和转盘之间的结构示意图;
59.图5为本发明实施例一提供的芯片拾取的结构示意图;
60.图6为本发明实施例一提供的芯片放置的结构示意图;
61.图7为本发明实施例二提供的一种基于转盘固晶机的芯片转移方法的步骤流程图;
62.图8为本发明实施例二提供的供料平台和转盘之间的速度关系示意图;
63.图9为本发明实施例三提供的一种基于转盘固晶机的芯片转移系统的结构框图。
具体实施方式
64.本发明实施例提供了一种基于转盘固晶机的芯片转移方法、系统、设备和介质,用于解决现有的芯片转移方法只能在转盘1静止时进行芯片22转移,且不能对芯片22转移情况进行远程监测,出现转移异常不能及时进行调整,导致芯片22转移效率低的技术问题。
65.为使得本发明的发明目的、特征、优点能够更加的明显和易懂,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,下面所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而非全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本发明保护的范围。
66.请参阅图1,图1为本发明实施例一提供的一种基于转盘固晶机的芯片转移方法的步骤流程图。
67.如图2至图6所示,转盘固晶机包括转盘1、供料平台2、芯片接收台3以及控制系统。转盘1可绕中心进行圆周运动,转盘1中搭载多根运动轴,运动轴上装有真空吸嘴11。真空吸嘴11在供料平台2和芯片接收台3之间执行圆周运动,当进行拾取/放置动作时,转盘1的运动轴与真空吸嘴11可进行上下运动。供料平台2中存在第一运动装置21,第一运动装置21可使供料平台2移动,使得芯片22移动至指定位置,完成和真空吸嘴11的定位配合,从而完成芯片22拾取。芯片接收台3中存在第二运动装置31,第二运动装置31可使芯片接收台3移动,使得芯片接收位32(基板/单元模块)移动至指定位置,完成和真空吸嘴11的定位配合,从而完成芯片22放置,实现芯片转移。
68.芯片转移中吸附和放置的动作如图5和图6所示。由于芯片转移的过程中真空吸嘴11需要对准芯片22/接收位才可以完成动作。所以整个芯片转移的过程可以分为以下过程:
69.转盘1圆周运动——对准定位停止(刹车)——拾取芯片22(真空吸嘴11和芯片22水平方向上对准)——转盘1圆周运动——对准定位停止(刹车)——放置芯片22(真空吸嘴11和接收位水平方向上对准)——转盘1圆周运动。
70.其中停止时间不可避免且受圆周运动速度影响,由牛顿第二定律我们可以知道,圆周运动速度越快,停止控制越难,停止所需的时间越久。而为了提高效率,需要尽可能提高圆周运动的速度且缩短停止时间。本发明实施例为了提高芯片转移效率,提出飞行式吸晶固晶方法,优化掉对准定位停止时间,把拾取和放置动作融合在圆周运动时间中进行,对应的操作过程为:
71.转盘1圆周运动——对准定位预设拾取点位(转盘1和供料平台2速度相等)——拾取芯片22(真空吸嘴11和芯片22水平方向上对准)——转盘1圆周运动——对准定位预设放置点位(转盘1和芯片接收台3速度相等)——放置芯片22(真空吸嘴11和接收位水平方向上对准)——转盘1圆周运动。
72.本发明实例一提供的一种基于转盘固晶机的芯片转移方法,应用于转盘固晶机,转盘固晶机包括转盘、供料平台和芯片接收台,该方法包括:
73.步骤101、获取待转移芯片数据和转盘固晶机数据,分别采用待转移芯片数据和转盘固晶机数据加载对应的数据页面组件并全部进行渲染,生成芯片待转移页面。
74.待转移芯片数据包括芯片型号、芯片形状、芯片需转移数量、芯片转移效率。转盘固晶机数据包括供料平台最大速度、芯片接收平台最大速度、转盘结构数据、供料平台结构数据以及芯片接收台结构数据等。
75.在本发明实施例中,获取本次芯片转移对应的芯片型号、芯片形状、芯片需转移数量、芯片转移效率。并获取转盘固晶机对应的转盘固晶机对应的供料平台最大速度、芯片接收平台最大速度、转盘结构数据、供料平台结构数据以及芯片接收台结构数据等。通过加载
这些数据对应的数据页面组件并全部进行渲染,构建得到芯片待转移页面。
76.步骤102、采用待转移芯片数据、转盘固晶机数据和预设距离阈值进行转盘运行数据计算,确定转盘1对应的转盘结构数据和目标线速度。
77.在本发明实施例中,采用转盘固晶机数据对应的不碰撞距离阈值,确定转盘半径选取区间。按照预设半径选取规则和转盘半径选取区间,选取转盘半径。采用转盘半径和预设距离阈值,确定转盘1的运动柱数量。基于芯片转移效率、运动柱数量和转盘半径进行线速度计算,生成转盘1对应的目标线速度。采用目标线速度对应的转盘半径和对应的运动柱数量,构建转盘1对应的转盘结构数据。
