一种恒温冷却的磨抛气浮主轴及减薄机的制作方法

1.本发明涉及集成电路封装领域，具体地说是一种恒温冷却的磨抛气浮主轴。


背景技术：

2.磨抛气浮主轴用于晶圆磨削抛光以去除硅片背面多余材料，从而减小硅片封装体积、降低热阻、提高器件的散热性能、降低封装后芯片因受热不均而开裂的风险、提高产品可靠性。随着终端应用，特别是移动设备对更高性能、更低成本、更小形状因子的器件需求，晶圆的直径在逐步增大，同时封装用的晶圆的物厚度逐步减小，这些因素对硅片磨削的加工效率和加工质量提出了更高的要求。
3.减薄机通过磨抛气浮主轴带动金刚石磨轮高速旋转，从而对磨削材料进行物理去除。磨抛气浮主轴是减薄机实现超精密磨削的关键部件，其性能直接影响着磨削质量和磨削效率。磨抛气浮主轴采用气浮轴承支撑，电机转子与主轴旋转部分集成一体，实现了从电机到旋转部件的零传动，在提高机械效率的同时减少了振动，提高了精度。
4.传统的磨抛气浮主轴通常采用“t”型结构，即径向轴承在上下两个止推轴承的外侧。这种结构的磨抛气浮主轴，存在的问题是：下止推轴承难以满足高效磨削要求。此外，旋转体部分的转动惯量较小，难以稳定工作。为了解决该问题，申请号为2022110879486的中国专利申请文件中提供了一种“工”字型结构的气浮轴承，其虽然能够满足高效磨削要求，但是在使用过程中，电机和气浮轴承发热会影响磨抛气浮主轴的精度，并容易引起主轴抱死故障。


技术实现要素：

5.为了解决上述技术问题，本发明提供了一种减薄机的气浮承片装置，其采用如下技术方案：
6.一种恒温冷却的磨抛气浮主轴，包括转动轴组件、轴承座、连接端盖、驱动装置及磨抛件，其中：
7.转动轴组件上形成有环凹槽；
8.轴承座设置在环凹槽内，用于实施对转动轴组件的限位支撑，轴承座内设置有进气道和至少一路冷却水道，进气道的进气口位于轴承座的第一端，进气道的出气口位于轴承座的内壁上；冷却水道的进水口和出水口均位于轴承座的第一端，冷却水道自进水口依次延伸至轴承座的与转动轴组件的接触的第一端面和轴承座的与所述转动轴组件接触的第二端面后，延伸至出水口；
9.连接端盖固定连接在轴承座上并位于轴承座的第一端，连接端盖上设置有与进气道的进气口对接的进气接头、与冷却水道的进水口对接的进水接头及与冷却水道的出水口对接的出水接头；
10.驱动装置设置在连接端盖上并与转动轴组件的第一端传动连接，驱动装置用于驱动转动轴组件旋转；
11.磨抛件设置在转动轴组件的第二端。
12.本发明提供的磨抛气浮主轴，转动轴组件上形成有环凹槽，轴承座安装在环凹槽内，从而保证转动轴组件能够在轴承座上稳定转动。此外，轴承座内设置有进气道，通过进气道可将压缩气体充入至轴承座与转动轴组件的接触位置处，从而使得轴承座与转动轴组件的接触位置处形成气膜，如此，可保证转动轴组件在高速旋转过程中不与轴承座产生直接的机械接触，从而降低转动轴组件与轴承座之间的摩擦，提升磨抛件的精度。特别的，轴承座内还设置有冷却水道，冷却水道能够及时带走转动轴组件高速旋转过程中产生的热量，从而防止转动轴组件、轴承座等组件因温度过高产生热变形，从而进一步保证磨抛件的精度。
13.在一些实施例中，冷却水道包括穿入段、第一端面冷却段、中间连接段、第二端面冷却段及穿出段，其中：第一端面冷却段设置在轴承座的第一端面上；第二端面冷却段设置在轴承座的第二端面上；穿入段连接进水口和第一端面冷却段的第一端；穿出段连接第二端面冷却段的第二端和出水口；中间连接段连接第一端面冷却段的第二端和第二端面冷却段的第一端。
14.轴承座与转动轴组件接触的第一端面、第二端面处的摩擦力大，产生的热量相应较大。通过在轴承座的第一端面、第二端面上相应设置第一端面冷却段、第二端面冷却段，可实现对轴承座的第一端面、第二端面的针对性冷却，从而保证冷却水道的冷却效果。
15.在一些实施例中，第一端面冷却段和第二端面冷却段均为环绕转动轴组件且两端相隔的c形水道。
16.延长了冷却水道在轴承座的第一端面、第二端上上的冷却行程，进一步提升了冷却效果。
