一种微反射镜阵列监测装置的标定方法与流程

1.本发明涉及光刻机技术领域，具体涉及一种微反射镜阵列监测装置的标定方法。


背景技术：

2.在光刻机自由光瞳照明系统中，微反射镜阵列(mma)是其核心元件，具有4096个微反射镜，4096个微反射镜均可独立偏转，偏转角度的驱动电压由内部asic驱动电路提供。在应用过程中，入射到mma阵列上的每个子光束都被其上独立的微反射镜反射，通过控制每个子光束的反射方向可最终获得灵活多变的照明模式。
3.微反射镜阵列监测装置可以用于实时监测mma阵列中每个微反射镜的角位置。
4.如图1所示，微反射镜阵列监测装置包括光斑阵列产生组件100和探测组件200，光斑阵列产生组件100是微反射镜阵列监测装置中的关键电控器件。通过控制光斑阵列产生组件100发射指定方向的激光束，光束经mma阵列300的微反射镜反射到探测组件200的psd上，获取探测组件的输出信号以捕获微反射镜的角位置测量结果。
5.通过控制光斑阵列产生组件100中的mems振镜，使出射光束进行二维偏转，并在mma阵列上形成65mm
×
65mm区域、64
×
64个、光斑移动分辨率达0.01mm的光斑阵列。光斑阵列产生组件100在不同时刻照明不同的微反射镜，读取此时的探测组件的输出，即可获得此微反射镜的角位置。
6.为了使光斑阵列产生组件100产生的聚焦光斑能够到达mma阵列上的4096个微反射镜中心，并达到要求的准确性，需要对光斑阵列产生组件进行标定。而且，由于要对4096个位置进行标定，数量较多，且产品化后还要重复标定，故本技术提供一种自动标定的方案。


技术实现要素：

7.为解决微反射镜阵列监测装置的自动标定问题，本技术提供一种微反射镜阵列监测装置的标定方法，结合图像处理技术实现微反射镜阵列监测装置中光斑阵列产生组件的自动标定。
8.本发明提供的技术方案如下：
9.本发明提供一种微反射镜阵列监测装置的标定方法，所述微反射镜阵列监测装置用于监测微反射镜阵列中每个微反射镜，所述微反射镜阵列监测装置包括光斑阵列产生组件，所述光斑阵列产生组件产生光斑阵列，所述光斑阵列中子光斑的数量与所述微反射镜阵列中微反射镜的数量一一对应，通过所述标定方法对所述光斑阵列产生组件标定，使所述光斑阵列中的子光斑照射至对应的微反射镜的中心，所述标定方法包括步骤：
10.获取模拟器中各模拟子单元的中心位置，所述模拟器用于模拟所述微反射镜阵列，所述模拟子单元的数量与所述微反射镜的数量一一对应；
11.获取所述光斑阵列中各子光斑的中心位置；
12.根据所述模拟子单元的中心位置和对应子光斑的中心位置对所述光斑阵列产生
组件进行标定，使所述子光斑照射至对应的模拟子单元的中心位置。
13.进一步优选地，所述获取模拟器中各模拟子单元的中心位置，具体是：获取模拟器图像信息，基于图像处理获取模拟器图像信息中各模拟子单元图像中心位置。
14.进一步优选地，所述获取光斑阵列中各子光斑的中心位置，具体是：获取子光斑图像，基于图像处理获取子光斑图像的中心位置。
15.进一步优选地，所述根据模拟子单元的中心位置和对应子光斑的中心位置对所述光斑阵列产生组件进行标定，具体是：根据模拟子单元图像中心位置和对应的子光斑图像中心位置对所述光斑阵列产生组件进行标定。
16.进一步优选地，所述光斑阵列产生组件包括激光器和mems振镜，所述激光器发射激光光束，所述mems振镜对所述激光器发射的激光光束进行偏转，以形成照射至微反射镜阵列中的微反射镜上的子光斑，对所述光斑阵列产生组件进行标定具体为对所述mems振镜的驱动电压进行标定。
17.进一步优选地，所述对mems振镜的驱动电压进行标定，具体包括步骤：
18.设置mems振镜的驱动电压，并获取mems振镜控制的子光斑的图像中心位置；
19.判断mems振镜控制的子光斑的图像中心位置与对应的模拟子单元图像中心位置的差值是否在预设像素范围内；
20.若是，将mems振镜的当前驱动电压设置为标定驱动电压；
