安装治具的制作方法

1.本技术涉及半导体制备技术领域，特别是涉及一种安装治具。


背景技术：

2.相关技术中，通常将晶圆放置于pvd(physical vapour deposition，物理气相沉积)机台的腔室内沉积薄膜。在沉积薄膜的过程中，晶圆通过晶片分度板从一个基座移动到下一个基座，使得每个晶圆依次移动通过腔室的每个工位并在其中进行沉积薄膜。晶圆可以借助摩尔环(moer ring)装载于晶片分度板上，以使晶圆的外径尽可能少的暴露于腔室内。摩尔环借助与之可拆卸连接的保持器组件(holder assy)定位于基座上。当摩尔环被晶片分度板提升时，保持器组件用于提升晶圆。
3.由于摩尔环和保持器组件大多为陶瓷件，随着长时间在腔室内的使用会出现损坏，需要进行更换。在通过紧固件将保持器组件安装于摩尔环时，会出现安装偏移，进而在使用时容易与腔室内的运动机构产生干涉，从而造成晶圆偏移或破片。因此在将保持器组件与摩尔环安装后，需要放置于腔室内进行检验，根据检验结果再确认是否需要重新安装，使得安装效率低下。


技术实现要素：

4.基于此，有必要提供一种安装治具，以改善安装效率。
5.本技术实施例提供了一种安装治具，用于安装摩尔环和保持器组件，所述摩尔环包括环本体以及间隔设于所述环本体外周的三个凸部，所述凸部用于与所述保持器组件可拆卸连接；所述安装治具包括治具本体；
6.所述治具本体上设有沿第一方向设有通孔，所述治具本体的第一表面上设有三个定位槽，三个所述定位槽间隔设于所述通孔的外周，且与三个所述凸部一一对应；所述定位槽设有台阶部，所述台阶部具有第一定位面；所述定位槽具有底壁、连接于所述底壁和所述第一定位面之间的第一侧壁，以及连接于所述第一表面和所述第一定位面之间的第二侧壁；
7.所述底壁和所述第一侧壁限定形成用于对所述保持器组件限位的第一容置空间，所述第一定位面和所述第二侧壁限定形成用于对所述凸部限位的第二容置空间，所述第一容置空间和所述第二容置空间彼此连通；
8.其中，所述第一方向垂直于所述第一表面。
9.在其中一个实施例中，所述安装治具还包括与所述定位槽相连接的定位部，所述定位部用于在所述第一方向上对所述保持器组件限位；
10.所述定位部在参考面上的正投影位于所述通孔在所述参考面上的正投影内，所述参考面为垂直于所述第一方向的平面。
11.在其中一个实施例中，所述定位部具有与所述底壁相连接的第二定位面；
12.所述第二定位面与所述底壁共同用于在所述第一方向上承载所述保持器组件。
13.在其中一个实施例中，所述第二定位面构造为垂直于所述第一方向的平面。
14.在其中一个实施例中，所述第二定位面在所述参考面上的正投影以及所述底壁在所述参考面上的正投影构成目标投影；
15.所述目标投影覆盖所述保持器组件在所述参考面上的正投影。
16.在其中一个实施例中，所述定位部连接所述定位槽的一端为起始端，所述定位部背离所述定位槽的一端为终止端；
17.所述起始端指向所述终止端的方向与所述第一方向彼此垂直。
18.在其中一个实施例中，所述定位部在所述起始端和所述终止端之间沿直线延伸设置。
19.在其中一个实施例中，所述定位部与所述治具本体为一体式结构。
20.在其中一个实施例中，所述第一定位面构造为垂直于所述第一方向的平面；和/或
21.所述底壁构造为垂直于所述第一方向的平面。
22.在其中一个实施例中，三个所述定位槽沿所述通孔的外周等间距分布。
23.上述安装治具中，安装治具用于安装摩尔环和保持器组件，安装治具至少包括治具本体，治具本体上设有通孔及定位槽，定位槽与摩尔环的凸部相对应，通过在定位槽内设置台阶部，以形成用于对保持器组件限位的第一容置空间以及用于对凸部进行限位的第二容置空间，进而使得摩尔环和保持器组件能够被限位，改善在安装过程中摩尔环和保持器组件之间产生偏移的情形，从而提高了安装效率。
24.本技术实施例的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术实施例的实践了解到。
附图说明
25.通过阅读对下文实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出实施方式的目的，而并不认为是对本技术的限制。而且在全部附图中，用相同的附图标号表示相同的部件。
26.在附图中：
27.图1为本技术一实施例中摩尔环和保持器组件组装在一起的结构示意图；
28.图2为图1示意出的另一个视角下摩尔环和保持器组件组装在一起的结构示意图；
29.图3为图1示意出的摩尔环和保持器组件的爆炸结构示意图；
30.图4为本技术一实施例中的基座的结构示意图；
31.图5为本技术一实施例中摩尔环、晶片分度板和基座相配合的结构示意图；
32.图6为本技术一实施例中安装治具的结构示意图；
33.图7为图6中a处的局部放大结构示意图；
34.图8为图6示意出的安装治具的剖视结构示意图；
35.图9为图8中b处的局部放大结构示意图；
36.图10为图6示意出的安装治具的俯视结构示意图。
37.具体实施方式中的附图标号如下：
38.摩尔环100，环本体110，凸部120；
39.保持器组件200；
40.紧固件300；
41.基座400，安装部410；
42.晶片分度板500，配合部510；
43.安装治具10，治具本体11，通孔k，第一表面s1，定位槽g，台阶部t，第一定位面m1，底壁b，第一侧壁c1，第二侧壁c2，定位部12，第二定位面m2，起始端12a，终止端12b；
44.第一方向f1。
具体实施方式