17.在一些实施例中，冷却水道设置为两路，其中，第一路冷却水道的第一端面冷却段位于第二路冷却水道的第一端面冷却段的外侧，第一路冷却水道的第二端面冷却段位于第二路冷却水道的第二端面冷却段的外侧。
18.通过设置两路冷却水道，进一步提升了本发明对轴承座的冷却效果。
19.在一些实施例中，驱动装置包括安装罩和电机，其中，安装罩固定安装在连接端盖上，电机设置在安装罩内。
20.通过在电机外设置安装罩，防止工作过程中产生的粉尘进入至电机内，对电机造成损害。
21.在一些实施例中，磨抛气浮主轴还包括电机冷却系统，电机冷却系统包括水冷套、第一出水管、第二出水管、三通接头及水冷套进水管，其中：水冷套设置在安装罩的内壁上，水冷套上设置有水冷套进水接头和水冷套出水接头；第一出水管的第一端连接第一路冷却水道的出水口，第一出水管的第二端连接三通接头的第一进口；第二出水管的第一端连接第二路冷却水道的出水口，第二出水管的第二端连接三通接头的第二进口；水冷套进水管的第一端连接三通接头的出口，水冷套进水管的第二端连接水冷套进水接头。
22.冷却水路在完成对轴承座的冷却后，继续流入至电机冷却系统内，实施对电机的冷却，防止电机温度过高受损。
23.在一些实施例中，轴承座的第一端面与转动轴组件的接触处设有第一轴承垫，第一轴承垫与轴承座的第一端面气密贴合；轴承座的第二端面与转动轴组件的接触处设有第
二轴承垫，第二承垫与轴承座的第二端面气密贴合。
24.通过在轴承座的第一端面、第二端面上分别设置第一轴承垫、第二轴承垫，可实现轴承座的第一端面、第二端面与转动轴组件之间的缓冲接触，降低转动轴组件在高速旋转过程中的震动，进一步提升磨抛件的精度。
25.在一些实施例中，轴承座包括叠合连接的第一止推轴承座和第二止推轴承座。
26.通过将轴承座设置成包括第一止推轴承座和第二止推轴承座的分体式结构，方便了进气通道的制造成型。
27.在一些实施例中，轴承座的内壁上设置有径向轴承，径向轴承与轴承座的内壁气密贴合。
28.通过设置径向轴承，提升了轴承座对转动轴组件的径向支撑效果，且实现轴承座与转动轴组件之间的缓冲接触，降低转动轴组件在高速旋转过程中的震动，进一步提升磨抛件的精度。
29.在一些实施例中，转动轴组件包括t型轴体和止推盘，其中，t型轴体固定连接在止推盘上，t型轴体与止推盘的第一端面之间形成环凹槽，磨抛件连接在止推盘的第二端面上。
30.通过将转动轴组件设置成包括t型轴体和止推盘的分体式结构，方便了环凹槽的制造成型。
附图说明
31.图1为恒温冷却的磨抛气浮主轴的剖视结构示意图；
32.图2为连接端盖和轴承座在一个位置处的剖视结构示意图；
33.图3为第一止推轴承座的第一端面处的结构示意图；
34.图4为第一止推轴承座的半剖结构示意图；
35.图5为第二止推轴承座的第二端面处的结构示意图；
36.图6为连接端盖和轴承座在另一个位置处的剖视结构示意图；
37.图7为电机冷却系统的结构示意图；
38.图1至图7中包括：
39.转动轴组件1：t型轴体11、止推盘12；
40.轴承座2：第一止推轴承座21、第二止推轴承座22；
41.连接端盖3：进气接头31、第一进水管接头32、第二进水接头33、第一出水接头34、第二出水接头35；
42.驱动装置4；
43.磨抛件5；
44.安装罩6；
45.第一轴承垫7；
46.第二轴承垫8；
47.径向轴承9；
48.电机冷却系统10：水冷套101、第一出水管102、第二出水管103、三通接头104、水冷套进水管105、电机冷却套进水接头106、电机冷却套出水接头107；
49.穿入段201、第一端面冷却段202、中间连接段203、第二端面冷却段204、穿出段205。
具体实施方式
50.为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