78.步骤103、采用转盘结构数据和目标线速度更新芯片待转移页面,生成初始芯片转移页面。
79.在本发明实施例中,计算得到对待转移芯片数据对应的芯片22进行转移时应当采用的转盘结构数据以及转盘1对应的目标线速度。并采用转盘结构数据和目标线速度对芯片待转移页面进行更新,从而得到初始芯片转移页面。
80.步骤104、当供料平台2移动到预设拾取点位时,基于供料平台2的初始供料运行速度和目标线速度进行芯片拾取,并更新初始芯片转移页面,生成中间转移页面和中间转盘线速度。
81.在本发明实施例中,当供料平台2移动到预设拾取点位时,将目标线速度与供料平台2的初始供料运行速度进行比对,生成第一比对结果。若第一比对结果为不相同,则基于预设转盘调整幅度、预设转盘线速度阈值和预设供料平台调整幅度进行芯片拾取,生成芯片拾取数据和中间转盘线速度。若第一比对结果为相同,则通过转盘1进行芯片拾取,生成芯片拾取数据并将目标线速度作为中间转盘线速度。采用芯片拾取数据更新初始芯片转移页面,生成中间芯片转移页面。
82.步骤105、当芯片接收台3移动到预设放置点位时,基于中间转盘线速度和芯片接收台3的初始接收运行速度进行芯片放置,并更新中间芯片转移页面,生成待转移芯片数据对应的目标芯片转移页面。
83.在本发明实施例中,当芯片接收台3移动到预设放置点位时,将中间转盘线速度和芯片接收台3的初始接收运行速度进行比对,生成第二比对结果。若第二比对结果为不相同,则基于预设转盘调整幅度、预设转盘线速度阈值和预设芯片接收台调整幅度进行芯片放置,生成芯片放置数据。若第二比对结果为相同,则通过转盘1进行芯片放置,生成芯片放置数据。当芯片放置数据为预设的放置数据时,通过工业相机对供料平台2和芯片接收台3进行视觉检测,生成芯片转移完成状况数据。采用芯片转移完成状况数据更新中间芯片转移页面,生成待转移芯片数据对应的目标芯片转移页面。
84.在本发明实施例中,通过获取待转移芯片数据和转盘固晶机数据,分别采用待转移芯片数据和转盘固晶机数据加载对应的数据页面组件并全部进行渲染,生成芯片待转移页面。采用待转移芯片数据、转盘固晶机数据和预设距离阈值进行转盘运行数据计算,确定转盘1对应的转盘结构数据和目标线速度。采用转盘结构数据和目标线速度更新芯片待转移页面,生成初始芯片转移页面。当供料平台2移动到预设拾取点位时,基于供料平台2的初始供料运行速度和目标线速度进行芯片拾取,并更新初始芯片转移页面,生成中间转移页面和中间转盘线速度。当芯片接收台3移动到预设放置点位时,基于中间转盘线速度和芯片
接收台3的初始接收运行速度进行芯片放置,并更新中间芯片转移页面,生成待转移芯片数据对应的目标芯片转移页面。解决现有的芯片转移方法只能在转盘1静止时进行芯片转移,且不能对芯片转移情况进行远程监测,出现转移异常不能及时进行调整,导致芯片转移效率低的技术问题。通过对供料平台2的初始供料运行速度和目标线速度进行调整,在两者速度相等时进行芯片拾取以及对中间转盘线速度和芯片接收台3的初始接收运行速度进行调整,在两者速度相等时进行芯片放置。转盘1在进行芯片拾取或放置时,不需要执行停止的动作,并将操作后的数据更新对应的芯片转移页面,以便操作人员监测转盘固晶机运行情况,并基于实际需要进行相应的调整,提供芯片转移效率。
85.请参阅图7,图7为本发明实施例二提供的一种基于转盘固晶机的芯片转移方法的步骤流程图。
86.本发明实例二提供的另一种基于转盘固晶机的芯片转移方法,应用于转盘固晶机,转盘固晶机包括转盘1、供料平台2和芯片接收台3,该方法包括:
87.步骤701、获取待转移芯片数据和转盘固晶机数据,分别采用待转移芯片数据和转盘固晶机数据加载对应的数据页面组件并全部进行渲染,生成芯片待转移页面。
88.在本发明实施例中,步骤701的具体实施过程与步骤101类似,在此不再赘述。
89.步骤702、采用转盘固晶机数据对应的不碰撞距离阈值,确定转盘半径选取区间。
90.在本发明实施例中,在实际生产工作中需要考虑机器的大小与运动空间来决定转盘半径r。在本发明中则是要考虑到供料平台2最边缘处,芯片接收台3最边缘处与转盘底部不要互相碰撞。另外由于供料平台2/芯片接收台3都是运动平台,还要考虑到工作的范围不要产生碰撞。对于不同型号与大小的芯片板而言用到的运动区间不同。对于一台转盘固晶机而言不会专门只考虑一种型号进行实际,通过综合边缘位置与运动空间归纳总结出一个不会发生碰撞的距离l
非碰
。获取转盘固晶机数据对应的不碰撞距离阈值即不会发生碰撞的距离l
非碰
。转盘半径应当满足的转盘半径选取区间为r>l
非碰
。还可以结合实际需要的冗余k,将转盘半径选取区间修改为kr>l
非碰