45.为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术实施例的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术实施例。应当理解，此处描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。本技术实施例能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此，本技术实施例不受下面公开的具体实施例的限制。
46.可以理解，本技术所使用的术语“第一”、“第二”等可在本文中用于描述各种专业名词，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。但除非特别说明，这些专业名词不受这些术语限制。这些术语仅用于将一个专业名词与另一个专业名词区分。在本技术实施例的描述中，“多个”、“若干”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
47.在本技术实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术实施例中的具体含义。
48.在本技术实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征水平高度。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征水平高度。
49.需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。
50.除非另有定义，本技术所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本技术中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。
51.为便于说明，在介绍本技术实施例提供的安装治具之前，先对本技术实施例涉及的摩尔环、保持器组件进行相关说明。
52.图1示出了本技术一实施例中摩尔环100和保持器组件200组装在一起的结构示意
图；图2示出了图1示意出的另一个视角下摩尔环100和保持器组件200组装在一起的结构示意图；图3示出了图1示意出的摩尔环100和保持器组件200的爆炸结构示意图；为便于说明，仅示出与本技术实施例相关的内容。
53.在一些实施例中，请参照图1至图3，摩尔环100包括环本体110和三个凸部120，三个凸部120间隔设于环本体110外周。每一个凸部120借助紧固件300对应安装一个保持器组件200。摩尔环100是由非腐蚀性材料制成的环。例如，摩尔环100可以是陶瓷件。摩尔环100包括围绕内径的排除唇缘(图中未标示)。晶圆可通过插入的方式插入排除唇缘中。排除唇缘位于或靠近晶圆的顶表面，可以使晶圆的外径尽可能少的暴露于腔室内。由于排除唇缘为现有技术，且不是本技术所要保护的重点，在此不再过多赘述。
54.图4示出了本技术一实施例中的基座400的结构示意图；图5示出了本技术一实施例中摩尔环100、晶片分度板500和基座400相配合的结构示意图；为便于说明，仅示出与本技术实施例相关的内容。以图5为例，示意出晶片分度板500和基座400的部分结构。
55.在一些实施例中，请参照图4至图5，基座400上设有与保持器组件200相对应的安装部410，晶片分度板500上设有与凸部120相对应的配合部510。晶圆装载到摩尔环100后，摩尔环100借助其自身的凸部120装载于晶片分度板500。晶片分度板500可带动晶圆从一个基座400移动到下一个基座400。保持器组件200可装配至基座400的安装部410上，使得晶圆能够定位于基座400上。
56.下面以上述示意出的摩尔环100和保持器组件200为例，对本技术实施例提供的安装治具10进行说明。
57.图6示出了本技术一实施例中安装治具10的结构示意图；图7示出了图6中a处的局部放大结构示意图；为便于说明，仅示出与本技术实施例相关的内容。
58.在一些实施例中，请参照图6至图7，本技术实施例提供了一种安装治具10，该安装治具10包括治具本体11。治具本体11上设有沿第一方向f1设有通孔k，通孔k与摩尔环100的环本体110相适配。治具本体11的第一表面s1上设有三个定位槽g，三个定位槽g间隔设于通孔k的外周，且与摩尔环100的三个凸部120一一对应。定位槽g设有台阶部t，台阶部t具有第一定位面m1。定位槽g具有底壁b、第一侧壁c1和第二侧壁c2，第一侧壁c1连接于底壁b和所述第一定位面m1之间，第二侧壁c2连接于第一表面s1和第一定位面m1之间。第一方向f1垂直于第一表面s1。
59.底壁b和第一侧壁c1限定形成用于对保持器组件200限位的第一容置空间。
60.第一定位面m1和第二侧壁c2限定形成用于对凸部120限位的第二容置空间。
61.第一容置空间和第二容置空间彼此连通。
62.可以理解的是，以图6和图7中示意出的第一方向f1为竖直方向为例，请继续参照图6至图7，第一定位面m1可以在第一方向f1上对摩尔环100的凸部120进行定位，第二侧壁c2可以在水平方向上对摩尔环100的凸部120进行定位，进而在摩尔环100的凸部120容置于第一容置空间时，摩尔环100的凸部120能够相对于治具本体11而定位。底壁b可以在第一方向f1上对保持器组件200进行定位，第一侧壁c1可以在水平方向上对保持器组件200进行定位，进而在保持器组件200容置于第二容置空间时，保持器组件200能够相对于治具本体11而定位。