51.传统的磨抛气浮主轴通常采用“t”型结构，即径向轴承在上下两个止推轴承的外侧。这种结构的磨抛气浮主轴，存在的问题是：下止推轴承难以满足高效磨削要求。此外，旋转体部分的转动惯量较小，难以稳定工作。现有的“工”字型结构的气浮轴承，其虽然能够满足高效磨削要求，但是在使用过程中，电机和气浮轴承发热会影响磨抛气浮主轴的精度，并容易引起主轴抱死故障。
52.为此，本发明提供了一种恒温冷却的磨抛气浮主轴，其即能实现稳定工位，满足高效磨削要求。且能及时带走轴体工作过程中产生的热量，从而实现磨抛气浮主轴的恒温工作，保证磨抛气浮主轴的精度。
53.如图1所示，本发明提供的磨抛气浮主轴包括转动轴组件1、轴承座2、连接端盖3、驱动装置4及磨抛件5，其中：
54.转动轴组件1上形成有环凹槽。
55.轴承座2设置在环凹槽内，用于实施对转动轴组件1的限位支撑，轴承座2内设置有进气道和至少一路冷却水道。其中，进气道的进气口位于轴承座2的第一端，进气道的出气口位于轴承座2的内壁上。冷却水道的进水口和出水口均位于轴承座2的第一端，冷却水道自进水口依次延伸至轴承座2的与转动轴组件1的接触的第一端面和轴承座2的与转动轴组件1接触的第二端面后，延伸至出水口。
56.连接端盖3固定连接在轴承座2上并位于轴承座2的第一端，连接端盖3上设置有与进气道的进气口对接的进气接头31、与冷却水道的进水口对接的进水接头及与冷却水道的出水口对接的出水接头。
57.可选的，为了提升冷却效果，轴承座2内设置有两路冷却水道，分别为第一路冷却水道和第二路冷却水道，对应的，如图2和图6所示，连接端盖3上设置有对应于第一路冷却水道的第一进水接头32和第一出水接头34，对应于第二路冷却水道的第二进水接头33和第二出水接头35。当然，轴承座2内也可只设置一路冷却水道，或者设置三路等其他数量的冷却水道。
58.驱动装置4设置在连接端盖3上并与转动轴组件1的第一端传动连接，驱动装置4用于驱动转动轴组件1旋转，从而带动设置在转动轴组件1的第二端磨抛件5同步旋转，使得磨抛件5实施对目标物的磨抛。
59.本发明实施例中的磨抛气浮主轴的工作过程如下：
60.采用管道连接气泵和进气接头31，采用管道连接冷却水供水装置的供水口和第一进水接头32及第二进水接头33。
61.启动驱动装置4，驱动装置4带动磨抛件5高速旋转，以实施对目标物的磨抛加工。在此过程中：
62.气泵将压缩空气泵入至进气道内，压缩空气经进气道的出气口喷出，并最终在轴
承座2的内壁与转动轴组件1的接触处、轴承座2的第一端面与转动轴组件1的接触处、轴承座2的第二端面与转动轴组件1的接触处产生气膜，如此，可以保证转动轴组件1在高速旋转过程中不与轴承座2产生直接的机械接触，从而减少磨抛件5的震动，提升磨抛件5的精度。
63.与此同时，冷却水供水装置将冷却水同步压入至第一路冷却水道和第二路冷却水道内，冷却水在第一路冷却水道、第二路冷却水道内流动，及时带走转动轴组件1、轴承座2工作过程中产生的热量，从而使得磨抛气浮主轴实施恒温工作，保证磨抛气浮主轴的精度。
64.此外，由于转动轴组件1上形成有环凹槽，轴承座2安装在环凹槽内，从而保证转动轴组件1能够在轴承座2上稳定转动。
65.如本领域技术人员所知晓的，轴承座2与转动轴组件1接触的第一端面、第二端面处的摩擦力较大，产生的热量相应较大。为了能够加大对轴承座2的第一端面、第二端面的冷却力度，本发明实施例中对冷却水道的走向进行了优化。以第一路冷却水道为例，如图2至图6所示，其包括穿入段201、第一端面冷却段202、中间连接段203、第二端面冷却段204及穿出段205，其中：
66.第一端面冷却段202设置在轴承座2的第一端面上。
67.第二端面冷却段204设置在轴承座2的第二端面上。
68.穿入段201连接进水口和第一端面冷却段202的第一端。
69.穿出段205连接第二端面冷却段204的第二端和出水口。
70.中间连接段203连接第一端面冷却段202的第二端和第二端面冷却段204的第一端。