91.步骤703、按照预设半径选取规则和转盘半径选取区间,选取转盘半径。
92.在本发明实施例中,预设半径选取规则是指基于实际需要设置的每次在转盘半径选取区间内选取半径的规则。按照预设半径选取规则从转盘半径选取区间中选取最初的转盘半径。若后续采用该转盘半径计算得到的初始线速度不符合要求时,则重新按照预设半径选取规则选取新的转盘半径。
93.步骤704、采用转盘半径和预设距离阈值,确定转盘1的运动柱数量。
94.在本发明实施例中,预设距离阈值是指每根运动柱之间可以互相独立不干扰的安全生产的距离。在确定转盘半径后,结合转盘1对应的预设距离阈值和运动柱数量关系式,可以确定转盘1的运动柱数量。转盘1的运动柱数量n应当满足运动柱数量关系式为:
95.n*l
安全
<2πr;
96.其中,r为转盘半径;l
安全
为预设距离阈值。。
97.步骤705、根据芯片转移效率、运动柱数量和转盘半径进行线速度计算,生成转盘1对应的目标线速度。
98.进一步地,转盘固晶机数据包括供料平台最大速度和芯片接收平台最大速度,步骤705可以包括以下子步骤s11-s14:
99.s11、将芯片转移效率和运动柱数量进行平均速度计算,生成转盘平均速度。
100.s12、将转盘平均速度和转盘半径计算进行线速度计算,生成初始线速度。
101.s13、若初始线速度大于或等于供料平台最大速度和芯片接收平台最大速度中的任一个,则跳转执行按照预设半径选取规则和转盘半径选取区间,选取转盘半径的步骤。
102.s14、若初始线速度同时小于供料平台最大速度和芯片接收平台最大速度,则将初始线速度作为转盘1对应的目标线速度。
103.在本发明实施例中,芯片转移效率是指基于实际需要设置的每个小时需转移芯片个数计算得到的转移效率,例如要求每小时m个,芯片转移效率就代表(m/3600)/s是需要的个数。结合运动柱数量n代入下述关系式:
104.n*ω