21.若否，闭环调整mems振镜的驱动电压，直至mems振镜控制的子光斑的图像中心位置与对应的模拟子单元图像中心位置的差值在预设像素范围内，并将闭环调整后的驱动电压设置为标定驱动电压。
22.进一步优选地，所述基于图像处理获取模拟器图像信息中各模拟子单元图像中心位置，具体包括步骤：
23.获取模拟器图像信息中的有效图像区域；
24.对所述有效图像区域进行二值化处理，获得二值图像；
25.对所述二值图像进行轮廓提取，并获取层级最小的轮廓，所述层级最小的轮廓为单个模拟子单元图像轮廓；
26.计算层级最小轮廓的轮廓中心；
27.对计算的所有轮廓中心进行去重处理，获取有效的轮廓中心。
28.进一步优选地，所述基于图像处理获取子光斑图像的中心位置，具体包括步骤：
29.获取子光斑的有效图像区域；
30.对所述有效图像区域进行二值化处理，获得二值图像；
31.对所述二值图像进行轮廓提取；
32.根据提取的轮廓拟合获得拟合椭圆；
33.提取拟合椭圆中最大椭圆，并判断最大椭圆的面积是否在子光斑面积的有效范围内；若是，最大椭圆的圆心为子光斑图像的中心位置，若否，调整子光斑面积的有效范围和二值化的阈值，并根据调整后的阈值对所述有效图像区域进行二值化处理。
34.进一步优选地，所述微反射镜阵列监测装置还包括探测组件，所述探测组件中的psd采集所述微反射镜阵列中微反射镜上反射光强度的psd值，所述标定方法还包括根据所述psd值对标定后的mems振镜的驱动电压二次标定的步骤。
35.进一步优选地，所述根据psd值对标定后的mems振镜的驱动电压二次标定，具体包括步骤：
36.使用模拟器标定的驱动电压驱动mems振镜，使mems振镜控制激光光束照射至所述微反射镜阵列中的微反射镜上；
37.通过探测组件中的psd采集所述微反射镜上反射光强度的psd值；
38.将当前采集的psd值与记录的psd最大值进行大小比较；
39.若当前采集的psd值大于记录的psd最大值，将当前采集的psd值更新为记录的psd最大值，对mems振镜的驱动电压继续调整，直至记录的psd最大值不发生更新变化，并将记录的psd最大值对应的驱动电压设置为mems振镜的标定驱动电压。
40.通过本发明提供的标定方法，结合图像处理技术，根据模拟子单元图像中心位置和对应的子光斑图像中心位置对光斑阵列产生组件中mems振镜的驱动电压进行自动标定，并结合微反射镜阵列监测装置本身的psd光电检测方法，以采集到的代表mma阵列中微反射镜上反射光强度的psd值为基准，对mems振镜的驱动电压进行二次标定，使光斑中心精准地到达微反射镜中心，进一步提高微反射镜阵列监测装置对mma阵列中每个微反射镜的角位置监测的精准度。
附图说明
41.图1为微反射镜阵列监测装置监测光路图；
42.图2为微反射镜阵列监测装置的标定方法流程图；
43.图3为获取模拟器图像信息中各模拟子单元图像中心位置流程图；
44.图4为获取子光斑图像的中心位置的流程图；
45.图5为对mems振镜的驱动电压进行标定的流程图；
46.图6为根据psd值对标定后的mems振镜的驱动电压二次标定流程图。
具体实施方式
47.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对照附图说明本发明的具体实施方式。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。
48.微反射镜阵列监测装置用于监测微反射镜阵列中每个微反射镜，微反射镜阵列监测装置包括光斑阵列产生组件，光斑阵列产生组件产生光斑阵列，光斑阵列中子光斑的数量与微反射镜阵列中微反射镜的数量一一对应，本技术提供一种微反射镜阵列监测装置的标定方法，通过该标定方法对光斑阵列产生组件标定，使光斑阵列中的子光斑照射至对应的微反射镜的中心，以提高微反射镜阵列监测装置对微反射镜阵列监测的精准性。