71.为了使得本领域技术人员能够更加清楚地了解本发明的冷却过程，下面将详细描述冷却水在第一路冷却水道、第二路冷却水道内的流动过程。
72.冷却水在第一路冷却水道内的流动过程：
73.首先，如图2所示，冷却水自第一进水管接头32的进口a1进入至第一路冷却水道的穿入段201内。
74.如图2和图3所示，冷却水流过穿入段201后，经第一路冷却水道的第一端面冷却段202的第一端b1流入至第一端面冷却段202内，并沿第一端面冷却段202流动，在此过程中实施对轴承座2的第一端面的冷却。最后，冷却水经第一端面冷却段202的第二端c1流入至第一路冷却水道的中间连接段203。
75.如图4和图5所示，冷却水流过中间连接段203后，经第一路冷却水道的第二端面冷却段204的第一端d1流入至第二端面冷却段204内，并沿第二端面冷却段204流动，在此过程中实施对轴承座2的第二端面的冷却。
76.最后，如图5和图6所示，冷却水经第二端面冷却段204的第二端e1流入至第一路冷却水道的穿出段205，并最终经第一出水接头34的出水口f1流出。
77.冷却水在第二路冷却水道内的流动过程：
78.首先，如图2所示，冷却水自第二进水管接头33的进口a2进入至第二路冷却水道的穿入段201内。
79.如图2和图3所示，冷却水流过穿入段201后，经第二路冷却水道的第一端面冷却段202的第一端b2流入至第一端面冷却段202内，并沿第一端面冷却段202内流动，在此过程中实施对轴承座2的第一端面的冷却。最后，冷却水经第一端面冷却段202的第二端c2流入至
第二路冷却水道的中间连接段203。
80.如图4和图5所示，冷却水流过中间连接段203后，经第二路冷却水道的第二端面冷却段204的第一端d2流入至第二端面冷却段204内，并沿第二端面冷却段204内流动，在此过程中实施对轴承座2的第二端面的冷却。
81.最后，如图5和图6所示，冷却水经第二端面冷却段204的第二端e2流入至第二路冷却水道的穿出段205，并最终经第二出水接头34的出水口f2流出。
82.可选的，第一端面冷却段202和第二端面冷却段204均为环绕转动轴组件1且两端相隔的c形水道，如此，可延长了冷却水道在轴承座2的第一端面、第二端面上的冷却行程，进一步提升对轴承座2的第一端面、第二端面的冷却效果。
83.可选的，第一路冷却水道的第一端面冷却段202位于第二路冷却水道的第一端面冷却段202的外侧。即，第一路冷却水道的第一端面冷却段202从外圈实施对轴承座2的第一端面的冷却，第二路冷却水道的第一端面冷却段202从内圈实施对轴承座2的第一端面的冷却。
84.同理，第二路冷却水道的第二端面冷却段204位于第二路冷却水道的第二端面冷却段204的外侧。即，第一路冷却水道的第二端面冷却段204从外圈实施对轴承座2的第二端面的冷却，第二路冷却水道的第二端面冷却段204从内圈实施对轴承座2的第二端面的冷却。
85.继续参考图1所述，轴承座2的第一端面与转动轴组1件的接触处设有第一轴承垫7，第一轴承垫7与轴承座2的第一端面气密贴合。轴承座2的第二端面与转动轴组件1的接触处设有第二轴承垫8，第二承垫8与轴承座2的第二端面气密贴合。
86.通过在轴承座2的第一端面、第二端面上分别设置第一轴承垫7、第二轴承垫8，可实现轴承座2的第一端面、第二端面与转动轴组件1之间的缓冲接触，降低转动轴组件1在高速旋转过程中的震动，进一步提升磨抛件的精度。
87.此外，由于第一轴承垫7与轴承座2的第一端面气密贴合、第二承垫8与轴承座2的第二端面气密贴合，因此，压缩气体不会进入至第一轴承垫7与轴承座2之间及第二承垫8与轴承座2之间，从而更加有利于气膜的形成。
88.可选的，轴承座2包括叠合连接的上止推轴承座21和下止推轴承座22。通过将轴承座2设置成包括上止推轴承座21和下止推轴承座22的分体式结构，方便了对进气道、冷却水道的制造成型，此处，进气道、冷却水道堵塞后，方便了对充进气道、冷却水道的清理维护。当然，轴承座2也可被设置成一体式结构。当然，如图1至图6所示，当轴承座2包括上止推轴承座21和下止推轴承座22时，第一端面冷却段202位于上止推轴承座21的第一端面上，第二端面冷却段202位于下止推轴承座22的第二端面上，中间连接段203和穿出段205则贯穿上止推轴承座21和下止推轴承座22。