/2π=m/3600;
105.在实际工作中需要保留一定的冗余,因此实际需要满足的关系式为:
106.n*ω

/2π>m/3600;
107.其中,n为运动柱数量;ω

为转盘平均速度;m为转移芯片个数。因此,可以通过该关系式,反推得到转盘平均速度ω

。采用转盘平均速度ω

计算转盘角速度ω

即ω

=ω

/2π。然后采用转盘角速度ω

和转盘半径r进行线速度计算,得到初始线速度v
转盘
=r*ω


108.因为芯片转移发生在动态动作过程中,需要保证吸盘与供料平台2/芯片接收台3相对静止,所以供料平台2/芯片接收台3的最大速度要高于或等于需要的转盘线速度即初始线速度v
转盘
应当满足以下不等式:
[0109]v供max
≥v
转盘
;v
接max
≥v
转盘

[0110]
其中,v
供max
为供料平台最大速度;v
接max
为芯片接收平台最大速度。
[0111]
当初始线速度大于或等于供料平台最大速度和芯片接收平台最大速度中的任一个时,此时的初始线速度不满足要求,应当按照预设半径选取规则和转盘半径选取区间,重新选取转盘半径并进行相应的速度计算,得到新的初始线速度。当初始线速度同时小于供料平台最大速度和芯片接收平台最大速度时,此时的初始线速度满足要求,将该初始线速度作为转盘1对应的目标线速度。
[0112]
步骤706、采用目标线速度对应的转盘半径和对应的运动柱数量,构建转盘1对应的转盘结构数据。
[0113]
在本发明实施例中,将满足运行要求的目标线速度对应的转盘半径以及运动柱数量作为转盘1对应的转盘结构数据。
[0114]
步骤707、采用转盘结构数据和目标线速度更新芯片待转移页面,生成初始芯片转移页面。
[0115]
在本发明实施例中,步骤707的具体实施过程与步骤103类似,在此不再赘述。
[0116]
步骤708、当供料平台2移动到预设拾取点位时,基于供料平台2的初始供料运行速度和目标线速度进行芯片拾取,并更新初始芯片转移页面,生成中间转移页面和中间转盘线速度。
[0117]
进一步地,步骤708可以包括以下子步骤s21-s24:
[0118]
s21、将目标线速度与供料平台2的初始供料运行速度进行比对,生成第一比对结果。
[0119]
s22、若第一比对结果为不相同,则根据预设转盘调整幅度、预设转盘线速度阈值和预设供料平台调整幅度进行芯片拾取,生成芯片拾取数据和中间转盘线速度。
[0120]
s23、若第一比对结果为相同,则通过转盘1进行芯片拾取,生成芯片拾取数据并将目标线速度作为中间转盘线速度。
[0121]
s24、采用芯片拾取数据更新初始芯片转移页面,生成中间芯片转移页面。
[0122]
在本发明实施例中,执行拾取和放置动作时(如图5和图6所示),转盘1上的运动轴以及吸盘在水平方向上的运动状态是稳定且可控的。供料平台2/芯片接收台3的运动速度也是可控的。当v2=v1时,真空吸嘴11与芯片22相对静止,此时即可完成拾取,如图8所示,同理放置动作也一样。当供料平台2移动到预设拾取点位时,将转盘1当前的目标线速度与供料平台2此时的初始供料运行速度进行比对,生成对应的第一比对结果。当两者速度不相同时即第一比对结果为不相同,则基于预设转盘调整幅度、预设转盘线速度阈值和预设供料平台调整幅度进行运行速度调整,当速度相等时进行芯片拾取,从而得到芯片拾取数据和中间转盘线速度。当第一比对结果为相同时,则不需要进行速度调整,直接通过转盘1进行芯片拾取,生成芯片拾取数据,并将转盘1当前时刻的目标线速度作为中间转盘线速度。完成芯片拾取后,采用芯片拾取产生的各种数据对初始芯片转移页面进行更新,得到芯片拾取对应的中间芯片转移页面。
[0123]
进一步地,步骤s22可以包括以下子步骤s221-s224:
[0124]
s221、当目标线速度不等于预设转盘线速度阈值时,按照预设转盘调整幅度调整目标线速度,生成初始转盘线速。
[0125]
s222、将初始转盘线速度作为目标线速度,并跳转执行将目标线速度与供料平台2的初始供料运行速度进行比对,生成第一比对结果的步骤。
[0126]
s223、当目标线速度等于预设线速度阈值时,按照预设供料平台调整幅度调整初始供料运行速度,生成目标供料运行速度。
[0127]
s224、当目标供料运行速度等于目标线速度时,通过转盘1进行芯片拾取,生成芯片拾取数据并将芯片拾取数据对应的目标线速度作为中间转盘线速度。
[0128]
预设转盘调整幅度是指基于实际需要事先设置的每次调整转盘1运行速度的幅度。预设转盘线速度阈值是指转盘1的最大运行速度。预设供料平台调整幅度是指基于实际需要事先设置的每次调整供料平台2运行速度的幅度。
[0129]
在本发明实施例中,当供料平台2移动到预设拾取点位时即供料平台2移动到预设区间内时,判断转盘1当前的目标线速度与供料平台2的初始供料运行速度是否相等,若不相等,则判断目标线速度是否等于预设转盘线速度阈值,若不相等,则优先对转盘1的运行速度进行调整,即当目标线速度不等于预设转盘线速度阈值时,按照预设转盘调整幅度调整目标线速度,生成初始转盘线速度。并在调整后,判断重新判断当前时刻转盘1与供料平台2的运行速度是否相等即将初始转盘线速度作为目标线速度,并跳转执行将目标线速度与供料平台2的初始供料运行速度进行比对,生成第一比对结果的步骤。若转盘1当前的目标线速度与供料平台2的初始供料运行速度不相等,且目标线速度等于预设线速度阈值时,则按照预设供料平台调整幅度调整初始供料运行速度,生成目标供料运行速度。并在目标供料运行速度等于目标线速度时,通过转盘1进行芯片拾取,生成芯片拾取数据。并将此时转盘1对应的目标线速度作为中间转盘线速度。
