一种平面三自由度宏微定位平台及其控制方法

1.本发明涉及精密定位设备的技术领域，具体涉及一种平面三自由度宏微定位平台，以及一种平面三自由度宏微定位平台的控制方法。


背景技术：

2.目前，高端装备的运动精度逐渐向纳米级发展，超精密运动平台在半导体加工、光刻机、原子力显微镜、微机电系统、生物医疗工程等领域起着重要的作用。柔顺机构通过柔性变形传递力和运动，因而具有无间隙、无摩擦、高精度等优点。随着应用领域的不断拓展，有力推动柔性精密定位平台向着更高精度的发展。
3.目前平面三自由精密平台大多采用音圈电机驱动或压电陶瓷驱动，虽然音圈电机驱动能获得较大的行程，但是机构刚度低，容易受到外部环境的影响，无法实现纳米级的定位。采用压电陶瓷驱动的柔性机构虽然精度高，但是只能达到百微米级的行程，严重限制了精密运动平台的应用范围。
4.为了解决这一问题，中国专利cn211343699u公开了一种音圈电机和柔性导向机构的三自由度定位平台，该平台能够达到毫米级的行程，但是由于音圈电机的推力小，此类精密运动平台刚度低、带宽低、重复定位精度差，导致机构的难以实现纳米级定位。
5.中国专利cn202448118u公开了一种二自由度长行程的宏微定位平台，该定位平台包括基于音圈电机驱动大行程宏平台和基于压电陶瓷驱动的微平台构成。该定位平台实现了精密运动机构的毫米级行程和纳米级定位，但是该机构采用非冗余式驱动，长时间工作会导致驱动机构发热严重。此外该机构只有两个自由度，无法实现对末端平台转动的调节。
6.因此，如何设计一种同时具备大行程和高精度的精密运动平台成为亟待解决的问题。


技术实现要素：

7.本发明的目的是提供一种既能横向移动又能横向转动，具备多个自由度，且同时满足大行程和高精度的性能要求的精密运动平台。
8.为解决上述问题，本发明提供一种平面三自由度宏微定位平台，包括基座，以及：
9.设于基座上的宏动组件，包括宏动平台、四个宏动支链和四个宏线性驱动件，所述宏动支链滑动连接于基座且具有x轴向自由度和y轴向自由度，四个宏动支链以宏动平台为中心呈中心对称分布，且四个宏动支链的输出端分别通过宏弹簧片连接至宏动平台的四角；四个宏线性驱动件分别作用于四条宏动支链的输入端，以带动宏动平台沿x轴向移动或沿y轴向移动或绕z轴转动；
10.设于宏动平台上的微动组件，包括微动平台、四个微动支链和四个微线性驱动件，所述微动支链滑动连接于宏动平台且具有x轴向自由度和y轴向自由度，四个微动支链以微动平台为中心呈中心对称分布，且四个微动支链的输出端分别通过微弹簧片连接至微动平台的四角；四个微线性驱动件分别作用于四条微动支链的输入端，以带动微动平台沿x轴向
移动或沿y轴向移动或绕z轴转动；
11.所述微线性驱动件对微动平台的驱动精度高于所述宏线性驱动件对宏动平台的驱动精度。
12.上述方案首先通过将宏动支链的输出端连接至宏动平台的四角，将宏驱动件作用于宏动支链的输入端，由于宏动支链具有x轴向自由度和y轴向自由度，从而在宏驱动件的作用下能够带动宏动平台沿x轴向移动或沿y轴向移动或绕z轴转动，并实现宏动平台的大行程的性能要求；其次，通过将微动支链的输出端连接至微动平台的四角，将微驱动件作用于微动支链的输入端，由于微动支链具有x轴向自由度和y轴向自由度，因此在微驱动件的作用下能够带动微动平台沿x轴向移动或沿y轴向移动或绕z轴转动，实现微动平台的高精度的性能要求。与现有技术相比，上述方案解决了柔性机构的运动范围与运动精度之间的矛盾，宏动平台能够实现大范围的运动，微动平台能够实现高精度的位移控制，从而有效弥补宏动平台的定位误差；此外，采用冗余驱动的方式实现了平动的解耦，有效降低运动耦合，更易于运动控制。