49.由于微反射镜阵列价格昂贵，故在微反射镜阵列监测装置的标定过程中，本技术创造性地提出采用模拟微反射镜阵列的模拟器来实现标定，该模拟器包括若干个模拟子单元，模拟子单元的数量与微反射镜的数量一一对应；例如，微反射镜阵列具有4096个微反射镜，则模拟器也具有4096个模拟子单元，一个模拟子单元代表一个微反射镜；也即是，采用模拟微反射镜阵列实物尺寸来设计模拟器，设计出来的模拟器的尺寸大小与实际的微反射
阵列实物尺寸大小相同，相应的，模拟子单元的尺寸大小也与实际的微反射镜实物尺寸大小相同。
50.本技术提供的标定方法的流程图如图2所示，具体包括如下步骤。
51.s100：获取模拟器中各模拟子单元的中心位置。
52.s200：获取光斑阵列中各子光斑的中心位置。
53.s300：根据模拟子单元的中心位置和对应子光斑的中心位置对光斑阵列产生组件进行标定，使子光斑照射至对应的模拟子单元的中心位置。
54.由于通过ccd采集的光斑图像会有畸变效果，故不能以光斑图像中心与模拟器物理尺寸计算出的模拟子单元中心进行比较，基于此，在上述步骤s100-s200中，本技术以光斑图像中心与模拟子单元图像中心进行比较，且相差在预设像素内，认为子光斑照射至对应的模拟子单元的中心位置，例如，相差在一个像素以内，认为子光斑照射至对应的模拟子单元的中心位置。
55.具体的，在步骤s100中，获取模拟器中各模拟子单元的中心位置，具体是：获取模拟器图像信息，基于图像处理获取模拟器图像信息中各模拟子单元图像中心位置；在步骤s200中，获取光斑阵列中各子光斑的中心位置，具体是：获取子光斑图像，基于图像处理获取子光斑图像的中心位置；在步骤s300中，根据模拟子单元的中心位置和对应子光斑的中心位置对所述光斑阵列产生组件进行标定，具体是：根据模拟子单元图像中心位置和对应的子光斑图像中心位置对所述光斑阵列产生组件进行标定。
56.其中，基于图像处理获取模拟器图像信息中各模拟子单元图像中心位置，其流程图如图3所示，具体包括以下步骤：
57.s101：获取模拟器图像信息中的有效图像区域。
58.该步骤是去除模拟器之外的无效图像，获取仅包含模拟器的有效图像区域，例如，可以截取出包含模拟器的有效图像区域。
59.s102：对有效图像区域进行二值化处理，获得二值图像。
60.为了能够有效地识别出模拟器中的各模拟子单元，在本步骤中通过设置k像素值，调整二值化的阈值，然后再根据设置的k像素值和二值化的阈值对有效图像区域进行二值化处理，例如，将k像素值设置为模拟子单元所占像素值的一半，优选地，当各模拟子单元设计为一个个的正方形形状时，将k像素值设置为模拟子单元边长所占像素值的一半。
61.s103：对二值图像进行轮廓提取，并获取层级最小的轮廓，该层级最小的轮廓为单个模拟子单元图像轮廓。
62.通过轮廓提取，可以提取出所有模拟子单元，可能存在多个模拟子单元组成一个轮廓的情况，进一步，通过获取层级最小的轮廓，层级最小的轮廓不存在子轮廓，故可以得到单个模拟子单元图像轮廓。
63.s104：计算层级最小轮廓的轮廓中心。
64.本步骤中可以通过先计算轮廓矩，再根据轮廓矩计算轮廓中心，每个轮廓中心位置包括一个横向位置和一个纵向位置。
65.s105：对计算的所有轮廓中心进行去重处理，获取有效的轮廓中心，该有效的轮廓中心即为相应的模拟子单元图像中心位置。
66.先对所有轮廓中心进行先行后列的排序：具体的，所有轮廓中心先根据纵向位置
进行从小到大排序，然后同行(纵向位置相差k像素值以内)的轮廓中心再根据横向位置进行从小到大排序；针对排序后的所有轮廓中心，其中，纵向位置和横向位置都相差在k像素值以内的轮廓中心则为重复的轮廓中心，去除重复的轮廓中心。
67.进一步，还需要判断去除重复后有效的轮廓中心的数量是否等于模拟子单元的数量，若否，返回步骤s102重新计算，若是，记录有效的轮廓中心数据，该有效的轮廓中心数据即为模拟子单元图像中心位置数据。
68.在步骤s200中，基于图像处理获取子光斑图像的中心位置，其流程图如图4所示，具体包括以下步骤。