[0130]
步骤709、当芯片接收台3移动到预设放置点位时,基于中间转盘线速度和芯片接收台3的初始接收运行速度进行芯片放置,并更新中间芯片转移页面,生成待转移芯片数据对应的目标芯片转移页面。
[0131]
进一步地,步骤709可以包括以下子步骤s31-s35:
[0132]
s31、将中间转盘线速度和芯片接收台3的初始接收运行速度进行比对,生成第二比对结果。
[0133]
s32、若第二比对结果为不相同,则根据预设转盘调整幅度、预设转盘线速度阈值和预设芯片接收台调整幅度进行芯片放置,生成芯片放置数据。
[0134]
s33、若第二比对结果为相同,则通过转盘1进行芯片放置,生成芯片放置数据。
[0135]
s34、当芯片放置数据为预设的放置数据时,通过工业相机对供料平台2和芯片接收台3进行视觉检测,生成芯片转移完成状况数据。
[0136]
s35、采用芯片转移完成状况数据更新中间芯片转移页面,生成待转移芯片数据对应的目标芯片转移页面。
[0137]
预设的放置数据是指用于验证当前放置的芯片22是不是最后一个芯片22的数据。可以设置为最后一个芯片22的编号。
[0138]
在本发明实施例中,当芯片接收台3移动到预设放置点位时,将转盘1当前的中间转盘线速度与芯片接收台3的初始接收运行速度进行比对,生成第二比对结果。当两者速度不相同时即第二比对结果为不相同,基于预设转盘调整幅度、预设转盘线速度阈值和预设芯片接收台调整幅度进行运行速度调整,当速度相等时进行芯片放置,生成芯片放置数据。当两者速度相同时即第二比对结果为相同,则不需要进行速度调整,直接通过转盘1进行芯片放置,生成芯片放置数据。芯片放置数据中的芯片编号与预设的放置数据相同时,说明完成本次芯片转移操作,通过工业相机对供料平台2和芯片接收台3进行视觉检测,采集供料平台2和芯片接收台3对应的图片并进行图片验证比对,确定各芯片接收位32上是否都放置有对应的芯片,基于验证结果,确定该芯片基板对应的芯片转移正确数据,从而得到芯片转移完成状况数据。最后采用芯片转移完成状况数据更新中间芯片转移页面,生成待转移芯片数据对应的目标芯片转移页面。
[0139]
进一步地,步骤s32可以包括以下子步骤s321-s324:
[0140]
s321、当目标转盘线速度不等于预设转盘线速度阈值时,按照预设转盘调整幅度调整中间转盘线速度,生成目标转盘线速度。
[0141]
s322、将目标转盘线速度作为中间转盘线速度,并跳转执行将中间转盘线速度和芯片接收台3的初始接收运行速度进行比对,生成第二比对结果的步骤。
[0142]
s323、当目标转盘线速度等于预设线速度阈值时,按照预设芯片接收台调整幅度调整初始接收运行速度,生成目标接收运行速度。
[0143]
s324、当目标接收运行速度等于中间转盘线速度时,通过转盘1进行芯片放置,生成芯片放置数据。
[0144]
预设芯片接收台调整幅度是指基于实际需要事先设置的每次调整芯片接收台3运行速度的幅度。
[0145]
在本发明实施例中,当芯片接收台3移动到预设放置点位时,判断转盘1当前的目标转盘线速度与芯片接收台3的初始接收运行速度是否相等,若不相等,则判断目标转盘线
速度是否等于预设转盘线速度阈值,若不相等,则优先对转盘1的速度进行调整,即当目标转盘线速度不等于预设转盘线速度阈值时,按照预设转盘调整幅度调整中间转盘线速度,生成目标转盘线速度。并在调整后,判断重新判断当前时刻转盘1与芯片接收台3的初始接收运行速度是否相等即将目标转盘线速度作为中间转盘线速度,并跳转执行将中间转盘线速度和芯片接收台3的初始接收运行速度进行比对,生成第二比对结果的步骤。若转盘1当前的目标转盘线速度与芯片接收台3的初始接收运行速度不相等,且目标转盘线速度等于预设线速度阈值时,则按照预设芯片接收台调整幅度调整初始接收运行速度,生成目标接收运行速度。并在目标接收运行速度等于转盘1当前时刻的中间转盘线速度时,通过转盘1进行芯片放置,生成芯片放置数据。
[0146]
在本发明实施例中,通过获取待转移芯片数据和转盘固晶机数据,分别采用待转移芯片数据和转盘固晶机数据加载对应的数据页面组件并全部进行渲染,生成芯片待转移页面。采用转盘固晶机数据对应的不碰撞距离阈值,确定转盘半径选取区间。按照预设半径选取规则和转盘半径选取区间,选取转盘半径。采用转盘半径和预设距离阈值,确定转盘1的运动柱数量。基于芯片转移效率、运动柱数量和转盘半径进行线速度计算,生成转盘1对应的目标线速度。采用目标线速度对应的转盘半径和对应的运动柱数量,构建转盘1对应的转盘结构数据。采用转盘结构数据和目标线速度更新芯片待转移页面,生成初始芯片转移页面。当供料平台2移动到预设拾取点位时,基于供料平台2的初始供料运行速度和目标线速度进行芯片拾取,并更新初始芯片转移页面,生成中间转移页面和中间转盘线速度。当芯片接收台3移动到预设放置点位时,基于中间转盘线速度和芯片接收台3的初始接收运行速度进行芯片放置,并更新中间芯片转移页面,生成待转移芯片数据对应的目标芯片转移页面。通过在吸附节拍和放置节拍不再追求绝对静止,而是通过真空吸嘴11与芯片/基板相对静止(水平方向上)即转盘1与供料平台2/芯片接收台3相对静止时完成吸附和放置,进而提高芯片转移的效率。通过构建芯片转移页面方便工作人员实时监控,调整相应的装置参数,提高芯片转移效率。