13.作为优选的，四个宏线性驱动件均连接于基座上且位置与四个宏动支链逐个对应，其中两个呈对角分布的宏线性驱动件沿x轴向设置，另外两个呈对角分布的宏线性驱动件沿y轴向设置；四个微线性驱动件均连接于宏动平台上且位置与四个微动支链逐个对应，其中两个呈对角分布的微线性驱动件沿x轴向设置，另外两个呈对角分布的微线性驱动件沿y轴向设置，从而当沿x轴向设置的两个宏线性驱动件伸缩时，宏动支链将带动宏动平台沿x轴向移动；当沿x轴向设置的两个宏线性驱动件伸缩时，宏动支链将带动宏动平台沿x轴向移动；当四个宏线性驱动件同时伸缩时，即可带动宏动平台的绕x轴转动；微线性驱动件对微动平台的驱动方式同理。
14.作为优选的，四个宏线性驱动件中沿x轴向设置的为第一音圈电机和第三音圈电机，沿y轴向设置的为第二音圈电机和第四音圈电机；四个宏线性驱动件的定子分别固定连接于基座，四个宏线性驱动件的动子分别连接至相应的宏动支链的输入端；四个微线性驱动件中沿x轴向设置的为第一压电陶瓷和第三压电陶瓷，以及沿y轴向设置的为第二压电陶瓷和第四压电陶瓷，四个微线性驱动件分别固定连接于宏动平台，四个微线性驱动件的变形部分别连接至相应的微动支链的输入端。音圈电机具备较大的行程，能够满足宏动平台的大行程要求；压电陶瓷则具备纳米级的精度，能够满足微动平台的高精度要求。
15.作为优选的，所述宏动支链包括第一滑台和第二滑台，所述第一滑台沿横向滑动连接于所述基座，所述第二滑台沿横向滑动连接于所述第一滑台，且第一滑台和第二滑台的滑动方向相互垂直；所述宏线性驱动件连接并作用于所述第一滑台，所述第二滑台与宏弹簧片相连接，从而确保每条宏动支链相对基座均具有x轴向自由度和y轴向自由度。
16.作为优选的，所述微动支链包括第一滑节和第二滑节，所述第一滑节沿横向可移动地连接于宏动平台，所述第二滑节沿横向可移动地连接于所述第一滑节，且第一滑节和第二滑节的移动方向相互垂直；所述微线性驱动件连接并作用于所述第一滑节，所述第二滑节与微弹簧片相连接，从而确保每条微动支链相对宏动平台均具有x轴向自由度和y轴向自由度。
17.作为优选的，所述微动平台的前侧、左侧和右侧均设有反射镜，所述基座的前侧、左侧和右侧均设有激光位移传感器，所述基座前侧的激光位移传感器朝向微动平台前侧的
反射镜设置，所述基座左侧的激光位移传感器朝向微动平台左侧的反射镜设置，所述基座右侧的激光位移传感器朝向微动平台右侧的反射镜设置，从而通过三个激光位移传感器分别对三个反射镜的位移或转动状态进行实时检测。
18.作为优选的，上述方案还包括控制器，所述控制器电连接至所述宏线性驱动件、微线性驱动件、激光位移传感器。
19.本发明还提供一种平面三自由度宏微定位平台的控制方法，应用于如上所述的定位平台，包括如下步骤：
20.先通过控制第一音圈电机和第三音圈电机以实现宏动平台的x轴向的位移，再通过控制第一压电陶瓷和第三压电陶瓷以实现微动平台的x轴向的位移；或者
21.先通过控制第二音圈电机和第四音圈电机以实现宏动平台的y轴向的位移，再通过控制第二压电陶瓷和第四压电陶瓷以实现微动平台的左右方向的位移；或者
22.先通过控制第一音圈电机、第二音圈电机、第三音圈电机和第四音圈电机同时伸缩以实现宏动平台的绕z轴转动，再通过控制第一压电陶瓷、第二压电陶瓷、第三压电陶瓷和第四压电陶瓷以实现微动平台的绕z轴转动；
23.作为优选的，控制器根据接收到的三个激光位移传感器的反馈信号，基于pid控制对第一音圈电机、第二音圈电机、第三音圈电机、第四音圈电机、第一压电陶瓷、第二压电陶瓷、第三压电陶瓷和第四压电陶瓷的运行状态进行反馈调节。
附图说明
24.图1为一种平面三自由度宏微定位平台的整体轴测图；
25.图2为一种平面三自由度宏微定位平台的宏动组件的示意图；
26.图3为一种平面三自由度宏微定位平台的微动组件的示意图。
27.附图标记说明，
28.1、基座；11、滑座；2、宏动平台；21、宏弹簧片；3、宏动支链；31、第一滑台；32、第二滑台；4、宏线性驱动件；5、微动平台；51、微弹簧片；52、反射镜；6、微动支链；61、第一滑节；62、第二滑节；7、微线性驱动件；8、激光位移传感器。