89.继续参考图1所示，可选的，轴承座2的内壁上设置有径向轴承9，径向轴承9与轴承座的内壁气密贴合。通过设置径向轴承9，提升了轴承座2对转动轴组件1的径向支撑效果，且实现轴承座2与转动轴组件1之间的缓冲接触，降低转动轴组件1在高速旋转过程中的震动，进一步提升磨抛件的精度。
90.此外，由于径向轴承9与轴承座2的内壁气密贴合，因此，压缩气体不会进入至径向轴承9和轴承座2之间，从而更加有利于气膜的形成。
91.继续参考图1所示，可选的，转动轴组件1包括t型轴体11和止推盘12，其中，t型轴体11固定连接在止推盘12上，t型轴体11与止推盘12的第一端面之间形成环凹槽，磨抛件5连接在止推盘12的第二端面上。通过将转动轴组件1设置成包括t型轴体11和止推盘12的分体式结构，方便了环凹槽的制造成型。当然，转动轴组件1也可被设置成“工”字形的一体式结构。
92.如图1和图7所示，可选的，驱动装置包括安装罩6和电机4，其中，安装罩6固定安装在连接端盖3上，电机4设置在安装罩6内。电机4用于驱动转动轴组件1旋转。安装罩6则实现了对电机4的防护，防止工作过程中产生的粉尘进入至电机4内，对电机4造成损害。
93.继续参考图7所示，可选的，本发明实施例中的磨抛气浮主轴还包括电机冷却系统10，电机冷却系统10包括水冷套101、第一出水管102、第二出水管103、三通接头104及水冷套进水管105，其中：
94.水冷套101设置在安装罩6的内壁上，水冷套101上设置有水冷套进水接头106和水冷套出水接头107。
95.第一出水管102的第一端连接第一路冷却水道的出水口f1，第一出水管102的第二端连接三通接头104的第一进口。第二出水管103的第一端连接第二路冷却水道的出水口f2，第二出水管103的第二端连接三通接头104的第二进口。
96.水冷套进水管105的第一端连接三通接头104的出口，水冷套进水管105的第二端连接水冷套进水接头106。
97.第一路冷却水、第二路冷却水在完成对轴承座2的冷却后，分别经第一出水管102、第二出水管103及水冷套进水管105流入至水冷套101内，并在水冷套101内流动，以实施对电机4的冷却。携带大力热量的冷却水最终经水冷套出水接头107流出水冷套101。
98.可选的，水冷套出水接头107经回流管道及冷却水供水装置上的回水口流回至冷却水供水装置内，并在冷却水供水装置内被重新制冷，如此，构成了本发明实施例中的闭合的冷却水循环水路。
99.本发明还提供了一种减薄机，该减薄机包括上述任一实施例提供的磨抛气浮主轴。本发明的减薄机能够实施对晶片等待减薄的目标物的减薄处理，并提升减薄精度。
100.上文对本发明进行了足够详细的具有一定特殊性的描述。所属领域内的普通技术人员应该理解，实施例中的描述仅仅是示例性的，在不偏离本发明的真实精神和范围的前提下做出所有改变都应该属于本发明的保护范围。本发明所要求保护的范围是由所述的权利要求书进行限定的，而不是由实施例中的上述描述来限定的。

技术特征：
1.一种恒温冷却的磨抛气浮主轴，其特征在于，所述磨抛气浮主轴包括转动轴组件、轴承座、连接端盖、驱动装置及磨抛件，其中：所述转动轴组件上形成有环凹槽；所述轴承座设置在所述环凹槽内，用于实施对所述转动轴组件的限位支撑，所述轴承座内设置有进气道和至少一路冷却水道，所述进气道的进气口位于所述轴承座的第一端，所述进气道的出气口位于所述轴承座的内壁上；所述冷却水道的进水口和出水口均位于所述轴承座的第一端，所述冷却水道自所述进水口依次延伸至所述轴承座的与所述转动轴组件的接触的第一端面和所述轴承座的与所述转动轴组件接触的第二端面后，延伸至所述出水口；所述连接端盖固定连接在所述轴承座上并位于所述轴承座的第一端，所述连接端盖上设置有与所述进气道的进气口对接的进气接头、与所述冷却水道的进水口对接的进水接头及与所述冷却水道的出水口对接的出水接头；所述驱动装置设置在所述连接端盖上并与所述转动轴组件的第一端传动连接，所述驱动装置用于驱动所述转动轴组件旋转；所述磨抛件设置在所述转动轴组件的第二端。