[0147]
请参阅图9,图9为本发明实施例三提供的一种基于转盘固晶机的芯片转移系统的结构框图。
[0148]
本发明实例三提供的一种基于转盘固晶机的芯片转移系统,应用于转盘固晶机,转盘固晶机包括转盘1、供料平台2和芯片接收台3,系统包括:
[0149]
芯片待转移页面生成模块901,用于获取待转移芯片数据和转盘固晶机数据,分别采用待转移芯片数据和转盘固晶机数据加载对应的数据页面组件并全部进行渲染,生成芯片待转移页面。
[0150]
转盘结构数据和目标线速度确定模块902,用于采用待转移芯片数据、转盘固晶机数据和预设距离阈值进行转盘运行数据计算,确定转盘1对应的转盘结构数据和目标线速度。
[0151]
初始芯片转移页面生成模块903,用于采用转盘结构数据和目标线速度更新芯片待转移页面,生成初始芯片转移页面。
[0152]
中间芯片转移页面和中间转盘线速度得到模块904,用于当供料平台2移动到预设拾取点位时,基于供料平台2的初始供料运行速度和目标线速度进行芯片拾取,并更新初始芯片转移页面,生成中间转移页面和中间转盘线速度。
[0153]
目标芯片转移页面得到模块905,用于当芯片接收台3移动到预设放置点位时,基于中间转盘线速度和芯片接收台3的初始接收运行速度进行芯片放置,并更新中间芯片转移页面,生成待转移芯片数据对应的目标芯片转移页面。
[0154]
可选地,待转移芯片数据包括芯片转移效率,转盘结构数据和目标线速度确定模块902包括:
[0155]
转盘半径选取区间确定模块,用于采用转盘固晶机数据对应的不碰撞距离阈值,确定转盘半径选取区间。
[0156]
转盘半径选取模块,用于按照预设半径选取规则和转盘半径选取区间,选取转盘半径。
[0157]
运动柱数量确定模块,用于采用转盘半径和预设距离阈值,确定转盘1的运动柱数量。
[0158]
目标线速度生成模块,用于根据芯片转移效率、运动柱数量和转盘半径进行线速度计算,生成转盘1对应的目标线速度。
[0159]
转盘结构数据构建模块,用于采用目标线速度对应的转盘半径和对应的运动柱数量,构建转盘1对应的转盘结构数据。
[0160]
可选地,转盘固晶机数据包括供料平台最大速度和芯片接收平台最大速度,目标线速度生成模块可以执行以下步骤:
[0161]
将芯片转移效率和运动柱数量进行平均速度计算,生成转盘平均速度;
[0162]
将转盘平均速度和转盘半径计算进行线速度计算,生成初始线速度;
[0163]
若初始线速度大于或等于供料平台最大速度和芯片接收平台最大速度中的任一个,则跳转执行按照预设半径选取规则和转盘半径选取区间,选取转盘半径的步骤;
[0164]
若初始线速度同时小于供料平台最大速度和芯片接收平台最大速度,则将初始线速度作为转盘1对应的目标线速度。
[0165]
可选地,中间芯片转移页面和中间转盘线速度得到模块904包括:
[0166]
第一比对结果生成模块,用于将目标线速度与供料平台2的初始供料运行速度进行比对,生成第一比对结果。
[0167]
芯片拾取数据和中间转盘线速度第一生成模块,用于若第一比对结果为不相同,则根据预设转盘调整幅度、预设转盘线速度阈值和预设供料平台调整幅度进行芯片拾取,生成芯片拾取数据和中间转盘线速度。
[0168]
芯片拾取数据和中间转盘线速度第二生成模块,用于若第一比对结果为相同,则通过转盘1进行芯片拾取,生成芯片拾取数据并将目标线速度作为中间转盘线速度。
[0169]
中间芯片转移页面生成模块,用于采用芯片拾取数据更新初始芯片转移页面,生成中间芯片转移页面。
[0170]
可选地,芯片拾取数据和中间转盘线速度第一生成模块可以执行以下步骤:
[0171]
当目标线速度不等于预设转盘线速度阈值时,按照预设转盘调整幅度调整目标线速度,生成初始转盘线速度;
[0172]
将初始转盘线速度作为目标线速度,并跳转执行将目标线速度与供料平台2的初始供料运行速度进行比对,生成第一比对结果的步骤;
[0173]
当目标线速度等于预设线速度阈值时,按照预设供料平台调整幅度调整初始供料
运行速度,生成目标供料运行速度;
[0174]
当目标供料运行速度等于目标线速度时,通过转盘1进行芯片拾取,生成芯片拾取数据并将芯片拾取数据对应的目标线速度作为中间转盘线速度。
[0175]
可选地,目标芯片转移页面得到模块905包括:
[0176]
第二比对结果生成模块,用于将中间转盘线速度和芯片接收台3的初始接收运行速度进行比对,生成第二比对结果。
[0177]
芯片放置数据第一生成模块,用于若第二比对结果为不相同,则根据预设转盘调整幅度、预设转盘线速度阈值和预设芯片接收台调整幅度进行芯片放置,生成芯片放置数据。
[0178]
芯片放置数据第二生成模块,用于若第二比对结果为相同,则通过转盘1进行芯片放置,生成芯片放置数据。