具体实施方式
29.为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。另外需要说明的是，本发明实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后、内、外)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
30.实施例1
31.请参阅图1-图3，本发明的实施例1提供的一种平面三自由度宏微定位平台，包括基座1，以及：
32.设于基座1上的宏动组件，包括宏动平台2、四个宏动支链3和四个宏线性驱动件4，宏动支链3滑动连接于基座1且具有x轴向自由度和y轴向自由度，四个宏动支链3以宏动平台2为中心呈中心对称分布，且四个宏动支链3的输出端分别通过宏弹簧片21连接至宏动平台2的四角；四个宏线性驱动件4分别作用于四条宏动支链3的输入端，以带动宏动平台2沿x轴向移动或沿y轴向移动或绕z轴转动；
33.设于宏动平台2上的微动组件，包括微动平台5、四个微动支链6和四个微线性驱动件7，微动支链6滑动连接于宏动平台2且具有x轴向自由度和y轴向自由度，四个微动支链6以微动平台5为中心呈中心对称分布，且四个微动支链6的输出端分别通过微弹簧片51连接至微动平台5的四角；四个微线性驱动件7分别作用于四条微动支链6的输入端，以带动微动平台5沿x轴向移动或沿y轴向移动或绕z轴转动；
34.微线性驱动件7对微动平台5的驱动精度高于宏线性驱动件4对宏动平台2的驱动精度。
35.上述方案首先通过将宏动支链3的输出端连接至宏动平台2的四角，将宏驱动件作用于宏动支链3的输入端，由于宏动支链3具有x轴向自由度和y轴向自由度，从而在宏驱动件的作用下能够带动宏动平台2沿x轴向移动或沿y轴向移动或绕z轴转动，并实现宏动平台2的大行程的性能要求；其次，通过将微动支链6的输出端连接至微动平台5的四角，将微驱动件作用于微动支链6的输入端，由于微动支链6具有x轴向自由度和y轴向自由度，因此在微驱动件的作用下能够带动微动平台5沿x轴向移动或沿y轴向移动或绕z轴转动，实现微动平台5的高精度的性能要求。与现有技术相比，上述方案解决了柔性机构的运动范围与运动精度之间的矛盾，宏动平台2能够实现大范围的运动，微动平台5能够实现高精度的位移控制，从而有效弥补宏动平台2的定位误差；此外，采用冗余驱动的方式实现了平动的解耦，有效降低运动耦合，更易于运动控制。
36.为更好地对本实施例进行说明，以图1中的左右方向为x轴，以图1中的前后方向为y轴，以图1中的竖向为z轴。
37.宏动平台2为方形且位于基座1的上方的中部，且宏动平台2与基座1相互独立；微动平台5为方形且位于宏动平台2的上方的中部，且微动平台5与宏动平台2相互独立。应当理解，宏动平台2和微动平台5的形状可以根据需要进行变更，只要保证宏动支链3的输出端通过宏弹簧片21连接至宏动平台2的四角、微动支链6的输出端通过微弹簧片51连接至微动平台5的四角即可。基座1的上侧面设有四组以宏动平台2为中心呈中心对称设置的滑座11，滑座11与宏动支链3逐个对应；宏动平台2的上侧面设有四组以微动平台5为中心呈中心对称分布的滑轨，滑轨与微动支链6逐个对应。宏弹簧片21和微弹簧片51均为片簧，其中宏弹簧片21沿竖向设置于宏动平台2的四角，微弹簧片51沿竖向设置于微动平台5的四角。
38.在本实施例中，宏动支链3包括第一滑台31和第二滑台32，第一滑台31沿横向滑动连接于基座1对应的滑座11，且第一滑台31相对滑座11的滑动方向垂直于宏动平台2的对应侧边，第二滑台32沿横向滑动连接于第一滑台31，且第一滑台31和第二滑台32的滑动方向相互垂直；宏线性驱动件4连接并作用于第一滑台31，第二滑台32与宏弹簧片21相连接，从而确保每条宏动支链3相对基座1均具有x轴向自由度和y轴向自由度。