69.s201：获取子光斑的有效图像区域。
70.具体的，先截取出子光斑图像的有效区域，再通过腐蚀操作，去除光斑边缘杂光。
71.s202：对有效图像区域进行二值化处理，获得二值图像。
72.先设置光斑面积有效范围，即设置光斑面积有效范围的最小值和最大值，调整二值化的阈值，根据二值化的阈值对有效范围内的光斑图像进行二值化处理，获得子光斑的二值图像。
73.s203：对二值图像进行轮廓提取。
74.s204：根据提取的轮廓拟合获得拟合椭圆。
75.通过拟合椭圆可以得到椭圆圆心以及椭圆最小外接矩形的宽和高，并根据宽和高计算椭圆的面积。
76.s205：提取拟合椭圆中最大椭圆，并判断最大椭圆的面积是否在子光斑面积的有效范围内；若是，最大椭圆的圆心为子光斑图像的中心位置，若否，进入步骤s202，重新调整子光斑面积的有效范围和二值化的阈值，并根据调整后的阈值对有效图像区域进行二值化处理。
77.本步骤中通过提取最大椭圆可以去除无效小光斑。
78.通过上述步骤s100和s200可以获取模拟子单元图像中心位置和子光斑图像中心位置，然后根据两者的图像中心位置的差值对光斑阵列产生组件进行标定。其中，光斑阵列产生组件包括激光器和mems振镜，激光器发射激光器，mems振镜对激光器发射的激光光束进行偏转，以形成照射至微反射镜阵列中的微反射镜上的子光斑，对光斑阵列产生组件进行标定具体为对mems振镜的驱动电压进行标定。
79.关于光斑阵列产生组件中激光器和mems振镜配合方式可以是以下两种方式：
80.第一种方式：一个激光器和两个mems振镜配合产生光斑阵列，该两个mems振镜中，一个mems振镜沿x方向运动，实现光斑x方向位置的改变，另一个mems振镜沿y方向运动，实现光斑y方向位置的改变，通过控制该两个mems振镜，逐一实现每个微反射镜上的光斑的照射。
81.第二种方式：激光器可以是一个激光器阵列，mems振镜也可以是一个mems振镜阵列，激光器阵列中的子单元、mems振镜阵列中的子单元和微反射镜的数量一一对应，相互之间也有一一对应的映射关系，激光器阵列中的子单元发射的光束通过mems振镜阵列中相应的子单元照射至相应的微反射镜上，通过控制mems振镜阵列中的子单元的空间三维运动，使激光器阵列中的子单元发射的光束照射至相应的微反射镜的中心。
82.第三种方式：与第二种方式相比，第三种方式中的mems振镜阵列中的子单元只能
沿一个方向移动，如x方向移动或y方向移动，故，第三种方式中，通过控制mems振镜阵列中的两个子单元一起配合移动将激光器阵列中的子单元发射的光束照射至相应的微反射镜的中心。
83.实际应用中，光斑阵列产生组件可以采用上述任一种方式以产生光斑阵列，不论采用上述哪种方式，都可以采用本技术提供的标定方法对mems振镜的驱动电压进行标定，以使激光器发射的光束照射至微反射镜的中心上。
84.对mems振镜的驱动电压进行标定，其流程图如图5所示，具体包括以下步骤。
85.s301：设置mems振镜的驱动电压，并获取mems振镜控制的子光斑的图像中心位置。
86.s302：判断mems振镜控制的子光斑的图像中心位置与对应的模拟子单元图像中心位置的差值是否在预设像素范围内。
87.例如，判断mems振镜控制的子光斑的图像中心位置与对应的模拟子单元图像中心位置的差值是否在1像素范围内。
88.s303：若是，将mems振镜的当前驱动电压设置为标定驱动电压；
89.s304：若否，闭环调整mems振镜的驱动电压，并进入步骤s301循环计算，直至mems振镜控制的子光斑的图像中心位置与对应的模拟子单元图像中心位置的差值在预设像素范围内，并将闭环调整后的驱动电压设置为标定驱动电压。
90.上述步骤s301-s304是针对mems振镜的驱动电压进行标定的基本思路，若光斑阵列产生组件中仅包括两个mems振镜(激光器和mems振镜组合的第一种方式)，需要对每个微反射镜上光斑照射时的mems振镜的驱动电压进行标定，此时需要记录光斑照射每个位置处的mems振镜的标定驱动电压；若光斑阵列产生组件是激光器阵列和mems振镜阵列的组合，需要对mems振镜阵列中的各子单元进行驱动电压标定。