2.如权利要求1所述的磨抛气浮主轴，其特征在于，所述冷却水道包括穿入段、第一端面冷却段、中间连接段、第二端面冷却段及穿出段，其中：所述第一端面冷却段设置在所述轴承座的所述第一端面上；所述第二端面冷却段设置在所述轴承座的所述第二端面上；所述穿入段连接所述进水口和所述第一端面冷却段的第一端；所述穿出段连接第二端面冷却段的第二端和所述出水口；所述中间连接段连接所述第一端面冷却段的第二端和所述第二端面冷却段的第一端。3.如权利要求2所述的磨抛气浮主轴，其特征在于，所述第一端面冷却段和所述第二端面冷却段均为环绕所述转动轴组件且两端相隔的c形水道。4.如权利要求3所述的磨抛气浮主轴，其特征在于，所述冷却水道设置为两路，其中，第一路冷却水道的第一端面冷却段位于第二路冷却水道的第一端面冷却段的外侧，第一路冷却水道的第二端面冷却段位于第二路冷却水道的第二端面冷却段的外侧。5.如权利要求4所述的磨抛气浮主轴，其特征在于，所述驱动装置包括安装罩和电机，其中，所述安装罩固定安装在所述连接端盖上，所述电机设置在所述安装罩内。6.如权利要求5所述的磨抛气浮主轴，其特征在于，所述磨抛气浮主轴还包括电机冷却系统，所述电机冷却系统包括水冷套、第一出水管、第二出水管、三通接头及水冷套进水管，其中：所述水冷套设置在所述安装罩的内壁上，所述水冷套上设置有水冷套进水接头和水冷套出水接头；所述第一出水管的第一端连接所述第一路冷却水道的出水口，所述第一出水管的第二端连接所述三通接头的第一进口；所述第二出水管的第一端连接所述第二路冷却水道的出水口，所述第二出水管的第二端连接所述三通接头的第二进口；所述水冷套进水管的第一端连接所述三通接头的出口，所述水冷套进水管的第二端连
接所述水冷套进水接头。7.如权利要求1所述的磨抛气浮主轴，其特征在于；所述轴承座的所述第一端面与所述转动轴组件的接触处设有第一轴承垫，所述第一轴承垫与所述轴承座的所述第一端面气密贴合；所述轴承座的所述第二端面与所述转动轴组件的接触处设有第二轴承垫，所述第二承垫与所述轴承座的所述第二端面气密贴合。8.如权利要求1所述的磨抛气浮主轴，其特征在于，所述轴承座包括叠合连接的第一止推轴承座和第二止推轴承座。9.如权利要求1所述的磨抛气浮主轴，其特征在于，所述轴承座的内壁上设置有径向轴承，所述径向轴承与所述轴承座的内壁气密贴合。10.如权利要求1所述的磨抛气浮主轴，其特征在于，所述转动轴组件包括t型轴体和止推盘，其中，所述t型轴体固定连接在所述止推盘上，所述t型轴体与所述止推盘的第一端面之间形成所述环凹槽，所述磨抛件连接在所述止推盘的第二端面上。11.一种减薄机，其特征在于，所述减薄机包括权利要求1至10任一项所述的磨抛气浮主轴。

技术总结
本发明提供了一种恒温冷却的磨抛气浮主轴及减薄机，磨抛气浮主轴包括转动轴组件、轴承座、连接端盖、驱动装置及磨抛件，其中：转动轴组件上形成有环凹槽。轴承座设置在环凹槽内，轴承座内设置有进气道和冷却水道。冷却水道的进水口和出水口均位于轴承座的第一端，冷却水道自进水口依次延伸至轴承座的与转动轴组件的接触的第一端面和轴承座的与所述转动轴组件接触的第二端面后延伸至出水口。驱动装置用于驱动转动轴组件旋转，磨抛件设置在转动轴组件的第二端。通过在轴承座内设置冷却水道，能够及时带走转动轴组件高速旋转过程中产生的热量，从而防止转动轴组件、轴承座等组件因温度过高产生热变形，从而进一步保证磨抛件的精度。的精度。的精度。


技术研发人员：李战伟 谢贵久 李恺 常亮 李罡 刘建峰
受保护的技术使用者：北京中电科电子装备有限公司
技术研发日：2023.04.19
技术公布日：2023/7/28