39.微动支链6包括第一滑节61和第二滑节62，第一滑节61沿横向可移动地连接于宏动平台2对应的滑轨，且第一滑节61相对滑轨的滑动方向垂直于微动平台5的对应侧边，第
二滑节62沿横向可移动地连接于第一滑节61，且第一滑节61和第二滑节62的移动方向相互垂直；微线性驱动件7连接并作用于第一滑节61，第二滑节62与微弹簧片51相连接，从而确保每条微动支链6相对宏动平台2均具有x轴向自由度和y轴向自由度。
40.四个宏线性驱动件4均连接于基座1上且位置与四个宏动支链3逐个对应。具体来说，四个宏线性驱动件4分别位于基座1的前部、左部、后部和右部，其中位于左部和右部的宏线性驱动件4沿x轴向设置，位于前部和后部的宏线性驱动件4沿y轴向设置；从而使得两个呈对角分布的宏线性驱动件4沿x轴向设置，另外两个呈对角分布的宏线性驱动件4沿y轴向设置。当左部的宏线性驱动件4向左伸出而右部的宏线性驱动件4向右缩回时，宏动支链3将带动宏动平台2向左移动，反之同理，从而实现宏动平台2的沿x轴向移动；当前部的宏线性驱动件4向后伸出而后部的宏线性驱动件4向后缩回时，宏动支链3将带动宏动平台2向后移动，反之同理，从而实现宏动平台2的沿y轴向移动；当四个宏线性驱动件4同时伸出时，以图3为基准，宏动支链3将带动宏动平台2的绕x轴顺时针转动；当四个宏线性驱动件4同时缩回时，以图3为基准，宏动支链3将带动宏动平台2的绕x轴逆时针转动。
41.四个微线性驱动件7均连接于基座1上且位置与四个微动支链6逐个对应。具体来说，四个微线性驱动件7分别位于宏动平台2的前部、左部、后部和右部，其中位于左部和右部的微线性驱动件7沿x轴向设置，位于前部和后部的微线性驱动件7沿y轴向设置；从而使得两个呈对角分布的微线性驱动件7沿x轴向设置，另外两个呈对角分布的微线性驱动件7沿y轴向设置。微线性驱动件7对微动平台5的驱动方式与宏线性驱动件4对宏动平台2的驱动方式相同。
42.更具体的，四个宏线性驱动件4中沿x轴向设置的为第一音圈电机和第三音圈电机，沿y轴向设置的为第二音圈电机和第四音圈电机；四个宏线性驱动件4的定子分别固定连接于基座1，四个宏线性驱动件4的动子分别连接至相应的宏动支链3的输入端；四个微线性驱动件7中沿x轴向设置的为第一压电陶瓷和第三压电陶瓷，以及沿y轴向设置的为第二压电陶瓷和第四压电陶瓷，四个微线性驱动件7分别固定连接于宏动平台2，四个微线性驱动件7的变形部分别连接至相应的微动支链6的输入端。音圈电机具备较大的行程，能够满足宏动平台2的大行程要求；压电陶瓷则具备纳米级的精度，能够满足微动平台5的高精度要求。
43.作为对上述实施例的优化，微动平台5的前侧设有第一反射镜52、左侧设有第二反射镜52、右侧设有第三反射镜52；基座1的前侧设有第一激光位移传感器8、左侧设有第二激光位移传感器8、右侧设有第三激光位移传感器8；其中第一激光位移传感器8朝向第一反射镜52设置，第二激光位移传感器8朝向第二反射镜52设置，第三激光位移传感器8朝向第三反射镜52设置，从而通过第一激光位移传感器8、第二激光位移传感器8和第三激光位移传感器8实现对微动平台5的位移或转动状态的实时检测。
44.在本实施例中，还包括控制器(图中未示出)，控制器上设有与四个宏线性驱动件4相对应的四个电机驱动器以及与四个微线性驱动件7相对应的四个电压放大器，控制器通过电机驱动器电连接至四个宏线性驱动件4，从而实现对第一音圈电机、第二音圈电机、第三音圈电机和第四音圈电机的精准控制；控制器通过电压放大器电连接至四个微线性驱动件7，从而实现对第一压电陶瓷、第二压电陶瓷、第三压电陶瓷和第四压电陶瓷的精准控制。此外，控制器还通过rs232实现与第一激光位移传感器8、第二激光位移传感器8和第三激光