91.本技术的微反射镜阵列监测装置还包括探测组件，该探测组件中的psd采集微反射镜阵列中微反射镜上反射光强度的psd值，鉴于步骤s100-s300是基于模拟器对mems振镜的驱动电压进行的标定，而光斑阵列产生组件与模拟器的关系与实际使用中光斑阵列产生组件与微反射镜阵列实物的关系存在误差，故，通过步骤s100-s300完成mems振镜的驱动电压标定后，在实际使用的照明模块中，利用微反射镜阵列监测装置本身的psd光电检测方法，以采集到的代表微反射镜阵列中微反射镜上反射光强度的psd值为基准，该值越大则光斑越靠近微反射镜中心，根据psd值对标定后的mems振镜的驱动电压进行二次标定，即根据psd值再继续闭环微调光斑阵列产生组件中的mems振镜的驱动电压，使光斑中心到达微反射镜中心。
92.根据psd值对标定后的mems振镜的驱动电压二次标定，其流程图如图6所示，具体包括如下步骤。
93.s601：使用模拟器标定的驱动电压驱动mems振镜，使mems振镜控制激光光束照射至微反射镜阵列中的微反射镜上。
94.s602：通过探测组件中的psd采集微反射镜上反射光强度的psd值；
95.s603：将当前采集的psd值与记录的psd最大值进行大小比较；
96.s604：若当前采集的psd值大于记录的psd最大值，将当前采集的psd值更新为记录的psd最大值，对mems振镜的驱动电压继续调整并进入步骤s602，直至记录的psd最大值不发生更新变化，并将记录的psd最大值对应的驱动电压设置为mems振镜的标定驱动电压。
97.通过本技术提供的标定方法，结合图像处理技术，根据模拟子单元图像中心位置和对应的子光斑图像中心位置对光斑阵列产生组件中mems振镜的驱动电压进行标定，并结合微反射镜国际形象监测装置本身的psd光电检测方法，以采集到的代表mma阵列中微反射镜上反射光强度的psd值为基准，对mems振镜的驱动电压进行二次标定，使光斑中心精准地到达微反射镜中心，进一步提高微反射镜阵列监测装置对mma阵列中每个微反射镜的角位置监测的精准度。本技术提供的标定方法能够实现数量较多且重复的自动标定，例如，能够对4096个位置进行自动标定。
98.以上应用了具体个例对本发明进行阐述，只是用于帮助理解本发明，并不用以限制本发明。对于本发明所属技术领域的技术人员，依据本发明的思想，还可以做出若干简单推演、变形或替换。

技术特征：
1.一种微反射镜阵列监测装置的标定方法，其特征在于，所述微反射镜阵列监测装置用于监测微反射镜阵列中每个微反射镜，所述微反射镜阵列监测装置包括光斑阵列产生组件，所述光斑阵列产生组件产生光斑阵列，所述光斑阵列中子光斑的数量与所述微反射镜阵列中微反射镜的数量一一对应，通过所述标定方法对所述光斑阵列产生组件标定，使所述光斑阵列中的子光斑照射至对应的微反射镜的中心，所述标定方法包括步骤：获取模拟器中各模拟子单元的中心位置，所述模拟器用于模拟所述微反射镜阵列，所述模拟子单元的数量与所述微反射镜的数量一一对应；获取所述光斑阵列中各子光斑的中心位置；根据所述模拟子单元的中心位置和对应子光斑的中心位置对所述光斑阵列产生组件进行标定，使所述子光斑照射至对应的模拟子单元的中心位置。2.如权利要求1所述的标定方法，其特征在于，所述获取模拟器中各模拟子单元的中心位置，具体是：获取模拟器图像信息，基于图像处理获取模拟器图像信息中各模拟子单元图像中心位置。3.如权利要求2所述的标定方法，其特征在于，所述获取光斑阵列中各子光斑的中心位置，具体是：获取子光斑图像，基于图像处理获取子光斑图像的中心位置。4.如权利要求3所述的标定方法，其特征在于，所述根据模拟子单元的中心位置和对应子光斑的中心位置对所述光斑阵列产生组件进行标定，具体是：根据模拟子单元图像中心位置和对应的子光斑图像中心位置对所述光斑阵列产生组件进行标定。