[0179]
芯片转移完成状况数据生成模块,用于当芯片放置数据为预设的放置数据时,通过工业相机对供料平台2和芯片接收台3进行视觉检测,生成芯片转移完成状况数据。
[0180]
目标芯片转移页面得到子模块,用于采用芯片转移完成状况数据更新中间芯片转移页面,生成待转移芯片数据对应的目标芯片转移页面。
[0181]
可选地,芯片放置数据第一生成模块可以执行以下步骤:
[0182]
当目标转盘线速度不等于预设转盘线速度阈值时,按照预设转盘调整幅度调整中间转盘线速度,生成目标转盘线速度;
[0183]
将目标转盘线速度作为中间转盘线速度,并跳转执行将中间转盘线速度和芯片接收台3的初始接收运行速度进行比对,生成第二比对结果的步骤;
[0184]
当目标转盘线速度等于预设线速度阈值时,按照预设芯片接收台调整幅度调整初始接收运行速度,生成目标接收运行速度;
[0185]
当目标接收运行速度等于中间转盘线速度时,通过转盘进行芯片放置,生成芯片放置数据。
[0186]
本发明实施例还提供了一种电子设备,电子设备包括:存储器及处理器,存储器中储存有计算机程序;计算机程序被处理器执行时,使得处理器执行如上述任一实施例的基于转盘固晶机的芯片转移方法。
[0187]
存储器可以是诸如闪存、eeprom(电可擦除可编程只读存储器)、eprom、硬盘或者rom之类的电子存储器。存储器具有用于执行上述方法中的任何方法步骤的程序代码的存储空间。例如,用于程序代码的存储空间可以包括分别用于实现上面的方法中的各种步骤的各个程序代码。这些程序代码可以从一个或者多个计算机程序产品中读出或者写入到这一个或者多个计算机程序产品中。这些计算机程序产品包括诸如硬盘,紧致盘(cd)、存储卡或者软盘之类的程序代码载体。程序代码可以例如以适当形式进行压缩。这些代码当由计算处理设备运行时,导致该计算处理设备执行上面所描述的基于转盘固晶机的芯片转移方法中的各个步骤。
[0188]
本发明实施例还提供了一种计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序,该计算机程序被处理器执行时实现如上述任一实施例的基于转盘固晶机的芯片转移方法。
[0189]
所属领域的技术人员可以清楚地了解到,为描述的方便和简洁,上述描述的系统,装置和单元的具体工作过程,可以参考前述方法实施例中的对应过程,在此不再赘述。
[0190]
在本技术所提供的几个实施例中,应该理解到,所揭露的系统,装置和方法,可以通过其它的方式实现。例如,以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的,例如,单元的划分,仅仅为一种逻辑功能划分,实际实现时可以有另外的划分方式,例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统,或一些特征可以忽略,或不执行。另一点,所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些接口,装置或单元的间接耦合或通信连接,可以是电性,机械或其它的形式。
[0191]
作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的,作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元,即可以位于一个地方,或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。
[0192]
另外,在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中,也可以是各个单元单独物理存在,也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现,也可以采用软件功能单元的形式实现。
[0193]
集成的单元如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时,可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解,本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的全部或部分可以以软件产品的形式体现出来,该计算机软件产品存储在一个存储介质中,包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机,服务器,或者网络设备等)执行本发明各个实施例方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括:u盘、移动硬盘、只读存储器(rom,read-only memory)、随机存取存储器(ram,random access memory)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。
[0194]
以上实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