63.示例性地，第一侧壁c1可以构造为在水平底壁b可以在第一方向f1上对保持器组
件200进行定位，第一侧壁c1可以在水平方向上围合于凸部120的外缘。第一侧壁c1可以是如图6和图7示意出的连续性的结构，也可以是间隔设置的结构，本技术实施例对此不作具体限制。同理，第二侧壁c2也可以作此考虑，在此不再赘述。
64.在安装摩尔环100和保持器组件200前，可以先将保持器组件200放置于第一容置空间内，再将摩尔环100的凸部120放置于第二容置空间内，如此，使得保持器组件200和摩尔环100之间可以相对固定。在借助紧固件300将保持器组件200和摩尔环100安装在一起时，可以改善因旋紧紧固件300产生的扭力而使保持器组件200和摩尔环100之间出现偏移的情形，降低了因偏移而导致需要拆除重装的情形，从而提高了安装效率。
65.图8示出了图6示意出的安装治具10的剖视结构示意图；图9示出了图8中b处的局部放大结构示意图；为便于说明，仅示出与本技术实施例相关的内容。
66.在一些实施例中，请继续参照图6和图7，并结合参照图8和图9，安装治具10还包括与定位槽g相连接的定位部12，定位部12用于在第一方向f1上对保持器组件200限位。定位部12在参考面上的正投影位于通孔k在参考面上的正投影内，参考面为垂直于第一方向f1的平面。
67.如此，通过设置定位部12，可以配合底壁b共同承载保持器组件200，进而使得在安装过程中保持器组件200能够更为稳定。
68.在一些实施例中，请继续参照图6和图7，并结合参照图8和图9，定位部12具有与底壁b相连接的第二定位面m2，第二定位面m2与底壁b共同用于在第一方向f1上承载保持器组件200。
69.如此，通过在定位部12上构造第二定位面m2，增大了承载保持器组件200的承载面积，能够进一步提高安装过程中保持器组件200的稳定性。
70.具体至一些实施例中，请继续参照图7和图9，第二定位面m2构造为垂直于第一方向f1的平面。如此，可以进一步增大承载保持器组件200的承载面积。当然，第二定位面m2也可以构造为间隔设置的平面等，可以根据具体使用情况进行设置，本技术实施例对此不作具体限制。
71.在一些实施例中，第二定位面m2在参考面上的正投影以及底壁b在参考面上的正投影构成目标投影。目标投影覆盖保持器组件200在参考面上的正投影。也即，通过构造第二定位面m2，使得在第一方向f1上能够完全承载保持器组件200，便于安装过程的进行。
72.在一些实施例中，请继续参照图6和图7，并结合参照图8和图9，定位部12连接定位槽g的一端为起始端12a，定位部12背离定位槽g的一端为终止端12b。起始端12a指向终止端12b的方向与第一方向f1彼此垂直。也即，定位部12具有一定的延伸长度，能够在第一方向f1上对保持器组件200进行定位。
73.在一些实施例中，请继续参照图6和图7，并结合参照图8和图9，定位部12在起始端12a和终止端12b之间沿直线延伸设置。也即，定位部12是呈直线状延伸设置的。如此，能够进一步与保持器组件200相匹配，以更好地对保持器组件200在第一方向f1上进行定位。
74.在一些实施例中，请继续参照图6和图7，并结合参照图8和图9，定位部12与治具本体11为一体式结构。也即，定位部12与治具本体11可以通过一体成型工艺制成。当然，在另一些实施例中，定位部12与治具本体11也可以为分体式结构。也即，定位部12与治具本体11可以通过固定连接的方式连接在一起。可以根据具体使用情况进行选择，本技术实施例对
此不作具体限制。以图7和图9为例，示意出定位部12与治具本体11为一体式结构的情形，第二定位面m2与底壁b平滑连接。
75.在一些实施例中，请继续参照图6和图7，并结合参照图8和图9，第一定位面m1构造为垂直于第一方向f1的平面。当然，底壁b也可以构造为垂直于第一方向f1的平面。以图7和图9为例，示意出第一定位面m1和底壁b均为平面的情形。如此，使得治具本体11对于摩尔环100和保持器组件200的限位更为稳定。
76.图10示出了图6示意出的安装治具10的俯视结构示意图；为便于说明，仅示出与本技术实施例相关的内容。
77.在一些实施例中，请参照图10，并结合参照图6和图8，三个定位槽g沿通孔k的外周等间距分布。相应地，摩尔环100的三个凸部120也是等间距分布于环本体110的外周。如此，在摩尔环100和保持器组件200安装于基座400并借助真空吸附方式固定时，受力更为均匀。
78.综上所述，本技术实施例提供的安装治具10中，可以根据摩尔环100和保持器组件200的尺寸进行制作，安装治具10的材质可以为不锈钢。通过在定位槽g内设置台阶部t，以形成用于对保持器组件200限位的第一容置空间以及用于对凸部120进行限位的第二容置空间，进而使得摩尔环100和保持器组件200能够被限位，改善在安装过程中摩尔环100和保持器组件200之间产生偏移的情形，从而提高了安装效率。同时，通过构造定位部12以及灵活设置第二定位面m2、底壁b和第一定位面m1的构造，各部件相互配合，能够进一步提升安装过程中的稳定性。
79.以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
80.以上所述实施例仅表达了本技术的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。因此，本技术专利的保护范围应以所附权利要求为准。