位移传感器8的通信连接。
45.实施例2
46.本发明的实施例2提供一种平面三自由度宏微定位平台的控制方法，应用于实施例1，包括如下步骤：
47.先通过控制第一音圈电机和第三音圈电机以实现宏动平台2的x轴向的位移，再通过控制第一压电陶瓷和第三压电陶瓷以实现微动平台5的x轴向的位移；或者
48.先通过控制第二音圈电机和第四音圈电机以实现宏动平台2的y轴向的位移，再通过控制第二压电陶瓷和第四压电陶瓷以实现微动平台5的左右方向的位移；或者
49.先通过控制第一音圈电机、第二音圈电机、第三音圈电机和第四音圈电机同时伸出以实现宏动平台2的绕z轴正向转动，再通过控制第一压电陶瓷、第二压电陶瓷、第三压电陶瓷和第四压电陶瓷同时伸长以实现微动平台5的绕z轴正向转动；或者
50.先通过控制第一音圈电机、第二音圈电机、第三音圈电机和第四音圈电机同时缩回以实现宏动平台2的绕z轴反向转动，再通过控制第一压电陶瓷、第二压电陶瓷、第三压电陶瓷和第四压电陶瓷同时缩短以实现微动平台5的绕z轴反向转动。
51.作为对本实施例的优化，控制器根据接收到的第一激光位移传感器8、第二激光位移传感器8和第三激光位移传感器8的反馈信号，基于pid控制对第一音圈电机、第二音圈电机、第三音圈电机、第四音圈电机、第一压电陶瓷、第二压电陶瓷、第三压电陶瓷和第四压电陶瓷的运行状态进行反馈调节。
52.虽然本公开披露如上，但本公开的保护范围并非仅限于此。对本领域技术人员来说，在不脱离本公开的精神和范围的前提下，可进行各种变更与修改，这些变更与修改均将落入发明的保护范围。

技术特征：
1.一种平面三自由度宏微定位平台，其特征在于，包括基座(1)，以及：设于基座(1)上的宏动组件，包括宏动平台(2)、四个宏动支链(3)和四个宏线性驱动件(4)，所述宏动支链(3)滑动连接于基座(1)且具有x轴向自由度和y轴向自由度，四个宏动支链(3)以宏动平台(2)为中心呈中心对称分布，且四个宏动支链(3)的输出端分别通过宏弹簧片(21)连接至宏动平台(2)的四角；四个宏线性驱动件(4)分别作用于四条宏动支链(3)的输入端，以带动宏动平台(2)沿x轴向移动或沿y轴向移动或绕z轴转动；设于宏动平台(2)上的微动组件，包括微动平台(5)、四个微动支链(6)和四个微线性驱动件(7)，所述微动支链(6)滑动连接于宏动平台(2)且具有x轴向自由度和y轴向自由度，四个微动支链(6)以微动平台(5)为中心呈中心对称分布，且四个微动支链(6)的输出端分别通过微弹簧片(51)连接至微动平台(5)的四角；四个微线性驱动件(7)分别作用于四条微动支链(6)的输入端，以带动微动平台(5)沿x轴向移动或沿y轴向移动或绕z轴转动；所述微线性驱动件(7)对微动平台(5)的驱动精度高于所述宏线性驱动件(4)对宏动平台(2)的驱动精度。2.根据权利要求1所述的一种平面三自由度宏微定位平台，其特征在于，四个宏线性驱动件(4)均连接于基座(1)上且位置与四个宏动支链(3)逐个对应，其中两个呈对角分布的宏线性驱动件(4)沿x轴向设置，另外两个呈对角分布的宏线性驱动件(4)沿y轴向设置；四个微线性驱动件(7)均连接于宏动平台(2)上且位置与四个微动支链(6)逐个对应，其中两个呈对角分布的微线性驱动件(7)沿x轴向设置，另外两个呈对角分布的微线性驱动件(7)沿y轴向设置。3.根据权利要求2所述的一种平面三自由度宏微定位平台，其特征在于，四个宏线性驱动件(4)中沿x轴向设置的为第一音圈电机和第三音圈电机，沿y轴向设置的为第二音圈电机和第四音圈电机；四个宏线性驱动件(4)的定子分别固定连接于基座(1)，四个宏线性驱动件(4)的动子分别连接至相应的宏动支链(3)的输入端；四个微线性驱动件(7)中沿x轴向设置的为第一压电陶瓷和第三压电陶瓷，以及沿y轴向设置的为第二压电陶瓷和第四压电陶瓷，四个微线性驱动件(7)分别固定连接于宏动平台(2)，四个微线性驱动件(7)的变形部分别连接至相应的微动支链(6)的输入端。