技术特征:
1.一种基于转盘固晶机的芯片转移方法,其特征在于,应用于转盘固晶机,所述转盘固晶机包括转盘、供料平台和芯片接收台;所述方法包括:获取待转移芯片数据和转盘固晶机数据,分别采用所述待转移芯片数据和所述转盘固晶机数据加载对应的数据页面组件并全部进行渲染,生成芯片待转移页面;采用所述待转移芯片数据、所述转盘固晶机数据和预设距离阈值进行转盘运行数据计算,确定所述转盘对应的转盘结构数据和目标线速度;采用所述转盘结构数据和所述目标线速度更新所述芯片待转移页面,生成初始芯片转移页面;当所述供料平台移动到预设拾取点位时,基于所述供料平台的初始供料运行速度和所述目标线速度进行芯片拾取,并更新所述初始芯片转移页面,生成中间转移页面和中间转盘线速度;当所述芯片接收台移动到预设放置点位时,基于所述中间转盘线速度和所述芯片接收台的初始接收运行速度进行芯片放置,并更新中间芯片转移页面,生成所述待转移芯片数据对应的目标芯片转移页面。2.根据权利要求1所述的基于转盘固晶机的芯片转移方法,其特征在于,所述待转移芯片数据包括芯片转移效率;所述采用所述待转移芯片数据、所述转盘固晶机数据和预设距离阈值进行转盘运行数据计算,确定所述转盘对应的转盘结构数据和目标线速度的步骤,包括:采用所述转盘固晶机数据对应的不碰撞距离阈值,确定转盘半径选取区间;按照预设半径选取规则和所述转盘半径选取区间,选取转盘半径;采用所述转盘半径和预设距离阈值,确定所述转盘的运动柱数量;根据所述芯片转移效率、所述运动柱数量和所述转盘半径进行线速度计算,生成所述转盘对应的目标线速度;采用所述目标线速度对应的转盘半径和对应的运动柱数量,构建所述转盘对应的转盘结构数据。3.根据权利要求2所述的基于转盘固晶机的芯片转移方法,其特征在于,所述转盘固晶机数据包括供料平台最大速度和芯片接收平台最大速度;所述根据所述芯片转移效率、所述运动柱数量和所述转盘半径进行线速度计算,生成所述转盘对应的目标线速度的步骤,包括:将所述芯片转移效率和所述运动柱数量进行平均速度计算,生成转盘平均速度;将所述转盘平均速度和所述转盘半径计算进行线速度计算,生成初始线速度;若所述初始线速度大于或等于所述供料平台最大速度和所述芯片接收平台最大速度中的任一个,则跳转执行所述按照预设半径选取规则和所述转盘半径选取区间,选取转盘半径的步骤;若所述初始线速度同时小于所述供料平台最大速度和所述芯片接收平台最大速度,则将所述初始线速度作为所述转盘对应的目标线速度。4.根据权利要求1所述的基于转盘固晶机的芯片转移方法,其特征在于,所述基于所述供料平台的初始供料运行速度和所述目标线速度进行芯片拾取,并更新所述初始芯片转移页面,生成中间转移页面和中间转盘线速度的步骤,包括:
将所述目标线速度与所述供料平台的初始供料运行速度进行比对,生成第一比对结果;若所述第一比对结果为不相同,则根据预设转盘调整幅度、预设转盘线速度阈值和预设供料平台调整幅度进行芯片拾取,生成芯片拾取数据和中间转盘线速度;若所述第一比对结果为相同,则通过所述转盘进行芯片拾取,生成芯片拾取数据并将所述目标线速度作为中间转盘线速度;采用所述芯片拾取数据更新所述初始芯片转移页面,生成中间芯片转移页面。5.根据权利要求4所述的基于转盘固晶机的芯片转移方法,其特征在于,所述根据预设转盘调整幅度、预设线速度阈值和预设供料平台调整幅度进行芯片拾取,生成芯片拾取数据和中间转盘线速度的步骤,包括:当所述目标线速度不等于预设转盘线速度阈值时,按照预设转盘调整幅度调整所述目标线速度,生成初始转盘线速度;将所述初始转盘线速度作为目标线速度,并跳转执行所述将所述目标线速度与所述供料平台的初始供料运行速度进行比对,生成第一比对结果的步骤;当所述目标线速度等于预设线速度阈值时,按照预设供料平台调整幅度调整所述初始供料运行速度,生成目标供料运行速度;当所述目标供料运行速度等于所述目标线速度时,通过所述转盘进行芯片拾取,生成芯片拾取数据并将所述芯片拾取数据对应的目标线速度作为中间转盘线速度。6.根据权利要求4所述的基于转盘固晶机的芯片转移方法,其特征在于,所述基于所述中间转盘线速度和所述芯片接收台的初始接收运行速度进行芯片放置,并更新中间芯片转移页面,生成所述待转移芯片数据对应的目标芯片转移页面的步骤,包括:将所述中间转盘线速度和所述芯片接收台的初始接收运行速度进行比对,生成第二比对结果;若所述第二比对结果为不相同,则根据所述预设转盘调整幅度、所述预设转盘线速度阈值和预设芯片接收台调整幅度进行芯片放置,生成芯片放置数据;若所述第二比对结果为相同,则通过所述转盘进行芯片放置,生成芯片放置数据;当所述芯片放置数据为预设的放置数据时,通过工业相机对所述供料平台和所述芯片接收台进行视觉检测,生成芯片转移完成状况数据;采用所述芯片转移完成状况数据更新所述中间芯片转移页面,生成所述待转移芯片数据对应的目标芯片转移页面。7.根据权利要求6所述的基于转盘固晶机的芯片转移方法,其特征在于,所述根据所述预设转盘调整幅度、所述预设转盘线速度阈值和预设芯片接收台调整幅度进行芯片放置,生成芯片放置数据的步骤,包括:当所述目标转盘线速度不等于所述预设转盘线速度阈值时,按照预设转盘调整幅度调整所述中间转盘线速度,生成目标转盘线速度;将所述目标转盘线速度作为中间转盘线速度,并跳转执行所述将所述中间转盘线速度和所述芯片接收台的初始接收运行速度进行比对,生成第二比对结果的步骤;当所述目标转盘线速度等于所述预设线速度阈值时,按照预设芯片接收台调整幅度调整所述初始接收运行速度,生成目标接收运行速度;
当所述目标接收运行速度等于所述中间转盘线速度时,通过所述转盘进行芯片放置,生成芯片放置数据。8.一种基于转盘固晶机的芯片转移系统,其特征在于,应用于转盘固晶机,所述转盘固晶机包括转盘、供料平台和芯片接收台;所述系统包括:芯片待转移页面生成模块,用于获取待转移芯片数据和转盘固晶机数据,分别采用所述待转移芯片数据和所述转盘固晶机数据加载对应的数据页面组件并全部进行渲染,生成芯片待转移页面;转盘结构数据和目标线速度确定模块,用于采用所述待转移芯片数据、所述转盘固晶机数据和预设距离阈值进行转盘运行数据计算,确定所述转盘对应的转盘结构数据和目标线速度;初始芯片转移页面生成模块,用于采用所述转盘结构数据和所述目标线速度更新所述芯片待转移页面,生成初始芯片转移页面;中间芯片转移页面和中间转盘线速度得到模块,用于当所述供料平台移动到预设拾取点位时,基于所述供料平台的初始供料运行速度和所述目标线速度进行芯片拾取,并更新所述初始芯片转移页面,生成中间转移页面和中间转盘线速度;目标芯片转移页面得到模块,用于当所述芯片接收台移动到预设放置点位时,基于所述中间转盘线速度和所述芯片接收台的初始接收运行速度进行芯片放置,并更新中间芯片转移页面,生成所述待转移芯片数据对应的目标芯片转移页面。9.一种电子设备,其特征在于,包括存储器及处理器,所述存储器中储存有计算机程序,所述计算机程序被所述处理器执行时,使得所述处理器执行如权利要求1至7任一项所述的基于转盘固晶机的芯片转移方法的步骤。10.一种计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序,其特征在于,所述计算机程序被执行时实现如权利要求1至7任一项所述的基于转盘固晶机的芯片转移方法。

技术总结
本发明公开了一种基于转盘固晶机的芯片转移方法、系统、设备和介质,采用待转移芯片数据和转盘固晶机数据,构建芯片待转移页面。并采用待转移芯片数据、转盘固晶机数据和预设距离阈值进行转盘运行数据计算,更新得到初始芯片转移页面。基于供料平台的初始供料运行速度和目标线速度进行芯片拾取,得到中间转移页面和中间转盘线速度。基于中间转盘线速度和芯片接收台的初始接收运行速度进行芯片放置,得到目标芯片转移页面。通过对供料平台、转盘和芯片接收台的运行速度进行调整,使转盘在进行芯片拾取或放置时,不需要执行停止的动作。通过构建芯片转移页面使操作人员监测转盘固晶机运行情况,基于实际需要进行相应的装置调整,提高芯片转移效率。提高芯片转移效率。提高芯片转移效率。


技术研发人员:陈桪 陈新 姚敬松 陈云 杨志军 劳斯德 龙杰才 刘子扬 谢丛锴 张烜志
受保护的技术使用者:广东工业大学
技术研发日:2023.07.24
技术公布日:2023/10/11
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