技术特征：
1.一种安装治具，用于安装摩尔环和保持器组件，其特征在于，所述摩尔环包括环本体以及间隔设于所述环本体外周的三个凸部，所述凸部用于与所述保持器组件可拆卸连接；所述安装治具包括治具本体；所述治具本体上设有沿第一方向设有通孔，所述治具本体的第一表面上设有三个定位槽，三个所述定位槽间隔设于所述通孔的外周，且与三个所述凸部一一对应；所述定位槽设有台阶部，所述台阶部具有第一定位面；所述定位槽具有底壁、连接于所述底壁和所述第一定位面之间的第一侧壁，以及连接于所述第一表面和所述第一定位面之间的第二侧壁；所述底壁和所述第一侧壁限定形成用于对所述保持器组件限位的第一容置空间，所述第一定位面和所述第二侧壁限定形成用于对所述凸部限位的第二容置空间，所述第一容置空间和所述第二容置空间彼此连通；其中，所述第一方向垂直于所述第一表面。2.根据权利要求1所述的安装治具，其特征在于，所述安装治具还包括与所述定位槽相连接的定位部，所述定位部用于在所述第一方向上对所述保持器组件限位；所述定位部在参考面上的正投影位于所述通孔在所述参考面上的正投影内，所述参考面为垂直于所述第一方向的平面。3.根据权利要求2所述的安装治具，其特征在于，所述定位部具有与所述底壁相连接的第二定位面；所述第二定位面与所述底壁共同用于在所述第一方向上承载所述保持器组件。4.根据权利要求3所述的安装治具，其特征在于，所述第二定位面构造为垂直于所述第一方向的平面。5.根据权利要求3所述的安装治具，其特征在于，所述第二定位面在所述参考面上的正投影以及所述底壁在所述参考面上的正投影构成目标投影；所述目标投影覆盖所述保持器组件在所述参考面上的正投影。6.根据权利要求2所述的安装治具，其特征在于，所述定位部连接所述定位槽的一端为起始端，所述定位部背离所述定位槽的一端为终止端；所述起始端指向所述终止端的方向与所述第一方向彼此垂直。7.根据权利要求6所述的安装治具，其特征在于，所述定位部在所述起始端和所述终止端之间沿直线延伸设置。8.根据权利要求2所述的安装治具，其特征在于，所述定位部与所述治具本体为一体式结构。9.根据权利要求1-8任一项所述的安装治具，其特征在于，所述第一定位面构造为垂直于所述第一方向的平面；和/或所述底壁构造为垂直于所述第一方向的平面。10.根据权利要求1-8任一项所述的安装治具，其特征在于，三个所述定位槽沿所述通孔的外周等间距分布。

技术总结
本申请涉及半导体制备技术领域，本申请实施例提供了一种安装治具。上述安装治具中，安装治具用于安装摩尔环和保持器组件，安装治具至少包括治具本体，治具本体上设有通孔及定位槽，定位槽与摩尔环的凸部相对应，通过在定位槽内设置台阶部，以形成用于对保持器组件限位的第一容置空间以及用于对凸部进行限位的第二容置空间，进而使得摩尔环和保持器组件能够被限位，改善在安装过程中摩尔环和保持器组件之间产生偏移的情形，从而提高了安装效率。从而提高了安装效率。从而提高了安装效率。


技术研发人员：洪常刚
受保护的技术使用者：粤芯半导体技术股份有限公司
技术研发日：2023.02.15
技术公布日：2023/7/20