5.如权利要求4所述的标定方法，其特征在于，所述光斑阵列产生组件包括激光器和mems振镜，所述激光器发射激光光束，所述mems振镜对所述激光器发射的激光光束进行偏转，以形成照射至微反射镜阵列中的微反射镜上的子光斑，对所述光斑阵列产生组件进行标定具体为对所述mems振镜的驱动电压进行标定。6.如权利要求5所述的标定方法，其特征在于，所述对mems振镜的驱动电压进行标定，具体包括步骤：设置mems振镜的驱动电压，并获取mems振镜控制的子光斑的图像中心位置；判断mems振镜控制的子光斑的图像中心位置与对应的模拟子单元图像中心位置的差值是否在预设像素范围内；若是，将mems振镜的当前驱动电压设置为标定驱动电压；若否，闭环调整mems振镜的驱动电压，直至mems振镜控制的子光斑的图像中心位置与对应的模拟子单元图像中心位置的差值在预设像素范围内，并将闭环调整后的驱动电压设置为标定驱动电压。7.如权利要求2所述的标定方法，其特征在于，所述基于图像处理获取模拟器图像信息中各模拟子单元图像中心位置，具体包括步骤：获取模拟器图像信息中的有效图像区域；对所述有效图像区域进行二值化处理，获得二值图像；对所述二值图像进行轮廓提取，并获取层级最小的轮廓，所述层级最小的轮廓为单个模拟子单元图像轮廓；计算层级最小轮廓的轮廓中心；对计算的所有轮廓中心进行去重处理，获取有效的轮廓中心。
8.如权利要求3所述的标定方法，其特征在于，所述基于图像处理获取子光斑图像的中心位置，具体包括步骤：获取子光斑的有效图像区域；对所述有效图像区域进行二值化处理，获得二值图像；对所述二值图像进行轮廓提取；根据提取的轮廓拟合获得拟合椭圆；提取拟合椭圆中最大椭圆，并判断最大椭圆的面积是否在子光斑面积的有效范围内；若是，最大椭圆的圆心为子光斑图像的中心位置，若否，调整子光斑面积的有效范围和二值化的阈值，并根据调整后的阈值对所述有效图像区域进行二值化处理。9.如权利标注5所述的标定方法，其特征在于，所述微反射镜阵列监测装置还包括探测组件，所述探测组件中的psd采集所述微反射镜阵列中微反射镜上反射光强度的psd值，所述标定方法还包括根据所述psd值对标定后的mems振镜的驱动电压二次标定的步骤。10.如权利要求9所述的标定方法，其特征在于，所述根据psd值对标定后的mems振镜的驱动电压二次标定，具体包括步骤：使用模拟器标定的驱动电压驱动mems振镜，使mems振镜控制激光光束照射至所述微反射镜阵列中的微反射镜上；通过探测组件中的psd采集所述微反射镜上反射光强度的psd值；将当前采集的psd值与记录的psd最大值进行大小比较；若当前采集的psd值大于记录的psd最大值，将当前采集的psd值更新为记录的psd最大值，对mems振镜的驱动电压继续调整，直至记录的psd最大值不发生更新变化，并将记录的psd最大值对应的驱动电压设置为mems振镜的标定驱动电压。

技术总结
一种微反射镜阵列监测装置的标定方法，通过模拟微反射镜阵列，对微反射镜阵列监测装置中的光斑阵列产生组件进行标定，使光斑阵列中的子光斑照射至对应的微反射镜的中心，标定方法包括步骤：获取模拟器中各模拟子单元的中心位置，模拟器用于模拟微反射镜阵列；获取光斑阵列中各子光斑的中心位置；根据模拟子单元的中心位置和对应子光斑的中心位置对光斑阵列产生组件进行标定，使子光斑照射至对应的模拟子单元的中心位置。本申请结合图像处理技术，实现MEMS振镜的驱动电压的自动标定，并结合微反射镜阵列监测装置本身的PSD光电检测方法，对MEMS振镜的驱动电压进行二次标定，提高微反射镜阵列监测装置对MMA阵列中每个微反射镜的角位置监测的精准度。角位置监测的精准度。角位置监测的精准度。


技术研发人员：王金雅 杨增辉 张泽龙 陈浩然 陶翰中
受保护的技术使用者：上海镭望光学科技有限公司
技术研发日：2023.07.18
技术公布日：2023/10/20