4.根据权利要求1-3任一所述的一种平面三自由度宏微定位平台，其特征在于，所述宏动支链(3)包括第一滑台(31)和第二滑台(32)，所述第一滑台(31)沿横向滑动连接于所述基座(1)，所述第二滑台(32)沿横向滑动连接于所述第一滑台(31)，且第一滑台(31)和第二滑台(32)的滑动方向相互垂直；所述宏线性驱动件(4)连接并作用于所述第一滑台(31)，所述第二滑台(32)与宏弹簧片(21)相连接。5.根据权利要求1-3任一所述的一种平面三自由度宏微定位平台，其特征在于，所述微动支链(6)包括第一滑节(61)和第二滑节(62)，所述第一滑节(61)沿横向可移动地连接于宏动平台(2)，所述第二滑节(62)沿横向可移动地连接于所述第一滑节(61)，且第一滑节(61)和第二滑节(62)的移动方向相互垂直；所述微线性驱动件(7)连接并作用于所述第一滑节(61)，所述第二滑节(62)与微弹簧片(51)相连接。6.根据权利要求1所述的一种平面三自由度宏微定位平台，其特征在于，所述微动平台(5)的前侧、左侧和右侧均设有反射镜(52)，所述基座(1)的前侧、左侧和右侧均设有激光位移传感器(8)，所述基座(1)前侧的激光位移传感器(8)朝向微动平台(5)前侧的反射镜(52)
设置，所述基座(1)左侧的激光位移传感器(8)朝向微动平台(5)左侧的反射镜(52)设置，所述基座(1)右侧的激光位移传感器(8)朝向微动平台(5)右侧的反射镜(52)设置。7.根据权利要求5所述的一种平面三自由度宏微定位平台，其特征在于，还包括控制器，所述控制器电连接至所述宏线性驱动件(4)、微线性驱动件(7)、激光位移传感器(8)。8.一种平面三自由度宏微定位平台的控制方法，应用于如上所述的定位平台，其特征在于，包括如下步骤：先通过控制第一音圈电机和第三音圈电机以实现宏动平台(2)的x轴向的位移，再通过控制第一压电陶瓷和第三压电陶瓷以实现微动平台(5)的x轴向的位移；或者先通过控制第二音圈电机和第四音圈电机以实现宏动平台(2)的y轴向的位移，再通过控制第二压电陶瓷和第四压电陶瓷以实现微动平台(5)的左右方向的位移；或者先通过控制第一音圈电机、第二音圈电机、第三音圈电机和第四音圈电机同时伸缩以实现宏动平台(2)的绕z轴转动，再通过控制第一压电陶瓷、第二压电陶瓷、第三压电陶瓷和第四压电陶瓷以实现微动平台(5)的绕z轴转动。9.根据权利要求8所述的一种平面三自由度宏微定位平台的控制方法，其特征在于，控制器根据接收到的三个激光位移传感器(8)的反馈信号，基于pid控制对第一音圈电机、第二音圈电机、第三音圈电机、第四音圈电机、第一压电陶瓷、第二压电陶瓷、第三压电陶瓷和第四压电陶瓷的运行状态进行反馈调节。

技术总结
一种平面三自由度宏微定位平台，包括基座，以及：设于基座上的宏动组件，包括宏动平台、四个宏动支链和四个宏线性驱动件，宏动支链滑动连接于基座，且四个宏动支链分别通过宏弹簧片连接至宏动平台的四角；四个宏线性驱动件分别作用于四条宏动支链；设于宏动平台上的微动组件，包括微动平台、四个微动支链和四个微线性驱动件，微动支链滑动连接于宏动平台，且四个微动支链分别通过微弹簧片连接至微动平台的四角；四个微线性驱动件分别作用于四条微动支链，从而使得微动平台既能横向移动又能横向转动，具备多个自由度，且同时满足大行程和高精度的性能要求。本公开还提供一种平面三自由度宏微定位平台的控制方法。自由度宏微定位平台的控制方法。自由度宏微定位平台的控制方法。


技术研发人员：张驰 任建泽 桑娜 袁黎明 金依雯
受保护的技术使用者：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
技术研发日：2023.05.04
技术公布日：2023/8/9